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일반기술 물리학 > 열역학(C11)

표면 냉각 제어에 의한 유도가열 방법

본 발명은 유도가열 방법에 관한 것으로서, 특히 시편의 외부와 내부의 온도를 균일하게 또는 외부온도를 내부온도보다 더 낮게 가열할 수 있는 표면 냉각 제어에 의한 유도가열 방법에 관한 것이다. 통상적으로, 유도가열이란 고주파 전류가 흐르는 코일 속의 도전체가, 구체적으로는 알루미늄과 같은 경량 소재가 전자 유도 작용에 유기된 와전류(induced eddy current)에 의해 급속히 가열되는 현상을 말한다.본 발명은 유도가열 방법으로 시편을 가열할 때 전류를 코일을 통해 공급하면서 이와 동시에 외부에서, 구체적으로는 전술한 유도가열 코일의 상/하 또는 외주연 전체를 따라 공기를 강제적으로 공급 및 순환시키면서 시편의 내/외부를 균 일하게 또는 외부 온도를 내부 온도보다 더 낮게 가열하는 유도가열 방법을 제안한다.본 발명의 목적은 시편의 내/외부 온도차를 균일하게 유지시킬 수 있는 표면 냉각 제어에 의한 유도가열 방법을 제공함에 있다.본 발명의 유도가열 방법은 시편의 내/외부의 온도차 없이 균일하게 또는 외부 온도를 내부 온도보다 더 낮게 가열할 수 있으며, 이는 시편의 외부가 내부보다 먼저 녹아서 흘러내리는 것을 방지할 수 있고, 사용 기체로서 불활성 기체를 사용하면 상기의 효과와 동시에 시편 표면이 산화되는 것을 방지할 수 있는 상승된 효과가 있다.

보유기관
부산대학교
등록일
2006-05-10
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일반기술 물리학 > 기타 물리학

P형 전도성 산화막의 투명전극을 갖는 소자 및 그제조방법

본 발명은 오믹 전기 접촉을 하는 투명전극을 갖는 소자 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 질화물 반도체 발광소자는 기판, 버퍼층, n-GaN 접촉층, n-클래드층, 활성층, p-클래드층 및 p-GaN 접촉층으로 구성되며, n-GaN 접촉층의 상부에 오믹 접촉되는 n형 전극과, p-GaN 접촉층의 상부에 오믹 접촉되는 투명전극과, 투명전극의 상부에 오믹 접촉되는 Ti 층과 상기 Ti층의 상부에 증차된 본딩 패드를 구비한다. 투명전극은 (Sr,A)TiO3(A=La,Nb), (La,Sr)CoO3,(Sr,A)RuO3(A=Ca,Mg) 및 LaNiO3으로 구성된 퍼로프스카이트 물질의 그룹에서 선택된 전도성 산화막, 또는 RuO2, IrO2,Co3O4 및 Fe3O 4로 구성된 그룹에서 선택된 전도성 물질과 TiO2, ZrO2, Bi2O3, SnO2 및 Al2O 3로 구성된 그룹에서 선택된 안정화 물질의 복합재료인 것을 특징으로 한다. 이에 따라, p-GaN 접촉층과 오믹 접촉을 하며 인가된 전류가 전면으로 잘 퍼져(current spreading) 균일한 분포를 갖고 전기 전도도가 뛰어나 전력소모가 적고, 청색광과 자외선 영역에서 70%이상의 뛰어난 투과율을 갖는 명전극을 갖는 LED 및 디스플레이 소자를 얻을 수 있다.본 발명은 오믹 전기 접촉을 하는 투명전극을 갖는 소자 및 그 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 상하부층과 오믹전기접촉을 하고 빛에 대한 투과성이 높은 P형 전도성 산화물을 LED 및 디스플레이 소자의 투명전극으로 사용하는 기술에 관한 것으로 p-형 GaN와 오믹 접촉을 하며, 인가된 전류가 전면으로 잘 퍼져 (current spreading) 균일한 분포를 갖도록 하고 전기 전도도가 뛰어난 p-형 전극 물질을 갖는 LED 소자를 제공하기 위한 것이다.또한 본 발명의 다른 목적은 전기 전도도가 좋고 청색광과 자외선 영역에서 70% 이상의 뛰어난 투과율을 갖는 p-형 전극 물질로 구성된 LED 및 디스플레이 소자용 투명전극을 제공하기 위한 것이다.

보유기관
이화여자대학교
등록일
2006-05-18
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일반기술 물리학 > 기타 원자 / 분자 물리

위상지연값 자동 측정을 위한 시편-보상기 복합 회전형 분광타원해석기

본 발명은 광학적 비등방 물질에서의 위상지연값 측정장비에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 광학적인 단일 광축을 가진 비등방성 투명시편에 있어 투과시 입사한 빛의 편광방향에 따른 위상지연차를 측정할 수 있는 광측정 장치에 관한 것이다. 본 발명의 목적은 기존의 회전편광기형 또는 회전분석기형 타원해석기에다가 회전하는 보상기와 회전하는 시편장착대를 부착시켜 회전시키되, 그 회전비를 일정 비율로 동기화시킴으로 해서 시편의 위상지연 값과 광축방향을 캘리브레이션 과정없이 자동적으로 측정하고자 하는데 있다. 상기한 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 시편-보상기 복합회전형 타원해석기는 광원인 발광부와 고정된 편광기, 일정속도 또는 각도로 회전하는 보상기, 그리고 보상기와 다른 비율의 속도 또는 각도로 회전하는 시편장착대, 고정된 편광기, 분광기, 그리고 다중채널 검출기가 장착된 수광부로 구성이 된다.편광을 이용하여 투명 복굴절 시편의 위상지연값을 측정하는 장비의 새로운 구조 및 작동원리에 관한 것이다. 시편과 보상기를 특정 각속도비로 회전하도록 한 원리로써 시편이 지닌 위상지연값을 자동으로 측정해 내도록 하고 있다. 복잡한 광부품 제어용 콘트롤러가 없이 제작이 가능하고 또한 다중채널검출기를 도입함으로써 빠른 시간안에 넓은 파장영역의 값을 정확하게 측정해 내도록 하고 있다. 일반적으로 위상지연값을 측정하기 위해서는 해당 장비에 사용하는 광부품의 위치각을 찾아내어야 하는 선행측정과정이 필요한데, 이 과정은 측정 시간이 많이 걸리고, 각종 실험오차를 내포하는데 본 발명에서는 원리상 이 모든 단점을 배재하고 있다.

