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일반기술 전기·전자 > 집적회로설계 기술 (B63)

멀티레벨 Deep X 레이 리도그래피를 위한 정렬법

본 기술은 다층 미세 구조의 제작을 위해 X-ray 마스크와 디바이스 기판사이에 정밀한 얼라인먼트를 위한 공정이다. 기판 위의 첫 번째 포토레지스트층은 첫 번째 미세구조층의 패턴을 따라 X-ray 마스크에 의해서 첫 번째 얼라인먼트 홀을 포함하게 패턴화 된다. 포토레지스트 레이어 마스크는 미세구조 디바이스 기판에 붙여지는 부가적인 포토레지스트층을 패턴화 하기 위해 사용되는 두 번째 마스크에 붙여진다. 마스크 포토레지스트층은 디바이스 기판 위에 첫 번째 포토레지스트층에 있는 얼라인먼트 홀에 대해 기하학적으로 맞아들어가는 마스크 얼라인먼트 홀을 포함하게 형성된다. 두 번째 마스크와 첫 번째 포토레지스트층 사이의 얼라인먼트는 첫 번째 포토레지스트층에 있는 두 번째 마스크의 조합에 의해 만들어진다. 이는 마스크 포토레지스트층에 있는 마스크 얼라인먼트 홀을 통과하는 첫 번째 포토레지스트층에 있는 첫 번째 얼라인먼트 홀에 위치한 얼라인먼트 post를 이용한다. 얼라인먼트 공정은 특별히 Deep X-ray 리소그래피와 전기도금을 사용하는 다층 금속 미세구조 제조에 적용 가능하다. 이 얼라인먼트 공정은 얼라인먼트 post를 이용해서 합쳐진 서브시퀀트 마스크와 첫 번째 포토레지스트 사이의 spacer 포토레지스트 시트를 사용한 더 큰 디바이스 길이와 다중의 포토레지스크층까지 확장될 수 있다.다층의 미세 구조 제작에 사용 가능하다.긴 spacer 포토레지스트 시트에까지 적용 가능하다.

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대일기업평가원
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2002-05-16
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일반기술 전기·전자 > 기타 반도체

포토레지스트 시트를 형성하는 미세구조 형식

미세구조형식에서 형성된 PMMA(polymethylmethacrylate) 같은 포토레지스트 시트는 변형이 없다. 이것은 원하는 두께로 기판에 앞뒤로 붙여서 제작된다. 이 포토레지스트는 마스크를 통해서 X-레이 같은 방사능에 노출시켜 만들어지고 민감하다고 알려진 포토레지스트소재를 제거해서 만들어진다. 미세 금속 구조는 포토레지스트가 제거된 영역에서 전기도금에 의해 형성된다. 포토레지스트 그 자신은 유효한 미세 구조를 형성하고 포토레지스트에 영향을 받지 않는 제거제로 사용해 제거할 수 있는 시트와 기판사이의 릴리즈층(release layer)을 이용해서 기판으로부터 제거된다. 형성된 포토레지스트의 다중층은 복잡한 3차원 미세구조로 만든다.포토레지스트 내의 매우 작은 내부 변형은 더 두꺼운 포토레지스트 구조를 만들게 한다.자유로운 구조를 생산할 수 있다.모든 3차원에서 다양한 모양을 가질 수 있는 전해석출법(electrodeposition)에 의한 금속구조를 생산할 수 있다.

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대일기업평가원
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2003-01-27
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일반기술 전기·전자 > 기타 반도체

Scarificial 금속층과 다단 Deep X-레이 리소그래피를 이용한 미세구조형성

실질적인 임의의 삼차원 모양을 생산할 수 있는 다중 마스크 토울을 이용한 초소형 차원으로 복잡한 금속구조가 형성된다. 첫째금속의 첫 번째 층은 포토레지스트에 빈자리를 채우기 위한 노출된 도금판의 기초위에 전기도금 된다. 이 포토레지스트는 제거되고 두 번째 금속은 sacrificial 금속을 이루는데 첫 번째 층과 도금판 기초위에 전기 도금된다. 적층된 두 번째 금속의 노출면은 실질적으로 프라이머리와 세컨드리 금속 양쪽에 교차하여 연장된 평평하고 균일한 표면을 생산하기 위해 첫 번째 금속에 노출된 높이에 그 다음 기계에 걸린다. 프라이머리 금속에 세컨드리 금속에 의해서 제공된 역학적 안정성 때문에 프라이머리와 세컨드리 금속의 기계가공을 세컨드리 금속이 용이하게 하다. 프라이머리와 세컨드리 금속의 첫 번째 층이 가공되고 난 다음에 다른 포토레지스층이 프라이머리와 세컨드리 금속위에 적용되고 프라이머리 금속의 두 번째층은 전기 도금된다. 세컨드리 금속의 그이상의 층은 원하면 더 전기도금 될 수 있다. 원하는 구조가 형성될 때까지 전기도금과 가공의 과정이 되풀이된다. 세컨드리 금속은 프라이머리 금속을 에칭하지 않는 etchant에 의해 제거된다.완전히 또는 부분적으로 접착된 완전한 자유 금속 구조의 제조가 가능하다.거의 임의의 삼차원구조를 제조할 수 있다.할로우 튜브나 브리지 같은 복잡한 구조를 포함해서 금속을 이루는 초소형의 구조를 형성하는데 유용하고 수력이나 공기력적인 최소 디바이스에도 유용하다.

