산업기술 통합검색
본 발명은 발전소 가스터빈의 연소기에서 나오는 화염의 이상 유무상태를 검출하는 가스터빈용 화염 검출장치에 관한 것으로, 가스터빈의 연소기에 부착되어 발생하는 화염의 이상 유무를 검출하는 화염 검출기가 주제어실의 감시 모니터에 연결되어 이루어진 가스터빈용 화염 검출장치에 있어서, 상기 연소기에는 자외선 발생기를 갖춘 화염 검출기가 설치되고, 이 화염 검출기는 F/V 컨버터와 V/F 컨버터 및 펄스카운터가 직렬 연결되어 이루어져 있다.
본 발명은 복합화력 발전기의 본체 케이싱 내부 충진된 냉각용 수소가스의 외부 누설을 방지하는 발전기 케이싱의 밀봉구조에 관한 것으로, 냉각용 수소가스가 내부에 충진된 발전기를 본체 케이싱 및 외부 케이싱으로 감싸 보울트로 체결하여 이루어진 발전기 케이싱 구조에 있어서, 본체 케이싱과 외부 케이싱의 접촉면들 사이에 형성된 밀봉흠에는 밀봉재가 장착되고, 이 밀봉재 둘레를 접착제로 도포하여 기밀을 유지하도록 되어 있다.
본 발명은 발전소 가스터빈을 제어하는 주제어설비에 맞는 전원을 공급하기 위한 전원공급장치에 관한 것이다. 전원공급장치 내부 자체 전압 제어회로 및 보호회로를 통해 가스터빈 주제어설비가 안정적으로 동작될 수 있는 전원을 공급할 수 있다.
본 발명은 화력 및 원자력 발전소의 복수기에 냉각수를 공급하는 순환수의 개수로와 방출수의 개수수로에 설치되어 순환수와 방출수의 유속과 유량을 이용하여 전기를 생산할 수 있는 개수로의 순환수 및 방출수를 이용한 발전장치에 관한 것이다.
본 기술은 진공차단기의 대차부 인입출 조작이 원활이 수행될 수 있도록 대차부 인입출 조작핸들에 유니버셜 조인트를 적용함과 더불어 대차부 인입출 조작핸들의 삽입부 이탈로 인한 조작자의 실수를 방지하기 위해 대차부 가동부에 이탈방지용 삽입홈을 설치한 진공차단기 대차부 인입출장치를 제공하기 위한 것이다. 이를 위해 본 기술은, 대차부 인입출 조작핸들 회전시 조작자의 손과 손잡이의 마찰을 최소화시키기 위한 스프링 형태의 스프링 형태의 스프링 손잡이와, 대차부 인입출 조작 핸들을 자유롭게 회전가동할 수 있게 하기 위한 유니버셜 조인트, 유니버셜 조인트와 일체로 형성된 삽입부 및, 삽입부에 스프링 형태로 돌출 형성된 스프링 핀으로 이루어진 대차부 인입출 조작핸들과; 대차부 인입출 조작핸들의 삽입부가 끼워져 빠지지 않도록 스프링 핀이 걸려 채워지는 Ω형의 삽입홈이 한쪽 끝단에 형성된 대차부 가동부를 구비하여 이루어진다.
본 고안은 발전기의 분해 점검시 회전자를 인입 및 인출하기 위한 회전자 미끄럼판 및 회전자 슈로 이루어진 발전기 회전자 인입출장치에 관한 것이다. 이를 위해 본 고안의 발전기 회전자 인입출장치는, 강철판으로 이루어짐과 더불어, 미끄럼판 고정와이어가 삽입되어 묶여지는 미끄럼판 고정와이어 삽입홈이 양 단부에 형성된 긴 활형태의 회전자 미끄럼판과, 화이버로 이루어짐과 더불어, 1세트의 제1회전자 슈와 제2회전자 슈로 이루어진 활형태의 회전자 슈를 구비하여 구성된다. 따라서, 위와 같이 구성된 본 고안에 의하면, 발전기의 회전자를 안전하면서도 간편하게 발전기 내부로 인입출시킬 수 있다.
