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해당 기술은 호스트와 도펀트가 혼합된 단일 타겟을 사용함으로써 단일 증발원의 사용이 가능하고, 이에 따라 간단한 구성과 장치 사이즈이 소형화가 가능하게 하고, 나아가 1:1000 이하의 도핑률과 대면적을 갖는 도핑박막의 제조를 가능하게 하는 단일 타겟을 이용한 도핑박막 제조방법에 관한 것이다.단일 타겟을 이용한 도핑박막 제조방법은 두 종류 이상의 호스트와 도펀트를 소정의 도핑률에 의해 균일하게 배합하여 얻어진 단일 타겟을 이용하여 도핑박막을 증착시키되, 상기 소정의 도핑률은 상기 호스트와 상기 도펀트만으로 이루어진 개별 타겟에 대한 목표 증착조건에 있어서의 호스트 증착률과 도펀트 증착률 및 사기 도핑박막의 목표 도핑률에 의거하여 결정된다. 상기 소정의 도핑률은 간단한 수식에 의하여 정해질 수 있다. 나아가 상기 목표 증착조건은 진공증착인 경우에 온도값으로 정해지고, 레이저 증착인 경우에는 레이저빔 플루언스로 정해질 수 있다. 그리고 상기 도핑박막 증착 과정에서 질소나 아르곤을 주변가스로 사용하는 것이 바람직하다.
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- 2009-01-28
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해당 기술은 유기발광 디바이스 및 그 제조방법에 관한 것으로, 고분자 물질인 PTFE를 차단벽 및 패시베이션 박막으로 사용한 유기발광 디바이스 및 그 제조방법에 관한 것이다. 특히 산소 및 습기에 민감한 유기발광 디바이스는 수명연장을 위하여 보호막이 필수적으로 구비되어야 하는바, 고분자 물질 중 내수성이 강한 PTFE를 박막으로 사용하여 유기발광 디바이스 내부로 유입될 수 있는 산소 및 습기를 효율적으로 차단함으로써, 유기발광 디바이스의 수명을 연장시킬 수 있다. 해당 기술은 산소 및 습기가 유기발광 디바이스에 유입되어 디바이스의 수명이 단축되는 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서 유기발과 디바이스를 캡슐화하기 위해 사용되는 박막의 재질로 고분자 물질 중 수분 차단율이 가장 우수한 PTFE를 사용하여 디바이스 내부로 유입되는 산소와 습기를 효과적으로 차단하며 접착제 및 흡습제가 필요없고 상온에서 제조가 가능한 유기발광 디바이스 및 그 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
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해당 기술은 광 도파로에 관한 것으로, 특히 휘도가 균일토록 보정하는 확산판 없이도 효율적인 빛 투과와 균일한 밝기를 얻도록 한 광 도파로에 관한 것이다. 또한, 해당 기술은 일 측면에 놓인 광원으로부터 입사되는 빛을 분산시켜 상면으로 투과시키는 광 도파로에 있어서, 상기 상면에는 임의의 폭을 갖는 패턴이 연이어서 형성되되, 상기 패턴은 상기 상면에서 소정의 높이로 돌출된 형상이며, 상기 광원에서 멀어질수록 그 높이가 변화되는 것을 특징으로 하는 광 도파로를 제공한다. 해당 기술은 LCD 백라이트에서 휘도 균일성을 유지하기 위하여 확산판 등을 사용하는데 이는 빛의 효율의 손실 요인으로 작용되는 문제점이 있다. 해당 기술은 이런 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로 빛이 투과되는 평면에 동심원 구조로 가시광선의 파장 정도 크기의 회절격자를 갖는 블레이드 또는 이 모양이 변형된 패턴을 형성하고, 이 패턴의 폭 또는 높이가 광원과으 거리에 따라 변화시킴으로써 확산판 없이도 투과되는 빛이 그 전면에 걸쳐 균일한 밝기를 갖도록 한 광 도파로를 제공하는데 그 목적이 있다.
