산업기술 통합검색
이제까지는 박막의 증착이 원자나 분자 단위로 이루어진다고 생각하고 공정최적화를 해왔다. 그러나 미세조직 연구단에서의 연구 결과 대부분 산업에서 사용하는 박막의 증착은 성장단위가 전하를 띤 클러스터 임이 확인 되었다. 따라서 이러한 사실을 이요하여 획기적인 박막증착 공정이 가능하다.1. 클러스터의 크기를 제어하고 전하를 인가함으로써 원하는 박막을 증착 2. 클러스터의 크기를 줄이고 전하를 인가함으로서 에피증착을 개선 3. 각종 박막 공정의 개선
본 기술의 주요 내용은 두개로 구분 될 수 있다. 첫째는 최첨단 로봇기술을 접목한 다품종 소량생산에 적합한 적응생산을 위한 분산 제어 시스템과 사용자의 입력을 받아들이기 위한 사용자 인터페이스 설계 및 구현 기술로, 다품종 소량생산에 유연하게 대처 할 수 있도록 CAD data를 활용하여 간단한 조작만으로 쉽게 데이터를 조작, 수정 및 변경이 가능한 시스템이고, 두 번째 기술은 분산 제어시스템을 위한 실제 장치들을 구동 및 제어 할 수 있는 전용제어기의 개발이다.- 분산제어 기술의 도입으로 실시간으로 대상디바이스를 제어 할 수 있다. - 전용제어기의 개발로 각 디바이스의 특징에 맞게 제어할 수 있다. - 사용자 인터페이스 기술개발로 사용자가 원하는대로 쉽게 제어 및 구동이 가능
* 사용자의 얼굴/눈 움직임 추적 기술 1. 얼굴/눈의 움직임에 의한 가상 현실 시뮬레이터에서의 view control 2. 손발을 사용하지 못하는 장애자들을 위한 단말 기능 3. 공장 제어 시스템에서 얼굴/눈의 움직임에 의한 제어 입력 interface system 4. 얼굴의 3D 움직임을 영상 처리 방법에 의해 추적하여 VR용 position tracker 대용 5. 얼굴움직임 및 눈 깜박임등을 감지하여 운전자가 조는 경우를 방지할 수 있는 졸음 방지 시스템 6. 얼굴/눈의 움직임에 의한 컴퓨터 마우스/키보드 대용 * 사용자의 시선 위치 파악 기술 1. 조종사의 시선 위치에 따라 적기를 targeting하는 Automatic Flighter Targeting system 2. 원격 화상회의에서 사용자의 응시 위치에 따라 camera를 자동 focusing 3. 상품 진열대나 광고 전시관등에서 사용자의 시선 방향 감지를 통해 관심 위치를 파악해냄으로써 상품 Marketing 등에 활용 가능 4. 항공기나 관제탐등 많은 계기판을 가지고 있는 control system에서 사용자의 응시 위치 파악을 통해 계기판을 재배치하거나 및 동작 제어등에 활용 * 사용자의 얼굴/특징점 추출 기술 1. 현금 자동 인출기에서 사용자의 신원 파악을 위한 얼굴 식별 시스템 2. 보안용 얼굴 인식/검증 시스템본 기술에서 개발한 system은 S/W기술로 구현되어 있어서, 영상 입력용 장비외에 별도의 부가 장비를 필요로하지 않음 사용 기종 : PC용 (Pentium 급), W/S용 (Sun, SGI, HP등) 사용환경 : PC용 (WIN 3.1, Win 95, Win 98, Win NT),W/S용 (Sun Solaris, SGI Irix 등) 개발언어 : PC용 (Visual C++ 5.0, Windows MFC, SDK),W/S용 (C++, X library) 영상 입력용 장비 : CCD camera와 영상 capture board ,혹은 digital CCD camera 처리 속도 : 사용자의 얼굴/특징점 추출 : 20∼23 frames/sec 사용자의 얼굴/눈 움직임 추적 : 15∼18 frames/sec 사용자의 시선 위치 파악 : 10∼12 frames/sec
FEC(Forward Error Correction) 기법 중에서 연집 오류 정정에 우수한 성능을 보이는 RS 부호의 복호기일반적으로 FEC(Forward Error Correction) 기법 중에서 연집 오류 정정에 우수한 성능을 보이는 RS 부호는 위성 통신, 이동 통신, ATM(Asynchronous Transfer Mode) 망, 디지털 저장 장치, HDTV 등 다양한 응용 분야에서 사용되고 있다. 또한 최근 신뢰성 있는 고속 멀티미디어 데이터 전송을 위해 수백 Mbps 급의 전송 속도를 만족하는 RS 복호기의 필요성이 대두되었다. 본 기술은 기존의 수정 유클리드 알고리즘과는 달리 다항식 차수 연산을 위한 회로를 제거하여 고속의 RS 연산이 가능하며 하드웨어 복잡도가 낮은 새로운 구조이다.
