진공센서
마그네틱 스텐레스 스틸을 이용한 비접촉성 진공센서용접을 통해 고진공을 유지한 상태에서 비접촉방식으로 진공 측정가능
- 보유기관
- 한국과학기술연구원
- 등록일
- 2002-06-21
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마그네틱 스텐레스 스틸을 이용한 비접촉성 진공센서용접을 통해 고진공을 유지한 상태에서 비접촉방식으로 진공 측정가능
심해의 유기 카본 이동은(주로 biological pump로 알려진) 지구 대기의 이산화탄소의 수준을 조정하는데 중요한 역할을 한다. 전통적인 선박중심의 샘플링 방법이 넓고 일시적인 대양의 생물자원과 탄소종의 변이성을 나타내지 못한다. 현재의 biological pump와 전체 카본 순환의 결과에 대한 이해를 증진시키기 위해서 해수내 미립자 무기 카본(PIC:particulate inorganic carbon)의 in-situ 측정을 위한 새로운 광학 센서를 만들었다. 해양환경 속에 PIC는 CaCO3 생체 입자로 구성되어 있다. 이 새로운 센서는 탄산칼슘의 극심한 복굴절 현상에 그 원리를 두고 있다. 교차 편광된 빛 속에서 현미경으로 탄산칼슘을 보면 그 결정들이 빛이 난다. 그리고 이 성질은 해양에서의 PIC의 in-situ 측정에 사용된다. 이 측정장치는 완전히 공간차원과 전원(power) 요구조건과 차세대 플랫폼과 같이 전통적이고 자율적인 해양학 플랫폼에 오랜기간 사용할 수 있는 적절한 장치이다. in-situ 광학 PIC 센서는 CTD 프로파일러(profiler)에 보조 센서로서도 이용할 수 있다. 여기서 센서는 데이터가 현재 가능한 공간 스케일보다 더 확장되고 접근이 불가한 오지나 먼 거리에 있는 곳에도 사용이 가능하게 한다. 이러한 성공적인 기술의 개발은 해양 카본 시스템 모니터링에 훌륭하게 사용될 수 있고 biological pump에 대한 이해와 세계적 기후변화에 관한 이해를 더 높여서 컴퓨터 기반 시뮬레이션과 온실효과 가스방출 시나리오의 예측을 더 나아지게 한다.- 현재 가능한 스케일보다 더 확장된 공각 영역의 데이터를 수집할수 있다.- 오지나 원거리의 환경에서도 사용가능- 컴퓨터 기반 시뮬레이션이나 온실효과 예측을 개선
이기술은 특허 기술인 음향 동조 공기흐름 센싱기술을 사용한 혁신적인 기상측정 센서로 바람의 속도와 방향을 고정도로 측정가능하다. 이센서가 시그널프로세서에 집적될 경우 0.01 m/s 에서 125 m/s 의 풍속을 측정 가능하다.고정도 풍속, 풍향센싱 컴팩트, 비이송부품에 대한 솔리드 상태 설계 매우 낮은 힘을 요구 (100 mW typ)
소형 플래쉬검사시스템 (MFTS) 은 다양한 크기의 태양에너지 집광판의 성능을 검사하는 간편하고 빠른 방법을 제공한다.- 0.1 단위로 저항 0.1Ohm 에서 999.9 Ohm 까지 변환- 플래셔 파워 12 Kilojoule까지 사용가능 이송가능- 집광판 전압 200 V 까지 집광판 전류 20 A 까지
센싱과 신호처리가 하나의 보드내 칩에서 처리되는 광학 센싱 칩 이 솔루션은 기존 전통적인 센서 칩의 시리얼 출력측에서 발생하는 데이타 지체현상을 제거한다.기존 기술보다 염가로 복잡한 이미지 프로세싱 능력을 포함한 광학센서를 구현
두 개의 독립층을 가진 마그네틱센서가 자기장을 교체함으로써 원하는 위치 파악이 가능하고 디지털 다층 센서로의 개발이 가능자기장 원리를 이용한 정밀한 위치파악
파동길이와 반사된 빛의 밀도를 측정하여 코팅두께 측정데이터분석 및 저장을 하나의 디바이스로 구현, 염가
레이져의 삼각원리를 이용한 고속운동물체 비접촉 3차원 속도측정센서부이외에도 하드웨어 소프트웨어 일체구비, 초당 300만 3차원 측정
보행자와의 crash 테스트를 하는데 있어 센서를 부착한 기계다리를 이용하여 사고시 다리의 제동가속, 무릎각도의 측정수치를 구함보행자와의 사고시 대부분 다리와 충돌하므로 이에 대한 정확한 측정 및 분석을 통하여 사고 발생 시 최대한 보호 가능성 도출
Standard-CMOS-Technolgy에 의하여 대량생산한 chip을 이용하여 위치, 연결 또는 축과 바퀴의 회전수 관측 가능. 로봇이나 기타 장치들에 장착하여 작동상태 측정디지털 시그날과 온도에 민감하지 않음.
