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물리학 > 기타 물리학
본 발명은 기계부품의 성능 및 내구성 시험을 위한 3차원 진동시험기의 동시 3축 구동이 가능하도록 하는 3차원 진동시험기의 동시 3축 구동 방법에 관한 것이다.본 발명의 동시 3축 구동방법은 축구동 장비로 구동신호 및 제어신호를 출력하기 위한 출력보드를 초기화함과 아울러 축구동 후 측정된 정보를 입력하기 위한 입력보드를 초기화하는 단계와, 축구동 장비로 출력할 구동신호의 주파수 및 구동력을 초기화하는 단계와, 채널별 구동신호와 유압공급기 서보모터의 구동신호를 출력하는 단계와, 축구동 장비를 제어하는 단계와, 3축 구동부 각각에서 액츄에이터의 로드량을 감지하는 로드셀과 액츄에이터의 변위량을 감지하는 선형변위변환기를 조정하는 단계와, 3축 구동시험 후 로드셀과 선형변위변기로부터 감지된 액츄에이터의 로드량과 변위량을 입력하여 데이터베이스 형태로 저장하는 단계와, 입력된 로드량과 변위량을 분석하여 피실험기의 내구성 및 피로한도를 측정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.본 발명에 의하면, 횡방향, 종방향, 축방향 액츄에이터를 동시에 구동하여 복합적인 조건에서 피실험기의 내구성 시험 및 측정이 가능함으로써 초정밀 액츄에이터 및 액티브 서스펜션의 설계 및 제작을 용이하게 하는 효과가 있다.3차원 진동시험장치의 동시 3축 구동방법에 있어서, 축구동 장비로 구동신호 및 제어신호를 출력하기 위한 출력보드를 초기화함과 아울러 축구동 후 측정된 정보를 입력하기 위한 입력보드를 초기화하는 단계와, 상기 축구동 장비로 출력할 구동신호의 주파수 및 구동력을 초기화하는 단계와, 채널별 구동신호와 유압공급기 서보모터의 구동신호를 출력하는 단계와, 상기 축구동 장비를 제어하는 단계와, 3축 구동부 각각에서 액츄에이터의 로드량을 감지하는 로드셀과 액츄에이터의 변위량을 감지하는 선형변위변환기를 조정하는 단계와, 3축 구동시험 후 상기 로드셀과 선현변위변기로부터 감지된 상기 액츄에이터의 로드량과 변위량을 입력하여 데이터베이스 형태로 저장하는 단계와, 상기 단계에서 입력된 로드량과 변위량을 분석하여 피실험기의 내구성 및 피로한도를 측정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 3차원 진동시험장치의 동시 3축 구동방법.
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- 조선대학교
- 등록일
- 2006-05-24
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물리학 > 기타 물리학
본 발명의 경우에는 횡 방향으로 선택적인 광 흡수층과 이온 주입층의 동시적 사용과 그 상대적 크기 차이에 의해 수직 공진 표면 방출 레이저의 단일 모드 특성을 향상하였다. 광흡수층이 모드 가장처리에 있는 빛을 흡수함으로써 고차 횡모드의 광 손실을 증가시키고, 고차 횡모드의 레이저 발진을 막는다. 특히 광 흡수층은 가운데가 패터닝 및 에칭 공정에 의하여 제거되었기 때문에 기본 모드에는 작은 광 손실을 고차 모드에는 더 큰 광손실을 일으킨다. 광흡수층의 직경이 이온 주입층 직경에 비해 약간 작을 때 기본ㅁ 모드가 휠씬 넓은 범위에서 단일 모드로 동작하는 특징을 가지고 있다.넓은 동작 전류 영역에서 단일 모드 출력이 유지되도록 하는 효과를 제공한다. 또한 본 발명은 이을 위해서 전류 감금 구조로서 이온주입층을 형성하고 이를 광 흡수층과 동시에 사용하도록 하고, 광흡수층의 직경이 이온주입층의 직경에 비해 작도록 형성하여 고차 횡모드의 레이저 발진을 방지하여 단일모드로서의 사용이 가능하도록 하는 효과를 제공한다. 또한 본 발명은 종래에 비해 보다 단순한 구조의 표면발광 레이저를 제공하여 보다 넓은 동작 전류 영역에서 단일 도므 출력이 유지되도록 하는 효과를 제공한다.
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- 경북대학교
- 등록일
- 2006-05-22
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물리학 > 기타 물리학
* 구성 및 원리 본 기술은 이이피롬(EEPROM)에 관한 것으로, 보다 상세하게는 엠아이엠(MIM) 캐패시터 형태의 컨트롤 게이트가 플로팅 게이트 영역 상부에 적층되거나 플로팅 게이트에 수평하게 형성되는 단일 폴리 이이피롬(EEPROM) 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 본 기술의 구성은 다음과 같다. 모스 트랜지스터 형태의 플로팅 게이트와, 이 플로팅 게이트에 캐패시터 커플링에 의해 고전압을 인가하는 컨트롤 게이트가 설치되는 단일 폴리 이이피롬을 제조할 때에, 컨트롤 게이트를 플로팅 게이트가 형성된 영역의 상부에 적층형으로 형성하되 컨트롤 게이트는 엠아이엠 캐패시터 형태로 형성한다. * 기술개발 배경 컨트롤 게이트가 반도체 기판 상에 구현될 때 반도체 기판과 컨트롤 게이트와 기판 사이의 접합에서 역방향 누설 전류가 발생하게 되고, 그로 인해 컨트롤 게이트의 전압 차징 효율이 저하되어, 결국 차징 타임 증가로 인한 프로그램 및 읽기 동작 시간이 지연되는 단점이 있었다. 뿐만 아니라, 컨트롤 게이트가 반도체 기판 상에 구현되므로 기판을 통해 주변의 로직 소자 또는 CMOS 소자들에 의해 기인한 외부 노이즈에 영향을 받아 소자가 오작동 하거나 소자의 신뢰성이 저하되는 문제점도 있었다.본 기술은 이러한 문제점을 해결하기 위하여 개발되었다.* 적용제품 및 관련시장 본 기술의 단일 폴리 이이피롬은 비휘발성 메모리 소자로, 컴퓨터에 내장되거나 각종 휴대용 전자기기, MP3, PDA 등에 적용되어 있으며 향후 그 적용범위는 증가될 것으로 예상된다. * 특징 및 장점 본 기술은 다음과 같은 특징 및 장점이 있다. 첫째, 단일 폴리 이이피롬(EEPROM)의 플로팅 게이트는 MOSFET으로 구성하고 MOSFET의 상부에 MIM 캐패시터 형태로 컨트롤 게이트를 적층함으로써 셀 면적을 감소시킬 수 있으므로 집적도를 향상시킬 수 있다. 둘째, 반도체 기판에 직접 캐패시터를 형성하지 않음에 따라 주변 소자들에 의해 기인한 외부 노이즈에 의한 간섭을 방지하여 소자의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 이점이 있다. 셋째, 컨트롤 게이트를 플로팅 게이트 상부 또는 반도체 기판에 MIM 캐패시터 형태로 형성함에 따라 기판과 컨트롤 게이트 사이의 자체 캐패시턴스 및 저항 성분이 종래의 기술에 비해 현격히 감소함에 따라 프로그램 및 읽기 동작 속도를 개선할 수 있다. 넷째, 컨트롤 게이트 하부 기판에 깊은 접합을 형성하지 않아 기판으로의 전류 패스 현상이 발생하지 않음에 따라 소거 동작시에 컨트롤 게이트에 음(-) 전압(negative voltage)을 인가할수 있으므로, NOR 어레이 구성을 함에 있어서 과-소거 된 셀의 복구 및 테스트가 용이한 이점이 있다
