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일반기술 전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)

산화텅스텐 박/후막을 이용한 NOx센서 개발

최근 대도시 대기오염의 주범은 과거의 공장매연과 난방연료에서 자동차 배기가스로 바뀌었다. 자동차 배기가스의 주성분은 주로 미연소 탄화수소(CHx), 질소산화물(NOx), 일산화탄소(CO) 등의 유독가스와 이산화탄소(CO2), 수증기 및 분진이다. 그 중에서도 NOx는 그 자체로도 인체에 매우 유독하며, 광화학반응올 오존을 생성시켜 여름철 스모그현상, 지구의 온난화 및 산성비의 원인을 제공하기도 한다.본 과제는 n형 반도성 산화물인 WO3를 주요 소재로 이용하여 저농도의 NOx 가스를 감지하는 센서의 개발에 관한 것으로서, KIST의 김태송 박사팀 및 (주)우영의 성기숙 박사팀과 산학연 협력연구(G7과제) 결과이다. WO3 박막센서는 1 ppm이하의 NO2를 수초내에 감지해낼 수 있으며, 높은 감도(Rgas/Rair= 50)를 가지고, 센서 크기를 최소화해 소비전력을 낮추고 제조원가를 낮춘 것이 특징이다.

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한국생산기술연구원
등록일
2000-08-29
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일반기술 전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)

MOS소자를 이용한 가스감지센서

-현대사회가 점차 산업화 고도화 되어감으로 인해 가정용이나 공업용으로 많은 위험가스와 공해가스들을 사용하게 된다. 그러나 인간의 후각으로써는 위험 가스의 종류 판별이 힘들고 그 농도를 정량화 한다는 것은 불가능하다. 또 사람의 후각이 미치지 못하는 구석진 부분이나 고온, 고압, 저온, 저압 등의 사람의 출입이 불가능한 곳에서의 가스의 종류와 정량화도 위험 가스에 의한 사고를 예방하는 데에 있어서 매우 중요한 부분이다. 따라서 이러한 곳에 반드시 가스 센서가 사용되어야 하며 한가지의 가스를 감지해야 하는 경우보다는 여러 가지가 섞여 있는 복합 가스를 검지 해야 할 경우가 대부분이므로 멀티 가스 센서의 개발은 필수적이라 하겠다. 본 연구에서는 비교적 낮은온도에서 사용가능하고 감도와 선택성이 상당히 우수하며, 이미 반도체 제작공정에서 많이 사용된바 있는 MOSFET을 이용한 멀티가스센서를 개발하고자 한다. 이를 위해 Pd-base 물질을 gate로 하는 MOSFET 센서소자를 제작하고 이를 바탕으로 게이트 물질, 게이트의 다공성, 산화막의 두께, 전체 센서의 크기등의 변수를 조절하면서 가장 선택성과 감지성이 우수한 개별 MOSFET단위소자를 개발한다. 온도에 따른 감지특성도 아울러 조사하여 최적 작동온도를 밝혀낸다. 이렇게 개발된 단위소자들을 하나의 기판위에 집적 시키고 여러가스에 대한 실험을 통해서 가장 뛰어난 출력신호가 나타나는 구조의 집적회로를 구성한다. 출력신호를 각각의 가스 신호로 바꾸어주는 패턴인식기술과 신호처리 기술을 개발하고 그 회로를 센서가 들어가는 칩안에 같이 제작하여 하나의 칩으로써 완벽한 멀티센서를 제작하고자 한다.

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한국생산기술연구원
등록일
2000-08-29
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일반기술 전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)

첨단 반도체 센서 국산화

최근 국내 시장에서는 일반 산업용은 물론 자동차 가전제품 의료 군사용 등으로 사용되는 각종 센서의 대부분을 수입에 의존하고 있어 이에 대한 국산화가 시급한 실정이다. 현재 센서들은 소형화 다기능화의 비용화 대량 생산화 등을 위해 반도체형으로 변모하고 있다. 이런 고부가가치의 반도체형 센서는 선진 외국에서 기술이전을 기피하는 것이다. 기술을 전수받기도 어렵고 비용이 많이 소모된다. 반도체 센서는 기종의 반도체 기술에 마이크로머시닝 기술을 합한 것을 기본으로 한다. 그러나 기존의 반도체 집적회로나 IC제조시만큼 정밀하거나 고가의 시설을 맞출 필요는 없기 때문에 국내 중소기업에서도 많은 투자없이 시도할 수 있는 분야이다. 실제로 반도체 센서의 세계적인 기업이 대부분 다품종 소량생산 방식을 취하고 있어 중소기업 참여가 바람직하다.현재 세계 센서시장의 대부분을 차지하고 있는 압력센서 가속도 센서 온도습도 센서 유속 유량센서 등의 설계 및 제조기술을 보유하고 있는 본 연구실은 국산 시제품 개발단계에 있다. 이번에 개발된 반도체 센서의 주요 기술은 설계기술 제조기술 시험기술 등으로 대별할 수 있다. 여기에는 기계적 구조에 대한 이론적 시뮬레이터 개발과 같은 설계기술은 물론 미세 신호를 증폭 변환하는 회로 설계, 이론적 분석에 근거한 마스크 설계 등이 증폭된다. 현재 마이크로 머시닝, 박막 도포, 식각, 접합, 패키징 기술 등의 제조기술과 개발된 센서의 감도, 온도 특성, 장기 안정성, 기계적 강도 등을 시험하고 평가하는 기술도 이미 개발된 상태다.

