릴상태의 전자부품 자동공급장치
본 고안은 릴상태의 테이프에 등간격으로 포장된 칩형의 전자부품을 이송하면서 필름형의 커버테이프를 벗겨서 송급하는 릴상태의 전자부품 자동공급 장치에관한 것이다.본 고안은 대형칩의 공급도 원할히 할 수있으면서도, 특히 이송피치의 조절이 용이하고 부품공급장치를 기계본체에서 착탈장착이 용이하도록 구성하였다.
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- 대우종합기계
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- 2000-11-22
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음성통화중 펜으로 쓴 메세지의 송수신이 가능하고 기존의 유선 전화기 기능을 포함하는 차세대 종합 정보 통신 기기1. 유선전화기, Fax/Modem Machine, 컴퓨터를 대체하는 정보통신기기2. 일반 Fax Machine으로 받은 Message Data를 필요시 즉시 교정하여 송신함.3. 정보관리 프로그램 제공과 집적된 최소의 명령으로 통신4. Message Answering 및 공증망을 통한 Data Service 송수신
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- 전자부품연구원
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- 2000-11-22
이광편광법을 이용한 분무측정기술
액적으로 이루어진 분무의 특성 중 평균면적 크기 및 SMD의 값과 분포 그리고 분무의 농도를 측정하는 기술로 이론적으로 알려진 입자의 편광특성을 이용한 것이며, 두개의 서로 다른 파장의 광을 사용하고 평균하는 방법으로 입자의 크기를 측정동일한 시간에 전체 분무 특성을 측정 및 해석 가능. 짧은 시간안에 전체 분무 특성을 측정할 수 있음. 고온, 고압의 분무 조건에서 분무의 특성 파악 가능.
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- 한국항공우주연구원
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- 2000-11-22
전류응답방식에 의한 정밀 전력 제어 기술
위성체의 궤도열환경시험에서 위성체가 받는 우주열환경을 히터로 정밀 모사하는 기술전력 및 온도를 전류응답에 의해 Feedback 제어
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- 한국항공우주연구원
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- 2000-11-22
소형각속도센서(RATE GYRO)의 개발
GYRO는 가속도센서와 함께 공간상에서의 절대 및 상대 좌표를 감지하는 Motion Sensor로서 선박, 항공기, 우주선, 미사일 등에 사용되는 관성항법장치(INS)의 핵심요소이며, 미국 등 기술보유국에서 기술공개를 극력회피하는 대표적인 제품이다. 그러나 80년대 중반이후 진동형 GYRO가 제품화되면서 극한적인 정밀도가 요구되지 않는 가전 및 자동차등 민수제품에의 응용이 활발히 진행되고 있다. 그 대표적인 예로서 Camcorder에 적용된 손 떨림 감지용 Rate Gyro, 자동차의 자세제어장치 등에 이용되는 Yaw Rate Gyro 등이 있다. 그러나 아직까지는 그 성능상의 한계가 많고, 특히 감도 및 정밀도면에서 만족스럽지 못한 상황이다. 현재보다 10배정도 정밀도가 개선되어진다면, 가상현실장치에 필수적인 3차원 입력장치등 여러분야에서의 폭발적인 수요가 기대되는 바이다. 본 과제에서는 주파수 응답성과 제품크기를 희생하여 감도면에서 기존의 제품보다 우수한 진동형 각속도센서를 개발하고자 한다.자동차의 자세제어, 캠코더의 손떨림 감지, 3차원 가상현실용 입력장치등에 사용될 수 있는 소형각속도센서의 시제품개발 및 Feasibility 검증이 목표임(주요사양) - 정밀도 ≤ 0.1 degree/sec - 측정범위 ≥9 degree/sec - 크기 ≤30+30+30mm
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- 한국생산기술연구원
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- 2000-11-22
캠코더용 입체 영상 촬영 및 기록 장치
액정 셔터를 이용하여 넓은 시야각을 갖고, 광량의 손실이 적어서 화면을 밝게 할 수 있으며, 또한 기록과 재생의동기화가 가능한 화면 구분 회로를 구비하여 화면 재생시 액정 안경을 이용하여 입체 영상을 인식할 수 있게 한 캠코더용입체 영상 촬영 및 기록 장치가 개시되어 있다. 본 발명에 따른 캠코더용 입체 영상 촬영 및 기록 장치는 좌 또는 우측시야 경로의 피사체 상을 상기 캠코더에 전달하고, 촬영시 상기 피사체 상을 필드마다 교대로 전환되게 하는 제1및 제2광로계와, 상기 제1및 제2광로계 각각에 배치되고, 상기 캠코더의 필드 주사 동작에 동기되어 상기 복수의 광로계를 통해얻어진 상기 피사체 상을 교대로 선택하기 위한 제1및 제2액정 셔터 및 상기 캠코더의 비디오 출력 신호에 동기되어 빛을차단하거나 전달하도록 상기 셔터를 구동하기 위한 제어 장치부를 포함하며, 상기 제1및 제2광로계는 상기 제1광로계 내에 배치된 상기 제1액정 셔터를 통해 입사된 상기 피사체의 광을 입사 평면에 평행한 분극을 갖도록 하여 상기 피사체 상의 손실을 최소화 하는 반파장 파장판 및 상기 제2광로계 내에 배치된 상기 제2액정 썬터를 통해 입사된 피사체 상과 상기 반파장 파장판을 통과한 피사체 상에 대응하는 각각의 광을 합쳐서 상기 캠코더로 전달하는 빔 분할기를 포함한다.
