산업기술 통합검색

기술검색

최상위 분류를 먼저 적용하면 세부 분류를 선택할 수 있습니다.
상세 필터
검색조건 초기화

적용된 검색조건

검색 결과 35건

1 / 2 페이지
일반기술 화학 > 유기금속화학

금속 유기화합물 복합제 및 그의 제조방법

기존의 방법들에 있어서 첨가되는 결정핵제나 가소화제와 고분자재료들 간의 혼화성이 문제가 되고 있으며 이러한 상용성의 저하로 인해 기계적 성질이 저하되는 문제점이 있다.또한, 고분자 재료들의 단점을 보완하고 개선하기 위한 방법으로 화학구조가 다른 단량체와의 공중합이나 고분자 간의 블렌드가 많이 이용되는데 예를 들면 PBT의 특성을 이용하여 PET의 결정화 속도를 증대시킬 목적으로 PET-PBT 블록 공중합체를 만들거나 가공조제로서 활용하기 위해서 액정폴리머(LCP, 이하 LCP라 한다)를 열가소성 분자와 블렌딩 하는 등 기계적 물성을 향상시키기 위한 연구가 진행되고 있다. 그러나 폴리에스테르 계통의 블렌드는 두 성분간에 반응이 일어날 수 있고 용융과정중에 가산, 가알콜 분해, 상호교환반응이 일어날 수 있으며, 이로 인해 새로운 공중합체가 형성되기도 하고 바람직하지 않은 특성을 가져오기도 하는 문제점이 있었다.따라서, 본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 제반 단점과 문제점을 해결하기 위한 것으로, 고분자 재료의 결정화도 및 결정화 속도를 증가시키면서 고분자들의 용융블렌드시 성분간의 상용성을 향상시킬 수 있는 금속 유기화합물 복합제와 그의 제조방법을 제공함에 본 발명의 목적이 있다.본 발명은 고분자 재료에 첨가되어 결정화제 또는 상용화제로 이용되는 금속 유기화합물 복합제 및 그의 제조방법에 관한 것이다.본 발명의 금속 유기화합물 복합제는 금속알콕사이드, 금속아세테이트, 금속산 화합물을 포함하는 금속화합물과 에틸렌글리콜, 프로판다이올과 그의 유도체, 부탄다이올과 그의 유도체, 펜탄다이올과 그의 유도체, 헥산올을 포함하는 다이올이 일정한 몰 비로 혼합 또는 반응되고, 트리메틸 포스페이트(TMP), 트리에틸 포스페이트(TEP), 트리페닐 포스페이트(TPP)가 첨가제로 사용되어 제조된 고상 및 액상의 금속 유기화합물이다. 또한 본 발명에 의한 금속 유기화합물 복합제를 별도의 열처리를 함으로써 나노 사이즈의 균일한 결정립을 가지는 금속산화물을 제조하는 방법을 포함한다.본 발명의 금속 유기화합물 복합제는 하이드록실기(-OH)를 가지고 있기 때문에 결정화제로 사용시 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET), 폴리트리메틸렌테레프탈레이트(PTT), 폴리부틸렌테레프탈레이트(PBT), 폴리에틸렌나프탈레이트(PEN) 등 고분자 재료의 하이드록실기(-OH)나 카르복실기(-COOH)와의 반응을 통해 단일상으로 제품을 얻을 수 있다. 이러한 작용을 통하여 본 발명의 바람직한 실시예에 의해 제조된 금속 유기화합물 복합제는 PET, PTT, PBT, PEN 등의 결정화도 및 결정화 속도를 증가시켜 결정화제의 역할을 하며, 또한 다양한 고분자 블렌딩에 적용되어 상용화제의 역할을 하는 효과가 있다.

보유기관
(재)전남테크노파크
등록일
2005-05-19
상세보기
일반기술 화학 > 유기금속화학

1,5,9-트리아자시클로도데칸 유도체, 이를 이용한 금의용매 추출 방법

원리 및 구성본 기술은 금을 용매로 추출하기 위한 추출제로 사용되는 아민 유도체 및 이를 이용한 금 용매 추출 방법에 관한 것이다. 아자 크라운화합물인 1,5,9-트리아자시클로도데칸을 보다 향상된 수율로 제조하고, 이렇게 제조된 1,5,9-트리아자시클로도데칸을 알킬화시킴으로서 1,5,9-트리아자시클로도데칸 유도체를 얻는다. 개발배경아민 유도체를 추출제로 이용함으로써 금원광의 시안 용출액에 녹아있는 디시안화금 음이온을 알카리성 용액으로부터 추출할 때 유독 청산 (HCN) 가스를 방출하는데 이때문에 추출후 금을 회수하기 어렵고추출제를 재사용하는 것이 불가능하다.응용분야금원광의 시안 용출액을 유독가스 방출없이 안전하게 추출하는데 이용할 수 있다. 특징 및 장점아자 크라운 화합물의 제조에 있어서 소듐 알콕사이드를 첨가하는 것을 기술적 특징으로 한다. 본 기술에 사용되는 금속 알콕사이드는 메톡사이드, 에톡사이드 혹은 4차부톡사이드의 소듐 또는 칼륨염이며,그 바람직한 경우가 소듐 메톡사이드 또는 소듐 에톡사이드이며, 가장 바람직한 경우가 소듐 메톡사이드이다. 아자 크라운 화합물인 1,5,9-트리아자시클로도데칸을 선택적으로 모노(mono)-, 디(di)-, 또는 트리(tri)-알킬화시켜 획득한 친유성이며 강염기성의 새로운 1,5,9-트리아자시클로도데칸 유도체 및 이의 제조방법, 그리고 이 유도체를 추출제로 사용하여 금을 용매로 추출하는 방법을 기술적 특징으로 한다.

