산업기술 통합검색
<기술의 개요>고주파가 감쇄되어 위상이 흐릿해지거나 칼라 신호가 탈색되는 현상을 줄일 수 있고, 신호가 중첩되어 본 신호의 주파수가 변질되는 것을 막기 때문에 더욱 우수한 위상을 잡을 수 있는 특성을 갖는 고주파 초크<기술의 특징>(a) 유전체 기판;(b) 상기 유전체 기판의 배면 주연부에 형성되는 접지패턴;(c) 상기 유전체 기판의 상면에 형성되고, 제 1 절곡부 및 제 2 절곡부가 구비되며, 상기 접지패턴과 전기적으로 연결되는 마이크로 스트립 패턴;(d) 상기 제 1 절곡부 및 제 2 절곡부에 대향되는 유전체 기판의 배면 위치에, 상기 접지패턴에 연결되고, 상기 제 1 절곡부 및 제 2 절곡부가 연결되는 부위에 대향되는 유전체 기판의 배면 위치에서 단부가 상호간에 분리된 제 1 및 제 2 접지 연장 패턴;으로 구성된 고주파 초크
<기술의 개요>피사체의 움직임 위치에 따라 카메라의 회전ㆍ틸트를 제어하기 때문에 피사체 추적이 가능하고, 또한 줌을 조절해서 일정한 크기로 촬영할 수 있으며, 움직임이 있는 피사체의 검출범위인 FOV(Fields Of View)를 넓힐 수 있음<기술의 특징>(a) 감시용 카메라가 촬영한 각각의 프레임의 영상신호에서 윤곽선을 추출하는 윤곽선 추출부;(b) 상기 윤곽선 추출부가 추출한 N 번째, N-1 번째 및 N-2 번째 프레임의 윤곽선을 저장하는 메모리;(c) 상기 메모리에 저장된 N-1 번째 및 N-2 번째 프레임의 윤곽선 사이의 차영상을 추출하는 차영상 추출부;(d) 상기 차영상 추출부가 추출한 차영상을 필터링하여 잡음을 제거하고 움직임 피사체의 탬플릿을 검출하는 잡음제거용 필터;(e) 상기 메모리에 저장된 N 번째 프레임의 윤곽선의 모든 픽셀들의 값을 각 픽셀의 위치로부터 가장 가까운 윤곽선의 에지 포인트까지의 거리의 값으로 변환하는 픽셀 값 변환부;(f) 상기 잡음제거용 필터에서 검출된 움직임 피사체의 탬플릿의 위치를 소정의 간격으로 이동시키면서 상기 픽셀 값 변환부에서 픽셀 값이 변환된 윤곽선에서 최소 매칭되는 포인트를 탐색하여 움직임이 있는 피사체의 탬플릿 위치를 검출하는 최소 매칭 포인트 탐색부;(g) 상기 최소 매칭 포인트 탐색부가 검출한 탬플릿 위치와 상기 메모리에 저장된 N 번째 프레임의 윤곽선으로 움직임이 있는 피사체의 탬플릿을 갱신하는 탬플릿 갱신수단;(h) 상기 탬플릿 위치 검출수단이 검출한 움직임 피사체의 탬플릿 위치에 따라 감시용 카메라의 회전 및 틸트를 제어하고, 상기 탬플릿 갱신수단이 갱신한 탬플릿의 크기에 따라 상기 감시용 카메라의 줌을 제어하는 감시용 카메라 제어부;로 구성된 감시용 카메라의 제어장치.