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3극관 전계방출소자 및 그 제조방법에 관한 것으로, 탄소나노튜브가 수직 성장된 수십 나노미터 크기의 각 미세공마다 게이트전극을 구비시켜 저전압 구동이 가능하면서 높은 발광효율을 보이는 3극관 전계방출소자 및 그 제조방법에 관한 것이다. 특히, 탄소나노튜브가 성장된 미세공마다 게이트전극을 구비시켜 게이트전극과 전자방출원의 거리를 수 나노미터 이내로 줄임으로서, 한 개의 화소에서 기존의 방식보다 수십 내지 수백 배 더 많은 수의 에미터를 얻을 수 있으며, 이로 인하여 지속적이고 안정적인 전자방출 특성을 보일 수 있다. 또한 게이트전극과 전자방출원의 거리를 수 나노미터 이내로 줄임으로서 낮은 전계에서도 높은 전자방출효과를 보인다. 탄소나노튜브가 성장된 미세공마다 게이트전극을 만들어주어 게이트전극과 전자방출원의 거리를 수 나노미터 이내로 줄임으로써 한 개의 화소에서 기존의 방식보다 수십 내지 수 백배 더 많은 에미터를 제작할 수 있으며 지속적이고 안정적인 전자방출 특성을 보이고 낮은 전계에서도 높은 전계방출효과를 보이므로 베터리를 이용한 전자제품에 응용이 가능하다. 또한 알루미나 구조체를 이용한 3극관 구조의 전계방출소자를 제작함에 있어서 양극산화법을 이용하기 때문에 기존의 포토리소그래피법을 이용하는 것보다 공정단계를 현저하게 줄일 수 있어 제조단가를 낮출 수 있다.
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- 2009-01-28
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스핀트형 3그관 전계방출소자 제조방법에 관한 것으로 알루미나 구조체 및 미세공의 높이와 크기를 조절하여 미세공 내부에 금속 팁을 스퍼터링으로 형성시킬 수 있는 3극관 제조 방법에 관한 것이다. 하판에 캐소드 전극과 알루미늄을 증착하고 양극산화 공정을 수행하여 상기 알루미늄을 소정크기의 미세공과 알루미나 구조체로 형성시킴으로써 전해도금 공정에 비해 공정 단계를 현저히 줄일 수 있고, 한 개의 전자방출원의 크기를 수십 나노미터부터 수백나노미터까지 자유로이 조절할 수 있다. 미세공마다 게이트 전극을 구비시켜 낮은 동작전압과 높은 전계방출특성을 얻을 수 있으며 항상 일정한 크기의 전계방출소자의 제조가 가능하다. 스핀트형 3극관 전계방출소자 제조방법에 따르면 하판에 캐소드 전극과 알루미늄을 증착하고 양극산화 공정과 인산처리공정을 수행하여 상기 알루미늄을 소정크기의 미세공과 알루미나 구조체로 형성시킴으로써 전금도금 공정을 이용하여 형성시키는 방법에 비해 공정 단계를 현저히 줄일 수 있고, 한 개의 전자 방출원의 크기를 수십 나노미터부터 수백 나노미터까지 자유로이 조절할 수 있으며 비교적 간단히 원하는 크기의 전계방출소자를 제조할 수 있다. 또한 미세공마다 게이트 전극을 구비시켜 낮은 동작전압과 높은 전계방출 특성을 얻을 수 있으며 항상 일정한 크기의 전계방출소자의 제조가 가능하다.
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- 2009-01-28
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해당 기술은 양면 발광이 가능한 스핀트형 3극관 전계방출소자 및 그 제조방법에 대한 것으로 기판의 양면 즉, 상면 및 하면 모두에 금속팁을 형성시킴으로써 양면 발광이 가능하도록 하며, 특히 알루미나 구조체 및 희생층을 양면에 동일하게 형성시킬 수 있도록 한 양면 발광이 가능한 스핀트형 3극관 전계방출소자 및 그 제조방법에 대한 것이다. 양면 발광이 가능한 스핀트형 3극관 전계방출소자 및 그 제조방법에 따르면 양면 발광이 필요한 장치에서 단면 발광이 가능한 스핀트형 3극관 전계방출소자를 2개이상 사용하는 것보다 두께가 얇아지고 비용도 절감되는 특징이 있다.