보유기관
대구기술이전센터
등록일
2006-01-26
상세보기
일반기술 화학 > 유기금속화학

(1.1.1.1)페드란화합물

원리 및 구성본 기술은 존재가능성은 제시되어 왔지만 현재까지 누구도 합성한 예가 없는 신물질 [1.1.1.1] 페드란(paddlane)화합물과 그 유도체화합물에 관한 것이다. [1.1.1.1] 페드란(paddlane)화합물은 실온에서 대체로 안정성을 갖고 있으나, 고온에서 순간적인 분해에 의한 폭발성을 이용하여 병균을 멸균한다. 개발배경존개 가능성에 대해 논란이 있었으나 실제 생산은 되지 못했던 신물질로서 고온에서의 폭발성때문에 주목을 받아왔다.응용분야의약품분야와 전도성물질로서 유기금속(Syn-Metal)분야에 폭넓게 사용될 것으로 판단된다. 특징 및 장점1.1-디브로모-2, 2-비스(클로로메틸)시클로프로판(1.1-Di-bromo-2, 2-bis(chloromethyl)cyclopropane)을 반응시켜 프로펠란(propellane)을 얻되, 에테르용매 하에서 광반응장치에 넣고 70℃에서 반응, 혼합물이 무색이 될때까지 광반응시킨 후 용매를 제거분리하여 페드란(paddlane)화합물을 얻는다.

보유기관
대구기술이전센터
등록일
2006-03-16
상세보기
일반기술 화학 > 유기금속화학

이차대사산물의 생산 및 분리를 겸한 내부 흡착형 생물반응기

본 발명은 미생물에서 생산되는 이차대사산물만을 선택적으로 흡착하는 흡착수지의 흡착특성을 이용한 생물반응기내에서 이차대사산물의 생산 및 회수를 동시에 수행함으로써 생산물 수율을 향상시킴과 동시에 수지에서 이차대사산물의 탈착을 원활히 수행할 수 있는 신규한 내부 원통형 유동흡착기를 갖운 생물반응기에 관한 것이다. 이 기기로 세라티아속 균주의 프로디지오신계 색소의 생산성을 공지 반응기와 비교해 본 결과 색소 생산능이 향상된 것과 동시에 탈착이 용이한 반응기로 입증되었다.하나의 공정으로 이차대사산물 생산 및 회수가 용이해지고, 또한 내부 흡착형 생물반을기의 유동흡착기는 현재 공장에서 운전중인 기존의 설비에 그대로 설치가 가능하고, 생물반응기내 생산 및 흡착공정을 분리된 형태의 공간에서 일어나게 함으로써 이차대사산물 생산성도 향상시킬 수 있는 효과가 있다. 하나의 공정으로 이차대사산물 생산 및 회수가 용이해지고, 또한 내부 흡착형 생물반을기의 유동흡착기는 현재 공장에서 운전중인 기존의 설비에 그대로 설치가 가능하고, 생물반응기내 생산 및 흡착공정을 분리된 형태의 공간에서 일어나게 함으로써 이차대사산물 생산성도 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

보유기관
고려대학교
등록일
2006-05-11
상세보기
일반기술 화학 > 유기금속화학

신규 트리플렉스 형성 합성 올리고뉴클에오티드

신규 트리플렉스 형성 합성 올리고뉴클에오티즈는 특정 유전자에 특이적으로 결합하여 트리플렉스를 형성할 수 있는 프리플렉스 형성 올리고뉴클레오티드 및 이들을 오저전자 방출 동위원소와 결합시켜 종양의 유전자 치료에 이용하는 방법에 관한 것이다. 종양의 유전자 치료에 획기적 전기를 마련할 수 있는 치료 방법이다. 특정 유전자에 특이적으로 결합하여 트리플렉스(triplex)를 형성할 수 있는 프리플렉스 형성 올리고뉴클레오티드(TFO) 및 이들을 오저전자 방출 동위원소와 결합시켜 종양의 유전자 치료에 이용하는 방법에 관한 것으로, TFO의 유전자 특이적 결합능력과 오저전자 방사성동위원소에 의한 국부적 손상능력을 결합하여 유전자 이상을 교정하고 치료하는데 뛰어난 효과가 있다. 기존의 암치료법은 비특이적으로 암세포를 살상하게되어, 생존율저하 및 부작용을 유발한다. 본 발명은 오거전자 방사성동위원소를 암세포에 유전자 특이적으로 전달하여 암을 적은 부작용으로 선택적으로 살상하는 새로운 암치료법을 개발하고자 연구시험한 결과 에스트로젠 수용체 유전자와 N-myc유전자를 표적으로 하는 신규한 TFO의 염기서열을 결정아였다. 기존의 암치료법은 비특이적으로 암세포를 살상하게되어, 생존율저하 및 부작용을 유발한다. 본 발명은 오거전자 방사성동위원소를 암세포에 유전자 특이적으로 전달하여 암을 적은 부작용으로 선택적으로 살상하는 새로운 암치료법을 개발하고자 연구시험한 결과 에스트로젠 수용체 유전자와 N-myc유전자를 표적으로 하는 신규한 TFO의 염기서열을 결정아였다. 이로서 앞으로의 유전자 이상 교정과 치료에 획기적인 발전이 예상된다.

보유기관
고려대학교
등록일
2006-05-22
상세보기
일반기술 화학 > 유기금속화학

고주파용 연자성 다층박막의 제조방법

*원리 및 구성고주파용 연자성 다층박막의 제조하는 방법에는 미세결정구조를 가지고 있는 박막을 교대로 적층시키는 방법이 있다. 본 기술은 이와 같은 다층박막을 만드는 경우에 분위기 가스로 수소, 아르곤의 혼합가스를 이용해 다층박막의 연자기적 특성을 향상시킴으로서 고주파에서도 사용가능한 연자성 다층박막을 제조할 수 있도록 하였다.*개발배경최근의 자기기록 매체는 고밀도화를 위해서 결정립 크기를 작고 균일하게 만들어 각각의 결정립들을 가능한 자기적으로 분리시켰다. 그러나, 자기기록 매체의 결정립 크기가 작아질수록 결정립 간의 교환결합이 발생하여 정확한 기록이 어려웠다*중요성 및 독창성본 기술은 수소 및 아르곤 혼합가스를 분위기 가스로 사용하여 기판 상부에 Fe 및 CoNbZr과 같은 미세결정구조를 갖는 박막을 교대로 적층시켜 다층박막을 제조함으로서, 연자기적 특성을 향상시켜 고주파에서도 사용가능한 연자성 다층박막의 제조한다. 이와 같이 제조된 다층박막은 포화자속을 고밀도로 유지하고, 고주파수 대역에서도 큰 투자율을 유지한다.*적용제품본 기술을 이용한 다층박막은 고주파수 대역에서도 높은 포화자속밀도를 지니며, 고밀도의 기록 및 재생, 고주파의 데이터 전송에 적용될 수 있고, 자기헤드, 센서, 변압기 또는 인덕터의 재료로 사용되어 Fe계 다층 박막의 미세구조의 조절이 가능하도록 한 다.*특징 및 장점- 고주파수 대역에서도 큰 투자율을 유지하여 높은 포화자속밀도를 갖는다.- 다층박막에 고밀도의 기록 및 재생이 가능하도록 한다.- 고주파의 데이터 전송에 대응하기 위한 재료로 활용될 수 있다..- 고주파수 대역에서도 큰 투자율을 유지한다.