본 발명은 콤마 코드(comma code)를 이용한 1:10 디멀티플렉서에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는, (1) 직렬 데이터와 상기 직렬 데이터의 입력 타이밍을 알려주는 클럭을 입력받아, 1:2 디멀티플렉싱(demultiplexing)에 의하여 상기 직렬 데이터의 1비트 데이터를 2비트 데이터로 변경하여 출력하는 디멀티플렉싱부; (2) 상기 디멀티플렉싱부에서 출력되는 상기 2비트 데이터를 2개의 쉬프트 레지스터에 저장하고, 상기 2개의 쉬프트 레지스터에 저장된 데이터를 이용하여 데이터의 시작을 알리는 특수 코드(콤마 코드; Comma Code)를 검출하며, 특수 코드가 검출될 경우 데이터의 동기를 위한 신호(CS 신호)와 데이터의 배열 상태를 알리는 신호(RS 신호)를 생성하는 콤마 검출부; 및 (3) 상기 콤마 검출부에서 생성된 상기 RS 신호를 이용하여 상기 콤마 검출부로부터 입력되는 2비트의 데이터를 2:1 먹스(MUX)를 사용하여 재정렬 하여 2개의 5비트 쉬프트 레지스터에 저장하며, 상기 콤마 검출부에서 생성된 상기 CS 신호를 이용하여 상기 2개의 5비트 쉬프트 레지스터에 저장되는 정렬된 10비트 데이터를 샘플링 하는 워드 정렬부를 포함하는, 콤마 코드를 이용한 1:10 디멀티플렉서에 관한 것이다.본 발명의 1:10 디멀티플렉서에 따르면, 1:10 디멀티플렉서를 구현하는 데 필요한 데이터의 시작 정보를 콤마 스트링 대신에 콤마 코드를 이용하여 검출할 수 있도록 함으로써, 데이터의 정확한 동기 및 고속 동작을 충분히 보장하면서 사용되는 트랜지스터의 수(칩 면적) 및 소비 전력을 대폭 감소시킬 수 있다.
실시간 카메라 시스템으로부터 적응적인 차 영상을 이용하여 움직임을 극대화 시켜 프레임간의 차이 값을 이용하여 전처리를 거쳐서 기본적인 차 영상의 노이즈를 제거 한다. 노이즈를 제거하는 부분에서 물체가 카메라를 응시하거나 극단적으로 완전한 옆면이 아니라면 시간순서로 들어오는 실시간 프레임의 과거프레임의 방향성을 이용하여 손실된 에지를 복원시키는 알고리즘을 적용한다. 이렇게 복원된 에지는 1차 미분연산자와 2차 미분 연산자를 통하여 2단계에 걸쳐서 클러스터링 되어지고 결과적으로 사람의 얼굴 가능 후보지역을 포함하고 있는 영역으로 축소화 되어진다. 결과적으로 사람의 윤곽선을 복원한 후에 머리 가능 영역을 검출하여 그 가능 지역에서만 얼굴 검출을 수행한다.
본 발명은 확산 스펙트럼 클럭 생성기(Spread Spectrum Clock Generator;SSCG)에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 (1) 기준 클럭을 입력받으며, 고정(locking) 될 경우 2n+1(n:자연수)개의 위상이 서로 다른 다중 클럭을 출력하는 다중-위상 지연 고정 루프(Delay Locked Loop; DLL); (2) 상기 다중-위상 지연 고정루프에 그 일단이 접속되며, 상기 다중-위상 지연 고정 루프가 고정(locking)될 경우 스위치-오프 되는 제1 스위치; (3) 상기 제1 스위치의 타단에 그 일단이 접속되며, 상기 다중-위상 지연 고정 루프가 고정될 경우 스위치-온 되는 제2 스위치;(4) 상기 제1 스위치의 타단에 접속되는 루프 필터; (5) 상기 제1 스위치의 타단및 상기 루프 필터에 접속되며, 기준 클럭을 입력받아 2n+1(n:자연수)개의 위상이서로 다른 다중 클럭을 출력하는 지연단; (6) 상기 제2 스위치의 타단에 접속되는전하 펌프; 및 (7) 상기 전하 펌프에 접속되며, 상기 다중-위상 지연 고정 루프가고정될 경우 상기 다중-위상 지연 고정 루프로부터 출력되는 상기 2n+1(n:자연수)개의 클럭들 중 N-K번째 클럭 및 N+K번째 클럭을 입력으로 받고, 상기 지연단으로부터 출력되는 상기 2n+1(n:자연수)개의 클럭들 중 N번째 클럭을 피드백으로 입력받아서, 상기 N번째 클럭을 상기 N-K번째 클럭 및 상기 N+K번째 클럭과 비교하는것에 의해, 상기 전하 펌프에 삼각파 형태의 업/다운 신호를 출력하는 전하 펌프제어부를 포함하는 것을 그 구성상의 특징으로 한다.본 발명은, 다중-위상 지연 고정 루프(DLL)의 전압 제어 지연단(VCDL)의 다중-위상을 이용하여, 고정(locking)된 또 다른 전압제어 지연단(VCDL)의 제어 전압으로 삼각 변조 파형을 인가시키는 것에 의해 확산 스펙트럼 클럭을 생성시킴으로써, 그 구조가 간단하고, 칩 면적 및 전력 소모가 개선되며, 설계 변경이 용이한확산 스펙트럼 클럭 생성기(SSCG)를 제공할 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 확산스펙트럼 클럭 생성기는, 변조 주파수 및 스윙 폭 조절에 의한 확산비의 조절이 용이하고, 이에 따라 기가 대역 이상에서 고속으로 동작하는 다양한 칩에 일정한 클럭을 기준으로 확산된 클럭을 쉽게 생성시킬 수 있다.