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- 한국과학기술연구원
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- 2000-11-22
다이오드형 전계방출소자의 전계방출부와 양극간의 거리조절방법
본 발명은 전계방출소자 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 다이오드형 전계방출소자에 있어서, 전계방출부의 끝부분과 양극 표면간의 거리를 1㎛ 이하로부터 수백 ㎛에 이르기까지 수십 Å 수준의 분해능으로 조절 가능토록 한 다이오드형 전계방출소자의 전계방출부와 양극간의 거리조절방법에 관한 것이다.본 발명은 다이오드형 전계방출소자의 전계방출부와 양극간의 거리조절방법에 관한 것으로, 음극 기판과 양극 기판 사이에 절연박막 및 홈을 형성시키는 방법에 의해 전계방출부의 끝부분과 양극 표면간의 거리를 1㎛ 이하로부터 수 백 ㎛에이르기까지 수십 Å 수준의 분해능으로 조절할 수 있도록 하여 전계방출부로 부터의 전계 분포를 정확히 실측할 수 있을뿐 아니라 전계방출 전압 및 방출 전류을 효과적으로 제어할 수 있으며, 아울러 전계방출표시소자는 물론 마이크로 팁을이용한 터널링 세서 제조 등에도 응용 가능한 고신뢰성의 다이오드형 전계방출소자를 구현할 수 있게 된다.
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- 한국과학기술연구원
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- 2000-11-22
메모리 지향적 실시간 영상신호 처리시스템
본 발명은 영상데이타 네이버후드(Neighborhood)연산의 벡터 내적 승산형 국부동작을 효율적으로 처리하기 위한 영상신호처리 시스템에 관한 것으로, 특히 입력영상의 특정 영역으로 이루어지는 입력화소 커널(Kernel)의 값에 대하여 변환함수에 의해 결정되는 가중치 값들을 곱하여 누적하는 연산을 모든 입력데이타의 화소수에 대해 병렬로 처리하여 출력화면의한 출력화소를 구하기 위한 메모리 지향적 실시간 영상신호 처리 시스테에 관한 것이다.입력 영상의 특징 영역으로 주어진 커널(kernel)에 대응되는 화소입력과커널 변환함수에 의한 변환값들을 곱하고 누적한 후 병렬처리하여 출력화면의 한 출력화소를 구하도록 창안한 것
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- 한국과학기술연구원
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- 2000-11-22
스트레인 측정 장치
본 발명은 스트레인 측정 장치에 관한 것으로 특히, 온도에 대한 민감성은 동일하고 스트레인(strain)에 대한 민감성은서로 다른 두 개의 광섬유 격자와 마하-젠더(Mach-Zehnder) 간섭계를 접속하여 간섭계 출력의 크기 변화를 측정함에 의해센서에 가해진 온도의 변화와는 무관하게 스트레인만을 정밀하게 측정할 수 있도록 함에 목적이 있다. 이러한 목적의 본발명은 특정 파장의 광을 주사하는 광 주사기(210)와, 이 광 주사기(210)에서의 광을 센서(200)에 입사시키고 그 센서(200)에서의 반사광을 결합하는 광 간섭계(220)와, 이 광 간섭계(220)에서 결합한 광을 검출하여 간섭 신호를 출력하는광 검출기(230)와, 이 광 검출기(230)의 출력 신호를 디지털 변환하는 아날로그/디지털 변환기(240)와, 이 아날로그/디지털 변환기(240)의 출력 신호를 연산하여 간섭 신호의 크기 변화를 판별함에 의해 상기 센서(200)에 가해진 스테레인의 크기를 산출하는 물리량 산출부(250)와, 상기 광 검출기(230)의 출력 신호의 파형을 표시하는 오실로스코프(260)로 구성한다.광섬유 격자란 광섬유의 코어에 주기적으로 영구적인 굴절률 변화를 가하여 제작하는 광통신 관련 소자로서, 격자부위를통과하는 광신호중에서 브래그 조건을 만족하는 파장의 빛만을 선택적으로 반사시키는 특성을 가지고 있다.