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- 2009-01-28
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해당 기술은 유기 EL 소자의 진공 증착공정 진행시 유리기판의 편평도를 지속적으로 측정하여 유리기판의 처짐, 휨 현상을 실시간으로 파악할 수 있는 유기 EL 소자의 유리기판 편평도 측정장치 및 방법에 관한 것으로서, 해당 기술에 따른 유기 EL 소자의 유리기판 편평도 측정장치는 고정판에 의해 일면이 고정, 지지되는 유리기판과, 상기 유리기판의 양 측면의 대향되는 위치에 각각 구비되는 레이저 발광부 및 레이저 수광부와, 상기 레이저 발광부 및 레이저 수광부와 통신연결관계를 맺으며, 상기 레이저 발광부로부터 조사된 레이저가 유리기판을 거쳐 상기 레이저 수광부에 수광되는 시간을 측정하는 측정 제어부를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.- 유리기판의 측면에 레이저 발광부 및 레이저 수광부를 구비시키고 레이저의 유리기판 투과시간을 측정하여 해당 유리기판의 불량 여부를 판단함으로써, 공정 진행 중인 유리기판의 불량 여부를 실시간으로 파악할 수 있음.- 빛이 도파로를 투과할 때 도파 경로에 따라 투과시간이 서로 다르게 되는 기술적 원리를 이용함. 즉, 레이저가 유리기판을 투과하는 시간을 측정하여 해당 유리기판의 처짐, 휨 현상을 체크함.
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- 2009-01-28
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해당 기술은 진공 열 증착(Vacuum Thermal Evaporation) 방법으로 OLED(Organic Electroluminescence Display) 등의 박막(Thin Film)을 제작하기 위하여 증착물질을 가열하기 위한 가열장치에 관한 것으로서, 특히 대면적 OLED의 박막을 제작하는 경우에 대면적 전체 박막의 균일성을 향상시킬수 있는, 원형 또는 사각형 모양의 면적형 증착물질 가열장치에 관한 것이다. 해당 기술은 진공 열 증착에 의한 대면적 유기박막 제작에 있어서, 기존 선형 증발원의 결점이었던 이송장치 사용을 해소한 것으로, 기판 또는 증발원의 이송 없이 대면적의 기판에 균일한 두께의 박막을 제작할 수 있어, 증착 장치의 효율성을 높일 수 있고, 기판 또는 증발원의 이동 시 발생할 수 있는 입자의 발생이나 불량률을 최소화할 수 있다.
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- 2009-01-28
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해당 기술은 진공 열 증착(Vacuum Thermal Evaporation) 방법으로 OLED(Organic Electroluminescence Display) 등의 박막(Thin Film)을 제작하기 위하여 증착물질을 가열하기 위한 가열장치에 관한 것으로서, 특히 대면적 OLED의 박막을 제작하는 경우에 대면적 전체 박막의 균일성을 향상시킬수 있는, 원형 또는 사각형 모양의 면적형 증착물질 가열장치에 관한 것이다. 해당 기술은 진공 열 증착에 의한 대면적 유기박막 제작에 있어서, 기존 선형 증발원의 결점이었던 이송장치 사용을 해소한 것으로, 기판 또는 증발원의 이송 없이 대면적의 기판에 균일한 두께의 박막을 제작할 수 있어, 증착 장치의 효율성을 높일 수 있고, 기판 또는 증발원의 이동 시 발생할 수 있는 입자의 발생이나 불량률을 최소화할 수 있다.