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- 충북대학교
- 등록일
- 2006-05-22
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물리학 > 기타 물리학
* 구성 및 원리 본 기술은 고주파 반도체 수동 소자 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 특히 인덕터 사이의 커플링 증가 및 Q값 저하를 방지하여 소자의 특성을 향상시킬 수 있는 고주파 반도체 소자 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 본 기술은 다음과 같은 구성으로 이루어진다. 고주파 반도체 수동 소자는, 소정의 하부 구조를 갖는 반도체 기판에 형성된 제 1 절연막이 설치되고, 제 1 절연막 상에 형성된 그라운드 패턴과, 그라운드 패턴이 형성된 제 1 절연막을 매립하는 제 2 절연막이 설치되고, 제 2 절연막을 관통하여 그라운드 패턴의 일측에 연결되는 다수의 비아와, 제 2 절연막 상에 형성되며 그 일측이 비아에 각각 연결되는 다수의 인덕터용 금속 배선이 설치되고, 금속 배선들 사이를 수평으로 가로지르도록 형성되며 양측 단부가 그라운드 패드에 연결되는 그라운드 쉴드 및 각각의 인덕터용 금속 배선의 일측에 연결되도록 제 2 절연막 상에 형성되는 신호 라인이 설치되어 구성된다. * 기술개발 배경 종래에는 인덕터의 하부에 방사형의 폴리실리콘 패턴을 형성하고, 이 폴리실리콘 패턴에 그라운드 패턴을 연결함으로써 실리콘 기판으로 향하는 맥놀이 전류 성분에 기인한 저항 성분 증가를 방지함으로써 Q값 저하를 방지하고자 한다. 그런데, 이와 같이 패턴 그라운드 쉴드 방식을 적용하는 경우에는 인덕터의 Q값 특성에는 영향을 미쳤으나, 인접하는 인덕터 사이의 기판을 통해 H-Field가 반대편으로 넘어가는 문제점은 여전히 존재하였다. 이는, 결국 인접하는 인덕터 사이의 커플링을 증가시켜 공진 주파수를 저하시키면서 주파수 사용 범위를 감소시키는 문제점을 유발하게 되었다. 본 기술은 이 문제를 해결하고자 개발되었다.* 적용제품 및 관련시장 본 기술의 고주파 반도체 수동 소자는 와이어리스 송수신 장치나 휴대정보 단말기 등에 가장 많이 적용될 것이며, 무선 네트워크나 무선 인터넷 분야에 적용될 것으로 예상된다. 이 무선 통신 시장은 점차 그 규모가 커지고 있어 시장성 또한 유망하다고 판단된다. * 특징 및 장점 본 기술은 다음과 같은 특징 및 장점이 있다. 첫째, 그라운드 쉴드를 통해 인덕터 사이를 격리시킴에 따라 전자기장(Electromagnetic) 커플링을 최소화할 수 있다. 둘째, 커플링 증가에 따라 공진 주파수를 저하시키면서 사용 범위를 감소시키던 문제점을 해소할 수 있다. 셋째, 인접하는 인덕터 사이에 그라운드 쉴드를 형성하여 서로 격리시킴에 따라 기존의 방식과 비교하여 각 인덕터간의 간격이 좁더라도 인덕터 간의 신호 커플링이 감소시킬 수 있다. 넷째, Q 값 감소를 방지함으로써 소자의 특성을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.
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- 충북대학교
- 등록일
- 2006-05-24
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물리학 > 기타 물리학
* 구성 및 원리 본 기술은 신호 라인간 커플링 노이즈 및 신호누설 현상을 감소시켜 소자의 신뢰성을 향상시킬 수 있도록 하는 고주파 집적 회로 장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 본 기술의 구성은 다음과 같다. 내부회로에 그라운드 전압을 공급하도록 실리콘 기판 상에 형성되는 다수의 그라운드 패드가 설치되고, 그라운드 패드에 연결되는 다수의 그라운드 라인이 설치되고, 내부 회로에 입력 신호를 공급하도록 실리콘 기판 상에 형성되는 다수의 신호 패드가 설치되고, 신호 패드와 내부회로 사이에 연결된 다수의 신호 라인 및 신호 라인간의 커플링을 방지하기 위하여 각각의 신호 라인 주위를 쉴딩하며 그라운드 패드에 접속되는 가이드 라인이 설치되어 구성된다. * 기술개발 배경 종래의 고주파 집적 회로 장치를 집적하는 경우에는 소자 전체의 밀도를 균일하여 식각 공정이 패터닝 정밀도를 향상시키고 임플란트 공정시 임플란트가 균일하게 주입되도록 하기 위하여 필수적으로 더미 패턴(Dummy Pattern)을 오토 제너레이션(Auto Generation)하여 삽입하였는데, 이러한 더미 패턴에 의해 이웃하는 금속 배선 사이에서 발생하는 커플링 노이즈 성분 및 신호누설이 더욱 증가하게 되는 문제점이 있었다. 본 기술은 이러한 문제점을 해결하기 위하여 개발되었다.* 적용제품 및 관련시장 본 기술의 고주파 집적회로 장치는 와이어리스 송수신 장치나 휴대정보 단말기 등에 가장 많이 적용될 것이며, 무선 네트워크나 무선 인터넷 분야에 적용될 것으로 예상된다. 이 무선 통신 시장은 점차 그 규모가 커지고 있어 시장성 또한 유망하다고 판단된다. * 특징 및 장점 본 기술은 다음과 같은 특징 및 장점이 있다. 첫째, 신호 라인의 주위에서 신호 라인을 감싸며 그라운드에 연결되는 가이드 라인을 배치하여, 신호 라인과 절연막 사이의 기생 캐패시턴스 증가에 따른 신호 라인간 커플링 노이즈를 감소시킴으로써, 신호지연(RC-delay)이나 서로 인접하는 금속 배선간 신호간섭(Crosstalk) 및 신호누설(Leakage) 를 방지하여 소자의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 이점이 있다. 둘째, 고주파 집적 회로의 오토 제너레이션(Auto Generation)시에 더미 패턴을 삽입하지 않고, 신호 라인 즉, 금속 배선 주변에 가이드 라인을 배치하여 금속 배선과 주변 영역과의 밀도 차를 방지하여 패터닝 정밀도 및 임플란트 균일화를 이룰 수 있는 이점이 있다.