본 발명은 피치(Pitch) 특징 벡터와 서포트 벡터머신(Support Vector Machine; SVM)을 이용한 음성신호에 기초한 성별 인식 방법에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 (1) 남성 및 여성의 음성을 포함하고 있는 음성 데이터베이스로부터 음성을 검출하는 단계와, (2) 음성 검출 단계에서 검출된 음성으로부터 훈련(training)용 MFCC(Mel Frequency Cepstral Coefficient) 특징 벡터를 추출하는 단계와, (3) 음성 검출 단계에서 검출된 음성으로부터 훈련용 Pitch 특징 벡터를 추출하는 단계와, (4) 추출한 훈련용 MFCC 특징 벡터와 훈련용 Pitch 특징 벡터를 결합하여 결합 특징 벡터를 생성하는 단계와, (5) 생성된 결합 특징 벡터를 이용하여 SVM 모델을 생성하는 단계와, (6) 테스트하고자 하는 음성신호로부터 음성을 검출하는 단계와, (7) 음성 검출 단계에서 검출된 음성으로부터 테스트 MFCC 특징 벡터를 추출하는 단계와, (8) 음성 검출 단계에서 검출된 음성으로부터 테스트 Pitch 특징 벡터를 추출하는 단계와, (9) 추출한 테스트 MFCC 특징 벡터와 테스트 Pitch 특징 벡터를 결합하여 테스트 결합 특징 벡터를 생성하는 단계와, (10) 추출한 테스트 결합 특징 벡터를 SVM 모델 생성 단계에서 생성한 SVM 모델에 대입하여 성별을 인식하는 단계를 포함하는 음성신호에 기초한 성별 인식 방법에 관한 것이다.음성신호에 기초한 본 발명의 성별 인식 방법에 따르면, 음성신호에 기초한 성별 인식에 있어서 Pitch 특징 벡터를 MFCC 특징 벡터와 결합하여 결합 특징 벡터로서 이용하고 동시에 SVM을 적용함으로써, 기존의 GMM을 이용한 성별 인식 방법과 비교하여 성별 인식의 성능을 대폭 향상시킬 수 있다.
본 발명은 서포트 벡터머신(Support Vector Machine; SVM)을 이용한 음성신호에 기초한 성별 인식 방법에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 (1) 남성 및 여성의 음성을 포함하고 있는 음성 데이터베이스로부터 음성을 검출하는 단계와, (2) 음성 검출 단계에서 검출된 음성으로부터 훈련(training)용 MFCC(Mel Frequency Cepstral Coefficient) 특징 벡터를 추출하는 단계와, (3) 추출한 훈련용 MFCC 특징 벡터를 이용하여 SVM 모델을 생성하는 단계와, (4) 테스트하고자 하는 음성신호로부터 음성을 검출하는 단계와, (5) 음성 검출 단계에서 검출된 음성으로부터 테스트 MFCC 특징 벡터를 추출하는 단계와, (6) 추출한 테스트 MFCC 특징 벡터를 SVM 모델 생성 단계에서 생성한 SVM 모델에 대입하여 성별을 인식하는 단계를 포함하는 음성신호에 기초한 성별 인식 방법에 관한 것이다.음성신호에 기초한 본 발명의 성별 인식 방법에 따르면, 음성신호에 기초한 성별 인식에 있어서 SVM을 적용함으로써, 기존의 GMM을 이용한 성별 인식 방법과 비교하여 성별 인식의 성능을 대폭 향상시킬 수 있다.