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- 2009-01-28
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해당 기술은 유기 EL용 새도우 마스크의 스트레칭시 유효영역이 균일하게 인장되도록 함과 함께 유기 EL용 새도우 마스크의 처짐 현상을 개선할 수 있는 유기 EL용 새도우 마스크에 관한 것으로서, 해당 기술에 따른 유기 EL용 새도우 마스크는 유효영역과 비유효영역이 정의된 유기 EL용 새도우 마스크에 있어서, 상기 유효영역의 둘레를 따라 장력 완충부가 구비되며, 상기 장력 완충부는 상기 유효영역과 비유효영역의 수평면 기준으로 상부로 돌출된 부분과 하부로 돌출된 부분으로 구성되는 것을 특징으로 한다. 해당 기술에 따른 유기 EL용 새도우 마스크는 다음과 같은 효과가 있다. 유효영역과 비유효영역이 정의된 유기 EL용 새도우 마스크에 있어서, 상기 유효영역의 둘레를 따라 장력 완충부가 구비됨에 따라 비유효영역에 인가된 인장력이 상기 유효영역에 균일하게 인가될 수 있게 된다. 이에 따라, 마스크 패턴의 변형 없이 유기 EL용 새도우 마스크의 처짐 현상을 방지할 수 있다. 또한, 상기 장력 완충부가 구비됨에 따라 유기 EL용 새도우 마스크의 자체 강성을 향상시킬 수 있게 되어 처짐 현상을 개선할 수 있게 된다.
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- 2009-01-28
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기준 영상과 검사 영상을 각각 취득하고, 기준 영상과 검사 영상에 대해 문자 단위에 상관도를 구한 후, 상관도 값과 기설정 된 제1 임계값을 비교한다. 다음으로 상관도 값이 제1 임계값보다 큰 경우, 상기 해당 문자를 일정한 개수의 영역으로 분할하고, 분할한 영역별로 기준 영상과 검사 영상의 상관도를 구한 후, 상관도의 최대값 및 최소값의 차이와 기설정 된 제2 임계값을 비교한다. 여기서, 상관도의 최대값 및 최소값의 차이가 제2 임계값보다 큰 경우 검사 영상을 불량으로 판단하고, 상관도의 최대값 및 최소값의 차이가 제2 임계값보다 작은 경우, 검사 영상을 정상으로 판단함으로써, 불량정도가 작은 마크라 할지라도 그 불량 여부를 정밀히 판단해 낼 수 있는 마크 분할 검사 방법이 개시된다.마크의 불량 여부를 판정하기 위한 기준이 되는 기준 영상을 취득하는 단계와, 마크의 불량 여부를 판정할 검사 영상을 취득하는 단계와, 상기 기준영상과 검사 영상에 대해 문자 단위의 상관도를 구한 후, 상기 상관도 값과 기설정 된 제1 임계값을 비교하는 단계와, 상기 상관도 값이 제1 임계값보다 큰 경우, 상기 해당 문자를 일정한 개수의 영역으로 분할하는 단계와, 상기 분할한 영역별로기준 영상과 검사 영상의 상관도를 구한 후, 상관도의 최대값 및 최소값의 차이와 기설정 된 제2 임계값을 비교하여 검사 영상의 불량 여부를 판정하는 단계를 포함하여 이루어진다.
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- 2009-01-28
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검사 대상인 평판의 이미지를 입력받는 단계와 이미지에 최소 자승법을 사용하는 첫 단계로 배경 정규화를 수행하여 중간 이미지를 생성하는 단계, 상기 중간 이미지의 휘도값을 기준값에 대해서 이산화시킨 후, 소정 휘도값 이하의 부분은 상기 소정 휘도값보다 낮은 값으로 조정하여 중간 이미지를 생성하는 단계, 상기 중간 이미지에 메디안 필터를 사용하여 잡음(noise)이 제거된 새로운 중간 이미지를 생성하는 단계, 상기 중간 이미지에 배경 정규화를 수행하여 중간 이미지를 생성하는 단계와 중간 이미지에 오프닝 필터링과 클로징 필터링을 수행하여 최종 이미지를 생성하는 단계를 포함한다.특정 각도와 특정 조명하에 디스플레이 장치용 평판을 배치하고, 검사원이 평판을 직접 육안으로 검사하여야 하는 팽이 무라 검사를 이미지 처리 과정을 거쳐서 평판의 전체 또는 부분 이미지에 팽이 무라가 보이도록 함으로써 검사원의 숙련도와 상관없이 검사할 수 있게 되므로, 평판의 팽이 무라 검사 속도를 증대시키고, 검사 오류를 현저히 저감시킬 수 있다.