레이저 가공시 용융풀에서 발생되는 빛을 레이저 집속에 사용된 집광렌즈를 통해 고속인 단위소자의 광검출기로 측정할 때 파장별의 색수차 특성을 이용하고 전산처리하여 용융풀의 크기 및 위치 이동을 감지하여, 레이저 가공시의 상태 감시 및 초점위치 제어를 실시간/자동으로 할 수 있는 기술로서, 세계적으로 우리 고유의 기술로서 국제 특허 다수를 확보.(1) 이차원 영상측정용 array 광검출기를 사용하지 않고, 단일소자의 광검출기를 사용하여 고속으로 용융풀의 크기 변화를 감지할 수 있음. (2) 펄스형 및 연속발진형 레이저가공 모두에 적용 가능. (3) 고가이며 저속인 이차원 영상측정용 array 광검출기를 사용하지 않아 고속의 실시간 감시가 가능하며, 단순한 장치의 개발이 가능하여, 전체 감시장치의 가격을 절감시킬 수 있음. (4) 특히, 이차원 영상의 전송이 불가능한 광섬유 전송에 의한 레이저 가공시에도 레이저 가공상태의 감시 및 초점제어가 가능함. (5) 일반적으로 레이저 용접조건을 최적화하기 위해서는 여러 가지 조건의 다수의 용접시편을 용접 후에 파괴검사를 비교하면서 최적조건을 찾을 수 있으나, 본 레이저가공 감시장치를 활용하면 용접변수를 바꾸면서 실시간으로 용접폭 및 용접깊이 등의 실시간 측정이 가능하여 레이저 용접 최적화 개발에 매우 효과적임.
선실구획판넬의 차음성능 및 실선에서 선실간의 차음성능 향상 관한 내용으로 차음성능에 영향을 주는 설계인자와 해석 프로그램, 설계방향, 평가방법과 함께 국내 제품의 차음성능 데이터베이스 등을 포함하고 있다.(1) 이론적 결과를 실제품에 적용하여 설계기간 단축 (2) 100여개를 상회하는 차음구조의 성능 계측자료 (3) 추후 계측자료의 추가, 삭제등 확장성 있는 데이터베이스 운용 (4) 최신이론과 실제 국내 제품의 제반 환경을 반영
실시간 컴퓨터 애니메이션 기술은 가상 환경에서 다양한 가상 캐릭터의 자연스러운 표정이나 동작을 실사간에 생성하여 보여주는 것으로, 많은 노력과 시간이 소요되는 기존의 컴퓨터 애니메이션 제작 방식에서 과감히 탈피하여 실제 동작, 표정, 영상에 기반한 사실적인 동영상을 효율적으로 생성할 수 있다. 본 기술은 다음의 세 가지 요소기술들로 이루어진다. - 동작 포착 및 합성 기술 : 실제 사람의 자연스러운 움직임으로부터 가상 캐릭터의 동작 데이터를 생성하는 기술 - 표정 포착 및 합성기술 : 연기자의 얼굴 사진이나 비디오로부터 표정을 포착하여 가상 캐릭터의 얼굴 표정을 생성하는 기술 - 형상 기반 모델링 및 렌더링 : 환경 및 물체에 대한 일반 사진이나 깊이 정보 사진을 이용하여 배경에 대한 기하 구조를 모델링 하고 원하는 배경영상을 생성하는 기술(1) 본 연구를 통해 개발한 실시간 애니메이션 시스템은 연기자의 동작 및 표정의 포착과 합성을 실시간에 수행 할 수 있으며, 이를 통해 가상 캐릭터 애니메이션 제작 시간을 단축할 수 있다. 