보유기관
한양대학교
등록일
2006-05-18
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일반기술 물리학 > 분광학(C13, C44)

광경로 보호형 진공자외선 분광타원해석기

본 발명은 광학 분석장비인 타원해석기(ellipsometer) 중 진공자외선(vacuum uv: VUV)영역에서 작동하는 진공 자외선 분광타원해석기(VUV spectroscopic ellipsometer)에 관한 것이다. 일반 분광타원해석기와는 달리 진공자외선 분광타원해석기에 있어서는 광원에서 나온 진공자외선이 공기 중의 산소에 의해 흡수되는 것과 공기중 불순물과 반응하여 그 부산물이 광학부품을 오염시키는 것이 큰 문제이다. 기존의 진공자외선 분광타원해석기에서는 이 문제를 해결하기 위하여 전체 광학시스템을 밀폐된 대형 구조물 속에 넣고, 그 속에 액체 질소로부터 기화시킨 고순도의 질소를 흘리는 방식을 취하고 있다. 이 방식의 문제점으로 장비의 대형화, 액체 질소 사용의 불편함, 과다한 운영 유지비용 등을 들 수 있다. 따라서, 본 발명의 목적은 기존 장비에서 파생되는 많은 문제점을 해결하고자 하는데 있다. 상기한 목적을 달성하기 위해 본 발명은 광원, 편광발생기, 시편장착대, 편광해석기, 분광기, 그리고 검출기로 구성이 된다. 본 발명에서는 공기에 노출되는 광경로와 광경로 상에 위치하는 광부품이 차지하는 최소한의 공간만을 챔버 속에 넣고 진공을 유지하거나, 기존 시스템에 비해 상대적으로 매우 적은 양의 질소를 흘림으로써, 기존 시스템에서 사용하는 대형 밀폐구조물과 그에 따른 액체 질소 기화시스템의 사용을 피하고자 한다. 이렇게 함으로써, 소형이면서도 운용이 매우 간편한 진공자외선 분광타원해석기를 실현시킬 수 있다.본 발명에 따른 광경로 보호형 진공자외선 타원해석기는 그 구조상 대부분의 광경로가 진공 또는 고순도 질소 충전상태를 항시 유지하게 되어 진공자외선과 공기와의 접촉을 차단하게 되므로 공기 중 산소에 의한 진공자외선의 흡수를 방지할 수 있다. 또한 광경로상에 놓인 최소한의 광부품만이 이 보호된 공간에 포함되고 또한 이 광부품의 재료로 기체방출(outgassing)이 적은 것을 사용함으로써 불순기체의 발생을 최소화하여 청정 상태를 유지할 수 있다. 단, 시편 교체를 위해 빈번히 대기에 노출시켜야 하는 공간은 시편 챔버로 구성하고, 소형 돌출관을 이용하여 진공 또는 고순도 질소로 보호된 깨끗한 광경로를 시편 표면근처까지 연장함으로써 본질적으로 공기와 접할 수 있는 광경로를 최소화시킬 수 있다. 이렇게 함으로써 실제적으로 진공자외선이 기체와 반응할 수 있는 공간이 최소화되고, 시편교환시 이 공간만 관리를 하면 된다.

보유기관
한양대학교
등록일
2006-05-18
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일반기술 물리학 > 기타 물리학

탄소나노튜브 정제방법 및 이를 이용한 탄소 나노튜브 제조방법

본 발명은 탄소나노튜브의 정제방법과 이를 이용한 제조방법에 관한 것으로서, 플라즈마 화학기상증착공정을 이용한 탄소나노튜브 제조방법에 있어서, 탄소나노튜브 성장을 위한 기판을 마련하는 단계와, 플라즈마 화학기상증착공정을 이용하여 상기 기판 상에 탄소나노튜브를 성장시키는 단계와, 불활성 가스의 플라즈마를 이용하여 상기 탄소나노튜브를 정제하는 단계를 포함하는 탄소나노튜브 제조방법을 제공한다. 본 발명에 따르면, 탄소나노튜브의 고유의 물성을 변형시키지 않고, 탄소나노튜브의 오염물질을 간단하면서도 효과적으로 신속하게 제거함으로써 탄소나노튜브의 특성을 향상시킬 수 있다. 나아가, 가스센서로의 활용성을 높힐 수 있다.본 발명에 따르면, 탄소나노튜브의 고유의 물성을 변형시키지 않고, 탄소나노튜브의 오염물질을 간단하며, 효과적이고 경제적으로 제거함으로써 탄소나노튜브의 특성을 향상시킬 수 있다. 따라서 본 발명을 통해 얻어진 탄소나노튜브는 차세대 디스플레이 소자인 전계방출소자(FED)에 적극적으로 활용될 수 있으며, 광원으로서 응용가치를 향상시킬 것으로 기대되며, 특히 가스센서로 사용되는 탄소나노튜브을 위한 재생방법으로서 적극적으로 응용될 수 있을 뿐만 아니라, 가스센서로의 활용성을 크게 향상시킬 수 있다.

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한양대학교
등록일
2006-05-18
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일반기술 물리학 > 레이저 광학(R12)

구리증기레이저의 퍼짐각 제어장치

본 발명은 레이저 출력빔의 퍼짐각을 제어하고 원거리강도분포를 개선하기 위한 구리증기레이저의 퍼짐각 제어장치에 관한 것으로, 반공초점 공진기 내에 선속분할기와 조리개를 구비시켜 조리개의 구경을 조절함으로서 레이저빔의 퍼짐각과 원거리출력밀도를 제어할 수 있다. 따라서, 본 발명에 의하면 구리증기레이저와 같은 펄스형 고출력레이저를 활용한 레이저가공 및 레이저 펌핑 등에 유효하게 활용할 수 있을 뿐만 아니라 보다 우수한 집속성을 갖는 발진장치를 제공할 수 있게된다.NE을 포함하는 레이저가스가 봉입되고 그 양단에 각각 제 1, 제 2윈도우가 설치된 방전관과, 상기 방전관 제 2미러의 후방에 설치되고 발진된 레이저빔을 평행빔으로 출사하기 위한 오목거울과, 상기 오목거울로부터 출사된 레이저빔을 분할하기 위한 선속분할기와, 상기 선속분할기를 통하여 분할된 레이저빔을 상기 오목거울측으로 피드백시키기 위한 평면거울과, 상기 평면거울을 통하여 피드백되는 레이저빔 퍼짐각을 제어할 수 있도록 상기 평면거울 전방에 마련된 조리개를 포함하는 것을 특징으로 하는 구리증기레이저의 퍼짐각제어장치.