시각마이크로프로세서는 기존의 이미지를 포착하는 카메라의 기능과 유사하나 시각동작의 감지및 그 결과를 프로세서하는 점에 중점을 두고 있음. 즉, 시각동작을 감지한 후 분석을 통해 미리 예정된 프로세스에 의해 반응 정도를 결정하는 시스템.이러한 센서를 이용해 ‘Vision Chip’을 개발하고 있음. ‘Vision Chip”은 기존의 카메라나 응용기기에 이용되는 동종의 칩부품보다 경량이며 적은 에너지를 필요로 함.
보행자 횡단보를 안전하게 하는 시스템으로서 횡단보도에 새로운 ITS를 설치하여 보행자나 운전자가 횡단보도에서 이상징후를 감지할 수 있게하고 안전한 횡단을 가능케 하는 시스템.운전자가 보행자를 미처 확인하지 못한 상태에서도 자동차에 시그날을 보내 자동으로 차량을 정지시킬수 있는 장치.
이 기술은 상온에서 동작하는 반도체 감마레이 탐지기의 설계를 가능케 하는 독특한 전극구조에 관한 것이다. 이 기술은 모든 반도체 전하 센서에 적용이 가능하고 이 기술은 반도체 감마레이 탐지기의 생산자들에게 흥미를 이끌 것이다. 상온에서 동작하는 감마선 탐지기를 개발하는데 있어서 높은 원자번호와 넓은 밴드갭을 가진 반도체들에 대한 조사가 되어 왔는데 예를 들어 HgI2, CdTe, CdZnTe와 같은 것들이다. 이러한 디텍터들은 높은 탐지효율과 극저온 냉각 그리고 잠재적으로 우수한 에너지 해상도를 가지고 있다. 이러한 반도체들의 다양한 응용이 성공적으로 이루어졌음에도 불구하고 디바이스의 광범위한 사용은 그것들의 전하포획문제가 장애가 되었다. 이는 낮은 에너지 해상도를 일으킨다. 최근의 연구방향은 단일극성 감지 디바이스에 초점이 맞춰져 있다. 이것은 동일면상의 전극을 채용하고 현재 상온 반도체 탐지기의 출력시스템 설계에서 주요한 변화를 일으킨다. 에너지 해상도에 대해 많은 개선이 있었음에도 불구하고 이 설계는 에너지 해상도를 낮게 만든다. 또한 wire bounding 테크닉은 구조를 매우 복잡하고 손상이 쉽게 가도록 만들었다. 이 기술은 단일 극성 전하 감지 디바이스로서 중앙 coplanar electrode로 둘러싸인 경계 전극을 활용하고 있다. 이것은 더 나은 측정 정확도(에너지 해상도)를 가지고 있다.다른 구조 보다 더 나은 정확한 측정도를 제공한다.튼튼하고 신뢰성이 있다.다른제품보다. 더 쉽고 싸게 생산할수 있다.포토리소그래피와 스퍼터링 공정같은 표준 반도체 금속공정에 사용될수 있다.넓은 반도체 밴드갭의 hole-trapping 문제가 없다.