본 시스템은 이미 가상 캐릭터 "팡팡", "알리앙"등 KBS의 실제 방송물 제작에 활용되어, 그 효율성을 검증 받았다. (2) 본연구실이 보유하고 있는 동작 편집 기법은 동작데이터를 신시간에 원하는 조건을 만족하도록 변형시킬 수 있으며, 다중 동작간의 접합 및 혼합 역시 수행할 수 있다. 이러한 동작 편집 기법은 세계 최고 수준의 기술로서 셰계 유수의 학술지 및 학술대회에서 크게 호편 받은 바 있다.
본 기술은 유무선 통합 인터넷에서 다자간 응용 프로그램을 효과적으로 지원하는 멀티캐스트 프로토콜이다. 유니캐스트 TCP에 상응하는 “멀티캐스트 TCP” 기술로 대변될 수 있는 본 기술은, 수백, 수천 명의 참여자들을 수용할 수 있도록 하부 데이터 전송 방법으로 비신뢰적인 IP 멀티캐스트 프로토콜 (유선 및 이동)을 사용하며, 그 위에 에러 제어 (error control) 기능, 혼잡 제어 (congestion control) 기능, 멤버십 관리 및 순서화 (membership/ordering) 지원 기능을 덧붙인 구조로 이루어진다. 이 프로토콜의 설계 및 구현 시 가장 중점을 두어야 할 것은 이동 단말기를 포함한, 많은 수의 참여자를 지원할 수 있는 확장성 (scalability)과 멀티캐스트 세션 멤버십과 하부 네트워크의 변화에 대응할 수 있는 적응성 (adaptability)을 지녀야 하며, 또한 무선 인터넷 환경의 특성 특히 이동성 (mobility)을 지원할 수 있어야 한다는 것이다.● 에러 제어 기술 패킷 손실이 발생했을 때 피드백 폭주 (acknowledgment implosion)와 재전송 노출 (retransmission exposure) 문제를 최소화하면서 효율적으로 데이터 패킷을 재전송 하도록 한다. ● 혼잡 제어 기술 네트워크에 혼잡 상황이 발생할 때 이에 맞춰 전송률을 낮춤으로써 혼잡 상황을 빨리 벗어날 수 있도록 하는데, 기존의 인터넷 트래픽의 대부분을 차지하는 TCP 트래픽과 공정하게 네트워크 대역폭을 사용하도록 한다. ● 멤버십/순서화 지원 기술 그룹을 형성하고 있는 멤버 (혹은 프로세스)간의 일관성을 보장하기 위해, 멤버들의 모임인 뷰 (view)로 멤버십을 관리하고, 멤버들 간의 메시지 전달 순서화를 지원하도록 한다. ● 이동성 지원 기술 무선망에서의 이동 단말기의 핸드오프로 인한 잦은 경로 변화, 패킷 손실로 인해 야기되는 에러 제어, 혼잡 제어, 멤버십/순서화의 어려움을 해결하도록 한다.