보유기관
조선대학교
등록일
2006-05-24
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일반기술 물리학 > 레이저 광학(R12)

다이오드 레이저를 이용한 란타늄계열 및 악티늄계열의 동위원소 분리 장치

본 발명은 다이오드 레이저를 이용한 란타늄계열 및 악티늄계열의 동위원소 분리장치에 관한 것으로, 3대의 다이오드 레이저 장치를 이용하여 파종증폭된 레이저를 각각의 광섬유에 전달하여 광섬유 집합단을 구성하되, 상기 광섬유 집합단은 각각의 레이저가 공간적으로 겹친 다이오드 레이저광속으로 확대되어 원자 증기에 조사됨으로써 특정 동위원소가 여기 및 이온화되게 한 후, 이온화된 원자는 전자기장에 의해 추출판의 일측면으로만 모이도록 함으로써 순도가 향상된 특정 동위원소만을 분리할 수 있도록 한 동위원소 분리장치에 관한 것이다.본 발명은 전기에서 레이저로의 전환효율이 높은 다이오드 레이저를 사용하여 고효율의 광자를 발생시키도록 하되, 광섬유와 파종증폭 방법에 의해 출력된 레이저광속을 원자증기에 조사함으로 인해 순도가 향상된 동위원소를 보다 효율적으로 분리할 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.상기의 목적을 달성하기 위해서, 본 발명은 복수의 질량수를 가지는 동위원소 중 특정의 동위원소만을 분리하기 위한 동위원소 분리장치에 있어서, 상기 동위원소 분리장치는 상이한 파장을 갖는 3대의 다이오드 레이저 장치로부터 출력된 레이저가 전달되는 각각의 단일모드 광섬유, 상기 각각의 파장이 결합된 단일모드 광섬유가 다수개 배열된 광섬유 집합단, 상기 광섬유 집합단으로부터 출력되며 공간적으로 겹친 하나의 광속으로 확대되어 출력되는 각형의 레이저광속, 상기 레이저광속이 조사되는 고진공도의 진공용기, 상기 진공용기 속에 내장되며 전자빔의 용해로 가열에 의해 금속상태의 동위원소로부터 연속적으로 발생되는 원자증기, 용해로 상단에 비스듬히 설치되어 상기 레이저광속에 의해 이온화된 원자증기의 이온이 환형의 이온빔에 의해 원형궤적으로 이동된 후 부착되기 위한 추출판으로 구성하여서 됨을 특징으로 하는 다이오드 레이저를 이용한 란타늄계열 및 악티늄계열의 동위원소 분리장치를 제공하고자 하는 것이다.

보유기관
영남대학교
등록일
2006-05-24
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일반기술 물리학 > 기타 물리학

고지의 잉크 분리 장치

본 기술은 고지중의 인쇄잉크를 물리적인 방법으로 제거 시킬 수 있는 잉크 분리 장치에 관한 것이다. 특히 잉크제거공정중에 화학 약품을 전혀 사용하지 않아 2차공해가 유발되지 않고, 처리공정이 단순하여 경비가 절감되고 기존의 화학적 탈묵과정에서 발생되는 황변현상 및 해리 섬유질의 절단을 방지할 뿐만 아니라 화학적인 방법으로 처리 불가능한 컴퓨터용지나 FAX용지등의 잉크제거에도 효과가 있는 잉크 분리 장치에 관한 것이다.본 기술은 고지중의 인쇄잉크를 물리적인 방법으로 제거 시킬 수 있는 잉크 분리 장치에 관한것으로, 공해유발을 방지하고, 처리공정의 단순화로 경비절감의 효과가 있다. 10~20mesh의 스테인레스 스틸의 망에 배출을 설치한 망 디스크를 상. 하부에 설치하여 감속기 등을 이용하여 하부망 디스크를 80~150rpm으로 회전시켜 전단력과 마찰력을 이용하여 잉크를 물리적인 방법으로 제거함을 특징으로 하는 잉크분리장치에 관한 기술이다.

보유기관
호서대학교
등록일
2006-05-22
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일반기술 물리학 > 기타 광학

회절격자와 평행거울로 구성된 고효율 파장 선택 장치

본 기술은 회절격자와 거울을 사용하여 티타늄 사파이어 레이저를 위시한 파장을 변환시킬 수 있는 여러 가지 레이저의 파장을 변환시키는 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 평행하게 마주보는 회절격자와 거울의 쌍을 이용하여 일차 회절된 빛은 이득매질로 되돌려 증폭시킴으로써 파장을 용이하게 선택하고 0차 회절(반사)된 빛은 평행거울에 의하여 반사시킨 다음에 최종적으로 다른 거울을 이용하여 되반사시켜 원래의 방향으로 되돌림으로써 0차 회절에 의한 손실을 최소화하면서 에탈론 효과로 선폭을 더욱 축소시킬 수 있는 회절격자와 평행거울로 구성된 고효율 파장 선택 장치에 관한 것이다.기존의 방법들에서 회절격자에서 0차 반사되는 광은 손실로 버리거나 혹은 레이저 출력으로 이용하고 있다.이를 위하여 매우 강한 레이저를 좁은 면적에 접속하여야 하며, 이와 같은 경우 레이저 매질의 손상한계를 넘어서면, 표면에 물리적 손상이 발생하여 발진이 중단되는 문제점이 있다.그리고, 티타늄 사파이어 레이저의 경우 이러한 손실을 줄이기 위하여 회절격자 대신에 고체 에탈론을 사용하는 방법을 사용하거나 파종 증폭을 사용하고 있다. 이와 같은 방법들은 파장을 변환하기 위해서는 복잡한 장치를 사용하여야 하고, 회절격자를 사용하면 방법이 매우 넓은 파장 영역에 걸쳐 조절이 가능한 장점이 있는 데 비하여 매우 좁은 영역의 파장 변환만 가능한 문제점이 있다. 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로, 회절격자의 간편한 파장변환 성능과 에탈론의 우수한 효율을 일체화함으로써, 보다 넓은 영역에 걸쳐 간편하게 파장을 변환함과 동시에 고효율을 달성하는데 그 목적이 있다.상기의 목적을 달성하기 위하여 레이저 파장을 선택하는 회절격자와 평행하게 설치되어 0차 반사광을 다시 반사하는 거울, 그리고 반사된 광을 되돌리는 최종 거울이 설치되어 회절격자는 1차 회절광을 되돌림으로 인하여 넓은 영역에 걸쳐 파장을 변환시키는 기능을 수행하며, 0차 회절광을 평행 거울과 최종거울을 이용하여 반사시키면서 역방향에서의 일차회절 특성을 이용하여 에탈론에서와 같은 다중 반사가 발생하게 됨과 아울러 회절격자의 파장 선택성과 에탈론에서의 고효율 특성을 동시에 지니는 장치를 제공하고자 하는 것이다.본 기술은 회절격자의 간편한 파장변환 성능과 에탈론의 우수한 효율을 일체화함으로써, 보다 넓은 영역에 걸쳐 간편하게 파장을 변환함과 동시에 고효율을 달성하는데 그 목적이 있다.; 상기의 목적을 달성하기 위하여 레이저 파장을 선택하는 회절격자와 평행하게 설치되어 0차 반사광을 다시 반사하는 거울, 그리고 반사된 광을 되돌리는 최종 거울이 설치되어 회절격자는 1차 회절광을 되돌림으로 인하여 넓은 영역에 걸쳐 파장을 변환시키는 기능을 수행하며, 0차 회절광을 평행 거울과 최종 거울을 이용하여 반사시키면서 역방향에서의 일차회절 특성을 이용하여 에탈론에서와 같은 다중 반사가 발생하게 됨과 아울러 회절격자의 파장 선택성과 에탈론에서의 고효율 특성을 동시에 갖는 장치를 제공하여 넓은 파장 영역에 있어 파장변환이 가능한 회절격자의 특성과 좁은 선폭의 레이저를 고효율로 발진시키는 에탈론의 효과를 동시에 갖는 특징이 있다. 본 기술은 회절격자와 평행거울, 최종거울을 사용하여 티타늄 사파이어 등의 선폭이 넓은 레이저의 발진 선폭을 매우 축소시키는 장치에 의해 고효율로 레이저를 발생시킬 수 있도록 함으로써 넓은 파장 영역에 있어 파장변환이 가능한 회절격자의 특성과 좁은 선폭의 레이저를 고효율로 발진시키는 에탈론의 효과를 동시에 갖는 효과가 있다.