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한국생산기술연구원
등록일
2000-08-29
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일반기술 전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)

에너지절약형 조명기구의 센서감지장치 개발

-효율적인 조명제어장치인 자동점멸 조명장치는 에너지절약효과가 매우 우수한 기술로서 주로 개체관리가 어려운 가로등, 고속도로 조명에서 사용자 편의성과 전력손실 저감을 위한 사무실이나 주택용 조명까지 그 범위가 확산되고 있으며 대부분 광전식으로 설치되고 있는데 광전식 자동조명장치는 용도에 따라 여러가지가 사용되고있으나 조명제어장치의 소형화 및 신속한 응답성을 구현 사용자의 편의를 향상시키조너 일체방식과 속동식을 채용하였으며 특히 무대조명에 주료 사용되던 조광기술을 도입하여 자동점멸로 인하여편리함과 에너지 절약효과를 동시에 구현하였다.- 센서주변에 조도에 따른 램프 on-off의 자동조명장치의 기본적 동작과 조광기능을 추가하여 화재등과 같은 긴급상황에서 피난처의 식별가능한 소방안전시설로서의 기능 수행 - 넓은 공간에서 사용자가 센서감지구역을 벗어나더라도 사용자의 조정에 따라 일정시간동안 램프 on상태가 유지되므로 고정도니 점등시간의 동작으로 보이는 기존의 자동조명장치에 비하여 사용자 편의성 증가 - 점등시간 동안 사용자의 동작거리가 국부적으로 제한된 기존의 자동조명장치와 비교하여 본 연구에서 개발된 센서감지 자동조명장치는 보다 넓은 영역을 분담할 수 있으므로 설비비 절약효과 기대 개발된 센서 감지 자동조명장치는 설치된 장소의 면적이나 주간의 조도에 따라 점등유지시간과 조광시 램프의 조도를 임의대로 조정가능

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한국생산기술연구원
등록일
2000-10-24
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일반기술 전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)

산업용 로봇에 부착된 센서의 위치 및 자세 보정방법 및 이에사용되는 측정지그

본 발명은 산업용 로봇에 부착된 센서의 위치 및 자세 보정방법 및 이에 사용되는 측정지그에 관한 것이다. 선형 레이저비젼 센서의 3차원 좌표값을 이용하여 로봇을 사용하는 데 필요한 정보를 얻어내려고 할때, 로봇의 끝단의 좌표계와 센서의 좌표계의 상대적인 변환 관계를 알아내는 것은 필수적이다. 기존의 방법으로는 로봇의 끝단에 공구나 센서를 부착할때에는 이미 알고 있는 접촉점을 사용하여 이곳에 공구나 센서를 접촉시켜 좌표계의 변환 관계를 알아 낸다. 이런 방법은로봇을 조작하는 작업자에 따라 그 정밀도가 달라지고 접촉점에 공구나 센서를 접촉 시켜야 하므로 이에 따른 위험성이커진다. 또한 이러한 작업은 매우 정교하게 이루어져야 하므로 생산 라인의 작업자가 조작하기에는 매우 어려운 작업이다.본 발명에서는 로봇과 선형 레이저 비젼 센서의 상대적인 좌표계의 변환을 특정한 측정지그를 이용하여 단순히 로봇을 4번만 움직이며 선형 레이저 비젼 센서를 이용하여 측정지그의 좌표점을 측정하고 측정 좌표점을 이용하여 위에서 제시한좌표계 변환을 통하여 로봇 끝단의 좌표계와 레이저 비젼 센서의 좌표계의 상대적인 변환 관계를 알아 낸다. 제시된 방법은 기존의 방법에서 야기되는 어려운 점을 모두 해결할 뿐만 아니라 조작의 간편성과 정확성이 보장되며, 선형 레이져 센서를 로봇에 부착하여 이용하는 자동화 공정에서는 매우 편리하고 유용한 방법이다.

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한국과학기술연구원
등록일
2000-11-22
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일반기술 전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)