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- 한국과학기술연구원
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- 2000-11-22
강유전체 게이트를 가지는 전계효과트랜지스터를 이용한 불휘발성 기억소자 및 그 제조방법
반도체표면에 CeO2/SrBi2Ta2O9이중막을 형성시키고 이중막의 강유전체인 SrBi2Ta2O9막상에 백금전극을 부착하며, 상기 CeO2/SrBi2Ta2O9/Pt의 삼중층 주위에 산화방지막을 도포하여 형성되는 게이트를, 전계효과트랜지스터의 게이트로 이용하므로서커패시터가 필요없는 강유전체게이트를 가지는 전계효과트랜지스터(FET)기억소자를 제공한다.
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- 한국과학기술연구원
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- 2000-11-22
산업용 로봇에 부착된 센서의 위치 및 자세 보정방법 및 이에사용되는 측정지그
본 발명은 산업용 로봇에 부착된 센서의 위치 및 자세 보정방법 및 이에 사용되는 측정지그에 관한 것이다. 선형 레이저비젼 센서의 3차원 좌표값을 이용하여 로봇을 사용하는 데 필요한 정보를 얻어내려고 할때, 로봇의 끝단의 좌표계와 센서의 좌표계의 상대적인 변환 관계를 알아내는 것은 필수적이다. 기존의 방법으로는 로봇의 끝단에 공구나 센서를 부착할때에는 이미 알고 있는 접촉점을 사용하여 이곳에 공구나 센서를 접촉시켜 좌표계의 변환 관계를 알아 낸다. 이런 방법은로봇을 조작하는 작업자에 따라 그 정밀도가 달라지고 접촉점에 공구나 센서를 접촉 시켜야 하므로 이에 따른 위험성이커진다. 또한 이러한 작업은 매우 정교하게 이루어져야 하므로 생산 라인의 작업자가 조작하기에는 매우 어려운 작업이다.본 발명에서는 로봇과 선형 레이저 비젼 센서의 상대적인 좌표계의 변환을 특정한 측정지그를 이용하여 단순히 로봇을 4번만 움직이며 선형 레이저 비젼 센서를 이용하여 측정지그의 좌표점을 측정하고 측정 좌표점을 이용하여 위에서 제시한좌표계 변환을 통하여 로봇 끝단의 좌표계와 레이저 비젼 센서의 좌표계의 상대적인 변환 관계를 알아 낸다. 제시된 방법은 기존의 방법에서 야기되는 어려운 점을 모두 해결할 뿐만 아니라 조작의 간편성과 정확성이 보장되며, 선형 레이져 센서를 로봇에 부착하여 이용하는 자동화 공정에서는 매우 편리하고 유용한 방법이다.