○ 저손실 마이크로파 유전체 조성 개발 유전체 공진기, 필터 등 마이크로파 유전체 세라믹을 이동 통신용 부품으로 응용하기위하여 요구되어지는 유전율(εr), 높은 전기적 품질계수(Q), 공진주파수의 온도계수가 0 ppm/℃ 특성을 만족하는 유전체 조성을 개발하는 기술특성이 비교적 우수한 대표적인 조성들의 우수성 (1) CLNT계 : 기존 상용화 소재들보다 우수한 유전 특성과 낮은 소결온도 (2) PCFN계 : 기존의 동급의 유전율 조성에 비교 Q․fo 특성이 우수함 (3) AMT계 : 우수한 유전 특성과 소결성이 용이함.
본 기술은 이산 사건 형식론(DEVS : Discrete Event System Specification)과 객체지향적, 계층구조적 모듈화 모델링 및 시뮬레이션 환경을 제공하는 System Entity Structure/Model Base를 기반으로 한 첨단 교통류 모델링 및 시뮬레이션 기술이다. 본 기술에서는 기존의 차량, 도로 및 지능형 교통시스템의 다양한 컴포넌트들을 이상 사건 시스템형식록인 DEVS를 기반으로 해석함으로써 첨차 복잡 다양해지는 지능형 교통 시스템의 개별기능 및 종합적 편가/분석을 위한 효과적인 모델링 및 시뮬레이션 환경을 제공한다. 또한 최근 각광받고 있는 HLA(High Level Aechtecture) 분산 시뮬레이션 표준화 기술을 수용함에 따라 대도시 광역 교통망에 대한 분산 시뮬레이션 및 다양한 형태의 개별 기능을 갖는 교통류 시뮬레이터들의 상호운용성을 지원할 수 있는 장점을 갖는다. 본 기술은 ITS(Intelligent Trasportation Systems) 도입 효과 분석, 효과적인 교통정책 수립을 위한 통합 솔루션 제공 및 향후 항공, 해운 및 교육용 소프트웨어 등과 같은 다양한 응용분야로의 파급효과가 클 것으로 기대된다.(1) 이산사건시스템형식론 및 객체지향적 모델링을 통한 교통류 시뮬레이션. (2) HLA 분산기술을 이용한 광역 네트워크 모델링 및 시뮬레이션. (3) GUI를 통한 사용자 위주의 분석환경 제공
본 기술은 인간 시각 특성에 기반하여 컬러 영상을 양자화하는 것이다. 컬러 영상 양자화에 있어서 가장 중요한 고려 요인은 결과로 얻어진 영상에 대해 인간 시각이 느끼는 왜곡의 크기라고 할 수 있다. 실제로 인간의 시각은 영상에서의 공간적인 컬러 분포에 따라서 물리적으로 같은 크기의 컬러 오차를 느끼는 감도가 다르다. 본 기술은 이러한 인간 시각 특성을 고려하여 최소의 컬러만으로 인간 시각이 느끼는 왜곡의 크기를 최소화 할 수 있도록 입력 컬러 영상을 새롭게 표현하는 것이다. 이를 위해 먼저 본 기술에서는 공간적인 컬러 분포를 분석한다. 이는 다시 크게 컬러 분포의 균질성(homogeneity)와 현저함(saliency)으로 나누어 볼 수 있다. 컬러 분포의 균질성은 주변의 컬러가 얼마나 유사한가를 나타내는 것이고, 현저함은 컬러 분포가 얼마나 인간 시각의 집중을 받느냐와 관련되어 있다. 이를 토대로 원래 영상에서의 각 컬러에 대해서 양자화 과정에서의 중요도를 부여한다. 즉, 큰 가중치를 갖는 컬러는 양자화 과정에서 중요한 컬러로 인식된다. 그 다음으로는 가중치가 부여된 컬러값들의 집합을 이용하여 대표적인 소수의 컬러를 추출한다. 이를 위해서는 LKMA(Local K-Means Algorithm)을 사용하고, 이 과정에서 최적의 컬러 수를 정해주기 위해 incremental splitting 방법을 이용한다. 이때 사용된 에너지 함수는 인간이 느끼는 왜곡의 크기와 컬러의 수에 따라 증가하는 페널티의 합으로 정해지는데 이 에너지 함수를 이용함으로써 최적의 컬러 수를 자동으로 결정할 수 있게 된다.(1) 인간 시각의 컬러 왜곡에 대한 특성을 크게 두가지 - 균일성 및 현저함 -로 분석하여 이를 영상 양자화에 이용함으로써 인간 시각에 적합한 컬러 영상 양자화를 할 수 있음. (2) 컬러 양자화에서 중요한 요소인 필요 컬러 수를 자동으로 결정지을 수 있음.