보유기관
고려대학교
등록일
2006-05-18
상세보기
일반기술 화학 > 유기금속화학

리간드 직접 바인딩 나노크기 마그네타이트 및 그유도체와 이들을 제조하기 위한 2단계 변형방법

본 기술은 강력한 초상자성(Superparamagnetization)과 고효율의 적용성을 가지는 고농도의 모디파이어로 변형된 나노크기 마그네타이트(Nanosized Magnetite; 이하 NSM) 및 그 유도체와 이들을 제조하는 리간드 직접 바인딩 NSM의 제조 방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 균일한 입자크기 분포를 갖으면서도 35 emu/g 이상의 우수한 자성 및 고밀도의 모디파이어를 함유하는 30nm 이하의 고밀도 NSM 및 리간드를 NSM에 직접적으로 바인딩하는 변형 방법에 관한 것이다. 하나 이상의 카르복실기 및 하나 이상의 아민기를 포함하는 리간드, 유기설포네이트 및 유기설페이트로 이루어진 그룹중에서 선택된 하나 이상의 리간드로 변형된 리간드 직접 바인딩 나노크기 마그네타이트 및 그 유도체를 제공한다.리간드 직접 바인딩 나노크기 마그네타이트 및 그유도체와 이들을 제조하기 위한 2단계 변형방법은 리간드 직접 바인딩 나노크기 마그네타이트 및 그 유도체와 이를 제조하는 방법에 관한 것으로, 리간드 직접 바인딩 나노크기 마그네타이트는 균일한 입자크기분포를 가지면서도 35 EMU/G 이상의 자성을 가지고, 그 입자크기가 30NM 이하인 것을 특징으로 하며, 이러한 특징을 갖는 리간드 바인딩 나노크기 마그네타이트 및 그 유도체를 제조하는 2단계 방법이 제공된다.본 기술에 따른 리간드 바인딩 30nm 이하의 마그네타이트는 균일한 입자크기분포를 가지면서도 35emu/g 이상의 자성과 고효율의 적용성을 갖으며, 이를 제조하는 리간드 바인딩 NSM의 제조방법은 단지 몇 시간 안에 산업 스케일의 소수성 혹은 친수성 리간드 바인딩 NSM을 합성할 수 있으며, 준비된 NSM에 L1 리간드가 존재하기 때문에 고농도의 시약에서 반응이 일어난다고 할지라도 변형 후에 어떤 성장도 일어나지 않기 때문에 입자 사이즈를 20nm이하로 유지시킬 수 있고, 수득한 L2-바인딩 NSM은 고밀도의 바인딩 리간드 L2 리간드를 가지고 있어 35emu/g 이상의 강력한 포화 상자성을 가질 수 있으며, 적절한 L2 리간드를 선정하게 되면, 소수성 혹은 친수성 L2 바인딩 NSM을 용이하게 얻을 수 있다.

보유기관
연세대학교
등록일
2006-05-24
상세보기
일반기술 화학 > 유기금속화학

기계적 합금화에 의한 ZnMgO 합금분말의 제조방법

본 발명은 기계적 합금화에 의한 ZnMgO 합금분말의 제조방법 및 이에 의해 제조된 ZnMgO 합금분말에 관한 것이다. 본 발명에 의한 제조방법은 ZnO분말과 MgO분말을 각 분자의 몰수비가 9.99:0.01∼7:3이 되도록 혼합하고 볼밀장치로 기계적 합금화를 한 다음, 이 때 얻어진 ZnMgO 합금분말을 500∼600℃의 산소분위기에서 열처리하는 단계를 포함한다. 본 발명에 의하면, 자외선 영역에서 동작하는 발광소자, 수광소자 또는 전자소자에 이용될 수 있는 ZnMgO를 종래의 필름증착 방법과는 달리 매우 간단하고 저렴하게 합금화 할 수 있다.ZnO분말과 MgO분말을 각 분자의 몰수비가 9.99:0.01~7:3이 되도록 혼합하고 볼밀장치로 기계적 합금화를 한 다음 이때 얻어진 ZnMgO합금분말을 500-600C의 산소분위기에서 열처리하는 단계를 포함한다.본 발명은 ZnMgO 합금 분말의 제조방법 및 그 합금분말에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 ZnO와 MgO분말을 기계적 합금화 방법인 볼밀을 이용하여 ZnMgO 분말을 합성하는 방법 및 이에 의해 제조되는 ZnMgO 합금 분말에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 자외선 영역에서 동작하는 발광소자, 수광소자 또는 전자소자에 이용될 수 있는 ZnMgO를 종래의 필름증착 방법과는 달리 매우 간단한 방법으로 합금화 할 수 있으므로 생산성 및 경제성면에서 우수하다는 장점이 있다.

