산업기술 통합검색
본 기술은 기판 상에 매몰 절연층 및 제 1 실리콘층이 형성된 SOI 웨이퍼를 준비하는 단계, SOI 웨이퍼 상에 SiGe층을 성장시키는 단계 및 소정 온도에서 가열하는 산화 공정을 통해 매몰 절연층 상에 이완 SiGe층 및 산화막을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 기판의 제조 방법을 제공한다. 또한, 본 기술은 기판, 기판 상에 형성된 매몰 절연층 및 매몰 절연층 상에 형성된 이완 SiGe층을 포함하고, 이완 SiGe층은 매몰 절연층 상에 성장시킨 Si층 및 SiGe층의 산화를 통해 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 기판을 제공한다. 이에 따라, 본 기술은 스트레인드 Si층을 형성하기 위한 이완 SiGe층의 Ge 농도를 높여 전기적 특성을 향상시키고, 두께를 감소시킬 수 있으며, 결정 결함이 적은 스트레인드 Si층을 포함하는 반도체 기판을 제조할 수 있다.
본 기술은 플라즈마 표시소자용 미세배선 보호층 제조방법에 관한 것이다.- 특징무전해도금법을 실시함에 의해 팔라듐 촉매층이 형성된 미세배선 주위에만 니켈 또는 니켈합금을 선택적으로 형성시킨다.감광성 은 전극법의 경우에는 후막화가 어려우나 본 발명에 의하면 짧은시간에 후막화가 가능하다.에너지 산란 전자분광법에 의해 배선의 계면에서의 확산을 살펴본 결과 구리전도층의 대부분은 그대로 유지됨이 확인되었고 니켈층으로의 구리의 확산은 일어나고 합금화가 진행되었다. 그러나, 표면층인 보호층의 산화 및 유전체로의 확산은 거의 일어나지 않으므로 이것을 전극용으로 이용하는 것은 차후의 고화질화 및 방전효율 향상에 큰 도움이 되며 또한, 미세배선의 형성에도 도움이 된다.
본 기술은 유기 전계 발광(electroluminescent, EL) 소자 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 금을 이용하여 애노드 전극을 형성함으로써 기존의 ITO를 이용할 경우 RF 스퍼터링이나 전자빔 공정 등의 추가적인 공정이 필요없이 애노드 전극, 유지층 및 캐소드 전극 형성 공정이 모두 이배포레이터(evaporator)를 이용하여 인시투로 진행되기 때문에 공정을 단순화시킬 수 있고, 금을 이용하여 형성된 애노드 전극과 유기층 사이에 초박막 알루미늄을 산소 플라즈마 처리하여 형성된 절연막을 삽입함으로써 애노드 전극과 유기층 사이의 에너지 장벽을 터널링으로 효과적으로 해결하여 유기 EL 소자의 휘도를 획기적으로 향상시킬 수 있는 유기 전계 발광 소자 및 그 제조 방법이 제시된다.
본 기술은 플라즈마 표시장치용 격벽 제조방법에 관한 것이다.- 특징제조방법에서는격벽층과 희생층이 적층된 형태인 적층구조물 중 유리기판에 고착된 격벽층으로부터 희생층을 중력이나 자성체를 이용한 자력으로 쉽게 분리해냄으로써 희생층을 재활용할 수 있게 되어 희생층의 소모를 최소화할 수 있다.희생층의 제거(즉, 분리)가 용이하여 격벽층을 쉽게 형성할 수 있으며 미리 소성한 재료를 사용하므로 높은 높이를 갖는 격벽을 쉽게 형성할 수 있을 뿐만아니라 제조공정이 간단해진다.
본 기술은 열교환기의 누설 검사장치 및 그 검사방법에 관한 것으로서 특히, 냉동시스템에 적용되는 열교환기의 생산라인에서 제조완료된 열교환기의 용접부에 불량이 발생하여 가스의 누설이 발생되는지를 확인하기 위한 열교환기의 누설검사장치 및 그 검사방법에 관한 것이다.- 특징검사를 작업자의 육안에 의존하지 않고 음향방출(AE) 센서를 이용하여 수행함으로써 검사불량을 줄일 수 있다.수몰방식을 사용하지 않고 가스주입 및 탄성파 감지를 사용하고, 모든 동작이 자동으로 이루어지기 때문에 공정의 단순화로 인해 생산성을 향상시킬 수 있다.