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- 충북대학교
- 등록일
- 2006-05-22
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일반기술
물리학 > 기타 물리학
* 구성 및 원리 본 기술은 차동 VCO 코어에서 출력되는 발진 주파수를 기준 발진 주파수보다 높거나 낮게 조절할 수 있도록 하는 전압 제어 발진기에 관한 것이다. 본 기술은 다음과 같은 구성으로 이루어진다. 튜닝 전압에 의해 공진되는 공진 소자들과 차동 증폭 소자를 포함하고 동작 전압에 따라 공진된 발진 주파수를 출력하는 VCO 코어를 포함하는 전압 제어 발진기에 있어서, 차동 VCO 코어 양측에서 상호 180˚ 위상차를 갖는 제 1 노드 또는 제 2 노드에 각각 정귀환 증폭 신호 또는 부귀환 증폭 신호를 선택적으로 스위칭하도록 구성되는 적어도 하나 이상의 귀환 제어 회로가 설치된 구성으로 이루어진다. 본 기술의 목적은 차동 증폭기로 구성되는 전압 제어 발진기에 부귀환 증폭 신호와 정귀환 증폭 신호를 선택적으로 인가할 수 있는 귀환 제어 회로를 구성하여, 전압 제어 발진기에서 출력되는 발진 주파수를 기준 주파수보다 낮추거나 높일 수 있도록 함으로써, 전압 제어 발진기의 주파수 튜닝 범위를 증가시킬 수 있도록 하는 것이다. * 기술개발 배경 종래의 전압 제어 발진기에서는 가변 캐패시터(Cv1, Cv2)만을 가지고 주파수를 제어하는데, 원하는 주파수를 얻기 위해서 캐패시터를 무한정 연결할 수 없으므로, 통상적으로 가변 캐패시터(Cv1, Cv2)를 이용한 주파수 튜닝 방식에서는 5% 정도의 튜닝 범위를 갖는다. 이에 따라, 주파수 튜닝 범위를 증가시키기 위해서는 인덕터나 캐패시터를 증가시키는 방식을 이용해야 하므로, 칩 내에서 인덕터나 캐패시터가 차지하는 면적이 증가하여 소형화나 경량화에 적합하지 못한 단점이 있었다. 본 기술은 이러한 문제점을 해결하고자 개발되었다.* 적용제품 및 관련시장 본 기술의 전압 제어 발진기는 GSM, GPRS, CDMA, WLAN, Wibro, WCDMA, GPS 등과 같은 다양한 무선 통신기기에 적용될 것이다. 무선 통신 기기의 시장은 그 시장규모 및 발전가능성이 증대되고 있어 시장성 또한 유망하다고 할 수 있다. * 특징 및 장점 본 기술은 다음과 같은 특징 및 장점이 있다. 첫째, 차동 증폭기로 구성되는 차동 VCO 코어의 양쪽 노드에 -A 이득을 갖는 귀환 제어 회로를 연결하여 각 노드에 부귀환 증폭 신호와 정귀환 증폭 신호를 선택적으로 스위칭하여, 전압 제어 발진기에서 출력되는 발진 주파수를 기준 주파수보다 낮추거나 높일 수 있도록 함으로써, 전압 제어 발진기의 주파수 튜닝 범위를 증가시킬 수 있는 효과가 있다. 둘째, 차동 VCO 코어의 양쪽 노드에 -A 이득을 갖는 귀환 제어 회로의 출력단 각각을 입력단이 연결된 노드의 반대편 노드에 연결하여, 각 노드를 정귀환 증폭 신호로 제어할 수 있도록 함으로써 전압 제어 발진기에서 출력되는 발진 주파수를 기준 주파수보다 높일 수 있게 됨에 따라, 종래의 인덕터나 캐패시터를 이용하는 경우 주파수를 낮추기만 하고 높일 수 없던 단점을 해소할 수 있는 이점이 있다.
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- 충북대학교
- 등록일
- 2006-05-22
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일반기술
물리학 > 기타 물리학
* 구성 및 원리 본 기술은 디지털 통신에 사용되는 변조방식에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 주파수 쉬프트 키잉 변조방식 및 그를 채용한 주파수 쉬프트 키잉 변복조 시스템에 관한 것이다 본 시스템의 구성은 다음과 같다. 디지털 통신 시 전송되는 심벌에 따라 상기 심벌에 해당하는 주파수로 천이하여 변조하는 M 진 주파수 쉬프트 키잉 변조방법으로서, (M + N) 개의 주파수를 사용하고(N 은 1 이상의 정수), 이전의 주파수와 현재 전송되는 심벌에 기초하여 천이 변조되는 주파수가 결정되며, 전송되는 매 심벌 마다 항상 다른 주파수로 천이 변조되는 M 진 상태천이 주파수 쉬프트 키잉 변조방법 및 이 변조방법을 적용한다. * 기술개발 배경 종래의 이진 주파수 쉬프트 키잉 변조방식에서는, 동일 심벌이 연속되어 나오는 경우, 심벌 타이밍 정보를 획득하는데 문제가 발생하게 된다. 이와 같은 문제점을 해결하기 위해서, 종래의 주파수 쉬프트 키잉 변조방식에서는 데이터 전송 프레임 전에 심벌 타이밍 획득을 위한 프리앰블 프레임을 삽입하였다. 그러나, 종래의 프리앰블 프레임 삽입을 통한 심벌 타이밍 획득 방법에는 문제가 있다.즉, 프리앰블 프레임을 삽입한다 할지라도, 데이터 프레임에서는 심벌 타이밍을 지속적으로 획득하지 못하게 된다. 이러한 문제점으로 인해, 데이터 통신 시 전송되는 데이터 프레임의 크기에 제한을 받게 되며, 또한 데이터의 수신 에러율을 증가시키는 요인이 된다. 본 기술은 이러한 문제점을 해결하기 위하여 개발되었다.* 적용제품 및 관련시장 본 기술의 복조기의 동기 성능을 향상시킨 M 진 상태천이 주파수 쉬프트 키잉 변조방법 및 그를 채용한 주파수 쉬프트 키잉 변복조 시스템은 무선 통신 분야, 특히 디지털 통신 분야에 적용될 것이며, 그 시장성 또한 매우 유망하다고 예상된다. * 특징 및 장점 본 기술은 다음과 같은 특징 및 장점이 있다. 첫째, 본 기술의 M 진 상태천이 주파수 쉬프트 키잉 변조방식은, 디지털 통신 시 동일한 심벌이 연속해서 전송될 경우에도 항상 다른 주파수로 천이되어 변조되도록 함으로써, 복조기 동기부에서의 동기 획득 성능을 크게 향상시킬 수 있다. 둘째, 본 기술의 M 진 상태천이 주파수 쉬프트 키잉 변조방식은, 복조기 동기부에서의 동기 획득 성능을 획기적으로 향상시켜 간단한 변복조 구조 및 프레임 구조를 갖는 매우 효율적인 주파수 쉬프트 키잉 변복조시스템의 사용이 가능하게 할 수 있다.
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- 충북대학교
- 등록일
- 2006-05-22
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일반기술
물리학 > 기타 물리학
본 발명은 적분구에 관한 것으로, 보다 상세하게는 선형의 입사 광원이 적분구에 입사되어 선형의 출력광원이 적분구로부터 출력되도록 하는 수정 적분구에 관한 것이다.본 발명에 따른 수정 적분구는, 좌반구와 우반구와 이들을 연결하는 원통체로 이루어진 몸체부와, 상기 원통체의 일측에 형성된 광원입사부와 상기 광원입사부에 대응되는 반대편에 형성된 광원출력부와, 상기 원통체의 상기 광원 입사부와 상기 광원 출력부 사이에 형성되어 산란된 광원이 확산되어 출력되는 확산광원출력부로 구성됨을 특징으로 한다.이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 수정 적분구는 빛의 산란에 의한 제품의 결함을 검출하기 위한 것으로서 선형의 입사 광원으로 인한 검출물의 결함을 검출함으로서 검출하는 작업 시간을 절약할 수 있어 작업의 효율성을 증대할 수 있다.본 발명은 첨부된 도면을 참조하여 바람직한 실시예를 중심으로 기술되었지만 당업자라면 이러한 기재로부터 본 발명의 범주를 벗어남이 없이 많은 다양한 자명한 변형이 가능하다는 것은 명백하다. 따라서 본 발명의 범주는 이러한 많은 변형의 예들을 포함하도록 기술된 청구범위에 의해서 해석되어져야 한다.