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- 2009-01-28
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편광필름부착공정을 거친 엘시디패널에 부착된 편광필름의 위치정렬상태, 컬러필터글라스기관의 커팅상태 및 박막 트랜지스터 글라스기판의 상태에 대한 결함여부를 일괄적으로 검사할 수 있는 장치에 관한 것이다. 해당 기술에 따른 엘시디패널의 외관 검사 장치는 편광필름부착공정을 거친 엘시디패널을 이송시키는 이송부가 있다. 엘시디패널의 데이터부 촬영부, 엘시디패널의 게이트 촬영부가 있으며 상기 촬영부들에서 촬영된 영상을 수신 받아 엘시디패널의 외관에 대한 결함여부를 판별하는 제어부 및 상기 촬영부에서 촬영된 영상 및 제어부에서 판별된 엘시디패널의 외관에 대한 결함여부를 출력하는 모니터를 포함한다.라인스캔 카메라를 사용함으로써 엘시디패널의 이동 상태에서도 외관검사를 실시 할 수 있으며, 검사항목인 엘시디패널에 부착된 편광필름의 위치정렬상태검사와 글라스기판의 상태검사를 일괄적으로 검사할 수 있다. 이로 인해 엘시디패널의 외관검사에 대한 비용을 줄일 수 있으며 검사시간을 단축할 수 있다. 또한, 라인스캔 카메라를 사용하여 다양한 크기의 엘시디패널을 검사할 수 있고, 반사광 및 투과광을 이용하여 엘시디패널의 결함에 대한 검출성능이 뛰어나다는 이점이 있다.
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- 2009-01-28
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반도체 패키지의 외관 검사를 위한 광학 시스템에 관한 것으로 측사 사각 조명을 통해 VFLGA 패키지의 외관 검사 항목 중 Dimension(Width, Height), Diameter, Offset, Chamber Width, X-Mark 유무에 필요한 정보를 얻을 수 있고, 동축 조명을 통해 Align(dX, dY, dRx, dRy) 검사에 필요한 정보를 얻을 수 있으므로, VFLGA 패키지에 검사를 성공적으로 수행할 수 있다.카메라의 광축과 일치하는 광 경로로 피 검사체에 광을 조사하는 동축 조명 광원과, 피 검사체의 측면에서 일정 각도를 가지고 광을 조사하는 측사 사각 조명 광원과, 동축 조명 광원에서 출사하는 광을 피 검사체로 반사하는 빔 스플리터와, 동축 조명 광원 및 측사 사각 조명 광원에서 출사되고 피 검사체에서 반사된 광을 카메라에 집광시키는 광학 렌즈를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
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- 2009-01-28
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시편에 라인광을 조사하여 반사되거나 통과한 라인광이 진입하여 분광되는 분광 카메라를 이용한 광학 작업에서 공간 보정과 주파수 보정을 수행하는 방법으로서, 검정 띠와 백색 띠가 제공되는 보정용 기본 기준체를 제공하는 단계, 보정용 기준체에 적색, 녹색, 청색을 포함하는 적녹청(RGB)보정용 부가 기준체를 제공하는 단계, 보정용 부가 기기 검정 띠로 인해 표시되는 검정라인이 균일하고 최소의 폭으로 표시되도록 분광 카메라의 방위를 조정하는 단계로써, 사기 분광된 영상에서 적색, 녹색, 청색의 분광 영상이 균일하게 표시되는지를 판단하고 각각의 분광 영상이 균일하게 표시되도록 제어하는 단계를 포함한다.기존에 분광 카메라를 이용한 광학 작업에 공간 보정만 수행하던 것에 비해, 주파수 보정도 수행할 수 있게 됨으로써, 더욱더 정확한 분광성능을 보장하게 된다. 더욱이, 주파수 보정을 위해 제공되는 보정용 부가 표적에의 영역을 동일한 치수를 가지는 영역으로 나눔으로써, 분광 영상으로부터 각 색깔별로 분광이 제대로 되었는지 여부를 판단하는 데 있어서 유리한 효과가 제공된다.
