산업기술 통합검색
본 기술은 가스 시료량이 적어 일반적인 가스분석 방법인 가스크로마토그래피나 전용기기 분석 방법을 사용할 수 없을 때 정밀가스 질량분석기를 이용하여 가스량 및 가스의 구성성분을 알아낼 수 있는 방법이다. 고체에서 발생되는 가스, 액체속에 녹아있는 가스, 저진공 가스 등 시료의 양이 mL이하로 있는 경우 진공 하에서 시료를 포집할 수 있는 방법과 포집된 시료를 정량적으로 구성 분압을 측정하는 기술이며 세계적으로 서비스가 되지 않는 유일한 측정방법으로 관련 기업의 활용도가 아주 크다.- 고분자 생산업체 : 고분자에서 발생하는 가스량 측정- 반도체관련 업체 : 독성가스 제거장치 효율 측정, 작업환경 측정에 사용- 대기환경 측정 및 분석기관 : 환경오염물질의 제거장치 측정, 대기오염 직접 측정가능
물체의 분광반사율을 가시광선영역에서 적분구와 array detector를 사용하여 물체 표면에서 확산 반사하는 반사율을 수백 ms의 짧은 시간에 측정할 수 있는 장치를 제작하는 기술이다.이 기술을 이용한 절대반사율 측정장치는 세계 최고수준의 정확도를 갖는다. 분광반사율, 분광복사분포를 초고속으로 측정하므로 색채분석, 분광분석, 온도분석 등이 빠르고 정확하다.- 섬유, 페인트, 인쇄산업에서 색채관리- 각종모니터, TV, 빔프로젝터, LED 대형화면 등과 같은 디스플레이의 색채관리, 분광 복사도, 분포온도 측정- 고온로의 온도 측정
본 기술은 낮은 주파수의 임피던스 측정용 bridge의 ratio arm으로 널리 이용되는 유도성전압 분할기 제작 기술이다. 핵심 기술인 권선 기술과 자기 차폐기술을 적절히 적용함으로서 10 -7order의 정확도로 전압을 분압 시킬 수 있다.- 입출력 전압비 또는 tranformer ratio arm의 비가 권선비에 고 정도로 일치하고, 온습도 및 인가전압의 변동, 기계적 진동 등에 대하여 대단히 안정된 장점이 있다.- 교정기관에서 volt meter, ammeter, resistive divider 등의 교정에 사용- 계측기 생산공장
본기술은 전기용량 표준기와 전기저항 표준기를 조합하여 손실계수를 1.0에서부터 1×10 -4까지 decade 값으로 조합해 낼 수 있는 십진손실계수 표준기 제작기술이다. 정확한 표준기 제작을 위한 핵심기술인 전기용량표준기와 저항 표준기에서 순수 저항성분과 리액턴스성분을 분석하고 분석된 성분을 원하는 값으로 조합하는 기술과 stray capacitance를 처리할수 있는 정전 차폐기술을 해결하였다. 한 대로서 저주파 임피던스 측정기의 손실계수 및 이득계수의 대부분 영역이 교정 가능하다.- LCR meter와 같은 임피던스 측정장비의 교정시 손실계수와 이득계수 교정 에 활용가능- capacitor부품 생산공장에서 손실계수의 표준기로 사용가능. 특히 품질 검사 부서의 기기를 교정하고 확인하는데 사용이 용이함.
저습 영역에서 습도계측을 위해서는 고가의 장비가 필요하다. 본 기술은 1 ng/cm2 의 질량 감도를 갖는 진동자를 이용하여 저습 영역에서 저렴한 비용으로 습도측정이 가능한 저습센서를 설계 제작하는 기술이다. 기존의 광학식 및 박막식 저습센서에 비해 저비용으로 고감도의 습도측정이 가능하며 원거리 상시 모니터용으로도 사용이 가능하다기존의 광학식 및 박막식 저습센서에 비해 저비용으로 고감도의 습도측정이 가능하다. 또한 측정 모듈 자체의 생산단가의 인하로 원거리 상시 모니터용으로의 활용이 가능하다. 목적에 따라 자체 히터, 온도센서의 부착으로 활용도를 높이고 이중센서의 사용으로 필요한 만큼 불확도를 낮출 수도 있다.- 화학공정에서 수분 침투여부를 모니터하는 공정에 활용 가능함.- 정밀 전자부품, 광학부품 조립시 수분 흡탈착 여부를 판별하는 공정에 활용 가능함.