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- 충북대학교
- 등록일
- 2006-05-22
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일반기술
물리학 > 기타 물리학
본 발명은 실시간 동영상에서 추출된 객체에서 그림자 영역을 제거하여 정확한 객체 추적이 가능하게 하는 그림자 제거 방법에 관한 것이다. 본 발명은 객체가 가지는 대칭성을 사용하여 그림자 후보 영역을 추출한 후, 객체의 중심축으로부터의 거리에 비례한 가중치를 사용하여, 추출한 객체에 대해 그림자 제거를 수행함으로써, 정확한 객체 추적이 가능한 그림자 제거 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 이를 통해, 객체 내의 그림자를 제거함으로써, 올바른 특징 벡터를 추출할 수 있고, 정확한 객체 추적이 가능하다. 본 발명은 객체가 가지는 대칭성을 사용하여 그림자 후보 영역을 추출한 후, 객체의 중심축으로부터의 거리에 비례한 가중치를 사용하여, 추출한 객체에 대해 그림자 제거를 수행한다. 이를 통해, 객체 내의 그림자를 제거함으로써, 올바른 특징 벡터를 추출할 수 있고, 정확한 객체 추적이 가능하다. 객체가 가지는 물리적인 특성을 사용함으로 입력 영상이 가지는 색상에 영향을 받아 그림자가 아닌 객체영역까지도 잘못 제거되는 문제점을 해결하고, 정확한 객체를 추출하여, 감시 시스템 내에서 보다 정확한 객체 추적을 할 수 있다.
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- 경북대학교
- 등록일
- 2006-05-22
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일반기술
물리학 > 기타 물리학
* 구성 및 원리 본 기술은 박막 필름 결함 검출 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 선형 입사 적외선이 박막을 통과하여 입사될 때 박막의 결함 부위에서 적외선 산란이 일어남을 이용한 필름 결함 검출 장치에 관한 것이다. 본 기술의 구성은 다음과 같다. 받침대에 지지되며 좌,우 상면 양측에 이송가이드가 설치된 베이스판과 상면에 검사용 박막이 얹혀지며 베이스판의 이송가이드와 결합되는 이송지그가 좌,우 측면에 설치된 이송대가 설치되고, 이송대를 이송하기 위한 이송수단과 베이스판 하면에 설치되어 적외선을 방출하는 레이저 라인빔과 상기 레이저 라인빔에서 방출된 산란된 적외선을 검출하기 위한 일정 간극을 유지한 한 쌍의 적외선 센서모듈이 설치되고, 적외선 센서모듈이 얹혀지며 상기 베이스판에 고정설치되는 지지대와 상기 적외선 센서모듈에서 검출된 적외선을 비교 분석하여 결함여부를 판정하고 결과를 알려주는 모니터링부가 설치되어 구성된다. * 기술개발 배경 박막트랜지스터 액정표시장치는 당초 노트북용으로 개발되어 지금은 개인용 컴퓨터 모니터와 텔레비전, 소형 통신기기에도 이용되어 폭발적인 수요를 보이고 있다.이러한 박막트랜지스터 액정표시장치의 기술 요소는 컬러필터, 액정, 필름 등의 기초소재와 편광필름, 백라이트유닛, 기판 유리 등의 주요 부품과 각종 검사 장비 등이 있으며, 이중에서 편광필름은 액정셀의 양면에 부착하여 백라이트에서 나오는 빛의 투과를 조절하는 기능을 하는 것으로 필수 부품 중의 하나로서, 편광발생 방법에 따라 여러 가지가 있으나 시판되고 있는 것은 롤에 필름형태로 감겨진 각 재료를 접착시키는 제조방법으로 생성된다. 전수 검사는 숙련된 작업자에 의한 육안검사로 대부분 이루어지고 있어 인력과 검사 시간이 많이 소요되는 문제점을 가지고 있다. 또한, 작업자의 주관적인 판단에 따라 결함 유무를 판단함으로써 작업자에 많이 의존하게 되어 검사의 신뢰성을 저하 시키는 문제점을 가지고 있다* 적용제품 및 관련시장 본 기술의 박막 필름 결함검출장치는 박막트랜지스터 액정표시장치에 적용될 것이다. 박막트랜지스터 액정표시장치는 당초 노트북용으로 개발되어 지금은 개인용 컴퓨터 모니터와 텔레비전, 소형 통신기기에도 이용되어 폭발적인 수요를 보이고 있다. 현재 이 박막트랜지스터 액정표시장치의 시장은 모니터 및 텔레비젼을 중심으로 급속히 시장이 커지고 있으며, 본 기술은 이러한 시장에서 매우 유용한 기술로 평가된다. * 특징 및 장점 본 기술은 다음과 같은 특징 및 장점이 있다. 레이져 라인빔의 결함 부위에서의 산란 특성을 이용하여 박막의 결함을 자동으로 검출함으로서 검출하는 작업 시간을 절약할 수 있어 작업의 효율성을 증대할 수 있다.또한, 객관적인 비교 자료에 의해서 결함 유무를 판정함으로써 검사에 대한 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
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- 충북대학교
- 등록일
- 2006-05-24
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* 구성 및 원리 본 기술은 무선 원격 검침기의 회로에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 원격 검침기의 내부에 구비되어 있는 회전체와 고정체 사이에 형성되는 정전 용량의 변화에 따른 펄스 신호를 정확하게 출력함과 동시에 전력 소모량을 최소화할 있는 무선 원격 검침기의 회전수 센싱 회로에 관한 것이다. 본 기술의 구성은 다음과 같다. 공급물의 사용에 따라 회전되며 하면에 금속 박막이 형성되어 있는 회전체가 설치되고, 금속 박막과 쌍을 이루는 대응 금속 박막을 포함하는 대향 전극이 형성되어 있는 고정체 간의 정전 용량의 변화에 따라 펄스 신호를 출력하고, 연산 증폭기의 히스테리시스를 이용하여 센싱 클록을 출력하는 센싱 클록 발생부가 설치되고, 클록 발생부로부터 입력되는 센싱 클록을 이용하여 상기 회전체와 고정체 사이에서 발생하는 정전 용량 변화에 따른 펄스 신호를 출력하는 펄스 신호 발생부와, 센싱 클록 발생부로부터 입력되는 센싱 클록을 이용하여 펄스 신호 발생부의 펄스 신호에 존재하는 에러를 검출하여 펄스 신호에 대한 에러 검출 펄스를 출력하는 에러 정정부가 설치되어 구성된다. * 기술개발 배경 커패시터의 정전 용량에 대한 딜레이 시간차를 이용하여 펄스 신호를 발생하는 종래의 펄스 신호 발생부를 설계하는 경우 센서 IC 내부의 메탈 라인 등에서 발생하는 기생 커패시터로 인하여 데이터를 검출하기 위한 센서 내부의 기준 커패시터의 용량 값이 가변 되므로, 센서 내부의 기준 커패시터에 대한 용량 값을 정확하게 만들기가 어려운 문제점이 발생하였다. 특히 전기, 가스, 수도 등의 사용량을 검침하는 계측 시스템에 있어서 요구되는 출력 회로는 수 헤르츠 대의 저주파 신호로서, 펄스 신호 출력 회로에 의해 많은 양의 전력이 소모되는 문제점이 있다* 적용제품 및 관련시장 본 기술의 무선 원격 검침기의 회전수 센싱 회로는 전기, 가스, 수도 등의 적산 계량기를 검침하는 분야에 적용될 것이다. 본 기술이 이용되면 검침원의 인력이 많이 줄어들것이며, 검침사업의 효율성이 증대될 것으로 예상할 수 있다. * 특징 및 장점 본 기술은 다음과 같은 특징 및 장점이 있다. 첫째, 센싱 클록 발생부를 통해 발생하는 제1,2센싱 클록이 커패시터의 방전 시간에 의해 클록의 펄스폭이 결정되므로, 클록 신호의 주기는 상대적으로 긴 반면에 클록의 펄스폭이 상대적으로 작은 저주파 클록 신호를 생성 출력함으로써, 클록 신호에 의해 소모되는 전류 소모량을 최소화할 수 있어 배터리로 사용되는 원격 검침기의 전력 사용의 효율을 향상시킬 수 있다. 둘째, 회전체의 회전 시 가변 커패시터에 충전된 전압, 즉 회전체와 고정체 사이에서 발생하는 가변 커패시터의 충전 전압이 분배된 분배 전압 값에 따라 펄스 신호가 출력되고 출력된 펄스 신호에 포함된 에러가 에러 정정부를 통해 검출됨으로써, 정전 용량의 변화에 따른 펄스 신호를 더욱 정확하게 출력할 수 있다.