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- 2009-01-28
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디스플레이 장치용 대형 유리판의 검사를 위한 조명장치는, 유리판을 향해 빛을 조사하며 인접하는 광원끼리 서로 겹치는 영역을 가지도록 배치되어 있는 복수 개의 광원과, 인접하는 광원 사이에 배치되어 광원의 양 단부측 조도를 조절하는 단부 조도 조절 부재를 포함한다.이와 같은 조명 장치에 의하면, 단부 조도 조절 부재가 광원의 단부 조도를 조절함으로써 기존에 광원의 단부의 겹치는 정도를 수동으로 광원을 이동시켜서 조절하는 것에 비해서 훨씬 손쉽게 단부쪽 조도를 조정할 수 있게 되는 장점이 제공된다.디스플레이 장치용 대형 유리판의 검사를 위한 조명장치는 유리판을 향해 빛을 조사하며 인접하는 광원끼리 서로 겹치는 영역을 가지도록 배치되어 있는 복수 개의 광원과 인접하는 광원 사이에 배치되어 광원의 양단부측 조도를 조절하는 단부 조도 조절 부재를 포함한다. 이와 같은 조명장치에 의하면, 단부 조도 조절 부재가 광원의 단부 조도를 조절함으로써 기존 수동으로 광원의 단부가 겹치는 부분의 영역을 조절하는 방식에 비해 훨씬 손쉽게 단부쪽 조도를 조정할 수 있게 되는 장점이 제공된다. 그리고 광원을 비스듬히 배치시켜 중첩시킴으로써 조도를 기존 기술에 비해 보다 균일하게 조정할 수 있는 효과도 제공한다.
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- 2009-01-28
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해당 기술은 전도성 고분자를 이용한 전기영동 매체 및 이를 이용한 디스플레이에 관한 것이다. 보다 구체적으로 해당 기술의 전기영동 매체는 현탁유체에 부유되어 있는 복수의 파티클을 구비하는 전기영동 매체에 있어서, 파티클이 전도성 고분자 또는 전도성 고분자 및 염료이다. 현탁 유체에 0.25 내지 2.5중량%의 전도성 고분자 또는 전도성 고분자 및 0.05 내지 0.6 중량%의 염료가 마이크로캡슐로 분산된 것으로 매체에 전계를 인가하면 전도성 고분자가 전기 이동함으로써 기존보다 화상 안정도를 증가시킬 수 있는 개선된 전기영동 매체 및 이를 이용한 디스플레이를 제공할 수 있다. 현탁유체에 전도성 고분자 및 염료가 분산된 해당 기술의 전기영동 매체는 매체에 전계를 인가하면 전도성 고분자로 인하여 전기 이동성이 향상됨으로써, 디스플레이의 스위칭 시간의 초과적인 증가없이 화상 안정도를 증가시킬 수 있는 개선된 전기영동 매체를 제공하였다.
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- 등록일
- 2009-01-28
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스타이렌-말레익 안하이드라이드와 몰비율 1:1로 중합된 공중합 고분자 120G와 100% 가성소다(SODIUM HYDROXIDE) 30G을 물 2700G에 녹인 후 90℃에서 3시간 교반하여 스타이렌-말레익 안하이드라이드 공중합물의 가수분해를 실시하며, 젤라틴과 스타이렌-말레익 안하이드라이드 공중합물(SMA: Styrene-Maleic Anhydride Copolymer)을 이용하여 복합 코아세르베이션 방식으로 마이크로캡슐을 제조한다.스타이렌-말레익 안하이드라이드 공중합물은 그 특성에 따라 여러가지 분야에 사용되고 있다. 해당 기술에 의하여 제조된 마이크로캡슐에 젤라틴의 분자량을 변화시켜 캡슐의 형태, 안정성 및 크기를 조정하여 침전 특성을 향상시키는 효과가 있다. 또한, 마이크로캡슐과 마이크로 캡슐이 분산된 절연유체로 이루어져 해당 기술에 의하여 제조된 마이크로캡슐 내에는 균일한 크기로 구형의 전기 영도 나노 입자가 포함되는 효과가 있다. 마지막으로, 해당 기술에 의하여 주사(走査) 전자 현미경(SEM:Scanning Electron Microscope)의 사진을 통하여 수율(收率:기대했던 예상량과 실제로 얻은 양과의 비율) 및 캡슐의 형태가 최적의 상태임을 확인할 수 있다.