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대일기업평가원
등록일
2002-05-16
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일반기술 전기·전자 > 기타 반도체

X-레이 리소그래피 빔라인 법과 기구

X-레이 리소그래피 빔라인 기구는 포토리소크래피에서 미세 구조 스케일을 위해 X-레이를 유도하는 수단이다. 일정한 power distribution이 필수인 그런 작업의 섬세함은 산업에 있어서 X-레이 리소그래피의 실제적인 적용에 있어서 약점이다. 빔라인 기구는 -레이 소스로서 싱크로트론과 X-레이를 모으고 초점을 맞추는 두 개의 거울과 높고 낮은 X-레이의 에너지를 통제하기 위한 몇 개의 필터로 이루어져 있다. X-레이 리소그래피는 실리콘웨이퍼와 마이크로 전자공학의 전기회로의 제조업을 위해 보다 더 섬세한 도구를 제공한다.싱크로트론은 원하는 방사선의 어떤 주파수라도 맞출 수 있다.모듈의 광시스템은 사용자 환경으로 조절가능하고 2x1 면적의 타겟을 쓸 수 있다.각각의 요소가 진공의 체임버에 있으므로 모듈의 광 시스템이 더 쉽게 유지된다.평행광을 만드는 거울에 X-레이 각도을 조정하는 필터는 X-레이 리소그래피에서 일정한 power를 제공하는데 도움이 된다.

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대일기업평가원
등록일
2003-01-27
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일반기술 화학공정 > 고분자 가공공정 기술

도료 경화용 전자선 조사장치

전자총을 이용해서 고전압의 전자를 발생하여 도료경화용으로 사용되는 소형화된 전자선 조사장치를 개발함소형화, 경량화, 처리시간의 감소 및 저렴한 장

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동신대학교
등록일
2002-05-16
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일반기술 생명과학 > 기타 유전자 공학

금속표면 바이오 분자 셀룰러 어레이생산 공정

DNA에 단백질을 바인딩하는 것은 유전자 표현과 복제, 재조합의 규칙에 있어서 중추의 역할을 한다. 이러한 바인딩의 탐지는 이미징의 능력이 없이 바이오 센서와 형광 라벨링의 사용에 의존해 왔다. 이것은 단일실험에서 영상화된 혼합물을 상당수 제한한다. 동시에 다양한 혼합물의 바인딩의 테스트에 실용적이고 쉽게 수정될 수 있는 바이오센서가 필요하게 되었다. 이 기술은 표면 플라즈몬 공명(SPR)을 이용하는 연구에 맞게 제조된 바이오 분자와 셀룰러 배열을 만드는데 멀티스텝 화학개조 공정을 제공한다. SPR은 표면에 민감한 단백질-헥산 상호작용의 모니터링에 쓰이는 광학 탐지법이다. SPR 이미지는 바이오 분자 표본의 다른 부분에서 방출되는 반사광의 강도의 변화에 의해서 만들어진다. 이러한 변화는 유기 필름의 두께의 변화 혹은 배열위에 바이오 분자의 바인딩에서 일어나는 굴절율의 변화에 의해 생긴다. 이 방법은 hydrophobic(소수성: 물과친하지 않은 성질의) 백그라운드에 둘러싸인 spot의 배열을 생성하는데 멀티 스템 과정을 포함한다. 소수성 백그라운드에는 친수성 바이오 분자가 붙는다. 소수성 백그라운드는 이때 비특이성 단백질 바인딩에 저항하는 것과 교체되며 차별적인 바이오 분자의 배열이 생성된다. 이때 단백질 배열이 이루어지며 바인딩은 SPR 이미징에 의해 탐지 된다. 금속 코팅된 표면에 연결된 강하고 재생산이 가능한 올리고뉴클레오다이드(oligonucleotide)의 배열은 단백질-핵산 바인딩의 상호작용의 이미징을 하는데 가장 기본적인 것이다.항독소, 단백질, 세포 배열을 포함하는 여러 가지의 배열을 만들 수 있다.테스팅 툴로 사용되는 종래의 SPR보다 비교적 빠르고 라벨링이 필요없고 사이트상에서 실현가능하다.금의 표면에 제조된 올리고뉴클레오타이드 배열은 형광 이미징 실험과 SPR 이미징의 응용에 사용될 수 있다.친화력과 에피토프 매핑 그리고 제한된 사이트 맵핑을 결정하는 등 다항한 분석에 사용된다.이런 바인딩 상호작용의 분석은 치료학의 발전에 도움을 준다.