본 기술은 전화기의 응답메시지 선택적 송출방법에 관한 것으로, 특히 부재중 전화가 걸려와 자동응답을 할 경우 미리 지정한 전화번호와 걸려온 전화번호가 일치할 경우 별도로 녹음된 메시지로 응답하기에 적당하도록 한 전화기의 응답메시지 선택적 송출방법에 관한 것이다.- 특징기존의 자동응답 전화기는 전화를 거는 모든 사람에게 동일한 응답메시지를 송출하여 일부 특정인에게만 별도의 메시지를 전달할 수 없는 불편함을 가지고 있었으나, 본 발명에 의해 일반적인 응답메시지 이외에도 특정인에게 별도의 메시지를 녹음하여 원하는 내용의 메시지를 전달할 수 있게 함으로써 자동응답 기능을 보다 편리하고 유용하게 사용할 수 있다.일반적으로 부재중의 응답메시지는 불특정 다수를 위한 것으로, 일반적인 메시지(예를 들어, 지금은 외출중이오니 ’삐-’ 소리가 나면 말씀해 주세요)가 있으나, 본 발명은 특정인을 위한 메시지를 녹음하고 응답하기 때문에 원하는 사람에게 원하는 메시지를 남길 수 있다.특정인을 위한 안내 메시지가 될 수도 있으며, 집안에 식구가 많은 경우에는 각 개인에게 알맞은 메시지를 만들어 놓을 수 있기 때문에 한 대의 자동응답 전화기로 여러 대의 자동응답 사용 효과를 볼 수 있다.
본 기술은 균일한 방전특성을 갖도록 한 플라즈마 디스플레이 패널의 구동방법에 관한 것이다.- 특징서로 다른 펄스폭을 가지는 스캔펄스 또는 서로 다른 펄스폭을 가지는 프라이밍서스테인펄스를 주사라인들에 공급하여 각 주사라인마다 스캐닝시점의 편차에 따라 다르게 소멸되는 벽전하 및 하전입자의 차를 보상하게 된다. 이에 따라, 본 발명의 PDP는 유지방전시 모든 방전셀들이 균일한 방전특성을 가지게 됨은 물론 오방전 및 미스방전을 방지하고 구동마진을 충분히 확보할 수 있다.리셋기간에 한 차례만 적분파 형태의 리셋펄스를 공급함으로써 리셋기간에 일어나는 방전 횟수를 최소화하여 콘트라스트를 향상시킬 수 있다.
본 기술은 유기 EL 소자 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 기판 상에 형성된 제1 전극과, 제1 전극 상에 형성된 유기 박막층 및 이러한 유기 박막층 상에 형성된 제2 전극을 포함하며, 제1 전극 및 제2 전극 중 어느 한 전극은 애노드 전극이고, 타 전극은 캐소드 전극이며, 이러한 캐소드 전극은 금(Au)을 포함한 소정 두께의 박막으로 형성된 것을 특징으로 하는 유기 EL 소자 및 그 제조 방법이 제공된다.
본 기술은 플라즈마 디스플레이 패널의 구동방법에 관한 것으로, 특히 안정적인 고속 어드레싱을 가능하게 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 어드레스 방법에 관한 것이다.- 특징방전셀 내에서 데이터전극과 주사전극 간의 방전 전압에 의해 충전되는 하전입자들을 시드로 하여 데이터 전극에 나란하게 형성된 보조전극에 정극성의 보조 방전 펄스를 공급하여 보조 방전을 일으킨다.어드레스 방전시의 방전 지연 시간을 크게 단축시킬 수 있게 되어 어드레스 기간을 종래에 비해 두 배 이상 크게 단축시키게 되므로 고속 어드레싱을 통해 휘도 향상, 서브필드 증가의 용이, 고해상도 패널 구동의 용이 및 패널 제작 비용의 저감이 이루어진다.보조전극에 정극성 펄스를 공급하여 주사전극과 보조 방전을 일으킴으로써 오방전을 방지하고 안정적으로 어드레스 방전을 일으킨다.
