산업기술 통합검색
본 발명은 미소 하중이 작용하는 미소기계요소에서 마찰 마멸현상이 발생하는 두 재료간의 미끄럼 접촉시 저 마찰 마멸현상을 실현할 수 있는 미소기계요소의 파손 저감을 위한 공기베어링이 형성된 부싱에 관한 것으로서, 상기 공기베어링의 하중을 지지하는 베어링면에 형성된 부싱의 형상을 실린더 또는 사각형 형태의 기둥 형상으로 그 단면이 운동방향에 대하여 쐐기가 형성되도록 테이퍼를 형성한 형상으로 형성한 것 및 마멸입자에 의한 파손을 저감시키기 위하여 언듈레이션이 형성된 것을 특징으로 하는 미소기계요소의 파손 저감을 위한 공기베어링이 형성된 부싱을 제공한다.
본 발명은 마이크로 크기 라인 형성을 위한 패터닝 장치에 관한 것으로서, 낮은 전압 조건에서 마이크로 크기의 미세한 라인을 구현할 수 있는 효과가 있다. 이를 위한 본 발명에 의한 마이크로 크기 라인 형성을 위한 패터닝 장치는, 기판상에 입자상 물질을 패터닝하는 패터닝 장치에 있어서, 상기 입자상 물질이 포함된 용액을 일정한 수력학적 압력으로 분무하는 노즐; 상기 노즐로부터 이격된 거리에 위치하는 원뿔형 접지전극; 상기 노즐과 상기 접지전극 사이에 위치하며, 상기 기판을 유지하면서 이동시키는 스테이지; 및 상기 노즐과 상기 접지전극 사이에 전압을 인가하는 전원공급장치를 포함하고, 상기 용액이 분무될 때 상기 전원공급장치로부터 상기 노즐과 상기 원뿔형 접지전극 사이에 전압을 인가하여 분무형태를 원뿔형 액주모드로 변환시키고, 상기 변환된 분무형태로 미리 설정된 패턴형상에 따라 상기 용액을 상기 기판에 부착시키는 것을 특징으로 한다.
접속이온빔과 MRF를 이용한 나노 구조물의 제조방법
촉매필터 제조방법 및 장치
회절격자 박막패턴을 이용한 열 보조 자기기록 헤드
광 디스크 장치 및 그 구동방법
본 기술은 다양한 범위의 분해능을 구비하고 있는 정전 용량형 갭 센서와 다양한 탄성력을 구비하고 있는 탄성수단을 적절하게 취사 선택하여 요구되는 작업의 정도에 따라 능동적으로 대처할 수 있는 센서 장치에 관한 것이다.중심 축 방향으로 내부 수용 공간이 구비되는 하우징과, 하우징의 내부 수용 공간 상단부에 고정 결합되는 정전 용량형 갭 센서와, 일단에는 소재 표면의 상태를 측정할 수 있는 프로브 장치 또는 소재 표면을 가공할 수 있는 가공 팁 장치 중에서 선택되는 어느 하나가 착탈식으로 결합될 수 있도록 결합홈부가 구비되며 상기 정전 용량형 갭 센서와 일정 간격 이격된 상태로 상기 하우징의 내부 수용 공간 하단부에 위치하여 상기 하우징 내부 수용 공간을 슬라이드 운동하는 가이드부와, 상기 정전 용량 갭 센서와 상기 가이드부 사이에 개재되는 탄성수단을 포함하여 이루어지는 센서 장치를 제공함을 그 기술적 특징으로 한다.
본 기술은 진공용 대변위 나노 스테이지에 관한 것으로, 그 목적은 전체적으로 컴팩트한 외형을 유지하면서 스테이지의 전체 영역에 대해서 정밀한 미소변위의 위치결정이 가능한 진공용 대변위 나노 스테이지를 제공함에 있다. 이를 위한 본 기술은 대상물이 고정되는 플랫폼; 상기 플랫폼을 X축 방향으로 이동시키되, X축 구동모터와 X축 볼스크류에 의한 플랫폼의 대변위 이동과 X축 피에조 엑츄에이터에 의한 플랫폼의 미소변위 이동이 플랫폼의 일측에 구비된 X축 볼스크류의 축선을 따라 이루어지도록 구성된 X축 구동부, 플랫폼을 Y축 방향으로 이동시키되, Y축 구동모터와 Y축 볼스크류에 의한 플랫폼의 대변위 이동과 Y축 피에조 엑츄에이터에 의한 플랫폼의 미소변위 이동이 X축 구동부의 일측에 구비된 Y축 볼스크류의 축선을 따라 이루어지도록 구성된 Y축 구동부, X축 구동부 및 Y축 구동부에 의해 제공되어 플랫폼의 X축 및 Y축에 대한 변위량을 검출하는 위치검출부 및 위치검출부에 의해 검출된 변위량에 기초하여 X축 구동모터와 X축 피에조 엑츄에이터 및 Y축 구동모터와 Y축 피에조 엑츄에이터를 피드백 제어하는 모션컨트롤러를 구비하는 진공용 대변위 나노 스테이지에 관한 것을 그 기술적 요지로 한다.