본 고안은 대형 건축물이나 조경시설을 야간에 조명하는데 사용할 수 있도록 형성된 컬러광 프로젝터에 관한 것으로서, 광원과, 광출사용 개구를 갖는 내부 공간 내에 광원이 설치되며 광원으로부터 출사된 광 중 내부공간 내로 입사된 광을 개구를 향해 반사시킬 수 있도록 형성된 반사경 유니트와, 반사경 유니트가 장착되는 본체와, 제1 및 제2 컬러필터가 한 조를 이루어 반사경 유니트의 개구를 통해 출사되는 광의 출사경로를 가로지르는 방향을 따라 상호 반대방향으로 진행되면서 밀착 및 분리될 수 있게 본체에 설치된 적어도 하나의 필터 유니트와, 필터 유니트의 컬러 필터의 이송을 제어하는 구동유니트를 구비한다. 이러한 컬러광 프로젝터에 의하면, 고출력용의 직관형 광원을 적용할 수 있으면서도 필터를 셧터방식으로 왕복시켜 제어할 수 있어 컬러표시를 독립적으로 수행할 수 있는 장점을 제공한다.
본 기술은 발광 장치에 관한 것으로, LED칩 등 반도체 발광소자에 발생하는 기본파장의 자극에 의해 기본파장과 다른 파장의 빛을 방출하는 형광체를 이용해 백색 등 특정한 색의 광을 방출하는 발광 장치에 있어서 다이크로익 필터(dichroic filter)를 사용하는 것이다. 광학 필터는 하나 이상의 반도체 발광 소자에서 방출된 빛의 발광파크에 해당하는 파장의 광을 통과시키고 형광체에서 방출된 빛의 발광파크에 해당하는 파장의 광은 반사하는 다이크로익 필터 이다.서로 다른 파장의 빛을 방출하는 반도체 발광 소자와 형광체를 구비한 발광 장치의 발광효율이 향상되며, 본 기술은 후방산란으로 인한 반도체 발광 소자의 손상을 감소시켜 발광 장치의 상태를 안정화 할 수 있는 특징이 있다.
본 기술은 패브리-페로 간섭패턴 분석을 통한 실시간 기판가공 정밀 측정 장치에 관한 것으로써, 특히 광학, 광통신, 레이저 및 광학응용 분야에서 사용되는 광투과 특성을 보이는 기판에 대한 가공 도구 및 실시간 가공상태 측정장치에 관한 것이다. 연삭을 통한 가공시 기판의 가공두께와 평행도를 매우 정밀하게 측정할 수 있으며 이에 따라 정밀도와 평행도가 높은 기판을 제작할 수 있다.연삭을 통한 가공시 기판의 가공두께와 평행도를 매우 정밀하게 측정할 수 있으며 이에 따라 정밀도와 평해도가 높은 기판을 제작할 수 있다. 그리고 기판의 두께를 실시간으로 측정할 수 있으므로 기판두께 가공에 대한 목표치를 설정하고 이에 매우 근접하도록 가공하는 것도 가능하다. 본 기술은 연삭가공이 아닌 다른 방법을 통한 가공, 또는 기관에 광학박막 증착 시 박막두께 측정, 가공기판을 매질로 한 각종 센서 등 가공기판의 두께 또는 평해도에 영향을 주는 어떠한 응용 분야에서도 실시간 측정이 가능하므로 응용분야 확장이 가능하다.
본 기술은 실리콘 기판(실리콘 기판의 표면 패터닝) 및 펴면 패터닝된 실리콘 기판상에 적어도 1이상의 질화물 박막층이 순차 적층된 구조체를 포함하는 질화물계 발광소자를 제공한다. 질화물계 발광소자는 갈륨 질화물의 성장과정에서 박막 내의 결정결함과 응력을 동시에 줄여 에너지의 손실을 감소시켜 고효율의 광소자 및 전기소자를 구현하는 것이 가능하고, 결정성을 향상시켜 갈륨 질화물 소자의 신뢰성을 향상시키는 것이 가능하다.실리콘 기판 표면을 페터닝하여 갈륨질화물 박막을 성장시키는 것에 의해, 표면 패터닝된 실리콘 기판의 결정결함 및 응력 등이 갈륨 질화물의 결정으로 진행되는 것을 막아 고품질의 갈륨 질화물 결정을 성장시킬 수 있다. 이에따라 에너지 손실을 감소시켜 고효율의 광소자 및 전기소자를 구현하는 것이 가능하고, 결정성을 향상시켜 갈륨 질화물 소자의 신뢰성을 향상시키는 것이 가능하다.