보유기관
고려대학교
등록일
2006-05-11
상세보기
일반기술 화학 > 유기금속화학

산화티타늄 광촉매의 제조방법

고효율의 산화티타늄 광촉매를 제조하는 방법이 개시된다. 산화티타늄 광촉매의 제조방법은 산화티타늄의 박막성장 전 플라즈마 처리를 통해 유리를 표면개질 시키고, <112> 방향을 우선방향으로 성장시킴으로서 다공질의 원주형 구조로 산화티타늄을 제조하여 광촉매 특성을 극대화시키는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따르면 간단한 공정을 통해 <112> 방향으로 우선배향하고 있는 산화티타늄 박막을 제조할 수 있으며, 본 발명에 따라 제조된 산화티타늄 광촉매는 박막이 수직으로 성장되었기 때문에 동일한 양을 증착시켰을 경우 박막의 두께가 두꺼울 뿐만 아니라 매우 넓은 면적의 다공질 구조이므로 산화티타늄 광촉매의 효율이 증가하는 장점을 가지고 있다.산화티타늄 광촉매의 쓰임새가 늘어가고 있는 현재 이 발명은 가스공급관을 통해 공급되는 플라즈마화 기체 및 산소를 RF 플라즈마 생성기에 유입시키는 단계 상기 플라즈마화 기체를 RF 플라즈마 생성기를 사용하여 플라즈마화하고 반응온도 250∼410℃의 반응기(5)에 유입시키는 단계 상기 플라즈마를 이용하여 유리 기판의 표면을 개질하는 단계 및 증발기 내에 있는 유기티탄화합물을 가열에 의해 증기화하고 상기 반응기로 유입시켜 증착시키는 단계를 포함하는 여러 과정을 거쳐 생성되는 산화티타늄 광촉매의 제조방법이다.

보유기관
고려대학교
등록일
2006-05-22
상세보기
일반기술 화학 > 유기금속화학

식물병원세균에 의해 유도되는 고추 유래의 아스코르베이트 과산화효소 유전자와 과산화효소 유전자 및 상기 유전자를 이용한 식물방어반응 탐색 방법

*원리 및 구성 식물 병원성 세균 혹은 식물체 병저항성 유도물질에 의해 유도되는 고추 유래의 방어유전자 및 상기 유전자를 이용한 식물방어반응의 탐색방법에 관한 것으로, 본 기술은 식물 병원성 세균 혹은 식물체 병저항성 유도물질에 의해 유도되는 방어유전자인 고추 유래의 아스코르베이트 과산화효소 및 과산화효소를 각각 코딩하는 유전자를 제공하는 뛰어난 효과가 있다. 또한, 본 발명은 방어유전자인 고추 유래의 아스코르베이트 과산화효소 및 과산화효소를 각각 코딩하는 유전자를 이용하여 식물방어반응을 탐색하는 방법을 제공하는 뛰어난 효과가 있다. * 중요성 및 독창성과 앞으로의 활용분야 본 발명 고추 유래의 아스코르베이트 과산화효소 및 과산화효소를 각각 코딩하전자를 이용하여 식물방어반응의 표지 및 고추분자육종을 위한 유전재료로서 사용될 수 있는 기술이다.*개발에 대한 상세설명 서열목록의 서열 1에 기재된 염기서열로 표시되며, 식물 병원성 세균 혹은 식물체 병저항성 유도물질에 의해 발현 유도됨을 특징으로 하는 고추 유래의 아스코르베이트 과산화효소를 코딩하는 유전자. *적용제품 및 앞으로의 활용분야본 기술은 식물 병원성 세균에 의해 유도되는 고추 유래의 방어유전자 및 상기 유전자를 이용한 식물방어반응의 탐색방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 본 발명은 식물 병원성 세균 혹은 식물체 병저항성 유도물질에 의해 유도되는 고추에서 얻은 아스코르베이트 과산화효소 및 과산화효소를 각각 코딩하는 유전자와 상기 유전자들을 이용한 식물방어반응의 탐색방법에 관한 것이다. 이에 식물방어반응을 탐색하고 제어하는데 커다란 도움이 되는 기술이라 하겠다*주요적용제품농약제품과 식물품질 개선제품유전재재료품*특징 및 장점식물방어반응을 탐색하고 제어하는데 커다란 도움이 되는 기술

보유기관
고려대학교
등록일
2006-05-24
상세보기
일반기술 화학 > 유기금속화학

고구마 에이디피-글루코즈 인산화 효소 유전자에서 유래된엽록체 타겟팅용 디엔에이 염기서열 및 이를 포함하는플라스미드 벡터

*원리 및 구성본 기술에 의해 얻어진 고구마 유래 ADP-글루코즈 인산화 효소 CDNA들의 5' 말단 부위의 2종류의 DNA 염기서열들은 엽록체 타겟팅 DNA 염기서열들로, 유용 단백질을 엽록체로 이동시켜서 대량생산하고자 하는 경우에 유용한 기술이다.*개발배경ADP-글루코즈 인산화 효소는 식물체 내의 전분 합성과 관련하여 그 함량을 조절하는 효소로 전분체 안에 존재한다. 그 중에서 옥수수 배유의 ADP-글루코즈 인산화 효소는 활성의 95% 이상이 전분체 밖, 세포질에서 확인되었으며, 토마토 과일의 페리캅에서는 세포질과 전분체에서 모두 발견되었고, 보리 배유에서는 각각 다른 이성체들이 전분체와 세포질에 각각 존재한다는 사실을 발견하였다.*중요성 및 독창성IBAGP-STL1과 IBAGP-STL2 두 가지 종류의 고구마 유래 ADP-글루코즈 인산화 효소 CDNA들의 5' 말단 부위 염기 276(IBAGP-STL1)과 253(IBAGP-STL2) DNA 염기서열과 이 염기서열들이 코딩하는 펩티드, 그리고 앞서 언급한 두 가지의 DNA 염기서열을 각각 포함하는 플라스미드 벡터들을 발견해 냄으로서, 유용 단백질을 대량으로 생산할 수 있는 기술을 획득하게 되었다는 것이 본 기술의 큰 의의라고 할 수 있다.*적용제품고구마에서 발견되어진 DNA 염기서열 및 이러한 염기서열을 포함하는 플라스미드 벡터들은 엽록체 타겟팅에 사용되어 유용 단백질을 효과적으로 대량 생산할 수 있도록 한다. 따라서 이러한 유용 단백질을 이용한 관련 제품이나 응용연구 분야에서도 사용할 수 있는 기술이라 하겠다.*특징 및 장점- 고구마 유래 ADP-글루코즈 인산화 효소의 CDNA인 IBAGP-STL1과 IBAGP-STL2 의 5' 말단 부위 염기 276(IBAGP-STL1)과 253(IBAGP-STL2)의 DNA 염기서열은 엽록체 타겟팅 DNA 염기서열이다.- 발견된 DNA 염기서열과 이 염기서열로 코딩되는 펩티드들은 유용 단백질을 엽록체로 이동시켜 많은 양의 유용 단백질을 얻을 수 있도록 하는 역할을 한다.