본 발명은 사후 SNR(a posteriori SNR), 선행 SNR(a priori SNR) 및 예측 SNR(predicted SNR)을 결합하여 이를 특징 벡터로서 이용하는 서포트 벡터머신(Support Vector Machine; SVM)에 기초한 음성 검출 방법에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 (1) 학습용 음성 데이터로부터 사후 SNR, 선행 SNR 및 예측 SNR을 추출한 후, 이들을 결합하여 훈련용 특징 벡터를 생성하는 단계와, (2) 생성된 상기 훈련용 특징 벡터를 이용하여 SVM 모델을 생성하는 단계와, (3) 테스트하고자 하는 음성 데이터로부터 사후 SNR, 선행 SNR 및 예측 SNR을 추출한 후, 이들을 결합하여 테스트 특징 벡터를 생성하는 단계와, (4) 추출한 상기 테스트 특징 벡터를 상기 SVM 모델 생성 단계에서 생성한 상기 SVM 모델에 대입하여 음성을 검출하는 단계를 포함하는 SVM에 기초한 음성 검출 방법에 관한 것이다.본 발명의 SVM에 기초한 음성 검출 방법에 따르면, 사후 SNR, 선행 SNR 및 예측 SNR을 결합하여 이들을 SVM에 대한 특징 벡터로서 사용함으로써, 실시간으로 음성 신호를 처리해야 하는 이동 통신 환경에 적합하게 하면서도 음성 검출 성능을 대폭 향상시킬 수 있다.
본 발명은 서포트 벡터 머신(Support Vector Machine; SVM)을 이용한 음성 검출 방법에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 (1) 훈련용 음성 데이터베이스로부터 우도비(likelihood ratio)에 대한 특징 벡터를 추출하는 제1 단계와, (2) 상기 제1 단계에서 추출한 우도비에 대한 상기 특징 벡터를 이용하여, 서포트 벡터 머신(SVM) 모델을 생성하는 제2 단계와, (3) 입력 음성 신호로부터 우도비를 구하는 제3 단계와, (4) 상기 제3 단계에서 구한 상기 우도비를 상기 제2 단계에서 생성한 상기 SVM 모델에 적용하여 결정함수(decision function)의 값을 계산하는 제4 단계와, (5) 상기 제4 단계에서 계산한 결정함수의 값을 임계값(threshold)과 비교하여 음성의 존재 유무를 판단하는 제5 단계를 포함하는 것을 그 구성상의 특징으로 한다.본 발명의 음성 검출 방법에 따르면, 음성의 통계적 모델에 기초한 기존의 음성 검출 방법에서 사용하던 주파수별 우도비를 SVM의 특징 벡터로 사용함으로써, 음성의 통계적 모델에 기초한 기존의 음성 검출 방법의 성능을 크게 향상시킬 수 있다.
본 발명은 균등최강력(Uniformly Most Powerful; UMP) 테스트에 기초한 음성 검출 방법 및 음성 검출 시스템에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 입력된 음성 신호에 대하여 고속 푸리에 변환(FFT)을 수행하여 주파수 영역의 음성 신호로 변환시키는 단계와, 상기 주파수 영역으로 변환된 음성 신호의 묵음 구간으로부터 잡음 신호의 분산을 추정하는 단계와, 상기 추정 단계에서 추정된 잡음 신호의 상기 분산에 기초하여, 고정된 거짓 경고 확률 값을 이용하여 임계값을 계산하는 단계와, 상기 임계값 계산 단계에서 계산된 상기 임계값 및 프레임 단위로 구해진 잡음 음성 신호의 크기의 기하평균을 이용하여 음성 검출 결정 값을 계산하는 단계와, 상기 결정 값 계산 단계에서 계산된 상기 결정 값이 0보다 크면 음성이 존재하는 것으로, 아니면 음성이 존재하지 않는 것으로 판단하는 단계를 포함하는 음성 검출 방법 및 이를 구현한 음성 검출 시스템에 관한 것이다.본 발명은, 균등최강력 테스트를 이용한 새로운 음성 검출 방법 및 음성 검출 시스템을 제안함으로써, 선행 SNR 값을 구하지 않고서도 기존의 음성 검출 방법에 비하여 음성 검출 성능을 향상시킬 수 있다
본 발명은 TFT-LCD 패널 및 30인치 이상의 대형 TFT-LCD 패널의 개발에 있어서 가장 큰 문제점으로 인식되고 있는 RC-지연 및 패널의 전기적 특성을 분석하기 위한 방법에 관한 것이다. 본 발명에서는 패널 내의 저항, LC(Liquid crystal) 커패시턴스, storage 및 기생 커패시턴스로 인하여 발생하는 게이트 라인의 신호 지연 및 왜곡(distortion) 현상과 화소에 인가되는 화소전압(pixel voltage)의 킥백(Kick-Back) 효과를 분석한다. 특히, 전압에 따라 변화되는 LC 커패시턴스 를 고려함으로써, 보다 정확한 패널 특성을 분석할 수 있으며, 커플링 커패시턴스가 화소전압에 미치는 영향도 분석이 가능하다. 또한, 패널의 회로 시뮬레이션을 통하여 얻어지는 화소전압의 실효치를 이용하여 패널에서 구현되는 이미지의 flickers, shading, grayscale error, crosstalk 등의 효과를 확인하였다. 본 시뮬레이션 방법을 통하여 구현된 이미지는 실제 제조된 패널에서 예측할 수 있는 화질의 다양한 해석을 가능하게 한다.