산업용 로봇에 부착된 센서의 위치 및 자세 보정방법 및 이에사용되는 측정지그

본 발명은 산업용 로봇에 부착된 선형 레이저 비젼 센서의 위치 및 자세 보정방법 및 이에 사용되는 측정지그에 관한 것이다. 실제적으로 로봇 프로그램을 동작시킬 때는 정확한 TCP를 알고 있어야만 정확한 동작이 가능하게 된다. 그러나 TCP를 알아내는 방법은 대단히 번거로운 작업으로서 이는 공구나 센서의 위치와 자세를 알아내기 위하여 여러번 까다로운 교시(Teach)를 하여야 하며 순전히 작업자의 눈에 의존한 교시가 되기 때문에 그 정확성도 뒤떨어지는 실정이다. 특히 선형레이저 비젼 센서(Line Laser vision sensor)의 경우 그 TCP를 알아내기 위하여는 교시하는 방법이 매우 까다롭다. 본 발명은 3개의 평행선과 1개의 대각선을 가지는 측정지그를 로봇의 전방에 위치시키고 선형 레이저 비젼 센서의 특성을 이용하여 특정한 측정지그에 대한 측정값의 기하학적 관계를 이용하여 비접촉 방식으로 측정을 용이하게 함으로써 TCP를 신속, 정확하고 용이하게 알아낼 수 있도록 한 것이다.본 발명에 의하면 3개의 평행선과 1개의 대각선을 가지는 지그를 이용하는 것에 의하여 선형 레이저 비젼 센서의 까다로운 TCP를 한번의 교시로 쉽게 얻어낼 수 있으며, 대략적인 교시를 통하여도 정확한 측정이 가능하게 된다. 또한 기하학적 접근방식을 이용함으로써 측정오차에 영향을 받지 않고 한번에 정확한 측정이 가능하게 되는 것이다.

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한국과학기술연구원
등록일
2000-11-22
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일반기술 전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)

마이크로 플럭스 게이트 마그네틱 센서(콤파스)

Navigation System, RPM Meter, Speed Meter 와 VR Sensor 및 각종 Position System, Inspection Machine, 3D-Mouse, Magnetic(Magneto-Optic) Read/Write Head, Magnetographic Printing Head, DC-DC Converter등에 응용될 수 있는 반도체 초소형 Flux-Gate Compass 개발.▷반도체공정을 이용하여 플럭스게이트 센서를 제작함으로서 소형,경량, 저가격화 실현 가능. ▷2차원의 지구자계를 검출할 수 있어서 출력신호를 바로 절대방향데이타로 변환 가능

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특허법인충정
등록일
2000-10-26
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일반기술 전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)

자기 부상 시스템을 활용한 관성센서의 변위감지 장치

본 기술은 자기 부상 시스템을 활용한 관성센서에서 자기 부상되어 있는 중앙 자성체에 대한 움직임 변위를 측정하여 회전각과 위치 변위를 감지할 수 있도록 한 자기 부상 시스템을 활용한 관성센서의 변위 감지 장치에 관한 것이다. 일반적으로 운동하는 물체의 고아성자세를 감지하기 위한 장비로 자이로가 널리 알려져 있으나, 자이로는 가격이 고가이고 복잡한 구조로 되어 있어 쉽게 활용하기 어려운 문제가 있다. 본 기술은 광성센서의 외측에 중앙 자성체를 향하여 빛을 조사시키고 중앙자성체에서 반사된 빛을 감지하는 외부광학 장치를 설치하고, 중앙자성체에는 빛을 흡수 또는 반사할 수 있는 반사판을 설치하되, 광학장치에는 빛을 조사하고 감지하는 셀을 다수개 등간격으로 설치하고 반사판에는 빛을 반사 또는 흡수시키는 반사면을 다열로 형성시키되 각열의 반사면은 그 크기를 다르게 함으로써 이루어진다. 본 기술은 자기 부상 시스템을 활용한 광성센서의 중앙 자성체에 회전각 변위 감지용 반사판과 위치 변위 감지용 반사판을 부착하고, 관성센서에는 중앙자성체에 빛을 조사시키고 반사판에서 반사된 빛을 감지하는 외부 광학장치를 설치하여 구성된 자기부상 시스템을 활용한 구성으로 이루어진 특징이 있다. 본 기술에 의하면 중앙자성체에 회전각 변위 측정용 반사판과 위치 변위 감지용 반사판을 부착한 후 반사판의 회전 및 위치 변위를 외부 광학 장치에서 검출할 수 있도록 한 간단한 구조에 의거 시스템의 자세를 감지하기 위한 3축 자세 정보를 얻을 수 있는 효과가 있다.

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한국항공우주연구원
등록일
2001-06-20
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일반기술 전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)