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- 한국과학기술연구원
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- 2000-11-22
산업용 로봇에 부착된 센서의 위치 및 자세 보정방법 및 이에사용되는 측정지그
본 발명은 산업용 로봇에 부착된 선형 레이저 비젼 센서의 위치 및 자세 보정방법 및 이에 사용되는 측정지그에 관한 것이다. 실제적으로 로봇 프로그램을 동작시킬 때는 정확한 TCP를 알고 있어야만 정확한 동작이 가능하게 된다. 그러나 TCP를 알아내는 방법은 대단히 번거로운 작업으로서 이는 공구나 센서의 위치와 자세를 알아내기 위하여 여러번 까다로운 교시(Teach)를 하여야 하며 순전히 작업자의 눈에 의존한 교시가 되기 때문에 그 정확성도 뒤떨어지는 실정이다. 특히 선형레이저 비젼 센서(Line Laser vision sensor)의 경우 그 TCP를 알아내기 위하여는 교시하는 방법이 매우 까다롭다. 본 발명은 3개의 평행선과 1개의 대각선을 가지는 측정지그를 로봇의 전방에 위치시키고 선형 레이저 비젼 센서의 특성을 이용하여 특정한 측정지그에 대한 측정값의 기하학적 관계를 이용하여 비접촉 방식으로 측정을 용이하게 함으로써 TCP를 신속, 정확하고 용이하게 알아낼 수 있도록 한 것이다.본 발명에 의하면 3개의 평행선과 1개의 대각선을 가지는 지그를 이용하는 것에 의하여 선형 레이저 비젼 센서의 까다로운 TCP를 한번의 교시로 쉽게 얻어낼 수 있으며, 대략적인 교시를 통하여도 정확한 측정이 가능하게 된다. 또한 기하학적 접근방식을 이용함으로써 측정오차에 영향을 받지 않고 한번에 정확한 측정이 가능하게 되는 것이다.
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- 한국과학기술연구원
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- 2000-11-22
집진장치 및 필터 성능 시험용 먼지공급 및 분산장치
본 장치는 연소공정 및 먼지발생공정에서 베출되는 먼지 포집 제거용 집진장치와 각종 필터 성능을 시험하기 위해 필요한 먼지 공급 및 분산장치에 관한 기술먼지의 공급이 회전판 홈으로 공급되며 균일한 공급을 위한 스크래터 설치
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- 한국에너지기술연구원
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- 2000-11-22
집진장치 및 필터 성능 시험용 수직형 먼지공급 및 분산장치
본 장치는 시험먼지를 정밀하게 공급량 조절이 가능하고, 시험먼지 분산시 발생되는 정전기를 제거하여 먼지의 응집현상을 먼지하는 기술수직형으로 구성되어 있음, 정전기 제거기 설치
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- 한국에너지기술연구원
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- 2000-11-22
다공성 시료의 비표면적 측정방법 및 장치
지지체로 활용되고 잇는 다공성 물질의 비표면적을 비교적 정확하면서 간단히 측정할 수 있는 장치와 방법에 과낳ㄴ 것이다.
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- 한국에너지기술연구원
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- 2000-11-22
독립 프로그래밍 가능한 2자유도 추가운동 모듈 및 그를 장착한 가공
가공 공구의 축을 가공대상물의 단방향(이하 y방향이라 함)으로 직선왕복운동 하게 하는 y축 리니어모터 유니트와, 상기y축 리니어모터 유니트를 탑재하여 y축 리니어모터 유니트를 상기 y방향에 수직인 방향(이하 x방향이라 함)으로 직선왕복시키는 x축 리니어모터 유니트로 이루어지는 2 자유도 추가운동모듈이 상기 로봇 단부에 장착되고, 상기 x축 리니어모터유니트 및 y축 리니어모터 유니트의 운동을 제어하는 2 자유도 제어수단에 의하여 로봇과는 독립적으로 프로그래밍 됨으로써, 연마 또는 절삭형태에 따라서 적절한 가공패턴으로 연마 또는 절삭가공만을 수행하고, 로봇은 가공 위치로 추가운동모듈을 이동시키는 기능만 담당하므로써, 연마 또는 절삭능률을 향상시키고, 로봇의 잦은 자세변화에 소요되던 가공시간을 단축시킬 수 있는 장치를 제공한다.본 발명에 의한 2자유도 추가운동모듈을 로봇에 부착하므로써, 실제 연마나 절삭과 같은 가공시의 가공능률이나 표면품질은 추가운동모듈이 전적으로 책임지고, 로봇은 단지 가공 공구를 장착한 추가운동모듈을 가공이 필요한 위치로 이송시켜주기만 함으로써, 로봇의 작업부담을 줄이고 가공시간을 단축시킬 수 있다.