본 기술의 전극 도포 시스템은 금속 페이스트 및 용매를 혼합 및 교반하여 금속 페이스트 희석액을 생성하기 위한 혼합 유닛, 혼합 유닛에 금속 페이스트를 공급하기 위한 금속 페이스트 공급부재, 금속 페이스트 공급부재와 이격되어 배치되고 혼합 유닛에 용매를 공급하기 위한 용매 공급부재, 혼합 유닛과 연결되어 있고, 금속 페이스트 희석액을 혼합 유닛으로부터 공급 받아 금속 페이스트 희석액을 무화(霧化)시키고 무화된 금속 페이스트 희석액을 대상 기판 상에 분사하기 위한 초음파 분무 유닛, 초음파 분무 유닛에 초음파를 제공하기 위한 초음파 발생 부재 및 상기 초음파 분무 유닛의 외부에 배치되고 초음파 분무 유닛에 불활성 가스를 공급하기 위한 불활성 가스 공급 부재를 포함한다.
본 기술은 입자 분쇄분산장치에 관한 것으로, 특히 입자충돌기술(Particle-collision technology)을 이용하여 산업용 분말 등의 마이크론 입자를 나노 입자로 분쇄하고 분산시키는 장치를 제공하는 데 그 목적이 있다. 상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 의한 분사충돌식 극미세 입자 분쇄분산장치는, 분쇄 전의 입자를 포함하는 유체를 10,000기압 정도까지의 범위에서 입자의 종류에 따라 필요한 소정 압력으로 증압할 수 있는 초고압 증압기 및 증압된 유체를 노즐을 통해 고속으로 대향 충돌시키는 입자충돌기를 포함한다.본 구성에 의하여, 분쇄 전후의 입자 감소도 및 분쇄된 입자의 입도 분포 등을 향상시키고, 입자의 오염을 대폭 감소시키는 등의 효과가 있다.
기술의 개요 - 본 기술은 레졸(RESOLE) 또는 노볼락(NOVOLAK) 계통의 페놀수지를 이용하여 10mm 이하의 셀 크기를 갖는 셀룰러 페놀 폼을 제조하는 방법으로서, 액상의 페놀수지와 다공성 또는 난연성 미세입자를 교반하는 단계와, 위 단계에서 교반된 페놀수지와 미세입자의 혼합물을 고온, 고압에서 성형하는 단계를 포함.기술의 장점 - 액상의 페놀수지와 난연성 다공성 미세입자를 교반하는 단계와, 위 단계에서 얻어진 페놀수지와 미세입자의 혼합물을 고온, 고압에서 가진하며 성형하는 단계를 거쳐 나노-셀룰러 페놀 폼을 제조한다.
기술의 개요 - 본 기술은 탄소나노튜브 카트리지 제조장치에 관한 것으로, 특히 탄소나노튜브 현탁액과 나이프 에지를 전기적 접촉을 가하여 탄소나노튜브를 탐침의 끝단에 부착하는 탄소나노튜브 팁의 제작에 유용한 탄소나노튜브 카트리지 제조장치에 관한 것임.기술의 특징 - 서로 다른 형상을 가지는 두개의 전극으로 불균일 전기장을 형성하고, 극성화 되기 어려운 용매와 상대적으로 극성화 되기 쉬운 입자를 섞어 만든 현탁액을 두 전극 사이에 채우면, 현탁액 속의 입자들은 보다 더 강한 전기장을 띄는 전극 쪽으로 이동하여 붙게 됨. 불균일한 전기장의 형성은 전극 형상에 직접적인 영향을 받음. - 본 기술에서는 이러한 이중 전기 영동의 효과를 이용하기 위해, 금속 전극층이 증착된 마이크로 채널과 얇고 날카로운 금속 소재의 나이프에지를 전극으로 사용함. 마이크로 채널(탄소나노튜브를 특정 영역에만 제공하기 위한 현탁액 미세 제공부)은 탄소나노튜브 현탁액을 담는 용기의 역할뿐 아니라, 금속전극층을 증착하였기 때문에 전극의 역할도 하게 됨.기술의 장점 - 본 기술은 단일 탄소나노튜브의 샘플이 필요한 경우 그 자체로서 유용한 샘플 역할을 한다. 또한, 나노미터 사이즈의 물체의 이미징이나 조작에 필요한 탄소나노튜브 팁의 제작을 쉽게 하므로, 그 공정속도를 높여준다. 또한, 고강도를 필요로 하는 절삭공구 형성에도 유용한 방법을 제공하고 있음.