대응점* 탐색은 3차원 복원, 움직임 추정 및 추적, 인식 등과 같은 핵심적인 비전 분야에 있어서 매우 중요한 문제이다. 본 기술은 다중 관점에서 얻어진 영상들로부터 대응점을 탐색하는 기술이다. 대응점 탐색에 있어서 어려운 점은 거리의 불연속 부근에서의 오정합, 반복되는 패턴 혹은 균질한(homogeneous) 영역에서의 오정합 등을 들 수 있다. 본 기술은 이 중에서 거리의 불연속 부근에서 정확한 대응점 탐색을 위한 것이다.- 인간 시각에서 일어나고 있는 집단화 특성 중 근접성(proximity)과 컬러의 유사성(similarity)을 대응점 탐색에 응용하여 대응점 탐색에서 어려운 문제인 거리의 불연속 영역에서 정확한 대응점 탐색이 가능해짐. - 가중치를 이용한 유사도 측정 방식을 통해 잡음(noise)에도 강인해짐은 물론 기존의 방식에서 해결하지 못하였던 임의의 경계를 갖는 거리의 불연속 부근에서도 정확한 대응점 탐색이 이루어짐.
- 판재 절단시 최적의 형상 배치로 소재 절감 - 자동 최적 배치에 의한 형상 배치시간 대폭 절감 - 최적 배치된 형상의 자동 절단 공정으로 판재절단 자동화 가능- 2차원 임의 형상의 자동 배치 - 네스팅된 형상의 자동 절단 기능 - 전체 worksheet에 대한 사용면적 자동 계산 - 자동/반자동/수동에 의한 사용자 편의 고려
기기의 설계 및 가공에 있어 사용하고자 하는 재질의 기본적인 특성, 자기적 특성에 자기적 특성 및 열적 특성은 매우 중요한 고려사항이며 고부가가치의 산업으로의 전환에 따라 이에 대한 수요는 점점 늘어나고 있는 추세이다. 본 기술은 산업 현장에서 바로 특성을 평가할 수 있는 측정 기기 개발에 관한 기술이다. 널리 쓰이고 있는 스테인리스의 경우, 첨가물의 미세한 변화 혹은 가공 방법에 따라 자기적 특성은 크게 변하고 이에 따라 전체 기기의 특성에 영향을 미칠 수 있다. 기존에 많이 쓰이는 방법은 시료진동법(VSM)인데, 보다 쉽고 같은 정밀도의 측정이 가능한 교류측정법이 개발되었다. 열적 측정은 온도변화가 큰 기기의 제작에 필수적이다. 열팽창 정도, 비열, 열전도도등은 설계할 때 반드시 고려되어져야 한다. 이를 위한 스트레인게이지를 이용한 열팽창 측정법, 이완법을 이용한 비열 측정법 등이 개발되었다. 이러한 물성측정은 영하 200도의 온도에 이르는 넓은 범위에서 가능하도록 설계될 수 있어 대부분의 산업현장에서의 수요를 충족시킬 수 있으리라 기대된다.(1) 영하 200도에 이르는 넓은 온도 구간에서의 측정이 가능하다. (2) 자성 측정의 정밀도는 10-5 emu로 기존의 시료진동법(VSM)과 같은 정밀하고 용이한 측정이 가능하다. (3) 열팽창 측정은 스트레인게이지 법을 이용, 최대 10-³㎛정밀도의 측정을 할 수 있다. (4) 열팽창, 비열, 열전도도 외에 열기전력 측정을 포함하는 종합적인 열물성 측정기기의 개발이 가능하다.