항온항습실 또는 공간 내부의 습도분포를 빠른 시간 내에 측정하는 기술로서 습도 및 온도센서를 이용한 측정 및 제어시스템의 구성, 소프트웨어 제작, 습도 및 온도 측정값으로부터 습도분포값으로 변환, 전체 시스템 교정기술 등이 포함되어 있다.습도분포를 빠른 시간 내에 측정이 가능하므로 항온항습 분위기의 품질파악이 가능하고 습도발생 시스템과 연계하여 국지적인 가습, 건조를 시도할 수 있다. 공정의 효율 제고와 항온항습 유지 문제점 파악이 가능해진다.- 제약회사에서 치료약 제조시 항온항습공정에서 균질한 습도분포 확보로 수율향상- 식품산업에서 긴시간 동안의 숙성 및 발효 공정에서 활용- 특수작물 재배시 필요한 항습분위기 조절
본 기술은 단전류원을 사용한 솔레노이드 내부의 자장균일도 향상방법 및 장치에 관한것으로, 특히 단전류원 다층솔레노이드, 분류저항 등을 사용한 솔레노이드로서 여러개의 솔레노이드가 중첩되고, 각각의 솔레노이드에 인가하는 전류를 차등적으로 분포하는 효과를 얻어 내부의 균일자장 공간을 넓힐 수 있다. 솔레노이드 내부의 자장균일도를 향상시키는 방법으로 여러개의 전류원 및 다층솔레노이드 방법을 사용하여 솔레노이드 위치 및 전류의 크기를 최적화한 다음, 주전류를 여러개의 분류저항을 사용하여 나누어 솔레노이드에 공급한다. 경제적으로는 여러개의 전원공급장치를 연결한 것과 같은 효과를 1개의 전원공급장치를 사용하여 얻을 수 있는 특징이 있다.→저자장 측정기의 교정 표준기로 활용가능→정밀 자장측정기 제조업체, 솔레노이드 밸브 생산업체 등에 활용 가능
본 기술은 자기공명 주파수를 자장변화에 locking 시켜, 되먹임하여 1 A 수준의 자장을 정밀하게 발생시키는 기술이다. 전류원과 직렬로 연결된 표준저항 양단의 전압변화를 되먹임하여 정밀전류를 발생하는 종전의 기술과는 달리 본기술은 전류원과 직렬로 솔레노이드를 연결하고, 그 중심부에 자기공명 센서를 설치하여 정밀전류를 발생시키므로, 시간에 따른 전류 드리프트 및 온도의 영향을 감소시켜, 종전의 기술보다 10 배 이상의 전류안정도를 얻을 수 있다.자기공명 신호를 이용하므로 시간에 따른 전류의 드리프트 및 온도의 영향을 감소시켜, 일반적인 방법보다 10 배 이상의 전류안정도를 얻을 수 있다. - 정밀전류 발생기 및 측정기 생산업체의 표준기로 활용 가능 - 정밀 저항의 온도계수 측정 등에 활용 가능
본 기술은 광펌핑 방법을 사용하여 자기공명을 만들고 공명주파수를 측정하여, 그에 비례하는 자장을 구하는 방법이다. 물리적 고유현상인 자기공명을 이용하므로 홀효과, fluxgate, 자기저항(MR) 등을 이용한 것보다 시간에 따른 드리프트가 거의 없고, 재현성이 우수하기 때문에 절대 및 정밀자장측정용으로 적합하다.광펌핑 마그네토미터의 특징은 상온에서 동작하고, 분해능이 우수하며, 드리프트가 거의 없고, 재현성이 우수하다.-우주항공(위성의 궤도제어, 우주환경 연구), 군사용(잠수함 탐지, 항법 및 방향), 지진 및 지질탐사용 계측기개발에 활용 가능
본 기술은 정밀자장측정기와 자장발생기를 사용하여 지자장(Earth Magnetic Field)의 직류 및 교류성분을 상쇄시키는 장치를 제작하는 기술이다. 지자장의 직류 및 교류성분(10 Hz 이하)을 동시에 상쇄시킬 수 있고, 지자장의 변화를 드리프트 없이 연속적으로 측정할 수 있다. 또한 원하는 방향으로 지자장의 상쇄 및 측정이 가능하다. 분해능은 요구되는 상쇄공간의 크기에 따라 결정된다. 자기공명 신호를 이용할 경우, 지자장의 변화량을 드리프트 없이 상쇄 및 연속 측정이 가능하다. 또한 원하는 방향을 지자장의 상쇄 및 측정이 가능하다.- 칼라 브라운관 생산공장에서 지자장 크기에 따른 품질조사- 선박용 나침판의 품질조사, 선박용품의 안전거리 측정(ISO/R694, BS EN 60945, IEC 945)등에 활용 가능 - 정밀자기센서(군사용, 인공위성 등)의 품질 및 장기 안정도 측정 등에 활용 가능