자동차의 발전기 진단 장치 및 그 방법

자동차의 ECU에서 발전기의 출력 전압 및 전류를 체크하도록 함으로써, 자동차 발전기의 상태를 간단하게 점검할 수 있는 자동차 발전기의 진단 장치 및 방법. 기존의 점검 방법은 점검자가 직접 장치에 전압계 또는 전류계를 결선시켜서 테스트해야 하므로 운전자가 점검을 하기에는 어려움이 있다. 또한, 발전기가 불량인 상태에서 계속 발전을 할 경우 발전기 내부 회로를 파손시키고, 주변기기에 손상을 줌으로써, 자동차의 손상범위를 확대시키는 문제점이 있다. 반면, 본 기술에서는 ECU와 연결된 발전기 출력 와이어의 전압 강하와 발전기의 출력 전류, 전압조정기의 출력 전압을 점검하여, 발전기의 상태를 수시로 체크하여 발전기 내에 발생된 문제점을 조기에 발견할 수 있다. 본 장치는, 배터리, 발전기, 전압조정기, 충전경고등 등으로 구성된다. 배터리는 엔진 시동 시에 필요한 전력을 공급하고 엔진 작동 중에는 발전기로부터의 발전량이 부족할 때는 부족한 만큼의 전력을 공급하며 방전되고, 발전기로부터의 발전량이 충분할 때는 발전기의 출력 단자를 통하여 충전된다. 발전기는 배터리와 병렬 연결되어 엔진이 작동되는 동안에 차량의 전장품에 그 전기를 공급하고, 배터리를 충전시키는 역할을 한다. 또 전압조정기는 발전기의 출력 전압을 소정의 정규 전압으로 유지시키는 역할을 하며 충전경고등은 발전기의 발전량이 부족할 때에 점등되어 배터리에 충전이 필요함을 경고한다. 여기에 발전기와 배터리, 전압조정기의 출력전압을 감지하는 출력전압감지 센서를 각각 장착하고 발전기에는 단자에 접속되어 발전기의 출력 전류를 감지하는 출력전류감지센서를 추가로 장착하며, 감지센서들에서 감지한 값들을 입력받고, 규정 전압 및 전류값과 비교하여, 점검이 필요한 부분이 발견될 경우 소정의 점검 신호를 출력시키는 비교처리하는 ECU, ECU로부터 출력되는 점검 신호를 시각적으로 나타내는 디스플레이장치 등이 추가된다. 이와 같이 이루어진 본 기술에 의하면, 발전기의 상태를 수시로 점검함으로써, 발전기에 발생된 문제점을 조기에 발견하여, 자동차의 손상 범위가 확대되는 것을 미연에 방지할 수 있는 효과가 있다.

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특허법인충정
등록일
2001-05-24
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일반기술 전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)

미세 열유속 센서 및 그 제조 방법

본 기술은 맴스(MEMS: Micro Eectro Mechenical System)기술을 이용하여 낮은 열유속 범위에서도 높은 감도와 측정 정확도를 갖는 미세 열유속센선에 관한 것이다.일반적으로 열저항의 두께를 얇게 하면, 열유속의 측정속도는 신속하게 된다. 그러나, 2개의 온도측정부에서 측정된 온도차가 작게 되어 온도차에 대한 출력신호가 매우 작음으로써 열유속을 정확히 측정할 수 없음은 물론, 측정에러가 자주 발생되는 문제가 있다. 반면, 측정정확도를 향상시키기 위해 열저항의 두께를 크게 하면 온도차가 크게 되어 열유속을정확하게 측정할 수 있지만, 큰 두께로 인하여 측정속도가 느린 문제점이 있다. 특히, 층형 게이지 타입은 열유속이 느린 경우에는 적정한 온도차를 보장받을 수 없어 열유속을 정확히 측정할 수 없는 문제점이 있다.반면, 본 기술은 열유속을 높은 감도를 가지고 정확하게 측정할 수 있고 낮은 열유속상태에서도 열유속을 정확하게 측정할 수 있는 미세 열유속센서를 제공한다.물체의 열유속을 측징하기 위한 미세 열유속센서로서, 관통공이 형성된 몸체, 몸체의 상면, 하면 및 관통공 전체에 형성된 산화물층, 물체로부터의 열유속을 수용하여 이동시키기 위해 물체에 접촉하고, 몸체의 하면 및 관통공에 도포된 산화물층에 도포되는 수용부, 수용부로부터 전달되는 열유속을 중심으로부터 방사방향으로 분산시키기 위해 중심이 수용부에 접하고 몸체의 상면에 형성된 산화물층에 도포되며 중앙부에 제1온도측정지점과 제1온도측정지점으로부터 외주변을 향해 이격된 제2온도측정지점이 형성되는 측정부, 측정부의 제1 및 제2온도측정지점의 온도차를 측정하는 서모미터로 구성된다.본 기술에 의하면 물체의 열유속의 열을 측정하는 2개의 지점이 상호 충분한 거리로 이격되어 있으며, 또한 그 측정지점들로부터 측정된 온도차가 열전대열에 의해 증폭된 신호로 출력되어 충분한 크기가 됨으로써 낮은 열유속범위에서도 열유속을 높은 열감도를 가지고 정확히 측정할 수 있다.

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포항공과대학교
등록일
2001-05-23
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일반기술 전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)