보유기관
고려대학교
등록일
2006-05-18
상세보기
일반기술 화학 > 유기금속화학

유기금속 화학증착법에 의한 산화마그네슘계 박막 형성 방법

본 발명은 유기금속 화학증착법에 의한 산화마그네슘계 박막의 제조방법에 관한 것으로서, 마그네슘-함유 유기금속 및 산소-함유 기체 또는 유기물을 반응기에 주입시키면서 10-3 내지 760 mmHg의 압력, 200 내지 700℃의 내부온도 조건하에서 다양한 기재 위에 막을 성장시키는 것을 포함하는 본 발명에 따른 유기금속 화학증착법에 의하면, 결정형 기재뿐만 아니라 무정형 기재상에서도 결정성이 우수한 산화마그네슘계 박막을 성장시킬 수 있다.본 발명에 따라 형성된 산화마그네슘계 막은 결정형 기재뿐만 아니라 무정형 기재상에서도 결정성이 우수한 박막으로 성장하여 다양한 광소자 및 전자 소자에 효율적으로 사용될 수 있으며, 본 발명의 방법에 의하면 이러한 우수한 특성의 산화마그네슘 박막을 대량으로 제조할 수 있다.본 발명에 사용되는 유기금속 화학증착 장치의 개략도로서, 본 발명의 산화마그네슘계 박막 제조방법에 따르면, 유기금속과 산소함유 물질을 별개의 라인을 사용하여 증착 장치내로 도입하고 장치를 상압 또는 저압, 및 200 내지 700℃로 유지하면서 산화마그네슘 박막의 증착을 수행할 수 있다.본 발명에 사용되는 마그네슘-함유 유기금속으로는 비스사이클로펜타다이에닐마그네슘(bis-cyclopentadienyl-Mg,(C5 H5 )2 Mg), 비스메틸사이클로펜타디에닐마그네슘(bis-methylcyclopentadienyl-Mg, (C 6 H7 )2 Mg), 비스에틸클로펜타디에닐마그네슘 (bis-ethylcyclopentadienyl-Mg, (C 2 H5 C5 H4 )2 Mg), 비스펜타메틸클로펜타디에닐마그네슘(bis-pentamethylcyclopentadienyl-Mg, [(CH 5 )3 C5 ]2 Mg), 마그네슘 아세테이트 (Mg(OOCCH3 )2 ·2H2 O),마그네슘 아세테이트 무수물(Mg(OOCCH3 )2 ) 및 마그네슘 아세틸아세토네이트(Mg(C5 H7 O2 )2 ·H2 O) 등을 들 수 있다. 이들 유기금속들의 기화온도는 20 내지 50 ℃의 범위를 갖는다. 상기 유기금속은 기화된 후, 운반기체로서 비활성기체, 예를 들면 아르곤에 의해 증착 장치내로 도입된다. 또한, 본 발명에 사용되는 산소-함유 기체로는 O2 , O3 , NO2 , 수증기 및 CO2 등을 들 수 있으며, 산소-함유 유기물로는 메틸에틸케톤(C4 H8 O) 등이 있다.

보유기관
대구기술이전센터
등록일
2006-06-12
상세보기
일반기술 화학 > 유기금속화학

유기금속 화학증착법에 의해 형성된 산화아연마그네슘박막 및 이의 제조방법

본 기술은 유기금속 화학증착법에 의한 산화아연-마그네슘 박막의 제조방법에 관한 것으로서, 아연-함유 유기금속 및 마그네슘-함유 유기금속, 및 산소-함유 기체 또는 유기물을 별개의 라인을 통해 반응기에 주입시키고, 10-3 내지 760 mmHg의 압력, 200 내지 800℃의 내부온도를 갖는 반응기 조건하에서, 상기 반응물질들의 유량을 각각 0.1 내지 10 sccm, 5 내지 50 sccm 및 20 내지 100 sccm의 범위로 조절함으로써 마그네슘의 몰분율을 제어함을 통해 기재 위에 상기 박막을 성장시키는 것을 포함하며, 본 기술에 따른 유기금속 화학증착법에 의하면, 대량생산이 가능하고 결정성이 우수한 산화아연-마그네슘 박막을 제조할 수 있다.본 기술의 유기금속 화학증착법에 의해 형성된 ZnMgO 박막은, Mg을 첨가함에 따라 큰 변화 없이 밴드갭이 증가되고, Mg을 적어도 47%까지 함유하면서도 상분리가 일어나지 않으며, Mg의 몰분율을 조절함으로써 원하는 파장대의 광검출 및 발광 소자로서 사용될 수 있으며, 나아가 ZnO/ZnMgO와 같은 이종접합구조를 갖는 양자 우물 구조를 이용함으로써 전자를 효율적으로 구속시켜 발광효율을 증대시킬 수 있다. 본 기술의 목적은 아연-함유 유기금속, 마그네슘-함유 유기금속, 및 산소함유 기체 또는 유기물을 각각 반응기에서 별도의 라인을 통해 유량을 조절하여 주입하면서 200 내지 800℃의 온도, 10 -3 내지 760 mmHg의 압력 조건에서 화학적 증착법에 의해 Zn1-x Mgx O 박막을 대량으로 제조하는 방법을 제공하는데 있다.