이 기술은 정전기적 본딩 매체로서 그리고 진공으로 봉인된 체임버 안에 저극을 전기적 연결로 만들기 위한 주요 이송자로서 폴리실리콘을 사용하는 용량형 압력 센서에 관한 것이다. 무겁게 도핑된 P++ 실리콘 웨이퍼 영역은 센서의 유리 기판에 붙어 있는 움직이는 다이어프램을 규정짓는다. 이 다이어프램은 캐패시터의 하나의 전극이고 봉인된 체임버를 정의하는 리세스를 포함하고 있다. 내구 전극은 봉인된 체임버 안에 유리기판위에 패턴화되어 있다. 그리고 내부 전극은 캐패시터의 다른 전극이다. 체임버안에 내부 lead는 전기적으로 내부 전극과 폴리실리콘 층과 연결되어 있으며 폴리실리콘층은 다이아프램 전극을 유리 기판에 봉인한다. 유전체 고립층은 전기적으로 다이아프램 전극 안에 폴리실리콘 실링 레이어를 격리시키고 제작시에 다이어프램 전극 주위에 폴리실리콘 영역을 제거하는 etchant로부터 폴리실리콘 실링 층을 고립시키기 위해 제공된다. 다이아프램 전극은 고립된 폴리실리콘 영역을 통하여 다이아프램 전극과 바깥의 lead를 연결하기 위해 전기적인 접촉을 만든다. 접촉영역의 시리즈들은 다이아프램전극과 폴리실리콘 실링층사이의 유전층을 통하여제공되는데 접촉면이 다이아프램(diaphram)전극의 바깥이다. 이는 정전기적 결합을 목적을 전기적인 연결을 제공하기 위해서이다.대단히 간단하고 비용에 대해 효율적인 생산공정이다. 줄어든 공정단계, 증가된 수율 ,30-40%가량의 비용감소전체 웨이퍼에 대해 single step 결합을 하여 글래스 드릴링과 에폭시와 금속화 실링을 없앴다.다른 실리콘 용량형 센서보다 더 높은 정확성과 해상도 그리고 장기간의 내구성등을 갖추었다.
이기술은 집적된 모놀리식(monolithic)BiCMOS 압력센서이다. 이 센서는 매우 민감하고 MEMs 소자에 유용하다. 그리고 분산감지시스템에 통합될 수 있다. 정확한 대기 측정 및 대기보다 낮은 압력 레벨의 측정에 대한 필요성은 많은 애플리케이션에 있어서 중요하다. 이런 것들중에 하나는 자동차를 위한 것인데 이는 흡입 다기관안에 변동하는 압력레벨을 빠르게 측정하기 위해서 필요하다. 이러한 압력을 신뢰성있게 측정하고 적당한 응답시간을 가지는 센서는 생산하기가 어렵고 굉장히 비싸다. 압전저항형 센서가 대부분의 산업의 응용에 사용되는데 그이유는 낮은 생산단가와 신뢰성 때문이다. 그러나 이것들은 높은 파워가 필요하고 낮은 민감도가 문제이다. 용량형 압력 소자는 높은 민감성과 필요한 파워가 낮은반면에 광범위한 사용에 있어서는 높은 가격과 저 신뢰성 그리고 환경적인 문제 때문에 그 사용에 있어서 한계가 있었다. 여기에서 말하는 새로운 센서는 이러한 전통적인 한계를 극복하고 용량형의 기술을 그대로 유지한 것을 말한다. 이 센서는 15b의 해상도를 실현하였고 저비용 패키징에 적합하고 완전히 집적된 비용에 대해 효율적인 신뢰성있고 튼튼한 용량형 압력센서를 생산하는데에도 적합하다. 정밀한 고도 측정, 마이크로웨더스테이션 그리고 자동차등에 응용이 늘어날 것으로 기대가 된다.종래의 다른것들과 비교해서 해상도가 높다.비용에 대해 효율적이다.신뢰성 있고 튼튼한 capacitive pressure 센서를 생산한다.