보유기관
영남대학교
등록일
2006-05-22
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일반기술 물리학 > 레이저 광학(R12)

공심형 광섬유 레이저

본 발명은 중심 부위가 비어 있는 공심형 광섬유를 이용하여 레이저를 발진시키는 장치에 관한 것으로, 공심 광섬유의 내벽에 두께가 얇은 이득 매질을 입히고 여기용 다이오드 레이저를 입사하여 이득 매질을 여기하고 공심을 비스듬히 전파하는 레이저가 내벽에서 반사할 때마다 이득이 증가하게 함으로써 대부분의 레이저 에너지를 공기중에 지나게 하여 고출력 레이저로 인한 광섬유의 손상을 줄이고, 비선형 효과로 인한 산란을 감소하게 하여 고효율 고출력 단파장 펄스 레이저의 구현이 가능하게 하는데 그 목적이 있으며, 상기의 목적을 달성하기 위하여 공심광섬유 안벽에 Nb 혹은 Yb 원소를 첨가한 실리카 용액을 바른 다음에 기체를 흘려서 말리는 수단과, 실리콘 튜브의 내벽에 화학증기증착법을 이용하여 Nb 혹은 Yb 등의 원소가 함유된 증기가 증착되게 한 다음 통상의 광섬유를 생산하는 방법으로 열을 가하여 길게 늘려 당김으로써 가늘고 긴 광섬유는 형성되면서 고출력 펄스 레이저에 의한 코어의 손상, 산란 등이 사라져 기존의 광섬유 레이저가 가진 단점을 해소할 수 있는 특징이 있다.본 발명은 공심 광섬유의 내벽에 두께가 얇은 이득 매질을 입히고 여기용 다이오드 레이저를 입사하여 이득 매질을 여기하고 공심을 비스듬히 전파하는 레이저가 내벽에서 반사할 때마다 이득이 증가하게 함으로써 대부분의 레이저 에너지를 공기중에 지나게 하여 고출력 레이저로 인한 광섬유의 손상을 줄이고, 비선형 효과로 인한 산란을 감소하게 하여 고효율 고출력 단파장 펄스 레이저의 구현이 가능하게 하는데 그 목적이 있다.상기의 목적을 달성하기 위하여 공심 광섬유의 안벽에 Nd 혹은 Yb 원소를 첨가한 실리카 용액을 바른 다음에 기체를 흘려서 말리는 수단과, 실리콘 튜브의 내벽에 화학증기증착법(MOCVD)을 이용하여 Nd 혹은 Yb 등의 원소가 함유된 증기가 증착되게 한 다음에 통상의 광섬유를 생산하는 방법으로 열을 가하여 길게 늘려 당김으로써 가늘고 긴 광섬유를 만드는 수단을 제공하고자 하는 것이다.본 발명은 얇은 이득 매질이 내벽에 입혀지고 속이 빈 광섬유에 레이저가 전반사를 통하여 진행하면서 이득매질에서 증폭을 거듭하여 출력이 증가되므로, 레이저의 대부분은 공기를 지나게 되어 진행할 때 발생하는 비선형 효과가 사라지고, 고출력 펄스 레이저에 의한 코어의 손상, 산란 등이 사라져 기존의 광섬유 레이저가 가진 단점이 해소된다.따라서, 강한 레이저에 의한 매질의 손상이 작아 펄스 레이저의 구현이 가능하게 되고 제 2고조파 변환, 제 3고조파 변환을 공진기 내부에서 실시하여도 산란이 적어서 고효율을 달성하게 되는 효과가 있다.

보유기관
영남대학교
등록일
2006-05-18
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일반기술 물리학 > 기타 물리학