보유기관
대구기술이전센터
등록일
2006-05-18
상세보기
일반기술 화학 > 유기금속화학

루테늄/루테늄 산화물 박막 형성 방법

본 기술은 유기금속화학증착법에 의해 RU(OD)3 전구체로부터 RU 및 RUO2 박막을 제조하는 방법에 관한 것으로 RU는 열역학적으로 안정한 산화물 RUO2 또한 금속 전도성을 나타내기 때문에 집적회로 제작에 박막으로 많이 사용디고 있으며 주로 유기금속화학증착법에 의해 박막으로 증착된다.유기금속화학증착법은 버블러를 이용하여 전구체를 증착 반응기로 유입하는 방식과 액상의 전구체를 순간기화기를 이용하여 기화시켜 증착 반응기로 유입시키는 방식의 2가지가 있다. 이중 순간기화기를 이용하여 기화시키는 방식은 전구체의 유입량을 쉽게 조절할 수 있어 대량생산에 알맞는 높은 증착 속도를 얻을 수 있으므로 각광받고 있는 기술이다. 그러나 이 순간기화기를 이용하기 위해서는 전구체가 용매에 대해 높은 용해도를 가져야 한다는 조건을 만족하여야 한다. 그러나 박막 제조에 사용되는 전구체 대부분은 상온에서 고체형태이며 용매에 대한 용해도도 낮고 용매와 반응을 일으킬 수 있어 순간기화기를 이용하는 화학증착법에는 사용하기가 어렵다는 문제점이 있다.본 기술은 이러한 문제점을 해결하여 용매에 대해 높은 용해도를 가져 순간기화기를 통해 쉽게 RU/RUO2 박막을 제조할 수 있는 액상 전구체를 이용함으로써 높은 증착 속도로 고순도의 RU 또는 RUO2박막 또는 이들의 혼합박막을 형성하는 방법을 제공한다.RU/RUO2 박막의 제조를 위해 전구체로서 RU(OD)3를 사용한다. 이 RU(OD)3는 상온에서 액상 형태로 알콜성 용매에 높은 용해도를 가져 전구체 용액을 제조하기가 매우 용이하므오 안정적으로 전구체를 이송할 수 있게 하며, 또한 순간기화기가 220 내지 240℃범위의 온도로 유지되며, 아르곤과 산소의 혼합가스에서 산소의 비율을 30%미만 범위로 조절하는 점, 순간 기화기에 다공성 금속 스폰지가 장착되어 있어 전구체 증기를 다공성 금속 스폰지를 통과시킨 후 증착반응기에 도입시키고 증착온도를 300내지 450℃범위로 조절하여 박막을 형성시키는 특징이 있다.이에 따라 RU(OD)3를 전구체로 사용하여 유기금속화학증착법에 의해 RU/RUO2 박막을 증착시키면 순간기화기에 의해 전구체 증기를 생성시킴으로써 우수한 특성을 가진 고순도의 박막을 높은 증착속도로 기판상에 형성시킬 수 있는 특징이 있다.

보유기관
포항공과대학교
등록일
2006-05-22
상세보기
일반기술 화학 > 유기금속화학

유기금속 화학증착법에 의한 레이저용 산화아연계 박막의 제조 방법

본 기술은 유기금속 화학증착법에 의한 레이저용 산화아연계 박막의 제조방법에 관한 것으로서, 아연-함유 유기금속 및 산소-함유 기체 또는 유기물을 별개의 라인을 통해 반응기에 주입시키면서 산소-함유 기체 또는 유기물의 주입라인을 기재 표면 중앙 지점으로부터 1 내지 5cm 앞에 위치시키고, 1 내지 10torr의 압력, 250 내지 700℃의 내부온도 및 냉벽(cold wall) 반응기 조건하에서 기재 위에 막을 성장시키는 것을 포함하는 본 발명에 따른 유기금속 화학증착법에 의하면, 우수한 광학 특성을 갖는 레이저용 산화아연계 박막을 제조할 수 있다.넓은 면적의 증착이 가능하여 대량생산에 유리하며 용이한 도핑 조절 및 저온 증착과 같은 잇점을 갖는 유기금속 화학증착법(MOCVD)을 이용하여 결정성 및 광특성이 우수한 산화아연 박막을 대량으로 성장시키기 위한 연구가 진행되고 있으나, 아직까지는 MBE 또는 PLD로 성장시킨 박막에 비해 그 품질이 많이 떨어져 단지 투명전극용 옥사이드 필름을 증착하는 수준에 머물러 있을 뿐 MOCVD에 의한 레이저용 산화아연 박막의 제조는 이루어지지 않고 있는 실정이다.그러나 본 기술에 따라 형성된 산화아연계 막은 결정형 뿐만 아니라 무정형 기재 위에서도 c-축 배향성을 지닌 결정성이 우수한 박막으로 존재하고 실온에서 강한 자외선 흡수 피크 및 매우 좁은 광발광 피크를 보여주는 등 우수한 광학 특성을 가져 다양한 광전자 소자에 발광체 또는 수광소자로서 효율적으로 사용될 수 있으며, 본 기술에 의하면 이러한 우수한 특성의 레이저용 산화아연 박막을 대량으로 제조할 수 있다.