온도계

본 기술은 외부온도의 검지결과에 따른 검출치를 전기신호로 변환할 수 있는 온도계에 관한 것이다.기존의 온도계는 외부의 온도변동치를 단지 육안으로 식별할 수 있도록 되어 있으므로 사용자의 직접적인 확인동작에 의해 현재의 온도를 확인하여 감지할 수 있도록 하는 기능만이 제한적으로 행해지고 있다.반면, 본 기술에서는 수은 온도계 내에 복수개로 설치된 도전성의 검출단자가 전원을 공급받는 수은과 접촉되어 통전됨에 의해 외부온도의 변화치가 전기신호로서 검출될 수 있도록 구성되어 있다.본 기술에 의한 온도계는 전원과 연결된 전원전극이 모세관의 저면에서 관통되어 수은과 접촉되고, 모세관의 상부관을 관통하여 설치된 고정부재에 비도전성의 접촉부가 그 모세관 내에 수납되어 고정 설치되어 있다. 또한, 접촉부상에 도전성의 검출단자가 온도표시패턴에 대응하는 위치에 패터닝되어 설치되고, 모세관의 외측으로 인출된 외부도선으로부터 연장된 내부도선이 검출단자와 연결되어 설치되어 있다. 검출단자는 온도표시패턴의 패터닝위치에 대응하여 복수개로 설치가능하고, 내부도선과 외부도선은 복수의 검출단자와 대응하는 수의 내부도선과 외부도선으로서 설치되거나, 제한적으로 검지하고자 하는 온도를 표시하는 온도표시패턴의 설치위치에 대응하여 설치 가능하다. 전원전극과 고정부재는 모세관의 내부를 외부와 완전하게 차폐하기 위한 하부패킹과 상부패킹이 매립되게 설치된다. 내부도선은 전원전류를 통하는 전선에 비도전성의 피복이 피막되어서 형성된다.이와 같이 이루어진 본 기술에 의하면, 수은 온도계의 수은에 전원을 인가하고 그 수은이 봉입된 모세관 내에 도전성의 검출단자를 설치함에 의해, 변동된 외부의 온도에 따라 수은의 위치가 변화되어 검출단자와 접촉되는데 따른 통전상태를 통해 외부의 온도가 전기신호로서 검출될 수 있도록 함에 따라, 수은 온도계를 이용한 정확한 온도검출에 의해 온도 조절기기의 적절한 가동이 가능하도록 할 수 있다는 이점이 있다.

보유기관
특허법인충정
등록일
2001-04-17
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일반기술 전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)

적외선 센서 시험장치

본 기술은 우주공간에서 인공위성의 자세제어를 위해 사용되는 적외선을 이용하는 원추지구센서의 기능을 지상에서 시험할 수 있도록 하는 적외선 센서 시험장치에 관한 것이다. 기존의 원추 지구센서(Conical Earth Sensor:CES)는 인공위성이 자세제어를 위해 정보를 제공하고 지구에서 발생하는 적외선을 스캔하게 된다. 이에 따른 요건은 신뢰성과 인공위성이 우주궤도에 올려지기 전에 충분한 테스트가 이루어져야 한다. 그러나 지구에서 CES의 작업을 테스트하기가 곤란하여 적외선 스캔 테스트 결과를 보고 직접 인공위성에 탑재시키는 실정이다. 충분히 테스트가 이루어지지 않으면 인공위성이 궤도에 진입한 후 CES의 오작동을 초래하고 자세제어를 할 수 없는 문제점이 발생한다. 본 기슬은 앞서 설명한 문제점을 해결하기 위한 인공위성의 궤도 진입 후 자세제어를 위해 적외선을 이용하여 CES의 기능을 지상에서 시험할 수 있도록 개발한 것이다.본 기술은 인공위성에 조립된 CES의 전방에 열선이 설치된 반응판과 상기 반응판에 공급되는 전압과 전류를 제어하는 파우어 서플라이, 그리고 상기 파우어 서플라이를 제어하여 적외선의 양을 조절하는 컴퓨터로 구성된다. 본 기술은 컴퓨터에서 반응판의 열선에 흐르는 전력을 제어하여 지구모델과 같은 적외선이 발생되고 이 적외선을 CES에서 스캔 검파시켜 CES의 기능을 테스트하는 것이다. 따라서 위성에 탑재되는 CES의 기능시험을 신속하고 정확하게 수행할 수 있고, 반응판의 설치위치를 조정하는 것이 용이하므로 여러 가지 각도로 CES의 기능을 시험해 볼 수 있다. 또한 반영구적인 사용이 가능하고, 구조가 간단하다는 장점이 있다.

보유기관
한국항공우주연구원
등록일
2001-05-24
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일반기술 전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)

인공위성 자세 제어용 디지털 태양센서의 구조 및 신호처리 방법

본 기술은 인공위성의 자세각 측정을 위한 정보를 제공하는 디지털 태양센서에 관한 것으로 태양의 입사각을 정확하게 계산할 수 있도록 함으로써 인공위성 자세제어 시스템의 정확도를 향상시키는 인공위성 자세 제어용 태양센서의 구조 및 신호처리에 관한 것이다.기존의 디지털 태양센서는 유리판 상부의 입력슬릿을 통하여 수광된 태양광선이 다양한 형태의 그레이 코드(Gray Code)를 통한 후 태양전지에서 검출되도록 구성되어 있다. 그러나 태양이 완전한 점광원이 아니기 때문에 그레이 코드를 이용하여 태양의 입사각을 계산하는 데는 한계가 있다. 본 기술은 디지털 태양센서의 정확도를 높이기 위해 파인비트 4개를 순차적으로 스위칭하여 계단파를 얻은 후 이를 퓨리에 급수로 변환하여 공간적인 정보를 시각적인 정보로 대치함으로써 태양의 입사각을 정확히 계산하여 인공위성 자세제어 시스템의 정확도를 향상시키는 것이다.본 기술은 태양빛이 입력슬릿과 그레이 코드의 출력슬릿을 통하여 태양전지에 도달하게 하여 태양과 디지털 태양센서의 위치에 따라 태양빛이 그레이 코드의 출력슬릿을 선택적으로 통과하게 된다. 이때 그레이 코드의 마지막 코드 다음에 파인비트를 공간적으로 배열한다. 즉 입력슬릿의 폭과 동일한 폭을 갖는 파인비트를 4열(1F~4F)로 배열시키되 파인비트 사이의 간격 또한 입력슬릿의 폭과 동일하게 하고 1열(F1)과 2열(F2)의 파인비트는 각각 0.5˚차이를 갖도록 배열한다. 또한, 파인비트에서 얻어진 계단파를 저역통과 필터에 인가시켜 정현파로 변화 시킨 후 이를 다시 기준 정현파와 비교하여 위상차를 구하여 각 정보를 추출해냄으로써 태양의 입사각을 정확히 계산해 낼 수 있게 한다.

