준상전압 비선형 광학에 기반한 레이저 영상 디스플레이
이들 발명품은 영상 디스플레이 목적과 조사를 위한 고체 상태 레이저와 군위상 정합 비선형 광학을 이용한 선택된 주파수(적-녹-청)에서 방사 광원을 생성한다.장수명을 가진 자체 제작 부품 이용, 소형 패키징, 우수한 피드백과 제어 특성
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- 2001-02-28
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86 / 866 페이지이중 캔틸레버를 이용한 주사 탐침자 현미경 실행법
이 발명품은 다른 특성들을 가지는 2개의 탐침자로 사용한다. 하나의 탐침자는 관심있는 포인트에 위치하기 위한 표면 부근의 고속 천이에 적합하며 날카로운 팁을 가진 두 번째 탐침자는 표적점에서 표본의 고분해능 해석을 수행할 수 있다.관심있는 지역에 빠르게 장착하고 매우 큰 분해능을 가지고 탐침하기 위한 스위치
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주사/영상 정렬 시스템을 위한 부공간 기반 정렬 기법
정렬 신호의 부공간 분해에 기반한 새로운 정렬 기법이 개발되었다. 정렬 신호의 구조는 미지 위치를 가진 훈련 신호의 집합으로부터 추출되었다. 이 구조는 새로운 정렬 신호들의 위치를 찾는데 공헌한다. 모델은 공정 파라미터들에서 변화로 인한 신호에서 작은 변화가 있다고 가정한다. 실험 웨이퍼가 이 기법의 성능을 검증하기 위해 제작되었다. 실험 결과는 공통 정합 필터링법과 비교하여 정렬 오차에서 진폭의 순서 저감이 큼을 보여주었다.리소그래피 장비상의 정렬 시스템의 성능 개선, 하드웨어 변경을 요구하지 않기 때문에 저비용으로 쉽게 구현, 적응 현상으로 인한 공정의 변화에 대한 조정 능력
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리소그래피를 위한 근접장 광학 개구의 주사 배열
이 발명품은 2개의 부품으로 구성된다. (1) 매우 좁은 폭에서 웨이퍼로 덮어진 포토 레지스터에의 UV 광적용을 위한 렌즈에서 결과 단계를 통하여 만들어진 캔틸레버 기반 소자 (2) 팁 샘플 공간 제어를 위한 새로운 방법개선된 보다 적은 선폭
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유연 확장 가능 트랜스듀서
이 발명품은 유체의 정확한 양에 대한 효율적인 수송을 위한 배열에서 조합할 수 있는 개선된 트랜스듀서이다. 개선된 트랜스듀서는 현재의 방법에 대해 보다 높은 감도와 보다 큰 동적 범위를 가지며 각 원소들은 개별적으로 제어할 수 있으며 하나의 보드는 봉입된 막을 가진다.고감도, 대규모 동적 범위, 2차원 배열, 종래의 IC 제조 공정을 이용한 마이크로머신, AC 신호 구동
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마이크로머신 레일레이, 평면파와 체적파 초음파 트랜스듀서
이 발명품은 에지 부착막의 진동을 이용한 초음파 발생은 위한 소자를 제작하는 방법이다. 초음파를 생성하기 위한 이 새로운 방법은 초음파 생성에서 압전, 전자기 또는 열적 방법에 대하여 장점을 가지고 있다.상대적으로 저렴한 소자, 좋은 공정 제어, 전자 통합 가능, 전자 초점과 주사를 위한 트랜스듀서 배열의 제작 허용
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고성능 압전 저항 가속계
이 발명품은 경사 이온 주입과 검은 반응성 이온 에칭(DRIE)을 이용한 고성능 압전 저항 가속계의 구축과 설계를 가진다. 시제품 가속계는 가장 비싼 상업적 가속기인 ADXL05와 일치하는 성능을 제공하고 지금 당장 현저한 개선을 제외하고 음원 바이어스가 있다. 이 일반적인 기술을 다른 검출 응용에서 폭넓게 사용할 수 있음을 알았다.제작 용이, 성능 개선, 저비용
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신호 처리 시스템을 위한 잡음 저감 분할 기구