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- 충북대학교
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- 2006-05-22
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물리학 > 기타 물리학
* 구성 및 원리 본 기술은 플래시 메모리 소자(Flash Memory devcie; EEPROM)에 관한 것으로, 특히 단일층 다결정 실리콘 플래시 EEPROM 및 제조 방법과 상기 플래시 메모리소자의 구동 방법에 관한 것이다. 본 기술의 구성은 다음과 같다. 제 1, 제 2 액티브 영역이 정의되고 제 2 액티브 영역을 포함한 영역에 제 1 도전형 웰이 형성된 제 2 도전형 반도체 기판이 설치되고, 이 반도체 기판 전면에 형성되는 게이트 절연막이 설치되고, 제 1 액티브 영역에 오버랩되도록 게이트 절연막 위에 형성되는 게이트 전극이 설치되고, 게이트 전극 일측의 제 1 액티브 영역과 제 1 도전형 웰에 오버랩되도록 게이트 절연막위에 형성되는 부유 게이트와, 게이트 전극 및 부유 게이트 양측의 제 1, 제 2 액티브 영역에 형성되는 제 1, 제 2, 제 3, 제 4 고농도 제 1 도전형 불순물 영역으로 구성된다. * 기술개발 배경 일반적인 적층형 플래시 메모리 소자(EEPROM)에 있어서는 다음과 같은 문제점이 있었다. 첫째, 일반적인 적층형 플래시 메모리 소자(EEPROM)는 부유 게이트와 제어 게이트가 적층된 구조로 형성되므로, 부유 게이트 및 제어 게이트를 형성하기 위해서는 폴리실리콘 증착 공정과 식각 공정이 각각 실시되어야 하므로 공정이 복잡하다. 둘째, 부유 게이트와 제어 게이트가 적층된 구조를 갖고 형성되므로 식각 공정 시 오정렬이 발생될 가능성이 높기 때문에 수율이 저하된다. 따라서, 이와 같은 일반적인 적층형 플래시 메모리 소자(EEPROM)의 문제점을 극복하기 위하여, 최근에는 SIPPOS EEPROM(Single-Poly pure CMOS EEPROM) 메모리 소자가 연구되어 왔다.* 적용제품 및 관련시장 아날로그에서 디지털로 전환되면서 급속하게 확산되고 있는 디지털 방식의 각종 기기들은 촬영한 영상, 녹음한 음악, 그리고 각종 데이터를 간편하게 보관할 수 있는 저장매체를 필요로 하게 되었고, 보다 빠른 데이터 입출력을 할 수 있는 저장매체로 광학, 고밀도 마그네틱, 플래시 메모리가 급속하게 발전 중에 있다. 이에 발맞추어 비메모리 반도체에도 고집적화 경향에 따라 시스템 온 칩(System on Chip; 이하, "SoC"라 함) 분야에 관심을 쏟고 있으며, 세계 반도체 업계가 SoC 기반 기술 강화를 위해 투자 경쟁을 벌이고 있다. SoC는 하나의 반도체에 모든 시스템 기술을 집적하는 것으로, 시스템 설계 기술을 확보하지 못하면 이제 비메모리 반도체 개발은 어려워지게 될 것이다. 본 기술은 메모리분야에 적용되어 매우 유용하게 쓰일 것으로 예상된다. * 특징 및 장점 본 기술은 다음과 같은 특징 및 장점이 있다. 첫째, 플래시 메모리를 단일층으로 구성하면서 프로그램과 소거의 메모리 셀 기능을 단 하나의 트랜지스터로만 이용하므로 공정이 단순화된다. 둘째, 상기 워드 라인과 부유 게이트 사이의 고농도 n형 불순물 영역에 별도로 소거 라인을 형성하므로 상기 게이트 산화막의 열화가 분산되는 효과를 얻을 수 있다.
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- 충북대학교
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- 2006-05-22
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물리학 > 기타 물리학
* 구성 및 원리 본 기술은 빔 프로젝트나 비전 검사 장치 또는 노광 장치에 이용되는 광 발생 장치의 광원으로 발산각이 크고 고간섭성 및 균일한 면광을 발생시킬 수 있도록 하는 면광 발생 장치 및 그를 이용한 면광 발생 방법에 관한 것이다. 본 기술의 구성은 다음과 같다. 빔 프로젝트나 비전 검사 장치 또는 노광 장치에 구비되어 피사체에 광을 조사하는 광 발생 장치에 있어서, 간섭 특성이 우수한 광을 발생하는 레이저 광원과, 상기 레이저 광원으로부터 출사되는 레이저 빔의 직경을 확대시켜 출사시키는 빔 확장 렌즈와, 상기 빔 확장 렌즈로부터 출사되는 레이저 빔으로부터 광속을 분리하고 발산각을 크게 하기 위한 대물 렌즈와, 상기 대물 렌즈 표면 또는 레이저 빔의 출사창의 먼지나 이물에 의한 얼룩과 산란을 제거하며 레이저 빔의 회절에 의한 간섭 무늬 경계를 모호하게 하기 위한 핀 홀이 형성된 핀 홀 마운트, 및 상기 핀 홀을 통과한 레이저 빔의 필요 영역만 자르거나 레이저 빔을 유도하기 위한 빔 가이드를 포함하여 이루어진다. * 기술개발 배경 액정프로젝터는 소형 경량화, 고휘도화, 고개구율과 고해상도를 기본 축으로 발전하고 있으며, 이를 위해 광원으로 사용되는 램프가 작은 발광 크기를 갖도록 개선되고 있고, 광원으로부터 발생한 광을 하나의 선편광으로 변환하는 편광 변환계와 고개율을 갖는 액정패널을 채용하여 광효율이 향상되게 하고 있다. 그런데, 이러한 노력에도 불구하고 프로젝터는 여전히 음극선관과 같은 선명한 화상을 제공하지 못하므로 광효율을 더욱 향상시켜야하는 과제를 안고 있다. 본 기술은 이러한 문제를 해결하기 위하여 개발되었다.* 적용제품 및 관련시장 본 기술의 면광 발생 장치 및 그를 이용한 면광 발생 방법은 빔 프로젝트나 비전 검사 장치 또는 노광 장치에 구비되어 피사체에 광을 조사하는 광 발생 장치 분야에 적용될 것이며, 기술적으로 우수하고 독창적이어서 시장에서 매우 유용하게 쓰일 것으로 예상된다. * 특징 및 장점 본 기술은 다음과 같은 특징 및 장점이 있다. 첫째, 간섭 특성이 우수한 헬륨 네온이나 반도체 레이저를 광원으로 용하고, 광원으로부터 출사되는 레이저빔을 빔 확장 렌즈로 확장 시켜 대물 렌즈로 입사시키고 대물 렌즈를 이용하여 레이저 빔으로부터 광속을 분리하고 발산각을 얻으며, 핀 홀을 이용하여 대물 렌즈의 표면 또는 광원 출사창의 먼지나 이물에 의한 얼룩과 산란을 제거하며 빔의 회절에 의한 간섭 무늬 경계를 매끄럽게 한 후 빔 가이드를 이용하여 레이저 빔의 필요한 영역만을 잘라 피사체에 유도시킴으로써, 레이저 빔 불균일에 의한 얼룩 없이 균일하며 간섭성이 뛰어난 면광원을 발생시켜 결함의 크기나 종류에 관계 없이 결함 검출 효율 및 정밀도를 향상시킬 수 있는 이점이 있다. 둘째, 면광원 발생장치와 피사체와의 거리 및 피사체와 스크린과의 거리에 따라 원하는 확대 비율을 획득할 수 있게 됨에 따라, 거리를 멀리하여도 상이 흐려지거나 왜곡되지 않도록 하여 검사 신뢰성을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.