본 기술은 발광다이오드 어레이의 광학 및 열 특성을 측정하는 시스템에 관한 것이다. 발광다이오드 어레이의 광학 및 열 특성 측정 시스템은 발광다이오드 어레이에 전원을 공급하는 전원공급부, 발광다이오드 어레이에서 방출되는 광의 광도를 검출하는 광 측정부, 발광다이오드 어레이의 온도를 측정하는 온도 측정부, 전원공급을 제어하는 제어부를 포함하여, 공급되는 전원의 변화 및 전원공급시간에 따라 발광다이오드 어레이 모듈의 광학 및 열 특성 변화를 실시간으로 측정할 수 있어 발광다이오드 어레이 모듈의 광학 및 열 특성을 보다 정확하게 측정할 수 있다.발광다이오드 어레이의 광학 및 열 특성 변화를 에이징에 대해서 실시간으로 측정할 수 있어, 발광다이오드 어레이의 성능을 보다 정확하게 측정할 수 있는게 특징이다.
본 기술은 실리콘 기판상에 패터닝된 탄화규소 박막 및 패터닝된 탄화수소 박망사에 적어도 1이상의 질화물 박막층이 순차 적층된 구조체를 포함하는 질화물계 발광소자를 제공한다. 질화물계 발광소자는 갈륨 질화물의 성장과정에서 박막내의 결정결함과 응력을 동시에 줄여 에너지의 손실을 감소시켜 고효율의 광소자 및 전기소자를 구현하는 것이 가능하고, 결정성을 향상시켜 갈륨 질화물 소자의 신뢰성을 향상시키는 것이 가능하다.실리콘 기판 위에 탄화규소 박막을 패터닝하여 갈륨 질화물 박막을 성장시키는 것에 의해, 패터닝된 탄화규소가 결정결함 및 응력 등이 갈륨 질화물의 결정으로 진행되는 것을 막아 고품질의 갈륨 질화물 결정을 성장시킬 수 있다. 이에 따라 에너지의 손실을 감소시켜 고효율의 광소자 및 전기소자를 구현하는 것이 가능하고, 결정성을 향상시켜 갈륨 질화물 소자의 신뢰성을 향상시키는 것이 가능하다.
본 기술은 자기 발진 다중 영역 분포귀환형 레이저 다이오드 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 폭이 서로 다른 두 개 이상의 분포귀한 영역의 레이저 도파로와 이들 영역 사이에 존재하는 위상 조절 영역의 레이저 도파로를 포함하되 이를 도파로의 폭이 점차 넓어지거나 좁아지는 것을 특징으로 한다. 기존의 자기 발진 반도체 소자가 얻기 어려운 자기 발진주파수 대역을 폭넓게 얻을 수 있고, 자기 발진 주파수를 세밀하게 조절할 수 있으며 간단한 공정으로 DFB 레이저 다이오드를 대량생산할 수 있는 효과가 있다.기존의 레이저 제조 방법으로 얻을 수 없는 거의 모든 대역의 광범위한 주파수 영역의 자기 발진 신호를 생성할 수 있고, 원하는 주파수 영역을 세밀하게 조절할 수 있어 DFB 레이저 다이오드를 다양하게 활용하는 효과가 있다. 또한, 추가되는 공정이 간단하고 광대역의 주파수의 발진 신호를 생성할 수 있는 DFB레이저 다이오드를 대량생산할 수 있는 효과가 있다. 결과적으로 넓은 주파수 영역의 자기 발진 신호를 발생시키는 레이저 다이오드를 활용하여 광통신, 광신호처리, 광밀리미터 소스 등에서 다양하게 이용할 수 있는 잇점이 있다.