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대일기업평가원
등록일
2002-05-16
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일반기술 전기·전자 > 기타 산업용 전기전자

광자 - 분류 분광 현미경시스템

공초점(confocal, 초점을 공유)현미경 같은 광학현미경의 스캐닝은 살아있는 세포를 보거나 다른 생물학적 구조를 조사하기 위해서 그 중요성이 날로 증가하고 있다. GFP(green fluorescent protein) 같은 형광 분자를 이용하면 형광 현미경 스캐닝을 사용한 세포와 세포 구조의 위치를 결정하거나 추적하고 그 차이를 조사하는게 가능해진다. 살아있는 표본을 연구하는데 가장 좋은 현미경은 다중양자 여기 형광 레이저 스캐닝 현미경(MPELSM:multi-photon excitation fluorescence laser-scanning microscope)이다. 왜냐하면 다른 것 보다 덜 phototoxic(광독성)하기 때문이다. 현재 사용되는 상업적인 MPELSM의 약점은 장비에 비용이 너무 많이 든다는 것이다. 이 기술은 하나 또는 여러 개의 fluorophores 타입을 포함하는 견본을 분석하기 위한 다중광자 분광 이미징에 아주 적합한 분광 현미경 시스템이다. 이 현미경은 시스템의 사이의 통제를 통합해서 제어하고 디지털 구성요소를 이용하기 때문에 현재 사용하는 MPELSM보다 비용이 훨씬 적게 든다.다양하고 내부에서 발생되는 fluorophore 가 사용될 때, 배경작음이 있는 곳에서도 높은 정확성으로 원하는 신호를 잡을 수 있다.fluorophore 신호를 분리하기 위한 비싸고 복잡한 필터가 필요 업다.살아있는 견본의 실시간 분석이 용이하다.여기된 빛에 노출된 Fluorophore는 적당한 수준으로 유지된다.연속적인 형광수명 이미징(fluorescence lifetime imaging)을 수행한다.매우 높은 광자수의 비율이 가능하다.공초점 현미경과 비교해서 3배나 많은 방출된 형광광자를 사용할수 있다.

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대일기업평가원
등록일
2002-05-16
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일반기술 화학공정 > 기타 분자·나노 화학공정 기술

TiO2 나노입자에 의한 멸균 코팅 제조 기술

이온간 인력에 의한 자기조립법을 이용하여 세라믹, 유리, 금속과 같은 무기재료 뿐만 아니라 고분자 재료에까지 TiO2 나노입자의 멸균 코팅막을 형성시키는 기술코팅될 기질의 크기와 형태의 제약이 거의 없으며, 코팅된 기질의 원색과 투명도를 그대로 유지시키면서 멸균코팅이 가능

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대학산업기술지원단
등록일
2002-05-16
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일반기술 재료 > 기타 고분자재료

친수성 나노코팅층 형성 기술

기재를 양이온 또는 음이온 고분자 수용액에 침지시켜 기재표면에 나노미터 두께의 코팅층을 형성하여 기재표면을 친수성으로 전환시키는 기술기재의 크기와 형태에 대한 제약 없이 무기 및 플라스틱 재료에도 적용이 가능하며 수용액을 사용하는 환경친화적 기술

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대학산업기술지원단
등록일
2002-05-16
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일반기술 보건·의료 > 의약품 제제 개발 기술

광학분할용 에스터라제

의약품 중간체 및 정밀화학 중간원료 합성에 유용한 신규 효소.광학분할에 의한 captopril 중간체 (R)- beta-acetylmercaptoisobutyric acid 생산을 위한 신규 Pseudomonas aeruginosa 유래 esterase 유전자 및 발현기술.화학적 광학분할기술을 효소공정기술로 대체

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한국보건산업진흥원
등록일
2002-05-16
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일반기술 보건·의료 > 의약품 제제 개발 기술