3차원 진동시험기의 동시 3축 구동방법

본 발명은 기계부품의 성능 및 내구성 시험을 위한 3차원 진동시험기의 동시 3축 구동이 가능하도록 하는 3차원 진동시험기의 동시 3축 구동 방법에 관한 것이다.본 발명의 동시 3축 구동방법은 축구동 장비로 구동신호 및 제어신호를 출력하기 위한 출력보드를 초기화함과 아울러 축구동 후 측정된 정보를 입력하기 위한 입력보드를 초기화하는 단계와, 축구동 장비로 출력할 구동신호의 주파수 및 구동력을 초기화하는 단계와, 채널별 구동신호와 유압공급기 서보모터의 구동신호를 출력하는 단계와, 축구동 장비를 제어하는 단계와, 3축 구동부 각각에서 액츄에이터의 로드량을 감지하는 로드셀과 액츄에이터의 변위량을 감지하는 선형변위변환기를 조정하는 단계와, 3축 구동시험 후 로드셀과 선형변위변기로부터 감지된 액츄에이터의 로드량과 변위량을 입력하여 데이터베이스 형태로 저장하는 단계와, 입력된 로드량과 변위량을 분석하여 피실험기의 내구성 및 피로한도를 측정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.본 발명에 의하면, 횡방향, 종방향, 축방향 액츄에이터를 동시에 구동하여 복합적인 조건에서 피실험기의 내구성 시험 및 측정이 가능함으로써 초정밀 액츄에이터 및 액티브 서스펜션의 설계 및 제작을 용이하게 하는 효과가 있다.3차원 진동시험장치의 동시 3축 구동방법에 있어서, 축구동 장비로 구동신호 및 제어신호를 출력하기 위한 출력보드를 초기화함과 아울러 축구동 후 측정된 정보를 입력하기 위한 입력보드를 초기화하는 단계와, 상기 축구동 장비로 출력할 구동신호의 주파수 및 구동력을 초기화하는 단계와, 채널별 구동신호와 유압공급기 서보모터의 구동신호를 출력하는 단계와, 상기 축구동 장비를 제어하는 단계와, 3축 구동부 각각에서 액츄에이터의 로드량을 감지하는 로드셀과 액츄에이터의 변위량을 감지하는 선형변위변환기를 조정하는 단계와, 3축 구동시험 후 상기 로드셀과 선현변위변기로부터 감지된 상기 액츄에이터의 로드량과 변위량을 입력하여 데이터베이스 형태로 저장하는 단계와, 상기 단계에서 입력된 로드량과 변위량을 분석하여 피실험기의 내구성 및 피로한도를 측정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 3차원 진동시험장치의 동시 3축 구동방법.

보유기관
조선대학교
등록일
2006-05-24
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일반기술 물리학 > 기타 물리학

단일 모드 수직 공진 표면방출 레이저

본 발명의 경우에는 횡 방향으로 선택적인 광 흡수층과 이온 주입층의 동시적 사용과 그 상대적 크기 차이에 의해 수직 공진 표면 방출 레이저의 단일 모드 특성을 향상하였다. 광흡수층이 모드 가장처리에 있는 빛을 흡수함으로써 고차 횡모드의 광 손실을 증가시키고, 고차 횡모드의 레이저 발진을 막는다. 특히 광 흡수층은 가운데가 패터닝 및 에칭 공정에 의하여 제거되었기 때문에 기본 모드에는 작은 광 손실을 고차 모드에는 더 큰 광손실을 일으킨다. 광흡수층의 직경이 이온 주입층 직경에 비해 약간 작을 때 기본ㅁ 모드가 휠씬 넓은 범위에서 단일 모드로 동작하는 특징을 가지고 있다.넓은 동작 전류 영역에서 단일 모드 출력이 유지되도록 하는 효과를 제공한다. 또한 본 발명은 이을 위해서 전류 감금 구조로서 이온주입층을 형성하고 이를 광 흡수층과 동시에 사용하도록 하고, 광흡수층의 직경이 이온주입층의 직경에 비해 작도록 형성하여 고차 횡모드의 레이저 발진을 방지하여 단일모드로서의 사용이 가능하도록 하는 효과를 제공한다. 또한 본 발명은 종래에 비해 보다 단순한 구조의 표면발광 레이저를 제공하여 보다 넓은 동작 전류 영역에서 단일 도므 출력이 유지되도록 하는 효과를 제공한다.

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경북대학교
등록일
2006-05-22
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단일 폴리 이이피롬 및 그 제조 방법

* 구성 및 원리 본 기술은 이이피롬(EEPROM)에 관한 것으로, 보다 상세하게는 엠아이엠(MIM) 캐패시터 형태의 컨트롤 게이트가 플로팅 게이트 영역 상부에 적층되거나 플로팅 게이트에 수평하게 형성되는 단일 폴리 이이피롬(EEPROM) 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 본 기술의 구성은 다음과 같다. 모스 트랜지스터 형태의 플로팅 게이트와, 이 플로팅 게이트에 캐패시터 커플링에 의해 고전압을 인가하는 컨트롤 게이트가 설치되는 단일 폴리 이이피롬을 제조할 때에, 컨트롤 게이트를 플로팅 게이트가 형성된 영역의 상부에 적층형으로 형성하되 컨트롤 게이트는 엠아이엠 캐패시터 형태로 형성한다. * 기술개발 배경 컨트롤 게이트가 반도체 기판 상에 구현될 때 반도체 기판과 컨트롤 게이트와 기판 사이의 접합에서 역방향 누설 전류가 발생하게 되고, 그로 인해 컨트롤 게이트의 전압 차징 효율이 저하되어, 결국 차징 타임 증가로 인한 프로그램 및 읽기 동작 시간이 지연되는 단점이 있었다. 뿐만 아니라, 컨트롤 게이트가 반도체 기판 상에 구현되므로 기판을 통해 주변의 로직 소자 또는 CMOS 소자들에 의해 기인한 외부 노이즈에 영향을 받아 소자가 오작동 하거나 소자의 신뢰성이 저하되는 문제점도 있었다.본 기술은 이러한 문제점을 해결하기 위하여 개발되었다.* 적용제품 및 관련시장 본 기술의 단일 폴리 이이피롬은 비휘발성 메모리 소자로, 컴퓨터에 내장되거나 각종 휴대용 전자기기, MP3, PDA 등에 적용되어 있으며 향후 그 적용범위는 증가될 것으로 예상된다. * 특징 및 장점 본 기술은 다음과 같은 특징 및 장점이 있다. 첫째, 단일 폴리 이이피롬(EEPROM)의 플로팅 게이트는 MOSFET으로 구성하고 MOSFET의 상부에 MIM 캐패시터 형태로 컨트롤 게이트를 적층함으로써 셀 면적을 감소시킬 수 있으므로 집적도를 향상시킬 수 있다. 둘째, 반도체 기판에 직접 캐패시터를 형성하지 않음에 따라 주변 소자들에 의해 기인한 외부 노이즈에 의한 간섭을 방지하여 소자의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 이점이 있다. 셋째, 컨트롤 게이트를 플로팅 게이트 상부 또는 반도체 기판에 MIM 캐패시터 형태로 형성함에 따라 기판과 컨트롤 게이트 사이의 자체 캐패시턴스 및 저항 성분이 종래의 기술에 비해 현격히 감소함에 따라 프로그램 및 읽기 동작 속도를 개선할 수 있다. 넷째, 컨트롤 게이트 하부 기판에 깊은 접합을 형성하지 않아 기판으로의 전류 패스 현상이 발생하지 않음에 따라 소거 동작시에 컨트롤 게이트에 음(-) 전압(negative voltage)을 인가할수 있으므로, NOR 어레이 구성을 함에 있어서 과-소거 된 셀의 복구 및 테스트가 용이한 이점이 있다

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충북대학교
등록일
2006-05-22
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고주파 반도체 수동 소자 및 그 제조 방법