본 기술은 광 효율이 향상된 LED 패키지와 그 제조방법에 관한 것으로서, LED 광원부의 상기 LED광원부 상부에 위치하여 LED 광원의 광축부분을 중심으로 형성된 홀을 가지는 렌즈 및 상기 홀을 통하여 LED 광원부와 렌즈 사이에 충진되는 봉지재를 포함한다. LED에서 봉지물질과 광학렌즈 사이의 공기간격을 없애는 구조를 제안함으로써 LED 패키지의 광추출 증가 및 특정 지향각을 갖도록 설계된 LED 패키지를 얻을 수 있어 발광장치의 광효율이 향상되는 효과가 있다.다양한 패키지 구성의 적용을 통해 LED의 광 효율을 향상시키거나 사용되는 광학렌즈의 표면형상의 최적화에 의해 지향각 조정이 가능한 LED 단품 패키지의 제조할수 있는 효과가 있다. 그리고 중심부에 홀을 가지면서 LED와 일체형인 광학렌즈로된 패키지의 구성을 제안함으로써 기존의 LED 패키지의 낮은 광효율과 편평한 봉지층으로 인해 거의 모든 제품이 120도 전후의 지향각을 갖는 문제점을 해결하는 효과가 있다
본 기술은 투사(Projection) 디스플레이, 프린터 및 스캐너 등 광학장치에 핵심적으로 사용되는 회전다면경(Polygon mirror)의 반사면 반사각에 대한 미소변위 제어를 위한 반사면 두께분포(Profile) 정밀제작 방법으로써, 기존의 연삭가공 방법으로 구현하기 힘든 서브마이크로 이하 정밀도를 용이하게 구현할 수 있는 방법이며, 이를 위해 반사박막을 진공증착 방법으로 제작하되 증착챔버 구조변경 또는 마스크 적용 등 미세한 두께분포를 얻기 위한 방법에 관한 것이다.횐전다면경으로부터의 반사광을 θ 방향 뿐만 아니라 박막코팅을 통해 y-방향으로도 스캔할 수 있는 방법을 제시하였고, 또한 위에서 언급된 방법을 사용하여 y-방향 반사각을 매우 높은 수준의 정밀도로 조절할 수 있는 방법이다. 이는 기존의 프린터, 스캐너 및 투사 디스플레이에도 새로운 응용분야로서 확대 적용될 수 있으며, θ방향 뿐만 아니라 매우 높은 y-방향 정밀도를 갖는 게측, 의료 및 영상 광학시스템에도 응용분야 확대가 가능하다.
본 기술은 패턴된 경사진 기판을 사용하여 격자상수의 불일치가 큰 물질들을 이용하여 자발적인 양자점을 형성하고 정렬시키는 방법에 관한 것으로서, 일정한 결정축을 가지며 그 표면이 결정축에 대해 경사진 기판을 마련하는 단계, 경사진 기판의 방향과 수직방향의 SiO2 패턴을 마련하는 단계, 기판의 재료와 동일한 재료의 완충층을 화학기상증착법에 의해 패턴된 기판상에 형성하는 단계, 기판과의 격자상수의 불일치가 큰 물질층을 성장시키는 단계를 구비하되, 완충층의 화학기상증착시 소스 분압과 완충층의 두께와 상기 물질층의 두께를 조절하여 계단선 방향의 양자점들의 간격을 조정하고, 한줄 또는 두줄의 정렬화된 양자점 어레이를 형성하는 방법을 포함한다. 격자상수의 불일치가 큰 물질들을 별다른 공정없이 성장기술만으로 이차원적으로 고밀도의 양자점 간격을 조절하고, 성장 과정에서의 원료소스의 분압과 성장두께에 의하여 변형되어지는 경사진 계단폭에 의해 양자점들을 한줄 또는 두줄 이상으로 정렬하는 효과가 있다. 또한, 양자점 어레이 방법을 이용하여 초고집적도의 갖는 나노미터 수준의 신개념 광전소자 제작에 있어서 필수적으로 요구되는 양질의 양자점을 성장하고 정렬하는 효과를 가지고 있다. 고밀도 양자점 배열과 배열간격의 조절이 성장과정에서 가능하여 본 기술을 이용한 광전소자 공정을 간소화하므로 광전소자 제작의 시간 및 비용을 절감할 수 있는 효과를 기대할 수 있다.
본 기술은 장파장 출광 광원 소자와 수광 소자를 실리콘 칩 표면에 실장하여 출광된 빛이 실리콘 칩을 통과하여 고속으로 칩 간의 광연결을 가능케 하는 구조에 관한 것으로 실리콘 칩 상에 장파장 출광 광원 소자를 실장하여 실리콘 칩의 광 통과로 고속 칩 간 광연결의 가능한 구조와 이러한 구조를 포함하는 칩이 적층된 패키지 구조 간의 자유 공간을 이용한 고속 칩 및 패키지 간 광연결이 가능한 구조이다.실리콘 재질의 실리콘 칩들을 적층하는 구조에서 기존의 고드 와이어를 이용한 고속 신호의 전달 구조의 한계를 극복하기 위해 전기적 배선 및 무반사 코팅된 실리콘 칩 표면에 장파장의 광원 소자와 수광소자를 이용하여 적층된 실리콘 칩간의 고속 신호를 전달할 수 있는 장파장 광원을 이용한 반도체 구조와 이러한 구조를 이용한 패키지 구조간의 자유 공간을 이용한 고속 칩 및 패키지 간 광연결이 가능한 다양한 패키징 구조에 관한 것으로 기존의 방법을 이용한 적층 방법들에 비해 공정상의 용이점과 비용절감 등의 효과가 있다.