간암 치료용 레늄-188 표지 화합물

간암 환자에 간동맥 색전술 시 투여하면 간암에 축적이 되어 방사선을 방출함으로써 간암을 효과적으로 치료할 수 있음.현재까지 알려진 방사성동위원소 중 치료용으로 가장 적당하다고 알려진 레늄-188을 표지한 새로운 지용성 화합물을 간동맥 색전술에 사용되는 리피오돌에 녹여 사용할 수 있는 킷트를 제조함. 킷트는 일반 주사제와 동일한 형태로서 신규 물질과 약간의 첨가제의 혼합물을 넣어 냉동 건조한 멸균 바이알임.1. 간동맥 색전술만 실시하는 것보다 치료 효과가 획기적으로 증대.2. CT, SPECT 등에 의하여 간암 축적부위를 영상으로 확인.

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한국보건산업진흥원
등록일
2002-04-12
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일반기술 농림·수산 > 기능성 식품·신소재

다시마를 이용한 저칼로리 과실잼의 제조기술

저열량 과실잼의 가공기술로서 당도가 낮아 다이어트용 잼의 소비용도에 적합.원료 처리공정(다시마의 탈염, 건조, 분쇄, 배소 , 추출, 탈취, 농축) + 원부재료 혼합(천연 감미료 등 잼 원부재료) + 가열 처리 공정.다시마 추출액에 계피, 감초 및 팔각의 열수처리로 해조취를 제거한 뒤 과일농축액 및 기타 과실잼 소재와 함께 잼을 제조함으로써 기존 과실잼 제조시 당유래 열량을 30-50% 감소시킴.

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한국보건산업진흥원
등록일
2002-05-16
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일반기술 정보 > 데이터베이스 관리시스템

영상처리 프로그램

비선형 영상 편집 기능은 소프트웨어로만으로 구현되도록 하며, MPEG2 영상 데이터들을 입력으로 열어 윈도우로의 배치, 잘라내기 , 복사, 붙여넣기, 지우기, 분리, 이동, 취소등의 편집 작업과, 시각 특수효과 및 전환효과 계산의 수행 편집 결과의 미리보기, MPEG2 형식에 맞춰 새로운 영상을 생성해내는 기능을 갖도록 한다. 사용자 환경 및 편집환경 소스는 Microsoft사의 Visual Basic을 활용하고, 영상처리를 하고자 하는 영상프레임(Frame1)을 새로운 프레임(Frame2)에서 영상처리 한다. 영상 프레임을 직접 처리할 수 없는 경우는 영상 프레임에서 조건 프레임을 불러 조건을 만족시킨 후 영상처리 한다. 한번 영상 처리된 프레임을 다시 처리하고자 할 경우는 영상 프레임(Frame1)으로 옮겨서 영상처리 한다. 또한, 정지영상을 동영상으로 변환하고, 동영상을 정지영상으로 변환하여 영상처리 한다. 대다수의 시스템에서는 가속보드를 사용하는데 이는 MPEG2 편집기의 대중화를 제한하는 요인이 되기도 한다. 현재 시장에 출시된 MPEG2 비선형 편집기가 있긴 하나 가장 기본적인 기능만을 제공하고 있고 아직 사용자의 요구조건을 만족시키지는 못하고 있다. 따라서 윈도우 운영체제하에서 동작하는 일반적인 응용프로그램과 그래픽 프로그램에 준하며, 화면에 표시되는 내용도 그래픽 프로그램에서 통상적으로 사용하는 방식에 보조를 맞추어 설계되도록 하여 가장 진보된 압축기술인 MPEG2 가속 하드웨어 보드를 사용하지 않은 소프트웨어로 만의 영상편집이 기술의 특징이다. 가속 하드웨어 보드와 같은 고가 장비를 사용하지 않아도 되는 이점있고, 영상 정보기술이 제조업 부분으로 확대 적용 가능하므로 타 부분의 응용 및 적용을 통한 신규시장 개척 추진 기대된다. 또한, 영상처리에 필요한 교육에 활용함으로서 영상 정보 기술 극대화가 기대된다.