본 발명은 아날로그 디지털 변환기에 관한 것으로서, 특히, 입력 주파수에 따른 최적의 저항값을 획득한 후, 이를 변화시켜 입력 주파수에 따라 항상 최적의 성능을 가질 수 있도록 평준화 저항의 값을 조절할 수 있도록 하는데 그 특징적인 목적이 있다.상기 목적 달성을 위한 본 발명은, 프리앰프 로드 저항(R0)값과 프리앰프단의 출력전압이 인가되고, 평준화 저항(R1)이 직렬 연결되어 BOTTOM단으로 평준화된 전압이 출력되며, 상기 평준화 저항에 이웃하여 MOS 트랜지스터(M)가 직렬로 구성되는 인터폴레이션 블록(2)을 포함한다.
다중 게이트 전계 효과 트랜지스터를 형성하는 방법 중 채널을 둘러싸고 있는 폴리실리콘 영역을 제1게이트 제2게이트 부분으로 구분하고, 각각의 영역을 비대칭 도핑하여 문턱전압의 조절 및 누설 전류를 최소화하는 단계를 포함한다.
본 발명은 그래픽 가속기 기반의 고속 영상 처리 방법에 있어서, 영상 처리를 위한 입력 영상을 32비트 부동 소수점(floating point)의 텍스처의 형식으로 처리하는 과정과, 적어도 하나 이상의 프레임버퍼 객체(FBO: Framebuffer Object)를 통해 영상 처리를 위한 미리 설정된 알고리즘을 입력 영상에 대해 수행하여 그 결과를 텍스처 데이터로서 출력하는 과정을 수행한다.
본 발명은 액정 픽셀에 대한 전기적 광학적 특성에 대한 전산 모사에 관한 것으로, 보다 상세하게는 전기적 광학 특성 분석 전산 모사를 분산 컴퓨팅을 이용하여 많은 양의 데이터를 보다 빠르게 계산할 수 있도록 하는 기술이다.
본 발명은 전류원을 무작위로 선택하여 DAC 회로에서 생기는 Glitch 에너지를 최소화하는 DAC 설계 방법에 관한 것이다. 다만 너무 많은 레이어를 사용하는 것은 실리콘 면적을 너무 많이 차지하며 전류원의 글리치 에너지를 줄이는 효과도 어느 정도 한계를 보이기 때문에 적절한 선에서 이 레이어의 수를 결정하여야 한다. 본 발명에서는 제작된 DAC의 비트 수에 맞게 이 레이어의 수를 최적화 하여 면적을 줄이면서 DAC의 선형성을 확보하는데 중점을 두었다. 각 레이어에서 필요한 랜덤한 신호는 LFSR(Linear Feedback Shift Register)에서 나오게 된다.