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- 충북대학교
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- 2006-05-22
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물리학 > 기타 물리학
* 구성 및 원리 본 기술은 편광 필름에 대한 투과광 또는 반사광을 통해 편광 필름의 영역별로 확대된 영상을 획득하여 영상을 통해 결함 여부를 검출하고, 그 결과에 따라 편광 필름이 자동으로 분류되도록 하는 편광 필름 검사 장치 및 그를 이용한 검사 방법에 관한 것이다. 본 기술의 구성은 다음과 같다. 이송 수단을 통해 이송되는 편광 필름을 검사 위치에 고정시키는 필름 홀더가 설치되고, 편광 필름에 면광을 조사하는 면광 발생 장치가 설치되고, 면광 발생 장치에 의해 조사된 빛에 의해 편광 필름으로부터 반사되거나 투과되는 영상이 투영되는 스크린이 설치되고, 이 스크린에 투영된 영상을 촬영하여 영상을 검출하는 영상 검출 수단이 설치되고, 영상 검출 수단을 통해 검출된 영상을 표시하는 영상 표시 수단이 설치되고, 편광 필름을 정상품과 불량품으로 분리하는 필름 분리 수단이 설치되고, 이송 수단과 면광 발생 장치와 스크린과 영상 검출 수단과, 영상 표시 수단 및 필름 분리 수단의 구동을 제어하는 구동 제어 수단이 설치되고 구성된다. * 기술개발 배경 작업자의 육안으로 식별하는 검사 방법은 특정 필름에 대해서는 미세한 크기의 이물질 또는 스크래치 등을 발견할 수가 없으므로 인해 검사의 정확성이 떨어지게 되어 검사에 대한 신뢰도가 일정하게 유지되지 못하는 문제점이 있었다. 또한, 반복되는 검사작업으로 인해 작업자의 피로가 누적되고, 이에 의해 검사에 대한 신뢰도가 저하될 뿐만 아니라, 검사 효율 저하로 인하여 검사량이 시장 수요를 충족시키지 못하는 단점이 있었다. 본 기술은 이러한 문제를 해결하고자 개발되었다.* 적용제품 및 관련시장 본 기술의 편광 필름 검사 장치 및 그를 이용한 검사 방법은 편광 필름 분야에 적용될 것이며, 편광 필름을 이용한 제품 및 그 시장 분야에서 매우 유용한 기술로 적용될 것으로 예상된다. * 특징 및 장점 본 기술은 다음과 같은 특징 및 장점이 있다. 첫째, 편광 필름에 간섭성이 뛰어난 면광원을 투과 또는 반사시켜 편광 필름을 영역별로 확대한 영상을 스크린에 유도시키고, 스크린에 유도된 영상을 영역 카메라를 이용하여 촬영하며, 촬영된 영상을 표시하여 작업자가 육안 확인 후 분류 신호를 입력하도록 하거나, 영상 처리 알고리즘을 이용하여 자동으로 편광 필름에 대한 결함 여부 판단하여 분류 신호를 출력 하도록 하여, 분류 신호에 따라 편광 필름을 자동으로 분류하도록 함으로써, 편광 필름에 대한 자동 검사 및 분류가 이루어지도록 한다. 둘째, 편광 필름 검사에 대한 정확도가 향상되어 검사 신뢰성을 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라, 관리자에 의한 결함 여부 판단을 용이하게 할 수 있도록 함으로써 검사 효율을 향상시켜 생산성을 향상시킬 수 있게 되는 이점이 있다.
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물리학 > 기타 물리학
* 구성 및 원리 본 기술은 면광 발생 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 빔 프로젝트나 비전 검사 장치 또는 노광 장치에 이용되는 광 발생 장치의 광원으로 발산각이 크고 고간섭성 및 균일한 면광을 발생시킬 수 있도록 하는 면광 발생 장치에 관한 것이다. 본 기술의 구성은 다음과 같다. 빔 프로젝트나 비전 검사 장치 또는 노광 장치에 구비되어 피사체에 광을 조사하는 광 발생 장치에 있어서, 간섭 특성이 우수한 광을 발생하는 레이저 광원과, 상기 레이저 광원으로부터 출사되는 레이저 빔의 직경을 확대시켜 출사시키는 빔 확장 렌즈와, 상기 빔 확장 렌즈로부터 출사되는 레이저 빔으로부터 광속을 분리하고 발산각을 크게 하기 위한 대물 렌즈와, 상기 대물 렌즈 표면 또는 레이저 빔의 출사창의 먼지나 이물에 의한 얼룩과 산란을 제거하며 레이저 빔의 회절에 의한 간섭 무늬 경계를 모호하게 하기 위한 핀 홀이 형성된 핀 홀 마운트, 및 상기 핀 홀을 통과한 레이저 빔의 필요 영역만 자르거나 레이저 빔을 유도하기 위한 빔 가이드를 포함하여 이루어진다. * 기술개발 배경 광 발생 장치는 입력 포트를 통해 들어오는 미세한 산란광을 검출하는 것으로, 입력 포트를 통해 입사된 광은 그 내부에서 수차례 혹은 수십~수만 번 반사된 후 출력 포트를 통해 방사되는 것으로, 내부에서 반사를 반복하면서 균일한 면광원을 얻게 되는 것이다. 그런데, 이렇게 적분구를 이용하는 경우에는 입사된 광이 내부에서 반사를 반복하면서 반사 경로가 바뀌게 되어 간섭 특성이 흐트러져 결국 간섭성을 저하시키게 되는 문제점이 있었다.. 본 기술은 이러한 문제를 해결하기 위하여 개발되었다.* 적용제품 및 관련시장 본 기술의 면광 발생장치는 빔 프로젝트나 비전 검사 장치 또는 노광 장치에 적용될 것이며, 모니터나 텔레비젼시장에 적용될 것으로 예상된다. 현재 엘시디, 피디피 등 모니터 시장은 급속히 커지고 있으며 본 기술은 시장성이 매우 좋을 것으로 평가된다. * 특징 및 장점 본 기술은 다음과 같은 특징 및 장점이 있다. 첫째, 간섭 특성이 우수한 헬륨 네온이나 반도체 레이저를 광원으로 용하고, 광원으로부터 출사되는 레이저빔을 빔 확장 렌즈로 확장 시켜 대물 렌즈로 입사시키고 대물 렌즈를 이용하여 레이저 빔으로부터 광속을 분리하고 발산각을 얻으며, 핀 홀을 이용하여 대물 렌즈의 표면 또는 광원 출사창의 먼지나 이물에 의한 얼룩과 산란을 제거하며 빔의 회절에 의한 간섭 무늬 경계를 매끄럽게 한 후 빔 가이드를 이용하여 레이저 빔의 필요한 영역만을 잘라 피사체에 유도시킴으로써, 레이저 빔 불균일에 의한 얼룩 없이 균일하며 간섭성이 뛰어난 면광원을 발생시켜 결함의 크기나 종류에 관계없이 결함 검출 효율 및 정밀도를 향상시킬 수 있는 이점이 있다. 둘째, 면광원 발생장치와 피사체와의 거리 및 피사체와 스크린과의 거리에 따라 원하는 확대 비율을 획득할 수 있게 됨에 따라, 거리를 멀리하여도 상이 흐려지거나 왜곡되지 않도록 하여 검사 신뢰성을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.