화학염색법의 등장으로 인해 지난 10여 년간 외부자극에 대한 세포내의 응답을 기록하거나 모니터하는 기술이 발전이 이루어져 왔으며 최근에는 광섬유 탐침을 이용한 기술이 있다. 화학염색은 칼슘 탐지에 민감한 반면에 칼륨이나 나트륨 또는 염소화합물 등을 측정하는데 이용하기에는 쉽지가 않다. 폴리머 탐지 소자를 가지고 있는 광섬유 탐침은 주어진 세포의 구획안에 위치시킬 수가 있다. 그러나 세포막에 손상을 줄 수도 있을뿐더러 세포내 단지 한곳의 위치만 모니터 할 수밖에 없는 한계가 있다. 이러한 타입들은 다중 analytes의 동시분석에 유용치 않다. 이런식으로 무독성의 개선된 센서가 필요하게 되었다. 이러한 센서들은 세포에 전체에 위치할 수가 있어야 하고 몇 개의 세포 프로세스를 동시에 모니터 할 수가 있어야 한다. 이 기술은 이러한 요구를 충족시키는 광섬유가 없는 센서에 관한 것이다. 이러한 센서들은 고체 또는 반고체 입자들로서 크기는 직경이 마이크로 미터에서 1나노미터이고 상업적으로 이용되는 pico-injector나 유전자총(gene gun) 기술을 이용해서 세포내로 주입된다. 일례로 이 센서는 현재 사용되는 이온 투과 담체 또는 chromoionophores를 포함한 폴리머 매트릭스로부터 생산되고 많은 음이온, 양이온, 금속, 수소, 암모늄 그리고 primary amines를 탐지하는데 쓰인다. 게다가 산소와 글루코즈도 탐지할 수가 있다. 이러한 입자들은 특별히 세포내의 화학적 손상에 대한 연구와 병원균과 독소에 의해 일어난 세포이하의 활동에 설명을 위한 직접적이고 실시간의 비침해성의 도구로 유용하다. 세포들이 센서에 반응을 하면 많은 형태의 독소에 대한 특별한 패턴의 응답(지문과 같은)이 가능하다. 이러한 응답패턴은 기초연구에 유용하고 그런 질병에 대한 의학적 툴로서 사용이 가능하다.세포내 여러곳에 위치하여 동시에 여러곳을 모니터링할 수가 있다.음이온, 양이온, 금속, 수소, 암모늄 그리고 primary amines와 산소와 글루코즈도 탐지할 수 있다. 직접적으로 실시간동안 non-invasive한 툴로 사용된다
본 기술은 실시간 위치추적을 위한 영상추적 알고리즘 기술이다. 이 기술의 목적은 감시카메라로부터 감지되는 감시 대상물의 영상 자료를 이동동신 단말기등에 압축저장 시키거나, 감시영역을 추적을 위하여 카메라를 역시 이동통신단말기 등을 이용하여 원격 제어하는데 목적이 있다.본 기술은 우선 감시카메라가 움직이는 피사체를 발견했을 때 RS232 포트를 통해서 카메라를 제어하여 움직이는 피사체를 자동으로 추적하며 추적과 동시에 이미지 파일을 시스템에 압축 저장하고 등록된 무선전화로 문자 메세지 및 이미지 파일을 전송하는 것을 주 내용으로 한다.기술의 우위성으로 (1)움직임의 추적 기능(보통은 고정식이거나 일정각도를 회전하는 방식임) (2) 무선 LAN사용(핸드폰.PDA, PC인터넷으로 수신 또는 제어가능) (3) UPS 전원 사용(정전시에서 작동). 등이 있다. 이 기술은 사무실이나 장기간 감시가 필요한 일정구역을 무인으로 감시하는데 경보뿐만 아니라 영상자료가 요구되는곳에 응용될 수있다. 피사체를 감지 자동추적하여 문자메세지 또는 영상자료를 압축전송후 저장하는기능성이 있으며 원격으로 카메를 인위적으로 제어도 가능한 특징이 있다.
본기술은 재료시험기나 하중장치를 구성하는 기둥을 로드셀 감지부로 사용하여 내장형 로드셀을 구현함으로서 종래의 하중감지소자로 사용하는 별도의 로드셀 설치 공간이 불필요하여 콤팩트(compact)하고 정밀하게 시험기나 하중장치를 제작할수 있다. 내장형이므로 콤팩트하면서도 정확한 대용량 하중장치 제작이 가능하다. 기술의 장점→내장형 로드셀을 이용하므로 시험기나 하중장치를 compact하게 설계할 수 있으며 아울러 정밀도를 높일 수 있음.