본 기술은 최근 시장 규모가 급격히 확대되고 있는 PDA,디지털 카메라, 개인 휴대 전화기, 스마트폰, 자동 항법 장치 등의 내장형 이동 실시간 시스템을 위한 소프트웨어 개발 환경의 구축에 이용될 수 있다.본 기술에서 도출한 기술은 내장형 이동 실시간 시스템을 위한 소프트웨어 개발에 이용될 수 있는 도구의 형태로 구현된다. 소프트웨어 개발 환경은 이동 실시간 시스템의 특성상 다차원적으로 나타나는 코드 크기, 실행 시간, 전력 소모량 측면에서의 시스템 요구 사항을 정형화하여 표현하고, 이를 바탕으로 시스템 개발자의 요구 조건을 만족시키는 소프트웨어 컴포넌트를 생성 또는 운용하는 것을 가능하게 한다. 본 기술에서 개발한 기술은 크게 세 가지로 나누어지며, 그 각각은 다음과 같다. (1) 복수의 명령어 집합을 지원하는 이진 코드 변환 기법 (2) 동적 전압 조절(DVS; Dynamic Voltage Scaling)을 이용하는 경성 실시간 스케줄링 알고리즘 (3) 확률적 보장을 제공하는 연성 실시간 스케줄링 알고리즘
정보 가전을 위한 내장형 시스템 소프트웨어 기술로서, 실시간 운영체제, 미들웨어, 통합 설계 방법론의 핵심적인 요소 기술들은 제공한다. 본 기술을 통해 정보 가전 시스템 개발을 위한 통합 환경을 구축하고, 개발과정을 streamlining하는 것이 가능하다. 주요 기술 내용이 다음과 같다. (1) 실시간 운영체제 - 실시간 제약 조건 재사상 기법 - 플래시 메모리를 이용한 component store - 실시간 내장형 TCP/IP와 경량 Transport 계층 - cross development에 의한 컴포넌트 구성과 운영체제 확장 기법 (2) 내장형 미들웨어 - CAN 네트워크에 특화된 내장형 ORB - Point-to-point 및 publisher/subscriber MTS - Embedded Inter-ORB Protocol - Fast-track message에 의한 CAN-CORBA의 실시간 통신 지원 (3) 통합 설계 방법론 - Schedulability를 고려한 실시간 객체 모델의 쓰레드로의 매핑 기법 - Cost-aware performance re-engineering 기법(1) 실시간 내장형 운영체제 기술 선점형 다중 태스킹 및 실시간 스케줄링 구조는 정밀한 시간제약을 요구하는 제어 응용이나 멀티미디어 응용 등을 구성하는 최적의 기능을 제공한다. 컴포넌트 운영체제 기술은 동적으로 응용 프로그램 및 커널 모듈을 추가할 수 있는 기능을 제공한다. 이를 통해 매우 적은 메모리를 요구하는 시스템 뿐만 아니라 네트워크나 윈도우 환경을 요구하는 시스템까지 다양한 내장형 시스템을 구성할 수 있는 기술을 제공한다. (2) 내장형 미들웨어 기술 CAN-네트워크 기반 실시간 내장형 시스템을 위한 경량형 미들웨어 기술로서 내장형 시스템에 필수적인 Publisher/Subscriber 통신과 점대점 통신을 효율적으로 지원한다. 또한 작은 bandwidth를 가진 내장형 네트워크를 지원하기 위하여 독자적으로 설계한 Embedded IOP (Inter ORB Protocol)를 채용하였다. 그리고 Minimum CORBA 규약을 따라 구현하여, 그 크기가 기존의 다른 CORBA 구현들에 비하여 현저히 작다. (3) 통합 설계 방법론 기술 내장형 시스템 설계자들로 하여금 임시방편적인 설계가 아니라 체계적인 설계를 할 수 있도록 해준다, 실시간 객체 모델의 쓰레드로의 매핑 기법은 실시간 내장형 시스템을 객체 지향 기법으로 설계할 때 가장 어려운 문제중의 하나인 스케줄링 가능한 구형 생성을 자동적인 방법으로 할 수 있게 해주는 기술이다. Cost-aware performance re-engineering 기법은 비용을 고려한 성능 재조정을 가능하게 하며, K-level diagonal search의 효율적인 알고리즘을 제공한다.