본 기술은 실리콘 기판 상에 갈륨 질화물 박막 성장 및 갈륨 질화물 박막의 패터닝, 식각된 부분에 유전체 DBR 성장, 패턴된 갈륨 질화물 박막 상에 적어도 1이상의 질화물 박막층이 순차 재 적층된 구조체를 포함하는 질화물계 발광소자를 제공한다. 질화물계 발광소자는 갈륨 질화물의 성장과정에서 박막내의 결정결함과 응력을 동시에 줄여 결정성을 향상시켜 갈륨 질화물 소자의 신뢰성을 향상시키는 것이 가능하고, 고반사율의 DBR에 의한 발광효율을 증가시켜 고효율의 광소자 및 전기소자를 구현하는 것이 가능하다.식각 부분에 유전체 DBR을 갖는 패터닝된 질화물 박막 상에 갈륨 질화물 박막을 재 성장시키는 것에 의해, 패터닝된 갈륨질화물 박막의 결정결함 및 응력 등이 갈륨 질화물의 결정으로 진행되는 것을 막아 고품질의 갈륨 질화물 결정을 성장시킬 수 있다. 또한 유전체 DBR이 고반사율을 갖기 때문에 발광효율이 증가된 발광 소자를 얻을 수 있다. 이에 따라 에너지 손실을 감소시켜 고효율의 광소자 및 전기소자를 구현하는 것이 가능하고, 결정성을 향상시켜 갈륨 질화물 소자의 신뢰성을 향상시키는 것이 가능하다.
본 발명의 물체감지 센서를 이용한 도어 개폐 제어장치에 따르면, 버튼 하나로 차량 도어의 열림 또는 닫힘을 명령할 수 있으며, 차량의 도어에 부착된 물체감지 센서를 통해 도어의 열림 또는 닫힘 동작을 제어할 수 있게 된다.이를 통해 탑승자가 힘을 들이지 않고, 도어를 열거나 닫을 수 있게 되며,탑승자가 보지 못하는 곳에 물체나 사람이 있어도 그에 따라 도어의 열림 또는 닫힘 동작이 제어되므로 탑승자가 보지 못하는 물체나 사람에 의해 발생하던 사고를 없앨 수 있게 된다. 즉, 비좁은 주차장에서 하차할 때 옆 차량과 자신의 차량에 흠집을 입히지 않을 수 있게 되고, 탑승자가 보지 못하는 가까운 곳에 사람이 존재하여 발생하는 인명피해를 줄일 수 있게 되고, 또한, 근접해 있는 물체나 차량에 의해 자신의 차량 또는 타인의 차량에 입히던 손해를 없앨 수 있게 된다.
본 기술은 반도체 장비 인터페이스 장치 및 이를 이용한 모니터링 시스템에 관한 것으로, 상이한 프로토콜을 통해 송수신되는 반도체 장비들의 메시지들을 통합 XML(eXtensible Markup Language) 메시지 형태로 변환하는 인터페이스 장치 및 이를 이용한 반도체 장비들에 대한 분산 또는 통합 메시지 모니터링이 가능하게 하는 모니터링 시스템에 관한 것이다. 본 기술에 따르면 반도체 장비 인터페이스 장치가 SECS-Ⅰ또는 HSMS 프로토 콜을 통해 송수신되는 반도체 장비들의 메시지들을 통합하여 XML 형태의 메시지로 표준화된 형태의 데이터 포맷으로 변환시켜 제공해 준다. 이에 따라, 반도체 생산 공정 모니터링에 대한 통합된 프로토콜을 제공해 주어 반도체 장비들의 메시지들을 모니터링하는 시스템을 구성하는데 통합 모니터링이 가능하게 해 줌으로서 시스템 구성상에 비용을 절감시켜 주며, 통합적인 메시지 모니터링을 통해 반도체 생산 공 정의 전반에 걸쳐 모니터링을 효율적으로 수행할 수 있도록 해 준다. 또한, 통합 모니터링 외에도 반도체 메시지들의 특성별 분산 모니터링을 하 여 모니터링 시스템의 안정성을 확보할 수 있도록 해 준다.