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동신대학교
등록일
2002-05-16
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일반기술 정보 > 기타 시스템 소프트웨어

인터넷상의 화자인증용 화자인식 프로그램(NS/SE)

마이크를 통해서 입력된 회원의 음성정보를 WAVE파일로 입력받아, 음성검출 알고리즘에 의해 음성부분을 검출하여 파일로 저장하고, 음성의 특징을 추출하여 HMM 알고리즘을 이용하여 유사도를 측정하여 기준모델을 작성하여 화자인식을 할 수 있는 기술음성의 특성 추출기술, 음성인식 기술프로그램 등록 : 2001-01-26-702

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동신대학교
등록일
2002-05-16
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일반기술 정보 > 응용소프트웨어

전자상거래를 위한 디지털 서명기술

공개키 암호 알고리즘 중 RSA 암호방식과 Rabin 암호방식, Knapsack 문제를 이용한 Merkle-Hellman Knapsack 암호방식, 그리고 ECC(Elliptic Curve Cryptography)방식을 프로그램으로 구현하여 디지털 서명시스템 개발을 위한 전자서명 기술로 사용하였다.디지털 서명 기술을 구현함프로그램등록 : 2001-01-26-701

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동신대학교
등록일
2002-05-16
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일반기술 정보 > 응용소프트웨어

웹상에서 운용되는 철의장 부재 설계기술

2차원의 부재를 판재상에 최적배치하고 이를 최적 절단시킬 수 있는 네스팅 기술을 인터넷상에서 구현할 수 있는 기술프로그램등록 : 2001-01-12-6791부재의 최적배치, 부재의 최적절단, 웹기반의 CAD/CAM 기술웹상에서 철의장 부재 절단을 위한 엔지니어링 사업을 할 수 있음유료 인터넷사이트 개설로 소득 증대

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동신대학교
등록일
2002-05-16
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일반기술 정보 > 응용소프트웨어

절단기 제어용 코드 생성기술

상용의 CAD/CAM 시스템에 의해 생성된 공구의 궤적 경로데이터를 NC코드로 변환해 주는 NC PostProcessor 기술임.프로그램등록 : 2001-01-12-6790NC PostProcessor 기술, 3축/5축 NC 코드생성 기술NC절단기(LASER,PLASMA,GAS,WATERJET)를 제어할 수 있는 코드의 자동생성으로 절단기 활용율 증대, 생산성 향상, 공정의 자동화 가능

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동신대학교
등록일
2002-05-16
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일반기술 정보 > 응용소프트웨어

NC포스트프로세서 제작기

CAD/CAM 시스템과 NC 컨트롤러를 인터페이스 시켜주는 NC PostProcessor를 자동으로 구축해 줄 수 있는 NC PostProcessor 제작기술임.프로그램등록 : 98-01-12-4094각종 CNC 절단기 사양에 맞는 NC PostProcessor 자동구축 기술기대효과 : CNC 절단기 활용도 증대, NC PostProcessor 제작기 보유로 절단기 구입시 커스터나이징이 용이

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동신대학교
등록일
2002-05-16
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일반기술 생명과학 > 기타 생물자원 보존·생산·이용 기술

흑향미로부터 추출된 식용발색제 외 1건

본 발명은 흑미 및 손바닥 선인장열매로부터 추출된 식용발색제에 관한 것으로서 더욱 상세하게는 안토시아닌 및 베타레인의 천연색소 성분을 햄 및 소시지등의 육제품에 천연 식용 발색제로 함유시킴으로써, 현재발색제로 사용되고 있는 화학 첨가제인 질산염 또는 아질산염의 첨가를 최소화 함은 물론 기능성도 부여할 수 있다. 즉, 상기 질산염 또는 아질산염의 첨가에 따른 발암물질인 니트로소아민의 생성 가능성을 배제할 수 있으며, 첨가된 질산염, 아질산염의 소거효과 및 보수력 향상, 연도증진의 효과를 얻을 수 있을 뿐만 아니라, 안토시아닌, 베타레인의 항암, 심장질환, 노화억제 등의 기능성 효과도 얻을 수 있는 흑미 및 손바닥 선인장의 열매로부터 추출된 식용발색제 안토시아닌 및 베타레인 성분에 관한 것이다1. 30-70%의 에탄올과 0.1-1중량% 구연산의 혼합액으로 추출하여 이를 농축액, 농축얼음 또는 건조분말로 하는 것을 특징으로 하는 추출방법2. 식용발색제 및 아질산염 소거제3. 1항의 방법에 의하여 추출된 식용색소가 함유된 것임을 특징으로 하는 항암등의 기능성 육제품

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한국산업기술진흥원
등록일
2002-05-17
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일반기술 환경 > 대기오염제어·관리 기술 (N32, F36)

퇴비 바이오필터 및 그를 이용한 악취가스의 제거방법

축분 퇴비 바이오 필터 제조 및 그를 이용한 퇴비화 시설, 축사 등의 악취물질 발생 사업장의 암모니아가스를 탈취하는 방법이다.폐기물 처리 사업장에서 발생되는 악취물질을 축분퇴비 바이오 필터로서 제거하는 방법이다.

보유기관
한국산업기술진흥원
등록일
2002-05-17
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