진공계측기나 질량분석기를 사용하여 진공 공정 중에서 생기는 기체의 양과 성분을 분석하는기술이다. 이 기술을 이용하면 진공장치 내에서 기체양의 변화와 기체조성을 극 미량까지 알 수 있고 온도별 시간별 변화 측정이 가능하여 생산성 향상 및 문제의 원인규명 등이 가능하다. 분석기술 중 감도가 가장 좋으며, 질량분석기 사용 시 모든 기체 조성 분석이 가능하고, 분석장치 제작비용이 저렴하고 간단하다.-모니터, 디스플레이,의약품 생산등과 같이 진공배기공정을 이용하는 산업체 공정분석-진공용 부품 및 재료의 특성평가(진공용기, CVD등)-초순수재료, 극고진공재료, 반도체 재료분석, 극미량분석-진공중에서 가열하는 공정(모니터, 랩프등)
본기술은 공작기계나 길이측정기에서 이동길이를 측정하는데 주로 사용되는 리니어스케일의 정밀정확도를 레이저간섭계로 측정하는기술이다. 레이저간섭계와 공기베어링을 사용한 정밀스테이지로 시스템이 구성되어 있기 때문에 정확한 측정이 가능하고 생산품의 품질관리가 가능하다. -기술의 장점 : 레이저간섭계와 공기베어링을 사용한 정밀스테이지로 시스 템이 구성되어 있기 때문에 정확한 측정이 가능하고 생산품의 품질관리가 가능하다. -사업성 : 본 기술은 리니어스케일 생산회사에서 필요한 기술이기 때문에 수요량은 극히 제한되어 있으며, 리니어스케일 생산회사의 제품 품질 향상 에 사용된다.
본 기술은 다이아프램이나 벨로우즈,부루돈관등 기계적 압력전달장치가 없이 금속 자체의 압 저항변화를 이용한 센서를 제작하는 기술이며 특히 고압(1000기압이상 만기압까지)영역에서 매우 효과적이다. 유체의 종류에 관계없이 측정이 가능하며 기계적 운동장치가 없는관계로 수명이 길고 소형화가 가능하다.다이아프램등 운동전달기구가 없어 히스테리시스가 작고 수명이 길다. 측정범위는 1만기압이라 하지만 실제로는 그이상도 가능함.디지털기술의 발달로 게이지의 소형제작이 가능함.
본 기술은 펨토초 레이저 분광기술을 이용하여 초고속 광통신용 광전소자의 광응답특성, 광스위치소자의 스위칭특성 등을 비접촉으로 정밀 측정, 평가하는 기술이다. 또한 반도체소자의 광응답특성 등을 체계적으로 측정, 분석할 수 있으며, T Hz 영역의 새로운 주파수 대역에 대한 광특성을 측정할 수 있다. 광전소자의 특성평가 및 특성변화 원인규명을 통한 제품의 신뢰성 확립 및 고성능화에 기여할 것이다.- 화합물반도체로 이루어진 광스위치소자의 스위칭시간 측정- 초고속 광전소자의 광응답특성 측정 및 평가- T Hz 영역에 대한 투과 및 흡수특성 측정 및 평가
본 기술은 CFx 플라즈마로 SiO2 기판을 식각 할 때 반응 부산물인 CO 와 반응 염기인 CF2 의 발광스펙트럼 선들의 세기의 변화를 측정하여 SiO2 기판의 식각 완료시점을 측정하는 기술이다. 식각 완료시점(Endpoint)이란 반도체 기판위에 증착된 물질중에서 식각하려고 하는 물질이 완전히 식각이 되는 시각이다. 비접촉식이므로 플라즈마의 특성에 영향을 주지 않으며, 단색화장치(monochromatar)를 사용하지 않고 간섭필터를 사용하여 장치가 간편한 장점이 있다. - 플라즈마의 발광분광선을 이용하므로 비접촉식기술임- 단색화장치를 사용하지 않고 간섭필터를 사용한 간편한 장치임.- 식각완료시점 전 후에서 발광분광선의 세기가 반대인 두 신호세기의 신호비를 사용하므로 신호대 잡음비(S/N)가 높은 신호를 얻을 수 있는 장치임.