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- (재)충남테크노파크
- 등록일
- 2009-01-28
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해당 기술은 초미세 반도체소자를 제조하기 위하여 실리콘벌크를 에칭하는 장치에 관한 것으로, 에칭 액을 수용하여 반도체벌크를 에칭하는 에칭 조가 전열판위에 얹혀져 지지되고, 전열판은 내부에 유도코일을 구비하여 외부전원을 공급받아서 유도전류로써 발열하여 에칭 조에 전열함으로써 에칭 액을 가열하며, 에칭 조에는 외부전원에 의해 초음파를 발생시켜 에칭 조 내부의 에칭 액을 진동시킴으로써 교반하는 초음파발생기가 구비된다. 따라서 초음파발생기에서 제공되는 초음파에 의해 에칭 액이 교반됨으로써 에칭 액의 농도가 에칭 조안에서 위치와 관계없이 균일하게 유지되어 에칭품질을 일정하게 유지하게 된다. TMAH 등의 에칭 액을 수용하여 반도체벌크를 에칭하는 에칭 조를 얹어 지지하며, 외부전원을 공급받아서 유도전류로써 발열하여 에칭 조에 전열함으로써 에칭 조의 에칭 액을 가열하는 전열판 에칭 조의 내벽에 설치되고, 외부전원에 의해 초음파를 발생시켜 에칭 조 내부의 TMAH 등의 에칭 액을 진동시킴으로써 교반하는 초음파발생기 에칭 조의 에칭 액 온도를 감지하는 에칭 액온도 감지센서 에칭 액온도 감지센서로부터 검출된 에칭 액 온도가 설정온도 이하인 경우에는 전열판에 전원을 공급하여 발열시키고, 설정온도 이상인 경우에는 전열판에 공급되는 전원을 차단하며, 초음파발생기에 공급되는 전류를 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체벌크 에칭장치이다.
- 보유기관
- (재)충남테크노파크
- 등록일
- 2009-01-28
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전기·전자 > 기타 반도체
□ 목적 MUP-6m 유닛은 3상 브릿지 회로에 따라 구성된 파워 컨버터에 의한 다이렉트 디지털 컨트롤 연산 실행에 사용된다. □ 기능 상위 등급의 시스템으로 발생 된 트리거 전류나 전압의 수신. 펄스와 위상 컨버터 컨트롤의 연산 실행, 비례-전체 유도체 컨트롤 조정에 따른 부하의 표준 전류(전압). 또한 산업적 모듈 제어기의 한 부분으로써 다수의 유닛 작동이 가능하다. 성능 명세상위 등급 시스템 ISA 인터페이스, RS0-485/Modbus; 컨트롤 채널 개수, 6개; 컨트롤 펄스 불균형, 전기 등급 <1,5; 컨트롤 신호 체계, 600 Nm 파장의 광학; 펄스 및 위상 컨트롤 실행, 순환 프로그래밍; 전환기 파라미터 측정의 채널 수, 2개; 부하 내 표준 전류 통제 오류, % <1. □ 경쟁력 MUP 마이크로프로세서 모듈을 사용하여 채광이나 제련 산업 또는 기계 공학 등에 널리 사용되는 낡고 구식의 아날로그 사이리스터 드라이브 컨트롤 회로를 대체할 수 있다. 드라이브 작동 수명 연장, 드라이브 컨트롤 정확성 향상과 에너지 컨버터 용량 증가에 의해 좌우되는 에너지 절약으로 인해 상당한 경제 효과를 가진다.
- 보유기관
- (재)송도테크노파크
- 등록일
- 2009-02-20
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