기술의 개요 - 본 기술은 레졸(RESOLE) 또는 노볼락(NOVOLAK) 계통의 페놀수지를 이용하여 10mm 이하의 셀 크기를 갖는 셀룰러 페놀 폼을 제조하는 방법으로서, 페놀수지를 밀폐용기에 넣고 H2O 또는 NH3의 기화점까지 가열하여 페놀수지에 내재된 H2O 또는 NH3를 방출시키는 단계, 밀폐용기의 내부압력이 포화압력에 도달하여 위 단계에서 발생된 H2O 또는 NH3가 다시 페놀수지에 용해되도록 고온, 고압상태로 유지시키는 단계, 밀폐용기의 내부압력이 기준압력을 초과하면 밀폐용기의 내부압력을 급강하시키는 단계 및 페놀수지를 다시 경화온도까지 가열하고 열역학적 불안정 상태를 조성하여 위 단계에서 페놀수지에 용해된 H2O 또는 NH3를 중심으로 핵들이 뭉쳐지게 하여 나노-셀룰러 페놀 폼을 형성하는 단계를 포함. 기술의 장점 - 기존의 제작방법에 비해 공정이 간단하며 인체의 유해한 가스의 배출이 없는 장점이 있다. 또한, 본 기술에 의해 제조된 나노-셀룰러 페놀 폼은 나노 크기의 작은 기공을 가지므로 강도와 피로 저항성이 높은 특징이 있다.
기술의 개요 - 본 기술은 전해작용을 이용한 탄소나노 튜브의 길이제어장치에 관한 것으로, 특히 탄소나노 튜브를 전해용액과 반응시켜 원하는 길이로 절단하도록 하며, 이 때 탄소나노 튜브의 입력속도와 전류의 통전시간을 제어하여 원하는 길이를 제공하는 것을 특징으로 하는 전해작용을 이용한 탄소나노튜브의 길이제어장치에 관한 것임.기술의 특징 - 전원 공급기에 의해 전압이 인가된 상태에서 나노 스테이지를 전해질 용액 쪽으로 움직이면, 탄소나노 튜브가 전해질 용액에 닿는 순간 전류가 흐르게 되고, 전류계가 전류량을 측정하게 됨. 즉, 접촉에 의해 전해작용이 시작되면 전류의 흐름이 발생하고, 전해작용이 끝나면 전류의 흐름이 멈추게 됨. 따라서 전류량을 측정하고, 이를 통해 미리 설정된 전류통전시간과 비교 제어를 함으로써 나노 프로브의 길이 제어가 가능하게 됨. 나노 스테이지의 구동을 일정한 속도로 유지한 상태에서, 전해질 용액과의 반응시간을 전류계로써 체크하여 나노 프로브의 길이를 제어토록 함.기술의 장점 - 개별적인 나노 프로브의 길이를 제어할 수 있는 장점이 있어, 각각의 용도에 맞게 나노 프로브를 제작할 수 있고, 전해작용을 이용하여 간단하고 편리하게 그 길이를 제어할 수 있으며, 고성능의 나노 스테이지를 이용할 경우 고 분해능의 나노 프로브 길이제어가 가능하다. 특히, 이 장치를 이용할 경우 제작된 나노 프로브의 길이를 원하는 목적에 맞게 제작할 수 있으며, 나노 프로브 분야의 다른 산업에도 그 효용성이 높음.
2개의 진동 모드가 동일한 주파수의 전류에 의해 발생하는 압전 소자 및 상기 압전 소자를 이용한 압전 액추에이터에 관한 것이다. 상기 압전 액추에이터는 전기적 신호가 입력되면 굽힘방향 및 종방향으로 독립적으로 진동하는 선형 외팔보 형태의 압전소자, 상기 압전 소자의 각 면에 고정 배치되는 변위확대기구, 제 1 및 제2 고정 플레이트를 포함한다. 상기 압전소자는 굽힘방향 진동의 공진 모드와 종방향 진동의 공진모드가 동일한 주파수의 전류에 의해 발생되도록 구성된다.