본 기술은 전계방출 표시소자의 스페이서 및 그 제조방법에 관한 것으로, 특히 높은 높이의 스페이서를 갖는 전계방출 표시소자 및 그 제조방법에 관한 것이다.- 특징서로 다른 형태를 가지는 다수의 스페이서를 전면기판과 배면기판 사이에 수직으로 적층하게 됨에 따라, 전면기판과 배면기판 사이의 높이를 높일 수 있으며 얼라인먼트 하기 쉽다.격자형 스페이서와 스트라이프형 스페이서의 위치를 바꾸어도 배기특성이나 조립방법에 차이가 없다.
기술의 개요 - 본 기술은 커넥터를 프레스피트(PRESS-FIT) 타입으로 PCB에 실장하여 임피던스 불일치에 의한 반사손실을 막고, 또한 솔더링을 통한 RF신호의 방사에 의한 절연불량의 문제를 해소시킬 수 있도록 개선된 RF신호 전송용 커넥터의 실장구조에 관한 것이다.기술의 특징 - 본 기술은 커넥터중 RF 시그널핀의 길이를 다른 고정핀들보다 짧게 형성하고, RF 시그널핀 및 고정핀들의 길이와 대응되는 형태로 PCB상에 두개의 관통공과 하나의 RF 시그널홀을 형성하며 각 핀과 홀을 대응배치시킨 상태에서 압력을 가해 끼워맞추는 형태로 서로 고정한 것에 그 특징이 있다.기술의 효과 - 본 기술은 RF 시그널홀이 완전히 관통되어 있지 않기 때문에 PCB의 내층에서만의 신호전송이 가능하여 반사손실이 현저히 감소되고, 그에 따라 RF 시그널특성이 양호하게 되며, 솔더링이 아닌 프레스피팅에 의한 방식으로 핀들을 고정함으로써 절연성이 우수하다.
본 기술은 CD-ROM 이나 DVD Player등에 사용되는 광 픽업(Pick up)에서 하나의 반도체 디바이스인 레이저다이오드(LD)의 불량여부를 판정하여 양품만을 공급하는 레이저 다이오드의 검사장치에 관한 것으로서, 특히 레이저 다이오드에 전류를 인가시키는 프로브를 개선하여 접촉량 및 접촉력을 증대시켜 레이저 다이오드의 광원 출력도를 높여 레이저다이오드의 특성을 정확하게 파악하도록 하는 레이저 다이오드의 전류 인가 장치에 관한 것이다.- 특징레이저다이오드에 전류를 인가할 때에 프로브핀의 접촉 여부를 표시등을 통해서 쉽게 확인할 수 있다.프로브핀의 누르는 힘에 대한 조절을 판스프링에 의한 갭 조절로 조정함에 따라 그 조정을 쉽게 행할 수 있고 따라서, 레이저 광원의 출력도를 향상시킨다.계측지그를 금을 코팅하여 레이저다이오드의 하면과 계측지그상의 접촉 저항을 최소화 함으로써 통전성을 높이고 레이저 다이오드를 계측하는데 있어서의 오차를 최소화 할 수 있다.