수동형, 능동형/반능동형 각종 진동제어장치의 설계기술과 이를 활용한 구조물의 면진(지진진동 절연 및 제어)설계 및 장비의 내진동/내충격 설계기술로서, 현재 이전 가능한 구체적 대상기술은 다음과 같다(향후 대상기술 추가 예정 - 현재 연구개발이 진행 중 임임). - 면진 구조물 지진응답 해석기술 및 프로그램 - 구조물 최적 면진 특성값 산정 프로그램 - 탄성지지 장비 진동/충격 응답 해석기술 및 프로그램 - 탄성지지 장비 최적 진동/충격 제어기술 및 프로그램 - 마찰형 면진장치 설계기술 - Orifice 유체댐퍼 설계기술 - 충격마운트 설계 및 활용기술- 각 기술들은 독립적으로 각각 활용/이전 가능 - 구조물 지진응답해석 및 최적 면진 설계 가능 - 장비 진동/충격 해석 및 최적 방진/내충격 설계 가능
- 영상기반 형상추출 (Image Segmentation) : 영상 해석을 위한 핵심 기반 기술로서 영상으로부터 관심 대상 물체 성분을 구분하여 추출 - 인체기관 동적 모델링 (Dynamic Modeling) : 동적 물체의 움직임 표현 및 운동 분석을 위한 물리기반 변형 모델링 기술로서 동적 인체 기관에 대한 병소 판별 진단보조 시스템 구축을 위한 핵심 기반 기술임 - 의료영상정합 (Image Registration) : 서로 다른 형태의 정보를 가지는 영상들로부터 상호 보완적인 정보를 추출하여 유용하고 복합적인 정보를 생성 가시화(1) 영상기반 형상추출 (Image Segmentation) - 영상 특성 및 대상부위의 형태 특성을 고려한 2차원/3차원적 형상추출 - 초기조건에서의 민감성을 극복하고, 내력 및 외력외에 모델 내 구성요소들 간의 자체교차를 사전에 방지하는 가변모델 기반 형상추출 (2) 동적 모델링 (Dynamic Modeling) - 물체중심 변동좌표계에 의한 모델표현으로 동적 대상객체의 위치 이동 및 회전, 변형형태 추적 용이 - 연속 역학에 기반을 둔 연속체로 동적 대상객체의 형태 및 움직임 표현 시 노드간의 보간 함수로써 3차원 가우시안 함수를 사용함으로써 보다 자연스러운 동적 형태 모델링 지원 (3) 영상정합 (Image Registration) - 3차원 표면정보기반 MRI-PET, MRI-SPECT, SPECT-PET 영상정합 및 다해상도 상호정보에 대한 통계적 기법을 적용한 MRI-CT 영상정합 기술 - 표면거리 및 곡률정보 기반 특징점 추출 및 최적화로 보다 정확한 영상정합 수행 - 지역적 최대 기울기 부위 또는 윤곽부위와 같은 의미 있는 지역으로부터 추출한 샘플집합을 사용하여 상호정보를 추정함으로써 사용자와의 상호작용을 줄임