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- 한국과학기술연구원
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- 2000-11-22
윤활유 내 마모입자 온라인 진단방법 및 장치
본 발명은 빛이 오일을 통과할 때 입자들에 의해 차단되는 광량을 측정하여 오일 시료 내의 입자의 양을 계측하는 광학적방법 중 빛 차단 원리를 적용함과 아울러 마모 입자의 근원 판단에 매우 중요한, 마모 입자의 자성과 비자성 입자의 양을각각 정량적으로 측정하기 위해 자성 입자들을 영구 자석의 자력을 이용하여 오일 셀의 한쪽으로 모아 빛의 통로에서 제외시킨 후에 오일 측정 셀의 빛통과 경로에 존재하는 비자성 입자의 양을 측정하는 방법에 관한 것이다.
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- 한국과학기술연구원
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- 2000-11-22
텅스텐 박막 제조용 플라즈마 화학증착 온도 측정장치
본 발명은 플라즈마 화학증착법으로 저저항의 텅스텐 박막을 증착시키는 기술에 관한 것으로, 특히 저저항의 텅스텐 박막의 성장에 중요한 인자로 작용하는 실리콘 기판의 표면온도를 정확하게 측정하여 반응기 내에서의 증착반응이 최적의 증착온도에서 수행되도록 한 텅스텐 박막 제조용 플라즈마 화학증착 온도 측정장치에 관한 것이다.현재 일반적으로 행해지고 있는 텅스텐 박막의 증착방법은 크게 물리적 증착방법과 화학증착방법의 두가지 형태로 대별되는데 그 중 전자의 물리적 증착방법의 예로는 고순도의 텅스텐 타겟(Target)을 이용한 스퍼터링이나 전자빔증착(electronbeam depositon)을 들 수 있으며, 후자의 화학증착방법으로는 WF6-H2가 스등을 열분해시켜 실리콘기판의 증착을 행하는 저압화학증착법(LPCVD : Low Pressure Chemical Vapor Deposition)이 사용되고 있다.그런데, 물리적 증착방법의 경우에는 복사손실(radiation damage)에 의하여 박막의 결함발생이 높을 뿐만아니라, 스텝커버리지(step coverage)면에서도 불리하고 이에 더하여 비저항값이 50μΩ-㎝이상으로 높다는 단점이 있다.이에 반하여, 저압화학증착법은 위에서 열거한 물리적 증착방법에서 나타나는 대부분의 단점을 보완한 점에 있어 일응 특징적인 면이 있긴 하나 실리콘에만 국한하여 증착이 이루어질 뿐 절연층이나 화합물 반도체등의 기판에서는 증착이 이루어지지 않는 등의 기판의 특성에 따라 텅스텐 박막의 증착이 용이하지 않아서 물리적 증착방법에서와 같이 어떠한 기판에대해서도 금속박막을 증착시킬 수 있는 필요성을 충족시킬 수 없는 문제점을 지니고 있다[참조 : W.T.Stacy,E.K.Broadbent, M.H.Norcott, J.Electrochem. Soc., vol. 132, p444, 1985].한편, 화학증착법의 새로운 형태로서의 플라즈마 화학증착법(PECVD : Plasma Enanced Chemical Vapor Deposition)을 사용하여 텅스텐 박막을 증착시키는 경우에는 상기의 저압화학증착법에서 지니고 있는 문제점의 해결이 가능할 뿐만아니라 스텝커버리지면에서도 저압화학증착법에 비해 우수한 것으로 알려지고 있다[참조 : A.Sherman, Thin Solid Films, vol.113,p.135, 1984].그러나, 현재까지 보고된 바의 플라즈마 화학증착법에 의하여 형성된 텅스텐 박막의 비저항값은 저압화학증착법에 의하여얻어진 박막의 비저항값인 10μΩ-㎝정도에 비해 훨씬 높은 값을 나타냄에 따라 플라즈마 화학증착법을 실제 적용하기에는 어려움이 있다[참조 : C.C.Tang, D.W. Hess, Appl. Phys Lett., vol.45, p.633, 1984].플라즈마 화학증착법을 이용하여 텅스텐 박막을 성장시킬 때 성장된 텅스텐 박막의 특성에 가장 큰 영향을 미치는 인자는증착온도인 까닭에 결정성장시 증착온도를 정확하게 제어하여야 만이 낮은 비저항값을 갖는 우수한 텅스텐 박막의 성장이가능하게 된다.