* 구성 및 원리 본 기술은 고주파 반도체 수동 소자 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 특히 인덕터 사이의 커플링 증가 및 Q값 저하를 방지하여 소자의 특성을 향상시킬 수 있는 고주파 반도체 소자 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 본 기술은 다음과 같은 구성으로 이루어진다. 고주파 반도체 수동 소자는, 소정의 하부 구조를 갖는 반도체 기판에 형성된 제 1 절연막이 설치되고, 제 1 절연막 상에 형성된 그라운드 패턴과, 그라운드 패턴이 형성된 제 1 절연막을 매립하는 제 2 절연막이 설치되고, 제 2 절연막을 관통하여 그라운드 패턴의 일측에 연결되는 다수의 비아와, 제 2 절연막 상에 형성되며 그 일측이 비아에 각각 연결되는 다수의 인덕터용 금속 배선이 설치되고, 금속 배선들 사이를 수평으로 가로지르도록 형성되며 양측 단부가 그라운드 패드에 연결되는 그라운드 쉴드 및 각각의 인덕터용 금속 배선의 일측에 연결되도록 제 2 절연막 상에 형성되는 신호 라인이 설치되어 구성된다. * 기술개발 배경 종래에는 인덕터의 하부에 방사형의 폴리실리콘 패턴을 형성하고, 이 폴리실리콘 패턴에 그라운드 패턴을 연결함으로써 실리콘 기판으로 향하는 맥놀이 전류 성분에 기인한 저항 성분 증가를 방지함으로써 Q값 저하를 방지하고자 한다. 그런데, 이와 같이 패턴 그라운드 쉴드 방식을 적용하는 경우에는 인덕터의 Q값 특성에는 영향을 미쳤으나, 인접하는 인덕터 사이의 기판을 통해 H-Field가 반대편으로 넘어가는 문제점은 여전히 존재하였다. 이는, 결국 인접하는 인덕터 사이의 커플링을 증가시켜 공진 주파수를 저하시키면서 주파수 사용 범위를 감소시키는 문제점을 유발하게 되었다. 본 기술은 이 문제를 해결하고자 개발되었다.* 적용제품 및 관련시장 본 기술의 고주파 반도체 수동 소자는 와이어리스 송수신 장치나 휴대정보 단말기 등에 가장 많이 적용될 것이며, 무선 네트워크나 무선 인터넷 분야에 적용될 것으로 예상된다. 이 무선 통신 시장은 점차 그 규모가 커지고 있어 시장성 또한 유망하다고 판단된다. * 특징 및 장점 본 기술은 다음과 같은 특징 및 장점이 있다. 첫째, 그라운드 쉴드를 통해 인덕터 사이를 격리시킴에 따라 전자기장(Electromagnetic) 커플링을 최소화할 수 있다. 둘째, 커플링 증가에 따라 공진 주파수를 저하시키면서 사용 범위를 감소시키던 문제점을 해소할 수 있다. 셋째, 인접하는 인덕터 사이에 그라운드 쉴드를 형성하여 서로 격리시킴에 따라 기존의 방식과 비교하여 각 인덕터간의 간격이 좁더라도 인덕터 간의 신호 커플링이 감소시킬 수 있다. 넷째, Q 값 감소를 방지함으로써 소자의 특성을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.

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충북대학교
등록일
2006-05-24
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고주파 집적 회로 장치 및 그 제조 방법

* 구성 및 원리 본 기술은 신호 라인간 커플링 노이즈 및 신호누설 현상을 감소시켜 소자의 신뢰성을 향상시킬 수 있도록 하는 고주파 집적 회로 장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 본 기술의 구성은 다음과 같다. 내부회로에 그라운드 전압을 공급하도록 실리콘 기판 상에 형성되는 다수의 그라운드 패드가 설치되고, 그라운드 패드에 연결되는 다수의 그라운드 라인이 설치되고, 내부 회로에 입력 신호를 공급하도록 실리콘 기판 상에 형성되는 다수의 신호 패드가 설치되고, 신호 패드와 내부회로 사이에 연결된 다수의 신호 라인 및 신호 라인간의 커플링을 방지하기 위하여 각각의 신호 라인 주위를 쉴딩하며 그라운드 패드에 접속되는 가이드 라인이 설치되어 구성된다. * 기술개발 배경 종래의 고주파 집적 회로 장치를 집적하는 경우에는 소자 전체의 밀도를 균일하여 식각 공정이 패터닝 정밀도를 향상시키고 임플란트 공정시 임플란트가 균일하게 주입되도록 하기 위하여 필수적으로 더미 패턴(Dummy Pattern)을 오토 제너레이션(Auto Generation)하여 삽입하였는데, 이러한 더미 패턴에 의해 이웃하는 금속 배선 사이에서 발생하는 커플링 노이즈 성분 및 신호누설이 더욱 증가하게 되는 문제점이 있었다. 본 기술은 이러한 문제점을 해결하기 위하여 개발되었다.* 적용제품 및 관련시장 본 기술의 고주파 집적회로 장치는 와이어리스 송수신 장치나 휴대정보 단말기 등에 가장 많이 적용될 것이며, 무선 네트워크나 무선 인터넷 분야에 적용될 것으로 예상된다. 이 무선 통신 시장은 점차 그 규모가 커지고 있어 시장성 또한 유망하다고 판단된다. * 특징 및 장점 본 기술은 다음과 같은 특징 및 장점이 있다. 첫째, 신호 라인의 주위에서 신호 라인을 감싸며 그라운드에 연결되는 가이드 라인을 배치하여, 신호 라인과 절연막 사이의 기생 캐패시턴스 증가에 따른 신호 라인간 커플링 노이즈를 감소시킴으로써, 신호지연(RC-delay)이나 서로 인접하는 금속 배선간 신호간섭(Crosstalk) 및 신호누설(Leakage) 를 방지하여 소자의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 이점이 있다. 둘째, 고주파 집적 회로의 오토 제너레이션(Auto Generation)시에 더미 패턴을 삽입하지 않고, 신호 라인 즉, 금속 배선 주변에 가이드 라인을 배치하여 금속 배선과 주변 영역과의 밀도 차를 방지하여 패터닝 정밀도 및 임플란트 균일화를 이룰 수 있는 이점이 있다.