본 기술은 인쇄회로기판(이하, PCB라 함)에 전자부품을 납땜한 후 그 납땜의 결함상태를 검사하기 위한 PCB용 납땜상태 검사방법에 관한 것으로서, 특히 BGA(Ball Grid Array), CSP(Chip Scale Package), 플립 칩(Flip Chip) 등 전극이 납볼로 형성된 부품의 장착상태 및 납땜상태를 검사하기 위해 납볼의 경사투시영상을 획득하여 이를 종단면 또는 횡단면 영상으로 복원 및 분석한 후 그 불량여부를 판단하는 X-선을 이용한 PCB의 단층 검사방법에 관한 것이다.- 특징검사대상 PCB의 검사영역 검사시 검사영역의 단면영상 복원을 위해 필요한 픽셀 수가 감소되도록 그 부분별 검사중요도에 따라 픽셀의 크기를 구성시킨 가변메쉬를 적용함으로써 검사영역의 경사투시영상을 획득한 후 단면영상으로 복원하는데 소요되는 시간이 대폭 단축되어 검사의 정확도를 높임과 동시에 고속 검사가 가능하다.기존의 CT 방법에 가변메쉬를 도입하여 CT 방법의 장점이었던 검사의 정확도를 그대로 유지함과 동시에 검사의 신속함을 향상시킴으로써 검사영역의 종단면 또는 횡단면 영상을 고속으로 복원할 수 있게 된다. 따라서, 생산라인 상에서의 인라인화가 가능해져 산업용으로 유용하게 쓰일 수 있다.한번의 영상 획득으로 검사대상 PCB의 상면, 하면을 선택적으로 검사할 수 있게 되므로 검사의 효율성이 극대화되어 고속검사가 가능함은 물론, 각각의 검사영역에 가장 알맞은 알고리즘을 적용하여 검사를 수행하므로 부품의 다양한 장착상태 불량을 검출할 수 있고 다양한 전극을 가진 이형부품도 효과적으로 검사 가능하다.
본 기술은 원자층 증착방법을 이용하여 하부전극, 유전박막 및 상부전극의 형성하도록 함으로써, 두께가 얇으면서도 소자의 정밀도를 높일 수 있는 고유전율 재료를 증착시키고, 전체적으로 이를 통해 형성된 MIM 캐패시터에 의한 반도체 소자의 특성을 향상시키는 반도체 소자의 엠아이엠 캐패시터 형성방법을 제공하는데 그 특징이 있다.또한, 본 기술은 하부전극의 물질로 Ru, RuTiN, TiN, Pt, Ir, RuO 2 , IrO 2 등의 귀금속 또는 귀금속 산화물 박막을 이용하고, 유전박막의 물질로 ZrO 2 , Ta 2 O 5 , HfO 2 , La 2 O 3 , Al 2 O 3 , TiO 2 등을 사용하며, 상부전극은 하부전극과 같은 물질을 사용하여 실시하는 원자층 증착방법에 의해 확산을 억제시킴으로 인해 캐패시터의 유전율과 신뢰성을 향상시키게 하는 반도체 소자의 엠아이엠 캐패시터 형성방법을 제공하는데 있다.또한, 본 기술은 전체적으로 산소의 유입 억제를 통한 누설전류를 감소시키고, 상부전극과 하부전극의 물질을 같게 하여 유전박막의 일정한 분극을 유도할 수 있어 실질적인 MIM 캐패시터를 적용하여 사용하는 반도체 소자에 대한 사용상의 신뢰도 및 만족도를 극대화시키는 반도체 소자의 엠아이엠 캐패시터 형성방법을 제공하는데 있다.
본 기술은 시스템 온 칩 테스트 장치 및 그 방법에 관한 것으로, 전력 소모 측정 모델인 이중천이행렬(WTM)이 최소가 되도록 테스트 패턴의 Don’t-care를 소정 논리비트로 할당하여 저전력 테스트 패턴을 생성하고, 저전력 테스트 패턴을 BXOR(Bit-wise XOR)변환하고, BXOR 변환된 저전력 테스트 패턴을 FDR 방식을 통해 압축하여 압축 테스트 패턴을 발생하고, 압축 테스트 패턴을 압축해제한 후 역 BXOR 변환과정을 통해 테스트 패턴으로 변환하여 테스트함으로써, 전력 소모와 테스트 패턴의 양을 동시에 줄이기 위한 것이다.
- 개요 본 기술은 전계방출소자 및 그의 제조방법에 관한 것으로, 특히 MIM(METAL INSULATING METAL) 캐소드의 터널 산화막 하부에 전자 주입층을 형성하여 전자 방출 효율을 개선하도록 하는데 적당하도록 한 전계방출소자 및 그의 제조방법에 관한 것임.- 특징 기판 상에 형성된 하부 전극과, 하부 전극의 상부 일부를 제외한 부분에 형성된 양극 산화막과, 하부 전극의 상부 일부에 형성된 터널 산화막과, 터널 산화막 하부의 하부 전극 일부에 형성된 전자 주입층을 포함하는 전계방출소자와 이를 제조하는 방법을 제공함.- 효과 전자 방출 효율을 유지하면서 터널 산화막의 두께를 증가시키거나 인가 전압을 낮출 수 있으며, 이를 통해 소자의 효율과 신뢰성 및 수명을 개선하는 것은 물론이고 패널의 소비 전력을 절감 가능.