그런데, 플라즈마 상태에서는 증착압력 및 열판(hot plate)의 온도에 따라서 증착반응이 일어나는 웨이퍼 표면의 온도가매우 크게 변화함에 따라 종래의 플라즈마 화학장치를 이용하여 증착을 수행하는 경우 웨이퍼 표면의 온도를 직접 측정하는 방식이 아닌 제1도에 도시된 바와 같이 실리콘기판과는 일정거리를 유지하고 있는 열판의 온도를 측정하여 이를 실리콘기판의 온도로 취급하는 방식을 취함에 따라 실리콘기판의 표면온도에 대한 실제값과는 상당한 차이를 보이고 있다.다시말하면, 제1도에 도시된 바와 같이 종래의 플라즈마 화학장치에서 증착온도를 측정하는 방법은 대개 반응기(1)의 상부에 확산전극(2)이 형성되고 하부에는 열선(3)으로 가열되는 열판(4)상에 실리콘웨이퍼(5)를 올려놓은 상태에서 열전대(T)를 이용하여 열판(4)의 온도를 측정하는 형태로서 실제로 텅스텐 박막의 증착이 일어나는 실리콘웨이퍼의 표면온도와열판의 온도사이에는 상당한 차이가 존재하게 된다.이와 달리 실리콘웨이퍼의 표면온도를 직접 측정하는 방식으로서 고온계(optical pyrometer)를 이용하는 형태가 알려지고있으나, 이 방법 역시 플라즈마에 의한 방출(emission)과 텅스턴 박막의 성장이 진행됨에 따라 방사율(emissivity)이 변화함으로써 정확한 온도를 측정할 수 없다는 문제점이 있다[참조 : J.E.J.Schmitz, J.L.G. Suijker, M.J. Buiting,Tungsten and Other Refractory Metals for VLSI Application Ⅳ, eds. R.S. Blewer and C.M. McConica, MaterialsResearch Soc., Pittsburg, p.211, 1989].한편, 열전대를 실리콘웨이퍼의 표면에 위치시켜 직접 실리콘 웨이퍼의 표면온도를 측정하는 방식이 고려되고 있긴 하나,이와 같은 경우에는 실제에 있어서 고주파전자기장이 열전대에 유기됨으로써 정확한 온도측정이 용이하지 않다는 문제점이 있다.따라서, 본 발명은 플라즈마 화학증착법에 의한 텅스텐 박막의 증착시 종래의 증착온도
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- 한국과학기술연구원
- 등록일
- 2000-11-22
해밍 거리에 의한 초음파 파형 인식 방법 및 장치
비파괴 검사에서 사용되는 초음파 진단에서 반사파의 감지를 위한 방법의 한가지로서 해밍 거리(Hamming distance) 개념을 도입하여 임의의 송신파 및 반사파를 기준 패턴으로 습득한 후 이를 기준으로 초음파 신호의 각 반사파들의 시작점을측정하는 방법 및 장치가 기재되어 있다.이 시작점 측정은 각 반사파의 시작점부터 일정 구간을 기준 패턴화하여 초음파 신호와 각 기준 패턴을 비교하여 초음파신호 내에서 각 기준 패턴에 가장 유사한 부분의 시작점을 반사가 시작된 부분으로 인식하여 그 각 반사된 시간 간격을측정하도록 하는 방법으로서, 유사성의 감지 방법으로서 해밍 거리 개념을 사용한 것이다.본 발명에 따르면 해밍 거리를 이용하여 초음파 반사파의 시작점을 인식하므로서 반사파 파형이 감쇄가 심하여 파형의 크기가 작거나 왜곡되어도 항상 시작점을 정확히 감지할 수 있으며, 기존의 영상 인식 방법에 비하여 그 구조가 간단하여처리 속도가 매우 빠른 장점이 있다.
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- 한국과학기술연구원
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- 2000-11-22
박막형 전계 발광 소자의 제조를 위한 비정질 강유전성 절연막의 증착 방법
본 발명은 평면형 전계발광소자(Electroluminescent disp ay :ELD)의 작동을 위하여 사용되는 산화물 절연막을 비정질(amorphouse)로 하여 증착온도를 낮추어 ITO와 증착 산화물 간의 계면 반응을 억제하고 또한 비정질 막의 고유한 특성인유전강도의 증가와 소자로서 이용되었을 때 투명도의 증가를 도모하는 비정질 강유전성 절연막의 증착과 사용에 관한 것이다.계면층에 의한 빛의 산란이발생하지 않으므로, 광학적 특성의 향상을 기대할 수 있다.
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- 한국과학기술연구원
- 등록일
- 2000-11-22