보유기관
한국항공우주연구원
등록일
2001-05-24
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일반기술 전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)

전극형 센서 제조 기술

본 기술은 반도체 공정을 이용한 전극형 혈당 센서 제조 기술에 관한 것이다.종래의 Screen printing 기술은 일회용이며, 포도당 산화 효소를 이용한 전극식과 비색 측정식이 있으며, Near IR 기술은 비침습적이므로 환자에게 고통을 주지 않고 사용하기에 편리하지만 부정확하고 고가이며 사용하기 전에 개인마다 보정을 해야만 한다.본 기술은 저혈당에 의한 혼수 상태의 위험성 및 고혈당에 의한 합병증의 위험성 때문에 연속적인 혈당의 측정이 요구되어 혈당 센서의 수요가 크게 늘고 있으며, 연속 사용 가능한 소형화 및 다기능화 센서를 위해 반도체 공정을 이용한 제조 기술을 제공하는데 목적이 있다.본 기술은 방해물질의 간섭 최소화, 포도당 산화 효소 고정, 전극의 오염을 방지하는 내부막과, 산소공급 및 안정한 전류를 공급하는 생체 친화성 재료의 외부막으로 구성된 전극형 마이크로 센서로서, 비전도성 고분자막을 이용하고 포도당 산화 효소가 고정된 효소 전극의 제조 기술을 제공한다.본 기술은 센서의 소형화, 반도체 공정과 전기화학을 이용한 대량 생산, 센서의 신뢰도 향상, 전기화학적으로 중합된 비전도성 고분자막과 포도당 산화효소 이용, 방해물질의 간섭 최소화, 연속 사용 가능, 다기능 센서로의 응용이 가능하다.

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한국전자통신연구원
등록일
2001-06-07
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위성체 얼라인먼트 시스템 및 측정방법

임의 공간에 설치된 방향성을 가진 센서의 위치를 더욱 정밀하게 측정할 수 있는 정확도를 가진 위성체 얼라이먼트 시스템을 제공하는 한편 그 측정 방법. 기존의 위성체 자세제어 센서 및 광학센서에 대한 설치방향성은 일반적으로 0.1도에서 0.01도를 정확하게 측정할 수 있어야 하는데 측정하는 시스템이 없어 설치방향성 측정을 할 수 없는 것이었다. 본 기술의 위성체 얼라인먼트 측정방법은 데오도라이트(Theodolite), 자동수평측정계, 회전테이블을 데이터 전송선으로 데이터처리 시스템과 연결시킨 상태에서 위성체가 설치된 회전테이블을 회전시켜 센서에 부착된 표적을 데오드라이트와 자동시준(Autocollimation)하고, 데오도라이트를 회전하여 반사경에 다시 오토클리메이션한 후 데오도라이트와 회전테이블에서 측정된 회전각을 이용하여 데이터처리시스템에서 목표물의 방향성을 측정하도록 한 것이다 본 기술은 자동수평측정계를 이용하여 방진대의 편평도를 측정 및 조정한 후 회전테이블의 편평도를 측정 및 조정하고 위성체가 설치된 회전테이블을 회전시켜, 위성체 센서에 부착된 목표와 데오도라이트가 오토콜리메이션되록하는 것이다. 이때 회전테이블의 회전각도가 자동으로 테이터처리시스템에 전송되고 데오도라이트를 조정하여 센서의 목표와 오토콜리메이션이 되면, 이때 측정된 데이터를 데이터처리시스템에 입력하고 다시 데오도라이트를 회전시켜 반사경과 오토콜리메이션을 하고 이 데이터를 데이터처리시스템에 입력하면 자동으로 목표의 방향성을 계산하여 출력하는 것이다. 본 기술로 임의 공간에 설치된 방향성을 가진 센서의 위치를 측정하며 10초 이상의 정밀도를 요구하는 기기 및 센서의 조립 또는 정밀산업기기의 조립 및 확인작업에 사용된다

보유기관
한국항공우주연구원
등록일
2001-05-18
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전기도금을 이용한 초소형 열유속 센서 및 그 제조방법