보유기관
포항공과대학교
등록일
2006-05-12
상세보기
일반기술 화학 > 유기금속화학

유기금속 화학증착법에 의한 산화마그네슘계 박막 형성 방법

최근 플라즈마 패널 디스플레이(plasma panel display; PDP)의 보호막 및 이차 전자 방출용으로 산화마그네슘계(MgO) 박막에 관해 많은 연구가 진행되어 왔다. 특히 스퍼터링(sputtering) 및 열(thermal) 또는 전자 빔 증착(electron beam evaporation)을 이용한 물리적 증착법을 이용하여 MgO 박막을 제조함으로써, 플라즈마 패널 디스플레이의 상업화가 가능해졌다. 그러나 상기 물리적 증착법은 비교적 고진공이 요구되고, 넓은 면적 위에 박막을 증착시키기 어려우며, 장치가 복잡하고 장비 제작에 고비용이 소요되는 단점을 갖는다. 이러한 단점을 극복하기 위하여, 가스 형태의 반응물질간의 화학반응에 의해 박막을 성장시킴으로써 넓은 면적의 박막 증착이 가능하고, 이에 따라 MgO 박막의 주된 응용성인 PDP 보호막 개발에 매우 유리하며, 또한 대량생산이 가능하고, 용이한 도핑 조절 및 저온 증착의 장점을 갖는 화학적 증착법이 요구되고 있다.본 기술은 유기금속 화학증착법에 의한 산화마그네슘계 박막의 제조방법에 관한 것으로서, 마그네슘-함유 유기금속 및 산소-함유 기체 또는 유기물을 반응기에 주입시키면서 10-3 내지 760 mmHg의 압력, 200 내지 700℃의 내부온도 조건하에서 다양한 기재 위에 막을 성장시키는 것을 포함하는 본 발명에 따른 유기금속 화학증착법에 의하면, 결정형 기재뿐만 아니라 무정형 기재상에서도 결정성이 우수한 산화마그네슘계 박막을 성장시킬 수 있다.ZnO박막에 마그네슘을 첨가하면 큰 변화없이 밴드갭이 증가하기 때문에 Mg의 몰분율을 조절해서 원하는 파장대의 광검출 및 발광소자를 제작할 수 있다. 또한 ZnO/ZnMgO 이종접합구조(Heterostructure)로 이루어진 양자우물구조를 만들면 전자를 효율적으로 구속시켜 발광효율을 증대시킨다. 본 기술에서는 유기금속 화학증착법을 이용해 Mg가 대량 함유된 고품질의 ZnMgO 박막을 대량으로 제조할 수 있으며 이는 ZnO 및 ZnMgO계 산화물 반도체 광소자 개발도 가능케 할 것이다.

보유기관
포항공과대학교
등록일
2006-05-24
상세보기
일반기술 화학 > 유기금속화학

고온 내산화성이 우수한 Ti-Al계 금속간화합물

종래 Ti-Al계 금속간화합물은 상온연성이 낮아 소성가공이 곤란하다는 점과 800℃ 이상의 온도영역에서는 보호성이 높은 Al2O3 피막보다 보호성이 낮은 TiO2 피막이 지배적으로 형성되어 내산화성의 부족으로 인하여 실용화에 어려움이 있다. 본 발명은 이러한 문제점을 해결하고자 한다.본 발명은 고온 내산화성이 우수한 Ti-Al계 금속간화합물에 관한 것으로서, 본 발명의 Ti-Al계 금속간화합물은 Al 원소 35~55 원자%, 탄소 원소 0.001~2 원자 %, 할로겐 원소 0.001~1 원자%, 잔부는 Ti 원소의 조성으로 구성된다. 본 발명의 Ti-Al계 금속간화합물은 상기 조성에 더하여 상온연성을 증가시킬 수 있는 제 3원소를 1종 이상 포함할 수 있다. 본 발명의 조성물은 경량성을 유지하면서 고온 내산화성이 우수한 금속간화합물이며, 상기 제 3원소를 포함할 경우 상온연성, 고온강도, 크리프 특성 등이 개선된 금속간화합물을 얻을 수 있다.본 발명은 경량성을 유지하면서 고온 내산화성이 우수한 Ti-Al계 금속간화합물을 제공하기 위하여, Al 원소 35~55 원자%, 탄소 원소 0.001~2 원자%, 할로겐 원소 0.001~1 원자%, 잔부 Ti 원소의 조성으로 이루어지는 Ti-Al계 금속간화합물을 제공한다. 또한, 본 발명의 Ti-Al계 금속간화합물은 상기 조성에 더하여 Mn, Cr, V, Nb, Mo, W, Ta, Fe, Co, Ni, Cu, Ag, Hf, Zr, Si 등의 원소중 적어도 1종 이상의 원소를 0.5~5 원자%로 함유하여 상온연성, 고온강도, 크리프 특성 등을 향상시키는 것이다.Ti, Al에 탄소 및 할로겐 원소를 포함하는 Ti-Al계 금속간화합물은 고온 산화시 형성되는 TiO2 피막이 할로겐 가스와 일산화탄소 가스에 의해 분해되어 결과적으로 TiO2 피막의 생성이 억제되고, Al2O3 피막 형성이 촉진됨으로 인하여 고온 내산화성이 향상된 경량내열 Ti-Al계 금속간화합물로 제조된다.또한, 상기 Ti-Al계 금속간화합물에 제 3의 원소를 1 종 이상을 추가로 첨가함으로써 상온연성, 고온강도, 크리프 특성 등이 개선된 Ti-Al계 금속간화합물을 얻을 수 있다.경량성을 유지하면서 고온 내산화성이 우수한 Ti-Al계 금속간화합물은 자동차용 엔진 부품 및 항공기용 엔진 부품을 비롯한 수송기기 관련 분야를 포함하는 각종 산업분야에서 신소재로 사용될 수 있다. 본 발명을 통한 기업화 전망에 따른 효과는 경량성을 유지하면서 고온 내산화성이 우수한 Ti-Al계 금속간화합물를 제조함으로써, 미국 및 일본의 선진국의 연구에 집중된 분야를 개척하여 기술적인 자립의 의의가 있으며, 경량성을 유지하면서 고온 내산화성이 우수한 Ti-Al계 금속간화합물을 응용한 기초․개발․실용화 분야에 확대 응용할 수 있다.