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- 2006-05-22
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물리학 > 기타 물리학
* 구성 및 원리 본 기술은 바이오칩에 관한 것으로, 보다 상세하게는 바이오칩을 발광소자와 일체형으로 제작함으로써 측정이 간편하고 휴대 가능한 바이오칩을 제공하도록 하는 것이다. 본 기술은 다음과 같은 구성으로 이루어진다. 활성층을 포함하여 구성된 발광소자부와, 이 발광소자부 일면의 상부에 형성된 표면 처리층과, 이 표면 처리층 상부에 소정 형상으로 일정 간격 서로 이격되어 분리 형성되는 복수개의 연결 구조물로서, 바이오 물질과의 연결을 위하여 형성되는 연결층 및 발광체 또는 형광 물질을 구비하고 이 연결층과 접속하는 바이오 물질을 구비하는 바이오 물질층을 구비하는 바이오칩의 센싱 구조물이다. * 기술개발 배경 빛을 여기 광으로 이용한 바이오칩은 제작에서 측정에 이르기까지 많은 단계를 필요로 한다. 제작된 바이오칩은 외부 여기 광을 조사하여 나오는 발광 파장과 세기를 측정함으로써 작동하게 된다. 주로 슬라이드 글라스와 같은 유리 기판을 사용하여 바이오칩을 제작한 후에 스캐너 등을 이용하여 그 반응성과 정도를 관찰하게 된다. 종래 기술에 의한 바이오칩 분석 시스템에서는 광 여기 및 검출을 위한 시스템이 따로 필요하게 되므로, 제작된 바이오칩 만으로는 쉽게 특성을 검출하기 어렵고 고가의 레이저를 이용하여야 하므로 제작비가 과대한 문제점이 있었다. 본 기술은 이러한 문제를 해결하기 위하여 개발되었다.* 적용제품 및 관련시장 본 기술의 바이오칩의 센싱 구조물은 DNA칩, RNA칩, 단백질 칩, 세포칩, 뉴런칩 등으로 적용될 것이며, 유전자 분석 및 정보처리용 신기능 소자 시장에서 매우 유용한 기술로 인정받을 것으로 판단된다. * 특징 및 장점 본 기술은 다음과 같은 특징 및 장점이 있다. 첫째, 종래의 바이오칩 제작 및 검출 방법에 따른 제한점을 해결하고, 발광 다이오드 또는 레이저 다이오드 위에 직접 바이오칩 어레이 및 센서 물질을 형성함으로써, 형광체의 발광 효율을 높이고, 바이오칩/센서의 검출 방식의 단순화를 꾀하게 되므로 단순화된 저가의 바이오칩 제작 및 검출 방법을 제공할 수 있다. 둘째, 본 기술의 광원 일체형 바이오칩/센서는 휴대용 전화기 등의 저전력 전원 만으로도 구동이 가능하게 되므로, 실제 사용가능한 휴대형 바이오칩/센서로서 역할을 할 것이며, 검출 방식 역시 기존의 스캐닝 장치를 이용한 검출 방식 뿐만 아니라, 형광체 색의 변화에 의한 눈에 의한 감지, 일반 현미경 등을 통한 보다 단순한 검출 및 이미징 방법이 가능하게 된다. 셋째, 다양한 기능을 갖는 바이오칩과 센서 분야가 향후 여러가지 의학 및 산업분야에 널리 사용되고 있는 것을 감안할 때, 본 발명이 저비용으로 광원 일체형 휴대용 바이오칩 및 센서 제작 방법을 제공함으로서 산업발전에 크게 기여할 것으로 기대된다.
- 보유기관
- 충북대학교
- 등록일
- 2006-05-22
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일반기술
물리학 > 기타 물리학
본 발명은 화학기상증착방법을 이용하여 박막을 형성할 시에 액상전구체를 사용하기 위한 기화장치 및 기화방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 발생증기압이 낮은 박막 증착용 액상전구체를 다공성 세라믹을 이용하여 효율적으로 기상화함으로써 화학기상증착 반응로에 기체상태로 일정하게 주입시킬 수 있는 기화장치 및 기화방법에 관한 것이다. 본 발명의 기화시스템을 이용하면, 플라즈마 화학기상 증착방법에 의한 저유전 박막을 형성할 때, 녹는 온도와 기화열이 높고 증기압이 낮은 공정액체를 사용할 경우 쉽게 기체로의 상변화와 유량조절이 가능하며, 플라즈마 반응로 내에서 유입된 기체가 모두 활성종으로 해리되고, 플라즈마 변수제어로 박막형성에 대한 공정률과 균일도가 높은 양질의 저유전 박막을 형성할 수 있다. 특히 본 발명의 기화장치에서는 액체가 모두 기체로 상변화되기 때문에, 플라즈마 공정에서 박막형성 제어가 쉽고 경제성이 높아 반도체 공정에서 적용되는 플라즈마 화학기상증착 장비로서 유용하다.액체원료인 액상 전구체를 수용하고 유량을 관측하기 위한 눈금이 표시된 실린더, 상기 실린더에 삽입되어 축방향으로 작동함으로써 상기 액상 전구체를 실린더로부터 배출시키는 피스톤, 상기 피스톤에 연결되어 피스톤을 속도조절 가능하게 구동시킴으로써 액상 전구체의 유량을 제어하는 구동모터, 상기 피스톤과 결합하여 피스톤을 구동모터에 고정시키는 피스톤 홀더, 및 상기 피스톤의 길이방향으로 설치되어 액상 전구체의 유량을 측정 및 미세하게 제어하는 마이크로미터를 포함하는 원료공급부; 및 상기 원료공급부와 원료공급라인을 통하여 연결되는 기화챔버, 상기 기화챔버 내부에 설치되고 다수의 미세관과 헤드로 이루어지며 상기 원료공급라인과 연결되어 공급받은 액상 전구체를 다공성 세라믹판으로 분사하는 미세관 샤워헤드, 상기 기화챔버 내부에 설치되고 상기 미세관 샤워헤드와 연결되며 미세관 샤워헤드로부터 분사된 액상 전구체가 기화되는 상변환이 일어나는 다공성 세라믹판, 및 상기 기화챔버의 둘레에 배치되어 온도조절 가능하게 기화챔버를 가열하는 히터를 포함하는 기화부를 구비하는 박막증착용 액상전구체의 기화장치.