기존의 열 전달에 있어서 물체의 열적 경계조건을 결정하기 위해서는 물체의 단위면적 당 열에너지의 전달양인 열 유속을 측정하여야 하며 일반적으로 열유속을 측정하기 위하여 열 유속센서들이 사용되고 있는데 측정방법에 따라 구배형(Gradient) 열 유속센서, 과도형(Transient) 열 유속센서 및 평형형(Balanced) 열 유속센서로 크게 분류되며 이중 구배형 열 유속센서는 형태에 따라 층형 게이지(Layed Gauge)의 형태와 원형의 박막 게이지(Circular Thin Foil Gauge)등의 형태로 구분되는데 이러한 열 유속센서를 이용하는 경우 열 유속센서 자체가 측정하고자 하는 표면에서의 열 저항으로 작용하여 열 유속을 교란하게 되므로 열 유속센서에 의한 열 유속 교란을 최소화시키기 위하여 열 유속센서를 가능한 작게 만드는 연구가 수행되어 왔는데 본 기술은 전기도금을 이용한 초소형 열유속 센서 및 그 제조방법에 관한 것으로 특히 낮은 열 유속에서 높은 측정 정확도를 갖는 미세 열 유속센서 및 그 제조방법에 관한 것으로 열 유속센서 연구에 새로운 가능성을 열었다본 기술은 MEMS (Micro Electro Mechanical System) 기술을 이용해 낮은 열유속 범위에서도 높은 감도와 정확도 및 공간 분해능을 가지는 미세 열 유속센서(Micro Heat Flux Sensor) 및 그 제조 방법을 제공하며 본 기술에 따른 미세 열유속센서는 열 유속이 측정될 물체의 벽면에 접촉되는 실리콘 기판과 상기 실리콘 기판의 상면에 형성되는 금 박막층과 상기 금 박막층 위에 형성되는 구리 도금층으로 이루어진 수용부와 상기 수용부의 구리 도금층으로부터 전달되는 열을 중심으로 모아서 상측으로 이동시키는 원기둥 형상의 열 이동부와 상기 열 이동부의 측면을 둘러싸는 형태로 상기 수용부의 구리 도금층 상면에 형성되는 단열층과 상기 단열층의 상면에 상기 원기둥 형상의 열 이동부로부터 전달되는 열을 중심으로부터 방사 방향으로 분산시키기 위해 중심이 상기 열 이동부와 접하도록 형성되고 상면 중앙부와 주변부에 각각 제1온도측정지점과 제2온도측정지점이 형성된 측정부와 상기 측정부의 제1 및 제2온도측정지점의 온도차를 측정하는 온도계를 포함하는 미세 열 유속센서 및 그 제조방법을 제공하므로 열경로의 저항을 줄이고 단열층의 단열효과를 높임으로써 높은 정확도와 감도로 열 유속을 측정할 수 있는 효과를 가진다

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포항공과대학교
등록일
2001-06-21
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일반기술 전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)

멤스(MEMS) 기술을 이용한 경사각 감지센서 제조 방법

기존에는 조향각과 경사각을 기계적으로 측정하는 방법 중에 먼저 조향각은 포텐쇼미터의 원리를 이용하여 회전각을 가변저항으로 감지하여 각도로 환산하여 사용한다. 그러나 포텐쇼미터의 크기를 작게 하기 어렵기 때문에 경사에 따라 기울어진 추의 위치를 포토센서로 감지하여 이를 각도로 환산하여 사용하지만 이 포토센서는 작은 경사각의 측정은 가능하지만 큰 경사각에 대한 측정은 못하게 되는 문제점이 있다. 이에 본 기술은 멤스(MEMS : Micro Electro Mechanical System)기술을 이용한 경사각 감지센서 제조 방법에 관한 것으로 특히 경사각 각도에 따라 원형채널에 위치한 수은이 중력으로 인해 아래로 굴러가면 전류가 금속전극으로부터 수은을 통해 다른 금속전극으로 나갈 때 경사각에 따라 두 전극의 길이가 달라져 가변저항이 되고 이 가변저항의 변화로 경사각의 측정을 가능하게 한다본 기술은 멤스(MEMS)기술을 이용한 경사각 감지센서 제조 방법으로 유리기판 위에 크롬웰 전극을 수직 이륙(lift-off)으로 공정하고 리가(LIGA) 공정을 이용하여 피엠엠에이(PMMA(polymethylmethacrylate)) 감광재로 둥근 채널로 형성한다. 이후 크롬웰(Chromel)전극이 수직 이륙된 유리기판과 둥근 채널로 형성된 PMMA를 조립한 후 둥근 채널 속에 수은방울을 넣고 크롬웰 전극 유리기판을 접합한다. 이후 수은이 중력의 영향으로 PMMA 채널을 따라 바닥으로 내려가면서 변화되는 크롬웰 전극의 저항치의 변화량을 이용해 경사진 곳의 기울기를 측정하고 각도 센서에 의해 큰 각에서부터 작은 각까지 광범위한 측정범위가 되고 센서의 크기가 작으므로 그 적용이 용이하다는 효과가 있다

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포항공과대학교
등록일
2001-05-19
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로켓 탑재용 오존 측정 센서