본 기술은 레이저 산란광의 간섭을 이용하여 재료나 구조물 미소부위의 변형을 연속적으로 측정하는 기술이다. 본 기술의 구성은 laser를 시편에 조사하는 광학부, 산란광을 확대 관측하는 비디오부, 그리고 관측된 상을 연속적으로 해석하고 계산하는 전산시스템으로 구성되어있다. 접촉식으로 측정이 불가능한 미소 부위의 변형을 연속적으로 측정할 수 있다.- 미소한 재료의 변형을 시스템의 영향 없이 측정할 수 있다..- 반도체 공정처럼 미소한 부위의 공정중에 생기는 변형의 양을 관찰할 수 있다. 특히 특정부위의 응력 집중을 관찰하여 공정의 조절 및 개선에 이용 가능하다.- 미소한 회전을 측정할 수 있다.
힘평형 서보 가속도계는 DC부터 수백Hz의 저주파진동을 고정밀로 측정할 수 있는 진동센서로서 closed-loop feedback 측정시스템이므로 여타 진동변환기에 비해 정밀도, 안정도, 재현성 등이 우수하다. 대형구조물의 안전성진단을 위한 동적 거동 모니터링시스템 개발이나 정밀저주파 진동제어가 필요한 반도체 제조설비나 정밀 기계의 제어등에 필수적이다. closed-loop feedback 시스템으로 정밀도,안정도,재현성이 우수하다.- 국가기간시설물의 안전성 평가를 위한 저주파 진동측정 : 교량등 대형 국가기간시설물의 동적 거동 파악을 통하여 안전성 진단 및 내구성 평가가 가능하며, 국가기간시설물 유지·관리의 신뢰성을 제고할 수 있음.- 반도체 및 정밀 기계가공 : 저주파 진동 제어를 통해 가공정밀도 향상하는데 활용할 수 있음.- 초정밀 측정 : 저주파 진동 제어를 통해 전자현미경 등 초정밀 측정장비의 측정정밀도를 보장할 수 있음.
크로스커패시터 원리를 이용하여 액체 유전상수를 정밀하게 측정하는 기술이다. 석영 시험관의 외부 벽면에 4개의 크로스커패시터 전극을 형성하였으므로 전극의 분해, 세척, 재조립 과정이 필요 없고, 시험관의 특성은 한번만 교정해 놓으면 영구적으로 상수로 취급되므로 여러 개의 시험관을 동시에 설치 가능하다. 액체 유전상수를 ±0.02~0.05이하의 불확도로 신속하게 측정할 수 있다. 소량의 액체만으로 유전상수 측정 가능. 전극과 액체와의 화학반응 문제점 완전해결, 측정 전후에 전극부위 세척에 의한 측정오차 제거, 여러 액체의 유전상수를 동시 측정 가능, 온도에 의한 영향이 거의 없음.- 제약회사, 정유회사등에서 액체조성의 균일성 측정- 생산현장 등에서 액체유전상수의 on line측정- 액체 유전상수 측정용 계측기 제작(데스크 탚 또는 휴대용)
본 기술은 온도계수(0.01 ppm/K)와 손실계수(10-7이하)특성이 탁월한 소재를 이용하여 고도의 안정도를 갖는 새로운 전기용량 표준기를 제작하는 기술이다. 이 기술에 의해 제작된 전기용량 표준기는 국제적으로 정밀 정확도를 인정받고 있다.- 고 정밀 전기용량 표준기 개발- 전기용량 관련 계측기 생산업체의 전기용량 표준기 개발
좋은 특성의 계단식 전기용량 표준기를 제작하기 위해서는 각각의 전기용량 표준기의 특성이 좋아야 하고 이들을 조합할 때 나타나는 stray capacitance를 적절히 처리할 수 있는 기술이 중요하다. 본 기술에서는 최적의 정전차폐 기술을 적용함으로서 terminal 방법에 큰 영향없이 안정된 전기용량 값을 얻을 수 있고, 한대의 계단식 전기용량표준기로서 넓은 범위의 표준기로서 사용할 수가 있다.- 임피던스 분야에서 교정검사를 할 때 전기용량표준기로서 사용가능.- LCR meter의 교정시 전기용량 부분의 linearity check에 사용.- decade resistor와 병렬연결 함으로서 D(dissipation factor)값 조합시에 사용.- 임피던스 측정용 브리지 제작시에 임피던스 평형조절용 기기로 사용.- 전자부품을 생산하는 공장에서의 표준기로 사용가능.