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충북대학교
등록일
2006-05-22
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전압 제어 발진기

* 구성 및 원리 본 기술은 차동 VCO 코어에서 출력되는 발진 주파수를 기준 발진 주파수보다 높거나 낮게 조절할 수 있도록 하는 전압 제어 발진기에 관한 것이다. 본 기술은 다음과 같은 구성으로 이루어진다. 튜닝 전압에 의해 공진되는 공진 소자들과 차동 증폭 소자를 포함하고 동작 전압에 따라 공진된 발진 주파수를 출력하는 VCO 코어를 포함하는 전압 제어 발진기에 있어서, 차동 VCO 코어 양측에서 상호 180˚ 위상차를 갖는 제 1 노드 또는 제 2 노드에 각각 정귀환 증폭 신호 또는 부귀환 증폭 신호를 선택적으로 스위칭하도록 구성되는 적어도 하나 이상의 귀환 제어 회로가 설치된 구성으로 이루어진다. 본 기술의 목적은 차동 증폭기로 구성되는 전압 제어 발진기에 부귀환 증폭 신호와 정귀환 증폭 신호를 선택적으로 인가할 수 있는 귀환 제어 회로를 구성하여, 전압 제어 발진기에서 출력되는 발진 주파수를 기준 주파수보다 낮추거나 높일 수 있도록 함으로써, 전압 제어 발진기의 주파수 튜닝 범위를 증가시킬 수 있도록 하는 것이다. * 기술개발 배경 종래의 전압 제어 발진기에서는 가변 캐패시터(Cv1, Cv2)만을 가지고 주파수를 제어하는데, 원하는 주파수를 얻기 위해서 캐패시터를 무한정 연결할 수 없으므로, 통상적으로 가변 캐패시터(Cv1, Cv2)를 이용한 주파수 튜닝 방식에서는 5% 정도의 튜닝 범위를 갖는다. 이에 따라, 주파수 튜닝 범위를 증가시키기 위해서는 인덕터나 캐패시터를 증가시키는 방식을 이용해야 하므로, 칩 내에서 인덕터나 캐패시터가 차지하는 면적이 증가하여 소형화나 경량화에 적합하지 못한 단점이 있었다. 본 기술은 이러한 문제점을 해결하고자 개발되었다.* 적용제품 및 관련시장 본 기술의 전압 제어 발진기는 GSM, GPRS, CDMA, WLAN, Wibro, WCDMA, GPS 등과 같은 다양한 무선 통신기기에 적용될 것이다. 무선 통신 기기의 시장은 그 시장규모 및 발전가능성이 증대되고 있어 시장성 또한 유망하다고 할 수 있다. * 특징 및 장점 본 기술은 다음과 같은 특징 및 장점이 있다. 첫째, 차동 증폭기로 구성되는 차동 VCO 코어의 양쪽 노드에 -A 이득을 갖는 귀환 제어 회로를 연결하여 각 노드에 부귀환 증폭 신호와 정귀환 증폭 신호를 선택적으로 스위칭하여, 전압 제어 발진기에서 출력되는 발진 주파수를 기준 주파수보다 낮추거나 높일 수 있도록 함으로써, 전압 제어 발진기의 주파수 튜닝 범위를 증가시킬 수 있는 효과가 있다. 둘째, 차동 VCO 코어의 양쪽 노드에 -A 이득을 갖는 귀환 제어 회로의 출력단 각각을 입력단이 연결된 노드의 반대편 노드에 연결하여, 각 노드를 정귀환 증폭 신호로 제어할 수 있도록 함으로써 전압 제어 발진기에서 출력되는 발진 주파수를 기준 주파수보다 높일 수 있게 됨에 따라, 종래의 인덕터나 캐패시터를 이용하는 경우 주파수를 낮추기만 하고 높일 수 없던 단점을 해소할 수 있는 이점이 있다.

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충북대학교
등록일
2006-05-22
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복조기의 동기 성능을 향상시킨 M 진 상태천이 주파수 쉬프트 키잉 변조방법 및 그를 채용한 주파수 쉬프트 키잉 변복조 시스템

* 구성 및 원리 본 기술은 디지털 통신에 사용되는 변조방식에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 주파수 쉬프트 키잉 변조방식 및 그를 채용한 주파수 쉬프트 키잉 변복조 시스템에 관한 것이다 본 시스템의 구성은 다음과 같다. 디지털 통신 시 전송되는 심벌에 따라 상기 심벌에 해당하는 주파수로 천이하여 변조하는 M 진 주파수 쉬프트 키잉 변조방법으로서, (M + N) 개의 주파수를 사용하고(N 은 1 이상의 정수), 이전의 주파수와 현재 전송되는 심벌에 기초하여 천이 변조되는 주파수가 결정되며, 전송되는 매 심벌 마다 항상 다른 주파수로 천이 변조되는 M 진 상태천이 주파수 쉬프트 키잉 변조방법 및 이 변조방법을 적용한다. * 기술개발 배경 종래의 이진 주파수 쉬프트 키잉 변조방식에서는, 동일 심벌이 연속되어 나오는 경우, 심벌 타이밍 정보를 획득하는데 문제가 발생하게 된다. 이와 같은 문제점을 해결하기 위해서, 종래의 주파수 쉬프트 키잉 변조방식에서는 데이터 전송 프레임 전에 심벌 타이밍 획득을 위한 프리앰블 프레임을 삽입하였다. 그러나, 종래의 프리앰블 프레임 삽입을 통한 심벌 타이밍 획득 방법에는 문제가 있다.즉, 프리앰블 프레임을 삽입한다 할지라도, 데이터 프레임에서는 심벌 타이밍을 지속적으로 획득하지 못하게 된다. 이러한 문제점으로 인해, 데이터 통신 시 전송되는 데이터 프레임의 크기에 제한을 받게 되며, 또한 데이터의 수신 에러율을 증가시키는 요인이 된다. 본 기술은 이러한 문제점을 해결하기 위하여 개발되었다.* 적용제품 및 관련시장 본 기술의 복조기의 동기 성능을 향상시킨 M 진 상태천이 주파수 쉬프트 키잉 변조방법 및 그를 채용한 주파수 쉬프트 키잉 변복조 시스템은 무선 통신 분야, 특히 디지털 통신 분야에 적용될 것이며, 그 시장성 또한 매우 유망하다고 예상된다. * 특징 및 장점 본 기술은 다음과 같은 특징 및 장점이 있다. 첫째, 본 기술의 M 진 상태천이 주파수 쉬프트 키잉 변조방식은, 디지털 통신 시 동일한 심벌이 연속해서 전송될 경우에도 항상 다른 주파수로 천이되어 변조되도록 함으로써, 복조기 동기부에서의 동기 획득 성능을 크게 향상시킬 수 있다. 둘째, 본 기술의 M 진 상태천이 주파수 쉬프트 키잉 변조방식은, 복조기 동기부에서의 동기 획득 성능을 획기적으로 향상시켜 간단한 변복조 구조 및 프레임 구조를 갖는 매우 효율적인 주파수 쉬프트 키잉 변복조시스템의 사용이 가능하게 할 수 있다.