보유기관
인하대학교
등록일
2006-05-12
상세보기
일반기술 화학 > 유기금속화학

유기 나노관의 합성 및 이를 주형으로 이용한 초미세 금속나노선의 합성

본 기술은 유기 나노관의 합성 및 이를 주형으로 이용한 산환환원반응을 통한 초미세 금속 나노선의 합성에 관한 것이다.기존의 유기 나노관으로는 원형 펩타이드(cyclic peptide) 나노관, 리피드(lipid) 나노관, 사이클로덱스트린(cyclodextrin) 나노관 등이 있지만, 이들 모두 전기화학적, 광화학적 특성이 없어 화학적인 응용성이 많이 떨어진다.본 기술은 우수한 전기화학적 및 광화학적 특성을 가진 자기-정렬되는 유기 계로서 나노관을 합성하는 방법과, 더 나아가, 수득된 나노관을 주형으로서 이용하여 그 내부에 정렬된 단결정성 초미세 금속 나노선을 합성하는 방법을 제공한다.본 기술에 따른 CHQ 나노관은 자기-정렬성 유기 나노관으로서, 1) 수성 환경 하에서 매우 얇을 뿐 아니라2) 관 다발의 잘-정렬된 배열체로 성장될 수 있다. 본 발명에 따른 유기 나노관은 양성자/전자 터널링 현상 및 기타 물리적, 화학적 특성 면에서 우수하다.본 발명의 나노관의 강한 환원력을 이용하여 나노관을 주형으로 이용함으로써 금속 이온의 나노 구조체를 용이하게 제조할 수 있다. 또한 기존 합성법과는 달리 상온, 상압의 용액상에서 모든 실험이 이루어지므로 매우 실용적이며 나노선 중 가장 작은 지름의 특성을 가질 뿐 아니라 일정한 공간적 배열을 이루고 있어 현 기술의 수천배 이상의 집적도를 가진 회로 및 기억소자 개발에 획기적인 기여를 할 것으로 기대된다.

보유기관
포항공과대학교
등록일
2006-05-22
상세보기
일반기술 화학 > 유기금속화학

유기금속 화학증착법에 의한 피젯티 박막의 제조 방법

강유전체 박막으로서 유용한, PZT 박막을 비롯한 산화물 박막의 제조방법으로서, RF 마그네트론 스퍼터링(Radio Frequency magnetron sputtering), 이온 빔 스퍼터링(ion beam sputtering), 반응성 공-증발법(reactive co-evaporation), 금속 유기분해법(MOD, Metal Organic Decomposition), 액상원료 화학증착법(LSMCD, Liquid Source Misted Chemical Decomposition), 레이저 에블레이션(Laser Ablation) 및 유기금속 화학증착법(MOCVD) 등이 개발되었다.본 기술은 유기금속 화학증착법에 의한 PZT(lead zirconate titanate) 박막의 제조방법에 관한 것으로, 구체적으로는, 적합한 유기금속 착체들을 선별하여 Pb, Zr 및 Ti 각각의 전구체로서 사용함으로써 원하는 조성의 PZT 박막을 저온에서 제조할 수 있는 유기금속 화학증착법(MOCVD, metal organic chemical vapor deposition)에 관한 것이다.MOCVD는 유기금속 전구체 화합물을 기화시킨 후 화학 반응을 통해 원하는 고체 재료 박막을 합성하는 공정으로, MOCVD에 의하면, 분자 수준에서 최종 박막의 형성 공정을 제어할 수 있고, 유기금속 화합물의 분해 온도가 낮아 저온 공정이 가능하며, 원료물질의 도입량과 수송 가스량을 조절하여 박막의 조성과 증착 속도를 제어할 수 있고, 대면적 균일도(large area uniformity)가 좋아 대단위 공정에 적용할 수 있으며, 기판 표면에 손상이 없이 단차 피복성(step coverage)이 우수한 박막을 얻을 수 있다.

보유기관
포항공과대학교
등록일
2006-05-10
상세보기
일반기술 화학 > 유기금속화학

란타늄 착체 및 이를 이용한 비엘티 박막의 제조 방법

이제까지 BLT 박막 제조에 사용된 금속의 전구체들 중 대표적인 Ti 전구체인 Ti(i-OPr)4 (i-OPr = 이소프로폭시드)는 습기에 매우 민감하여 가수분해나 수화반응이 쉽게 일어나고, 대표적인 La 전구체인 La(tmhd)3 (tmhd = 테트라메틸헵탄디오네이트)는 용해도가 낮아 직접 액체 주입법에의 적용이 불가능하였다.본 기술은 La 착체 및 이를 이용한 BLT(Bi4-xLaxTi3O12(0<x<4)) 박막의 제조방법에 관한 것으로, 구체적으로는, 용해도가 높고 증착 효율이 우수한 La 착체, 및 상기 La 착체를 비롯하여 적합한 Bi 및 Ti 전구체를 사용함으로써 BLT 박막을 온화한 조건 하에서 제조할 수 있는 유기금속 화학증착법(MOCVD, metal organic chemical vapor deposition)에 관한 것이다.본 기술에 따르면, 전구체들을 직접 액체 주입법(DLI, direct liquid injection) 또는 버블링(bubbling) 운송법에 의해 기화 및 운송하여 250 내지 450℃의 저온에서 기판 상에 BLT 박막을 증착시킬 수 있다.직접 액체 주입법(DLI)을 사용하는 경우, 본 기술은, 각각의 금속 전구체들을 용매에 녹여 전구체 용액을 제조한 다음, 이 용액을 적절한 유속으로 기화기로 주입하여 100 내지 300℃에서 기화시킨다. 전구체 용액의 제조에는 n-부틸아세테이트, 헵탄, 옥탄 및 테트라히드로푸란(THF) 등의 유기용매를 사용할 수 있으며, 2 내지 3 성분을 함께 포함하는 혼합용액으로 제조하거나 또는 전구체 간의 상호반응을 방지하기 위해 별개의 용액으로 제조할 수 있다. 용액의 주입에는 용액의 흐름을 정밀하게 제어할 수 있는 컨트롤러(controller)(예: 유량 측정기(LFM, liquid flow meter), 시린지 펌프(syringe pump))를 이용할 수 있다.전구체를 용기(버블러)에 넣고 용기를 가열하여 전구체를 반응기로 주입하는 버블링 운송법을 사용하는 경우, 본 발명은, 전구체를 담은 용기의 온도를 상온 내지 200℃로 유지하면서 비활성 운반가스(예: Ar, N2)를 전구체에 통과시켜 전구체를 포함하는 기체를 반응기로 운송한다. 필요에 따라, 운반가스를 사용하지 않고 전구체 자체의 증기압을 이용하여 반응기로 운송할 수도 있다.결정성을 얻기 위해, 증착된 박막을 600 내지 800℃에서 열처리할 수 있다. 또한, 기판으로는 통상적인 것을 사용할 수 있는데, 구체적인 예로는 실리콘, Pt, Ir, Ru, IrO2 및 RuO2 등을 들 수 있다.

보유기관
포항공과대학교
등록일
2006-05-10
상세보기