디지털 처리 블록에 의해 생성된 잡음 아날로그 신호 처리 검출에 필요한 신호 처리 시스템은 아날로그 몫의 감도 성능을 감소시킬 수 있다. 이 부분 기구는 시스템에서 아날로그 성분에 영향을 주는 잡음을 감소시킨다.아날로그상의 디지털 회로에 의해 생성된 잡음 효과 저감, 크기, 비용 전력 소비, 잡음 문제 고려
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고속 추적 동기화기
디지털 데이터 전송에서 타이밍 동기는 비트 사이의 경계 트랙에 종종 사용된다. 대부분의 타이밍 동기화기는 입력 데이터 2개의 샘플 사이의 차이 측정을 위한 초기 늦은 지연 동기 루프에 사용되었다. 이 차이에 기반하여 판정은 시간 기준을 개선시키거나 지연 시킨것으로 처리하였다. 이 발명품은 루프 과정의 가속을 목표로하여 타이밍 동기화기에서 고속 추적을 허용한다.정밀 타이밍 취득, 간단한 설계
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자기 조절 칼만 필터
칼만 필터는 시스템 모델의 지원을 가진 시스템 상태를 추정하는데 종종 사용한다. 이 발명품은 시스템 동력학들이 실제의 시스템 모델없이 유도할 수 있도록 하기 위해 칼만 필터 설계상의 몇 가지 요구를 완화시켰다. 전반적인 추정 정밀도를 개선하는 자기 조절 칼만 필터를 시뮬레이션으로 보였다.실제 시스템 모델없이 칼만 필터를 이용한 정밀 상태 추정
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용량성 마이크로머신 초음파 트랜스듀서의 동적 주파수 동조
용량성 마이크로머신 초음파 트랜스듀서(cMUTs)는 MHz 범위의 공기에서 초음파의 검출과 여기에 대해 효율적으로 보여져 왔다. 이 발명품은 원래부터 제작된 변동과 외부 인자로 인한 드리프트에 대한 원하는 값 보상을 위한 공진 주파수 동조와 넓은 주파수 범위에서 효율적인 동작을 마련하기 위한 cMUTs의 응답 주파수의 동점인 변화를 위한 방법을 제공한다.전력 출력 레벨과 효율의 손실없이 공기에서 응용을 위한 cMUT의 대역폭 개선, 외부 인자로 인한 원하지 않는 드리프트 보상하기 위한 공진 주파수의 동적 조정 가능
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레이저 펄스폭 조정과 정형을 위한 조정 가능 공간 간섭 필터
이 발명품은 원하는 공간 정형을 위한 대역폭 프로파일을 유지하는 동안 최적화된 전력 출력을 생성하기 위한 대역폭 간섭의 새로운 방법이다. 이 방법은 간단하며 작업이 쉬우며 구현이 용이하다.펄스 정형 용량을 유지하는 동안 최적화된 전력 출력
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- 2001-02-28
광학 내부 결합 검출기를 위한 개선된 방법
이 발명품은 갈륨 비소의 집적화 방법이며 실리콘 집적 회로에 화합물 반도체 광검출기와 관련이 있다. 이것은 매우 낮은 캐패시턴스를 가진 회로에 효율적인 광결합이 가능하다. 광검출기의 캐패시턴스를 유지하고 가능한 한 작게 임의의 결합 배선이 고효율 광결합을 생성하게 하는 핵심이다.광결합 검출기에서 캐패시턴스 최소화, 급격한 전압 변동에 대한 대비, 전자 회로의 입력상에 남아 있는 평균 전압 방전 캐패시턴스에의 전도 경로 없음
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강전기 재료의 자구 패터닝을 위한 백스위치 폴링법
이 발명품은 0.5mm 두께 리튬 니오베이트 기판에 만들어지고 영역 패턴 분해능 증가를 이루는 방법으로서 자발 백스위칭과 협조하는 개선된 전계 폴링 기법이다. 6.4%/W 효율 CW 제2고조파 생성은 4m 주기, 50mm 길이, 0.5mm 두께 주기적으로 극을 가진 리튬 니오베이트에서 검증하였다.6.4%/W 효율 CW 제2고조파 생성은 4m 주기, 50mm 길이, 0.5mm 두께 주기적으로 극을 가진 리튬 니오베이트에서 검증하였다.