본 발명은 초경량이면서 대변형, 저전압, 저전력소모, 및 적절한 응답속도를 갖는 생체모방 종이작동기(BIOMIMETIC ELECTRO-ACTIVE PAPER ACTUATORS)에 관한 것으로, 셀룰로스의 마이크로 파이버(MICRO FIBRIL)가 일정한 방향으로 배열된 종이, 종이의 양면에 설치된 전극, 외부로부터 전기장을 수신하여 직류로 변환시키는 박막의 렉티나(RECTENNA), 직류전원의 신호를 수신하여 동력 변환/제어하는 PAD(POWER ALLOCATION & DISTRIBUTION) 논리회로, 및 박막 배터리로 이루어진 생체모방 종이 작동기이다.
본 발명은 인쇄 회로 기판(Printed Circuit Board, 간단히 PCB)으로부터 유가금속을 회수하는 방법에 관한 것으로서, 슬래그로부터 유가금속을 용이하게 회수할 수 있는 방법을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 방법은 인쇄 회로 기판을 소각하는 단계; 상기 소각되어 잔류하는 인쇄 회로 기판의 잔류물에 플럭스를 첨가하고 가열하는 단계; 상기 플럭스와 잔류물의 혼합물을 상기 가열온도에서 유지하여 슬래그화 시키면서 유가금속을 침적시키는 단계; 상기 슬래그를 냉각시키는 단계; 및 상기 냉각된 슬래그로부터 유가 금속을 회수하는 단계;로 이루어진 것을 특징으로 한다.본 발명에 의할 경우, 슬래그로부터 유가금속을 용이하게 회수할 수 있는 방법을 제공할 수 있으며, 본 발명에 의해 제공된 방법에 의해 유가 금속을 회수할 경우 95%에 달하는 높은 유가 금속 회수율을 얻을 수 있다.
본 기술은 공기 중의 미세입자의 분류를 위한 MEMS 기반 미세가상임팩터의 설계, 제작 및 응용에 관한 것이다. 본 기술에서 제시하는 미세가상임팩터는 구조적으로 1 μm 크기의 입자를 분류하기 위해 설계 및 제작되었다. 그러나, 이 미세가상임팩터에 한쌍의 전극이 집적되어 있고 이를 통하여 입력되는 전압의 크기에 따라서 나노미터급의 미세입자를 분류할 수 있다. 또한, 인가되는 전압의 크기에 따라서 분류 입경을 제어할 수 있다.
본 기술은 자성입자로 표지된 세포의 분리를 위해 실리콘기판위에 전자석과 미세유로채널를 통합시킨 세포분리용 칩 장치이다. ▷ 본 장치의 칩상단(front side)은 미세유로채널이, 칩하단(back side)은 전자석이 내재되어 있다. ▷ 미세유로채널은 세포주입용 채널과 칩의 온도를 조절하기 위한 냉각 채널들로 구성되어 있다. ▷ 전자석은 컨덕터코일(conductor coil), 절연층(dielectric layer), 강자성체(magnetic plate)으로 구성되어 있다. ▷ 자성입자분리에 필요한 자기력은 전자석의 인턱터코일 전류로 유도시킨다. ▷ 통합 칩 전산모델은 열흐름분석을 통해 설계된 칩의 운전조건에 따른 온도분포를 예측할 수 있으며 설계 도구로서 사용할 수 있다. ▷ 세포생존의 최적온도의 발생과 유지시키는 방법으로 전자석의 작동시 발생되는 주울열을 이용하며, 온도를 유지하기 위해 열감지센서와 냉각채널을 이용하여 조절을 한다.
본 기술은 마이크로 기전 시스템 (MEMS: Micro Electromechanical System) 공정 과정을 통하여 대량 생산된 마이크로 전극 위에 집속이온빔화학기상증착법 (FIB-CVD: Focused Ion BeamChemical Vapor Deposition)을 이용하여 두 마이크로 전극 사이를 공중에 부유된 형태의 단일 나노와이어로 연결하는 제작 방법을 포함한다. 또한 공중 부유형 단일 나노와이어에 특정 가스를 흡착하는 감지물질을 코팅하여 가스 센서로써 기능성을 부여하는 기술을 포함한다. MEMS 공정을 이용하여 전기적으로 절연되고, 기판 위에 소정의 간격으로 배치되는 전극을 형성하는 제1단계, 앞서 제작된 마이크로 전극 위에 집속이온빔 장치를 이용하여 공중 부유형 단일 나노와이어를 제작하여 전극을 기계적/전기적으로 연결하는 제2단계, 제작된 나노와이어에 특정 재료를 코팅하여 기능성을 부여하는 제3단계, 기능성이 부여된 나노와이어를 가스센서에 적용하는 제4단계를 포함한다.