본 발명은 기존의 최소 통계법(Minimum Statistics; MS)과 소프트 디시전법(Soft Decision; SD)을 확률적으로 결합하여 잡음 전력을 추정하는 새로운 잡음 전력 추정 방법에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 (1) 기존의 최소 통계법(MS)을 이용하여 잡음 전력의 제1 추정치()를 구하는 단계와, (2) 기존의 소프트 디시전법(SD)을 이용하여 잡음 전력의 제2 추정치()를 구하는 단계와, (3) 상기 단계 (1) 및 단계 (2)에서 구해진 잡음 전력의 상기 제1 추정치() 및 상기 제2 추정치()를 다음 수학식과 같이 확률적으로 결합함으로써, 새로운 잡음 전력의 추정치()를 구하는 단계를 포함하는 잡음 전력 추정 방법에 관한 것이다.본 발명의 잡음 전력 추정 방법에 따르면, 기존의 MS에 기초한 잡음 전력 추정 방법과 기존의 SD에 기초한 잡음 전력 추정 방법을 확률적으로 결합함으로써, 잡음 구간 및 깨끗한 음성 구간에서 모두 우수한 잡음 전력 추정 능력을 보일 수 있다.
본 발명은 다중 클래스 SVM(Support Vector Machine)을 이용한 영역 기반 이미지 검색 방법에 관한 것으로서, 사용자의 적합성 판단에 따른 피드백을 받아 적합한 이미지에 가중치를 부과하여 사용자의 의도를 보다 높게 반영할 수 있으며, 초기 단계에서 학습된 다중 클래스 SVM 분류기를 이용함으로써, 적합한 이미지에 포함된 영역을 재분류하지 않아 각 반복 단계에서 발생하는 중복 단계를 효과적으로 감소시킬 수 있으며, 이에 따라 검색 비용을 줄일 수 있고, 분류의 정확도가 높아 정확성에 있어서 좋은 성능을 보이는 다중 클래스 SVM을 이용한 영역 기반 이미지 검색 방법을 제공하기 위한 것으로서, 그 기술적 구성은 사용자가 입력한 질의 이미지와 데이터 베이스 내의 이미지와 매칭시켜 유사한 이미지를 출력하면, 유사한 이미지 중 사용자의 적합성 평가로 적합한 이미지 집합을 생성하는 제1 단계; 초기 단계에서 상기 적합한 이미지 집합에 계층적 군집 알고리즘 및 영역 병합으로 최적의 영역 클래스를 생성하여 다중 클래스 SVM 분류기를 학습하는 제2 단계; 상기 제1 단계를 반복하여 얻은 적합한 이미지를 상기 학습된 다중 클래스 SVM 분류기로 영역 기반 분류하고, 유사도가 높은 영역 클래스를 병합하여 정제된 영역 클래스를 생성하는 제3 단계; 상기 정제된 영역 클래스로 다중 클래스 SVM 분류기를 학습하고, 제3 단계의 생성된 정제된 영역 클래스로부터 산출된 새로운 질의점을 입력하는 제1 단계로 이동하는 제4 단계; 를 포함한다.
본 발명에서는 우리나라 자체의 시뮬레이터를 개발하는데 목적을 두고 광 및 에너지 분포를 구하여 deep ultraviolet resist인 화학 증폭형 resist나 resist에 따른 복잡한 공정을 처리할 수 있는 기본 툴을 만들어, 컴퓨터 계산 시간을 최소한으로 줄이고 Proximity 효과를 처리할 수 있는 툴을 만들고, 개발된 툴을 사용자가 쉽게 쓸 수 있도록 하면서 1GDRAM이상의 소자 양산에 적용할 수 있는 새로운 노광 방법을 개발하고자 한다. 또한 보다 나은 사용자의 편의를 위해 편리한 GUI환경을 구축한다.
본 발명은 엑스선을 이용한 실리콘의 습식 에칭 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 빛이 없는 조건에서 불산 용액에 담긴 실리콘의 표면에 엑스선을 조사함으로써 선택적인 습식에칭을 할 수 있는 방법으로 엑스선이 조사된 부분의 실리콘 내부 및 표면에서 발생된 홀들은 용액내의 불산이온과 반응하여 실리콘이 용액 내로 용해될 수 있게 한다. 본 발명은 기존의 광원으로 사용된 레이저 및 자외선과 함께 이용 가능한 광원의 영역을 엑스선까지 확장시켰으며 기존광원에 비해 짧은 파장을 갖는 엑스선을 이용한 습식에칭은 나노 크기의 영역까지 선택적 에칭에 활용될 수 있고, 공간상의 고분해능을 갖는 장점을 제공한다.