- 개요 본 기술은 전계 방출 소자에 관한 것으로, 특히 MIM(METAL INSULATING METAL) 제작시 하부 전극과 상부 전극이 교차하는 부분을 위주로 양극 산화막을 형성하도록 하고, 그 외의 부분에는 연결 부분을 형성하도록 하여 응력에 의한 소자 파괴를 방지하는데 적당하도록 한 전계 방출 소자 및 제조 방법에 관한 것임.- 특징 유리 기판 상부에 도전성 물질로 이루어지며, 다수의 소자 형성 위치에 단위별 버스 형태로 형성되는 하부 전극버스들과, 하부 전극 버스들 상부에 위치되며 다수의 소자 형성 위치에서 하부 전극버스들과 교차하며, 교차점 중앙부에 개구부를 구비한 상부 전극 버스들과, 상하부 전극 버스들 사이에 형성되며 상부 전극 버스들의 개구부와 상부 전극 버스들 사이의 일부 연결 영역을 제외한 부분에 위치하는 양극 산화막과, 하부 전극 버스들의 개구부 하부와 하부 전극 버스 상부에 위치한 터널 산화막을 포함함.- 효과 하부 전극과 상부 전극이 교차하는 부분에만 절연 산화막을 형성하도록 함으로써 하부 전극의 길이방향 응력에 의한 양극 산화막 파괴를 방지하여 상하부 전극의 절연성을 유지하고, 터널 산화막의 손상을 방지하도록 하는 효과가 있으며, 궁극적으로는 소자의 신뢰성 및 수명을 연장할 수 있음.
본 기술은 이동 단말기에 관한 것으로서, 특히 이동 단말기와 데이터 송수신이 가능한 리모콘 장치를 이용하여 사용자가 편리하게 통화할 수 있도록 한 리모콘 장치를 구비한 이동 단말기에 관한 것이다.- 특징이동 단말기(휴대폰)를 가방이나 호주머니에 넣고도 전화를 걸거나 받을 수 있으며 액정 표시부를 통해 이동 단말기의 수신 신호 세기, 배터리 잔량, 메시지 수신 여부등 다양한 상태를 알 수 있다.핸즈프리 키트를 구입하지 않은 사용자라도 리모콘을 옷에 부착하여 통화할 수 있으므로 사용자가 안전하게 운전하면서 통화할 수 있다.
기술의 개요 - 본 기술은 필요에 따라 줌(ZOOM) 배율을 조정할 수 있도록 한 줌 렌즈 경통에 관한 것이다.기술의 특징 - 본 기술은 프론트 경통이 직선 구동 가능하게 내삽되는 리어 경통과, 리어 경통 내에 설치되고 피사체에 대한 초점을 맞추기 위한 마스터렌즈의 직선 구동을 안내하는 제1 가이드바, 프론트 경통과 리어 경통 사이에 설치되어 피사체를 확대 및 축소하기 위한 바리에이터렌즈의 직선 구동을 안내하는 제2 가이드바 등으로 구성되어 있는 것이 특징이다.기술의 효과 - 본 기술은 줌 배율을 변환시키는 프론트 경통이 리어 경통에 직선 구동 가능하게 내삽됨으로써 줌 배율을 폭 넓게 변화시킬 수 있도록 한다.
본 기술은 차세대 이동 통신 시스템에 있어서, 특히 광대역 코드 분할 다중 접속 방식(이하, W-CDMA 라 약칭함)의 차세대 이동통신 시스템에서 사용하는 파일럿 패턴의 특성을 이용하여 보다 효과적으로 프레임 동기를 이루는 장치 및 방법에 관한 것이다.- 특징사용되는 코드 시퀀스 개수만큼의 상관기가 필요 없고 상향 링크 또는 하향 링크에서 하나씩의 상관기만을 사용하므로, 수신측에서 프레임 동기를 위한 하드웨어가 간단하다.