본 기술은 반도체 기판 상에 형성되는 구조물에 대한 진화 형상 예측 및 구조 해석을 위한 수치해석 및 시뮬레이션 기술로 특히 반도체 공정에서 사용되는 증착 및 식각 공정 후의 진화하는 형상 예측을 가능케 하는 시뮬레이션 기술과 형성된 3차원 구조에 대하여 다양한 수치해석을 위한 메쉬를 생성하는 기술, 구조 내부에서의 열분포 및 구조 해석을 위한 다양한 수치해석 기술을 포함하고 있다. 더욱이, 본 기술은 수치해석 및 시뮬레이션을 수행하고 결과를 확인하기 위한 그래픽 사용자 환경(Graphic User Interface, GUI) 형성 기술을 포함하고 있다. 즉, 형상 예측 시뮬레이션과 수치해석 기술이 반도체 공정에서 쉽게 응용될 수 있도록 레이아웃 작업을 수행할 수 있는 레이아웃 에디터와 공정 순서 및 조건을 입력할 수 있는 런쉬트(run sheet)작성기 등의 그래픽 사용자 환경, 결과를 다양하게 도시할 수 있는 비주얼라이제이션(visualization)을 제작 기술을 포함하고 있다.(1) 반도체 공정 상의 증착 및 식각 공정 예측을 위한 다양한 수치해석 시뮬레이션기술(셀 전진 형상 예측 시뮬레이션, 레벨셋(level-set) 형상 예측 시뮬레이션) (2) 유한요소법 및 유한차분법을 이용한 다양한 형태의 수치해석 기술 및 수치해석을 가능케 하는 메쉬 및 그리드(사면체 및 육면체 메쉬) 생성 기술 (3) 시뮬레이션 및 수치해석의 용이성을 위한 그래픽 사용자 환경 형성 기술(레이아웃 에디터, 런쉬트 작성기, 비주얼라이제이션 툴, OpenGL 라이브러리 사용)
초정밀 위치 결정기구 제작은 초정밀 기계가공기술과 센서응용기술, 정밀 측정기술, Laser간섭계 적용기술 등이 복합적으로 요구되는 연구분야이다. 단순한 정밀측정기술이 요구되는 것이 아니라 복합적인 여러 분야의 기술이 필수적이다. 초정밀ㆍ초 미세가공을 바탕으로 위치결정의 고정도화가 요구되고 위치결정기구의 초정밀 구동을 위한 마찰 구동 기구와 안내면의 개발이 필요하다. 더불어 유정압 및 공기정압 안내면 설계기술, 커플링 설계기술, Servo motor 및 Actuator를 사용한 Dual Servo 설계 기술, Laser간섭계 및 광학 해석기술이 필요하다. 이러한 고정도의 위치 및 자세 결정 기술은 차세대 초고밀도 집적회로(ULSI:Ultra Large Integrated Circuit)제조 장치의 일부인 반도체 제조 검사장비용 스테이지의 병진 운동과 회전운동을 동시에 제어할 수 있는 미동기구의 제작과 나노미터급극 미세구조의 위치, 형상, 치수의 어느 것이나 제어성 있게 가공되는 조ㆍ미동 제어기술의 연계개발로 최소한의 변수 이용과 연동제어 방식을 통하여 이를 실용화함으로써 반도체 관련 정보통신분야, 생체공학, 의학 관련분야 등에 적용되는 유연하고 정밀한 작업을 필요로 하는 로봇 산업에 있어서 다양한 응용이 가능하리라 본다. 특히 반도체 노광장비 및 웨이퍼 검사 장비 등의 반도체 분야를 포함하여 초정밀 측정기, 초정밀 가공기 제작 분야에 직접적으로 적용될 수 있는 기술이다.(1) 레이저 피드백 시스템 구축 (2) 서보모터, 볼스크류로 구성된 조동기구와 압전소자, 힌지구조로 구성된 미동기구의 연동제어 구현 (3)PID 제어 및 현대제어 알고리즘을 적용한 최소차원 관측기의 적용으로 본 초정밀위치 결정기구의10㎚ 분해능 구현