본 고안은 냉온수기에 관한 것으로, 특히 물받이의 하부에 중량 센서를 설치하여 물받이에 특정 양의 잔수가 모이게 되면 이를 중량 센서가 감지하여 취출관에 설치된 밸브를 차단하도록 한 물받이의 만수 감지 센서가 설치된 냉온수기에 관한 것이다.종래의 냉온수기는 케이스의 상면에 생수통이 안착되는 물통받이가 설치되고, 케이스의 내부에는 냉수통과 온수통이 온수 연결관에 의해 연통 되어 상하로 구비되며, 상기 냉수통의 외주연부에는 증발기 파이프가 설치되는 한편 온수통의 하측에는 히터가 설치된다. 냉수통 및 온수통에서 각각 별도로 형성된 연결관은 케이스의 전면부에 노출되어 설치된 냉온수 취출구와 연결된 취출관과 연통 되고, 상기 냉수통과 온수통 및 연결관의 외주연에는 단열부재가 덮여 각각의 수온을 유지하도록 되어 있다. 이와 같이 구성된 냉 온수기는 상기 생수통을 냉온수기 케이스의 상면 물통받이에 생수통의 입구부가 하측으로 향하도록 안착시키면, 생수통의 생수가 아래 방향으로 흐르게 되고, 냉수통에는 생수가 직접 공급되며 온수통에는 온수연결관을 통해 생수가 공급된다. 일정량의 생수가 냉수통과 온수통으로 공급된 후에는 냉수통과 온수통에서 각 취출구를 통해 사용자가 원하는 물을 외부로 취출시킬 때마다 생수통에서 생수의 자중에 의해 냉수통과 온수통으로 일정한 수위를 유지하는 만큼의 생수가 항상 공급된다. 이때, 상기 냉수통으로 공급된 생수는 증발기 파이프에 의해 온도가 낮추어져 저온의 생수로 취출구를 통해사용자에게 공급되며, 온수통으로 공급된 생수는 히터에 의해 가열되고, 고온의 생수로 사용자에게 공급된다. 그리고, 소정의 목적으로 취출구를 개방하다가 또는 부주의로 인해 소량의 생수를 흘리게 되는 경우가 자주 일어나므로 취출구의 하단에 안착턱을 형성하고, 물받이를 얹혀 흘려진 물이 냉온수기 주위를 더럽히는 것을 방지하도록 한다.상기와 같은 구조에 의한 냉온수기의 전면 하부에 설치된 물받이에 소정량 차게 되면 사용자가 그 물받이 그릇을 강제 이격시켜 쏟은 다음 다시 물받이 안착턱에 얹혀 설치하는 것으로 이는 물받이 그릇을 번번이 착탈하여야 하는 불편함으로 인해 만수가 되었는데도 계속해서 사용하는 사용자 때문에 물이 넘쳐 바닥으로 흘러내리게 되므로 비위생적 이어서 보는 이로 하여금 불쾌함을 느끼게 하는 문제점이 있었다.본 고안은 종래와 같은 문제점을 해소하기 위하여 창안한 것으로, 물받이의 하단에 중량 감지 센서를 설치하고, 이 중량 감지 센서에 의해 냉온수를 차단하는 밸브를 구비하여 물받이에 잔수가 일정량이 되면 꼭 버려야만 물이 공급되도록 함으로써, 잔수가 넘쳐나지 않아 항상 위생적으로 사용할 수 있는 효과가 있다.물받이의 하단에 중량 감지 센서를 설치하여 냉온수기를 위생적으로 사용가능.
본 기술은 마이크로머시닝으로 제작된 열차단 구조(membrane)와 열전대(thermocouple)쌍을 이용하여 열에너지의 변화를 전압 변화로 감지할 수 있는 센서를 제작하는 기술이다. 마이크로머시닝으로 제작된 membrane을 열차단막으로 사용하기 때문에 복사를 통한 열손실을 제외한 대부분의 열에너지를 이용할 수 있어서 감응도(responsivity)가 매우 큰 우수한 센서를 만들 수 있고, IC 제작공정과 호환성이 있어 대량생산이 가능하며 가격이 저렴하다.→측정표준 및 계측기산업 교류 실효치 측정용 rms 컨버터, 전력 표준용 TVC 등→계측센서산업 유량센서, 적외선센서 등