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충북대학교
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2006-05-22
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수정 적분구

본 발명은 적분구에 관한 것으로, 보다 상세하게는 선형의 입사 광원이 적분구에 입사되어 선형의 출력광원이 적분구로부터 출력되도록 하는 수정 적분구에 관한 것이다.본 발명에 따른 수정 적분구는, 좌반구와 우반구와 이들을 연결하는 원통체로 이루어진 몸체부와, 상기 원통체의 일측에 형성된 광원입사부와 상기 광원입사부에 대응되는 반대편에 형성된 광원출력부와, 상기 원통체의 상기 광원 입사부와 상기 광원 출력부 사이에 형성되어 산란된 광원이 확산되어 출력되는 확산광원출력부로 구성됨을 특징으로 한다.이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 수정 적분구는 빛의 산란에 의한 제품의 결함을 검출하기 위한 것으로서 선형의 입사 광원으로 인한 검출물의 결함을 검출함으로서 검출하는 작업 시간을 절약할 수 있어 작업의 효율성을 증대할 수 있다.본 발명은 첨부된 도면을 참조하여 바람직한 실시예를 중심으로 기술되었지만 당업자라면 이러한 기재로부터 본 발명의 범주를 벗어남이 없이 많은 다양한 자명한 변형이 가능하다는 것은 명백하다. 따라서 본 발명의 범주는 이러한 많은 변형의 예들을 포함하도록 기술된 청구범위에 의해서 해석되어져야 한다.

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충북대학교
등록일
2006-05-22
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객체의 대칭성과 거리 벡터를 사용한 그림자 제거방법

본 발명은 실시간 동영상에서 추출된 객체에서 그림자 영역을 제거하여 정확한 객체 추적이 가능하게 하는 그림자 제거 방법에 관한 것이다. 본 발명은 객체가 가지는 대칭성을 사용하여 그림자 후보 영역을 추출한 후, 객체의 중심축으로부터의 거리에 비례한 가중치를 사용하여, 추출한 객체에 대해 그림자 제거를 수행함으로써, 정확한 객체 추적이 가능한 그림자 제거 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 이를 통해, 객체 내의 그림자를 제거함으로써, 올바른 특징 벡터를 추출할 수 있고, 정확한 객체 추적이 가능하다. 본 발명은 객체가 가지는 대칭성을 사용하여 그림자 후보 영역을 추출한 후, 객체의 중심축으로부터의 거리에 비례한 가중치를 사용하여, 추출한 객체에 대해 그림자 제거를 수행한다. 이를 통해, 객체 내의 그림자를 제거함으로써, 올바른 특징 벡터를 추출할 수 있고, 정확한 객체 추적이 가능하다. 객체가 가지는 물리적인 특성을 사용함으로 입력 영상이 가지는 색상에 영향을 받아 그림자가 아닌 객체영역까지도 잘못 제거되는 문제점을 해결하고, 정확한 객체를 추출하여, 감시 시스템 내에서 보다 정확한 객체 추적을 할 수 있다.

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경북대학교
등록일
2006-05-22
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박막 필름 결함검출장치

* 구성 및 원리 본 기술은 박막 필름 결함 검출 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 선형 입사 적외선이 박막을 통과하여 입사될 때 박막의 결함 부위에서 적외선 산란이 일어남을 이용한 필름 결함 검출 장치에 관한 것이다. 본 기술의 구성은 다음과 같다. 받침대에 지지되며 좌,우 상면 양측에 이송가이드가 설치된 베이스판과 상면에 검사용 박막이 얹혀지며 베이스판의 이송가이드와 결합되는 이송지그가 좌,우 측면에 설치된 이송대가 설치되고, 이송대를 이송하기 위한 이송수단과 베이스판 하면에 설치되어 적외선을 방출하는 레이저 라인빔과 상기 레이저 라인빔에서 방출된 산란된 적외선을 검출하기 위한 일정 간극을 유지한 한 쌍의 적외선 센서모듈이 설치되고, 적외선 센서모듈이 얹혀지며 상기 베이스판에 고정설치되는 지지대와 상기 적외선 센서모듈에서 검출된 적외선을 비교 분석하여 결함여부를 판정하고 결과를 알려주는 모니터링부가 설치되어 구성된다. * 기술개발 배경 박막트랜지스터 액정표시장치는 당초 노트북용으로 개발되어 지금은 개인용 컴퓨터 모니터와 텔레비전, 소형 통신기기에도 이용되어 폭발적인 수요를 보이고 있다.이러한 박막트랜지스터 액정표시장치의 기술 요소는 컬러필터, 액정, 필름 등의 기초소재와 편광필름, 백라이트유닛, 기판 유리 등의 주요 부품과 각종 검사 장비 등이 있으며, 이중에서 편광필름은 액정셀의 양면에 부착하여 백라이트에서 나오는 빛의 투과를 조절하는 기능을 하는 것으로 필수 부품 중의 하나로서, 편광발생 방법에 따라 여러 가지가 있으나 시판되고 있는 것은 롤에 필름형태로 감겨진 각 재료를 접착시키는 제조방법으로 생성된다. 전수 검사는 숙련된 작업자에 의한 육안검사로 대부분 이루어지고 있어 인력과 검사 시간이 많이 소요되는 문제점을 가지고 있다. 또한, 작업자의 주관적인 판단에 따라 결함 유무를 판단함으로써 작업자에 많이 의존하게 되어 검사의 신뢰성을 저하 시키는 문제점을 가지고 있다* 적용제품 및 관련시장 본 기술의 박막 필름 결함검출장치는 박막트랜지스터 액정표시장치에 적용될 것이다. 박막트랜지스터 액정표시장치는 당초 노트북용으로 개발되어 지금은 개인용 컴퓨터 모니터와 텔레비전, 소형 통신기기에도 이용되어 폭발적인 수요를 보이고 있다. 현재 이 박막트랜지스터 액정표시장치의 시장은 모니터 및 텔레비젼을 중심으로 급속히 시장이 커지고 있으며, 본 기술은 이러한 시장에서 매우 유용한 기술로 평가된다. * 특징 및 장점 본 기술은 다음과 같은 특징 및 장점이 있다. 레이져 라인빔의 결함 부위에서의 산란 특성을 이용하여 박막의 결함을 자동으로 검출함으로서 검출하는 작업 시간을 절약할 수 있어 작업의 효율성을 증대할 수 있다.또한, 객관적인 비교 자료에 의해서 결함 유무를 판정함으로써 검사에 대한 신뢰성을 향상시킬 수 있다.

보유기관
충북대학교
등록일
2006-05-24
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