본 기술은 과학로켓을 포함하는 초고속 비행체에 탑재되어 오존이라는 기체의 광학적 흡수 특성을 이용하여 오존의 양을 측정할 수 있도록 하는 로켓 탑재용 오존 측정 센서에 관한 것이다. 일반적으로 국내에서 주로 사용되고 있는 방법은 벌룬에 탑재되어 화학적으로 측정하는 방법으로 비행체(벌룬)에 실린 센서가 공기를 펌프로 흡입하여 특정한 액체와 반응시키면서 나오게 되는 전자의 양으로부터 오존의 양을 추출해 내는 것이나 이 방법은 측정하여 처리하는 시간이 많이 걸려 빠르게 비행하는 비행체에 이방법을 적용시키면 큰 측정오차를 갖게되는 문제가 있다. 본 기술은 태양을 광원으로 하는 광학적인 오존측정센서를 초고속 비행체에 탑재시켜 비행하는 구간의 오존량을 측정하도록 한 것으로 센서반응시간과 오존량을 측정하는 시간을 효율적으로 단축하여 초속 수 km의 속도로 비행하는 환경에서도 오차를 최소화하면서 해당 기체의 양을 정확히 측정하도록 하였다 본 기술은 태양빛으로부터 특정 파장을 걸러주는 간섭계 필터, 간섭계 필터에서 걸러진 특정 파장의 빛의 양을 감지하는 광학센서부, 광학 센서부에서 감지된 빛의 세기를 증폭시키는 전단 증폭부, 전단 증폭부에서 증폭된 빛의 세기를 정밀하게 이득 조절 시키는 자동이득조절회로부, 구동전원을 공급하는 전원제어부로 구성되어 비행체의 외피에 부착됨으로서 극히 짧은 측정으로 오존의 양을 측정할 수 있도록 한 특징이 있다. 본 기술에 의하면 측광을 이용하기 때문에 대기를 직접 샘플링하여 화학반응을 거치는 기존의 센서에 비해 측정시간도 짧고 샘플을 위한 흡입펌프도 필요 없어 경제적이며 간단한 효과가 있

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한국항공우주연구원
등록일
2001-05-08
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마이크로드릴링 시스템의 토크-트러스트 센서

본 기술은 마이크로드릴링 시스템의 토크-트러스트 센서에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 토그와 트러스트를 동시에 측정할 수 있도록 피삭제를 고정시킬수 있는 구조로 설계되어 드릴 하부베드에 용이하게 장착될 수 있는 마이크로드릴링 시스템의 토크-트러스트 센서에 관한 것으로, 간단한 구조로 토크 및 트러스트를 동시에 측정할 수 있는 마이크로드릴링 시스템의 토크-트러스트 센서를 제공하는 것이다.본 기술의 다른 목적은 마이크로드릴링 시스템에 장착이 용이하면서도 원하는 분해능을 얻을 수 있는 구조를 가지는 마이크로드릴링 시스템의 토크-트러스트 센서를 제공하는 것이다.이러한 목적을 달성하기 위한 수단으로서, 본 기술의 마이크로드릴링 시스템의 토크-트러스트 센서는 각각 중앙에 리니어가이드를 구비하는 상단부와 하단부로 구성된 토크 센서 본체와, 상기 리니어 가이드에 형성된 나사부에 결합되도록 상하단에 나사가 돌출형성되고, 중앙에 토크를 감지하는 스트레인 게이지가 부착되는 시편과, 상기 상부 리니어 가이드의 상부에 결합되는 피삭제 고정 베드와, 상기 토크 센서 본체의 하단부 아래의 드릴 하부베드와의 사이에 부착되어 트러스트를 감지하는 트러스트 센서로 이루어지고, 상기 토크와 트러스트가 분리되어 각각 측정되는 것을 특징으로 한다.본 기술에 의하면, 마이크로드릴링 시스템에 장착이 용이하면서도 토크와 트러스트를 동시에 측정가능하므로, 생산성이 향상되는 효과를 가진다.본 기술의 토크-트러스트 센서는 드릴 가공시, 토크와 트러스트를 동시에 측정할 수 있고, 피삭제를 센서시스템에 고정시킬 수 있는 구조로 설계하여 드릴 하부베드에의 장착이 용이한 효과를 가진다.상술한 바와 같이 본 기술의 토크-트러스트 센서는 드릴 가공시, 토크와 트러스트를 동시에 측정할 수 있고, 피삭제를 센서시스템에 고정시킬 수 있는 구조로 설계하여 드릴 하부베드에의 장착이 용이한 효과를 가진다.

보유기관
포항공과대학교
등록일
2001-06-21
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일반기술 전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)

온도, 습도 감시 시스템

지구온난화 방지조약 세계회의의 결과를 기초로 일본에서는 1999년 4월부터 에너지사용의 합리화에 관한 법률이 시행되었다. 이에 대응해서 개발된 본 시스템은 空調 설비에 따른 전력소비가 큰 공장이나 빌딩에 적합하다. 각 방의 온습도를 항상 감시할 수 있고, 관리자는 온도를 설정하여 경보나 컨트롤을 할 수 있다. 空調를 세밀하게 조정함으로써 전력의 소비를 절감할 수 있다.IBM PC/AT COMPATIBLE COMPUTER(Window 95/98 SYSTEM)의 PRINTER PORT에 접속한 單 또는 LOCAL AREA NETWORK상에서 온도, 습도를 측정해 데이터를 보존 또는 전송한다. 측정간격은 분단위로 임의로 설정할 수 있다. 또 NETWORK SERVER측에 데이터를 수집해 두고 그래프 표시나 집계관릴르 하기도 하고 설정 값에 대한 경보를 발생시킬 수 있다.

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특허법인충정
등록일
2001-02-19
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