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미세 결함 검출을 위한 방법
이 발명품은 실리콘 웨이퍼상에 존재하는 미세 결합 검출의 방법을 제공한다. 이 감도법은 실리콘 웨이퍼상에 존재하는 미세 결함에 선택적으로 증착한 금속에 의해 이루어졌다. 이들 결합들은 선택적으로 장식이 되며 입자 카운터와 같은 종래의 방법에 의해 쉽게 검출된다.현재의 방법보다 작은 결함 검출 가능, 높은 수율
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- 2001-02-28
데이터 복원 루프를 위한 주파수 취득 기법
모놀리닉 PLL은 온칩 전압 제어 발진기(VOC)에서 큰 주파수 편차로 인한 반도체 공정 변화 때문에 큰 주파수 범위를 포획하게 된다. 주파수 취득 회로는 기준 클록에서 요구하는 동기를 위하여 PLL에서 위상 검출기를 도울 수 있다. 이 새로운 주파수 취득 기법은 접근하는 신호(즉 랜덤 데이터 또는 정현파)에 동기를 위해 PLL을 가능하게 한다. 이것은 자동적으로 주파수 동기 조건을 검출하며 스스로 동기화 시킨다. 모놀리닉 PLL을 위한 하나의 응용은 통신 시스템(즉 기가비트 인터넷)에서 클록과 데이터 복원이다. 여기서 직렬 데이터는 초당 기가비트보다 큰 속도로 전송된다. 위상 검출기에 따라 주파수 취득을 이용한 수신기 데이터 복원 루프는 스탠포드 docket S98-186에서 시뮬레이션 되었음을 기술하였다. 이 시뮬레이션 결과는 데이터 타이밍이 최악의 데이터 패턴에 대하여 100ns초보다 작게 복원되고 있음을 보였다. 시제품 또는 0.25미크론 CMOS 기술로 제작되었다.많은 PLL 구조와 호환성, 표준 CMOS 기술의 제작 가능성, 간단한 설계, 넓은 주파수 범위에서의 동기 능력
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4 PAM 변조를 위한 선형 데이터 복원 위상 검출기
이진 데이터(2-PAM) 대신에 다중 레벨 펄스 진폭 변조기(N-PAM)의 사용은 보다 높은 데이터율 통신의 전송을 가능하게 할 것이다. 따라서 N-PAM 데이터 타이밍 복원을 미래 고속 링크를 위해서는 결정적이다. 이 위상 검출기는 초당 기가비트보다 큰 속도에서 송신하는 N-PAM 데이터 스트림의 위상 정보를 추출한다. 이 설계는 종래의 선형 데이터 PLL과 뱅뱅 루프의 장점으로 조합되어 있다. 이것은 영 시스템적 위상 오프셋 뿐만 아니라 루프 안정도와 대역폭도 좋다. 위상 검출기에 따라 주파수 취득을 이용한 수신기 데이터 복원 루프는 스탠포드 docket S98-185에서 시뮬레이션 되었음을 기술하였다. 이 시뮬레이션 결과는 데이터 타이밍이 최악의 데이터 패턴에 대하여 100ns초보다 작게 복원되고 있음을 보였다. 시제품 또는 0.25미크론 CMOS 기술로 제작되었다.표준 CMOS 기술에서 다중 레벨 데이터 패턴 제작을 위한 위상 검출 가능성
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기준 데이터베이스를 가진 휴대용 Gait와 안정도 분석기
안정도 센서와 소프트웨어의 이 유일한 시스템은 실시간과 과시간에서 사람과 물체의 현재 안정도 모두를 분석할 수 있다. 이 설계는 정상적인 환경에서 위험, 안정도, 평가를 허용하도록 하였다. 시제품은 데이터베이스 개발과 해석의 실행 가능성과 요구된 데이터의 취득 개념을 검증하기 위해 제작되었다.저비용, 사용 편리, 데이터베이스 자기 구축
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비구면 고체 침수 렌즈
이 발명품은 표면상의 렌즈 위치를 위한 방법과 비구면 고체 침수 렌즈를 제작하기 위한 기법이다. 이같은 렌즈들은 다양한 크기로 제작될 수 있으며 극도로 소형인 렌즈들을 다중 배열에서 만들 수 있다. 이같은 렌즈들은 캔틸레버상에 위치하며 기판과 관련해서 렌즈의 초정밀 위치와 높이 제어를 가능하게 한다.광리소그레피의 기지의 방법을 이용한 비구면 SIL의 효율적인 제작, 광리소그래피, 렌즈의 다중 배열 생성과 고체적 생산
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결합 발진기 기반 고속 아날로그 상관기
이 발명품은 결합 비선형 발진기 배열의 동기화 특성을 이용한 고속 아날로그 상관기이다. 각 발진기에의 병렬 입력들은 신호 처리와 패턴 인식과 같은 영역에서 사용할 수 있는 배열의 입력으로부터 합 출력 전압까지 매핑을 생성하므로서 발진기 집합에 포함된 개별의 소자 위상에 영향을 준다. 이 상관기는 초고속 특성을 가진 초전도 집적 회로 기술과 반도체 기술 모두로 구현하였다.상대적으로 초고속 성능
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