- 보유기관
- 제주대학교
- 등록일
- 2006-05-24
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일반기술
물리학 > 기타 물리학
본 움직임 추정장치는, 입력 영상과 참조 영상간에 소정 크기의 블럭 단위로 움직임을 추정하여, 블럭단위 움직임 벡터를 산출하는 블럭단위 움직임 추정부, 블럭단위 움직임 벡터에 기초한 움직임 보상시의 정확도를 픽셀 단위로 측정하고, 측정된 정확도에 기초하여 블럭내 픽셀들을 소정 개수의 클래스로 분류하는 픽셀분류부, 그리고 클래스별 픽셀들에 기초하여, 클래스별로 각각 움직임 벡터를 산출하는 복수의 움직임 추정부를 포함한다. 본 발명에 따르면, 블럭 단위의 움직임 추정에서 나타날 수 있는 화질 열화를 방지할 수 있다.본 발명에 따르면, 블럭안의 픽셀들을 한개의 움직임 벡터로 보상할 경우 움직임 보상의 정확도를 측정하고, 이에 따라 픽셀들을 다수의 클래스로 분류한 후, 각각의 클래스마다 다른 움직임을 추정하기 때문에 블럭안에 다수의 물체가 서로 다른 움직임을 가지고 움직일 경우에도 정확한 움직임을 추정할 수 있다. 따라서, 이와 같이 산출한 움직임 벡터를 사용하여, 영상 처리 과정을 수행하는 경우 화질의 열화를 방지할 수 있게 된다.
- 보유기관
- 서강대학교
- 등록일
- 2006-10-10
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일반기술
물리학 > 기타 물리학
* 주요 내용상호 소정면적이 접합된 p형 실리콘층 및 n형 ZnO층과; 상기 n형 ZnO층의 상부일부에 일측이 개방된 사각 띠 형상으로 위치하고, Au와 Al이 3:1의 원자비로 혼합된 합금을 열증착하여 형성시키는 제 1전극; 상기 제 1전극의 상부일부 및 그 제1전극의 중앙에 노출된 상기 n형 ZnO층의 상부 동작영역 상에 위치하고, ZnO를 증착하여 형성시키는 광투과 절연층; 상기 p형 실리콘층의 저면 일부에 접하여 위치하고, In을 증착하여 형성시키는 제2전극; 및 상기 제1전극의 측면에 위치하는 n형 ZnO층에 실리콘이온을 주입하여 형성시킨 이온주입층으로 된 절연층 으로 구성된 것을 특징으로 하는 광검출 다이오드.* 고안배경 및 요약본 발명은 광검출 다이오드 및 그 제조방법에 관한 것으로, 특히 광검출 다이오드의 동작영역 이외의 영역에 이온주입을 통한 절연영역을 형성하여, 암누설전류를 감소시키는데 적당하도록 한 광검출 다이오드 및 그 제조방법에 관한 것이다.일반적으로, 광검출 다이오드는 빛이 조사되면 광전류를 발생시키는 수광소자이며, 광섬유전송시스템이나 기타 광검출 시스템에 응용되고 있다.광검출 다이오드는 두 반도체층이 PN접합을 이루고 있으며, 종래 광검출 다이오드는 어레이 형상으로 제작할 때 광검출 다이오드의 사이 영역에 절연구조를 형성하였다.이는 광검출 다이오드를 이루는 두 반도체층의 접합면의 전체가 광검출 다이오드의 동작영역이 아닌 금속전극의 사이영역만이 실질적인 동작영역으로 사용되는 것을 고려하지 않은 것으로, 광검출 다이오드 자체에서 암누설전류의 발생이 많은 문제점을 가지고 있다. 상기 암누설전류는 광이 조사되지 않을 때, 광검출 다이오드의 양극에 인가된 전압에 의해 발생하는 전류이며, 이는 소비전력이 증가하는 원인이 된다.* 과제본 발명은 암누설전류의 발생을 최소화 할 수 있는 광검출 다이오드 및 그 제조방법을 제공함에 그 목적이 있다.상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 광검출 다이오드의 n형 반도체층의 비동작영역에 절연층이 형성된 것에 그 특징이 있다.또한, 본 발명은 상기 절연층을 n형 반도체층의 비동작영역에 실리콘이온을 소정의 조건으로 이온주입 함으로써 형성함에 그 특징이 있다.* 효과본 발명 광검출 다이오드 및 그 제조방법은 광검출 다이오드의 비동작영역에 실리콘이온을 주입하여, 그 n-ZnO층의 비동작영역을 절연층으로 변화시킴으로써, 광검출 다이오드의 암누설전류의 발생을 최소화할 수 있는 효과가 있다.
- 보유기관
- 연세대학교
- 등록일
- 2007-03-19
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일반기술
물리학 > 기타 물리학
본 고안은 타격력 증강용 골프클럽에 관한 것으로서, 좀더 상세히는 드라이버, 아이언, 훼어웨이우드 등의 다양한 골프클럽에 적용하여 골프공 타격시 골프공의 비거리를 증대시키기 위해 골프클립의 헤드 내부에 타격홈을 형성하여 타격관 내부에 타격구를 마련하여 골프클럽의 스윙시 회전하는 회전력에 의해 발생하는 원심력과 관성에 의해 타격관을 타격구로 타격하여 발생하는 타격력을 헤드의 외부에 형성된 타격면으로 전달시켜 타격력을 증대시켜 골프공 타격시 골프공의 비거리를 향상시킬 수 있는 이점이 있는 것이다.즉, 골프공(5)이 타격되는 타격면(3)을 형성한 헤드(2)를 구비한 골프클럽(1)에 있어서,상기 헤드(2)의 타격면(3) 후면에 타격홈(4)을 형성하여 내부에 이동공간부(12)와 일측에 타격판(11)을 형성한 타격관(10)을 삽입시켜 상기 타격홈(4)과 밀착시키고 상기 이동공간부(12)의 내부에 타격구(40)를 마련하고 외향으로 고정구(21)를 형성한 마개(20)를 마련하며, 상기 타격구(40)와 고정구(21)의 사이에 탄성구(30)로 연결하여 이동공간부(12)의 내부에 고정하게 한 것이다골프공(5)이 타격되는 타격면(3)을 형성한 헤드(2)를 구비한 골프클럽(1)에 있어서,상기 헤드(2)의 타격면(3) 후면에 타격홈(4)을 형성하여 내부에 이동공간부(12)와 일측에 타격판(11)을 형성한 타격관(10)을 삽입시켜 상기 타격홈(4)과 밀착시키고 상기 이동공간부(12)의 내부에 타격구(40)를 마련하고 외향으로 고정구(21)를 형성한 마개(20)를 마련하며, 상기 타격구(40)와 고정구(21)의 사이에 탄성구(30)로 연결하여 이동공간부(12)의 내부에 고정하는 것을 특징으로 하는 타격력 증강용 골프클럽.
- 보유기관
- 대구기술이전센터
- 등록일
- 2007-04-25
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