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마이크론 전자 공학 기판 패터닝 시스템과 방법은 방사원과 마이크로 전자 공학 기판 사이의 방사 경로에서 마스크 패턴의 2개 또는 그 이상의 복사에 사용한다. 2 또는 그 이상의 복사들을 방사 경로에 따라 하나의 다른 곳으로부터 축으로 위치하며 방사 경로를 따라 방사 경로에서 마스크 패턴의 다중 복사를 가진 방사의 상호 작용 결과로서 마이크로 전자 공학 기판속으로 영상된다. 마스크 패턴의 단일 복사와 비교하여 증가하는 깊이에서 마스크 패턴은 영상된다. 마스크 패턴의 2 또는 그 이상의 복사들은 투과와 굴절 마이크로 전자 공학 기판 영상 시스템의 초점 깊이를 증가시키는데 사용할 수 있다. 마스크 복사들은 동일하거나 또는 희망하는 특징 차원에 상대적으로 바이어스 될 수 있다. 종래의 마이크로 전자 공학 기법들은 마스크 제작과 마이크로 전자 기판 마스크 패턴의 첫 번째와 두 번째 복사 사이의 정렬을 확실하게 하기 위해 사용되었다.희생 분해능이 없는 초점의 깊이 증가, 복잡한 마스크 절차 요구 없음, 영상 시스템의 재설계와 수정 요구 없음
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- 특허법인충정
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- 2001-03-01
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공기에서 초음파의 발생은 로봇 거리 감지와 영상 가스 흐름 측정 인사이튜 공정 감시 음향 현미경을 포함한 다양한 응용에서의 관심 사항이었다. 이 발명품은 절연 지원에 의한 기판상의 표면 위에 지지된 실리콘 질화막을 마이크로머시닝 트랜스듀서에 의한 반도체 기판상에 형성된 정전 트랜스듀서이다. 이 기판과 막은 트랜스듀서의 전극으로 정의된다.주파수 광대역의 공기에서 효율적인 초음파 수신과 생성
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- 특허법인충정
- 등록일
- 2001-03-01
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마이크로 레이저빔의 나노 크기 위치 제어를 위한 방법마이크로 레이저빔의 나노 크기 위치 제어
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- 특허법인충정
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- 2001-03-01
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단일축 자기, 전자, 광학 그리고 기계적 성질을 가진 방향성 있고 금속간 얇은 필름 구조를 생성하는 방법이다, 인공 초격자는 정렬된 구조상의 표적 금속간 화합물 구성분 금속 층의 번갈은 침전으로 조립된다, 단일 결정 기질이나 결정학상 점성 기질은 현재 기술에서 침적된 층의 병렬을 유도하는데 이용된다, 결과적인 초격자의 연결은 단일축 성질을 가지는 병렬의 얇은 필름 금속간 화합물을 생성한다단일 축성 자기, 전자, 광학 그리고 기계적 성질, 물질의 큰 구조가 약한 이방성일 때 효과적이다
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- 특허법인충정
- 등록일
- 2001-03-03
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5nm 이하의 폭과 조절 가능한 두께를 갖는 틈을 만드는 방법자료 없음
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- 특허법인충정
- 등록일
- 2001-03-03
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이중 용도 전기 활성 공중합체를 광-전자 장치에 이용하는 기술이다, 여러 광-전기 장치 제조에 특이적으로 이용된다이중 용도는 빛 방출 단편과 전하 수송 단편으로 이루어진다
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- 특허법인충정
- 등록일
- 2001-03-04
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전기·전자 > 기타 반도체
가공전 알류미늄이 입혀진 CMOS 회로 상에 해리된 미세 구조를 만드는 기술이다, CMOS 회로의 완성 후에 폴리이미드의 희생 층이 만들어진다, 희생 층은 본 떠지고 TiW-Si-TiW이 세 층은 저 스트레스 막을 생성하도록 전력과 압력에 의해 튕겨진다, 웨이퍼는 연결되고 세 층은 플라즈마에서 본 떠진다, 웨이퍼는 결과적으로 입방체로 되고 각 입방체는 폴리이미드 희생 층을 제거하기 위해 산소 플라즈마에 노출된다, 해리된 장치의 만곡은 축적된 두께에 역 평방에 따라 다양하다, 작은 스트레인 구배가 2 마이크론 막 두께에서 일어난다, 구배는 또한 TiW 덧씌운 금속 층에서 스트레스를 조정해 조절될 수 있다, 집적 회로 상부의 해리된 구조는 다음과 같은 용도에 쓰일 수 있다 : 가속계, 각속도 센서, 자이로스코프, 마이크로폰, 압력 센서, 촉각 센서, 진동계, 실리아 배열, 전시, 모터, 공명기, 동조 축전기, 혹은 LPCVD 폴리실리콘을 이용해 만들 수 있는 모든 장치LPCVD 폴리실리콘과는 다르게 튕겨진 실리콘은 CMOS 회로의 변화를 줄 필요 없이 상온에서 축적된다, 정전 용량과 민감성을 증가시키며 LPCVD 실리콘보다 더 큰 막 두께로 축적된다, 전통적인 물기 상태 해리의 복잡함과 압축이 필요 없이 건조 상태로 해리된다
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- 특허법인충정
- 등록일
- 2001-03-04
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전기·전자 > 기타 반도체
실리콘 웨이퍼는 순도 99.9999999%의 단결정(單結晶) 규소를 얇게 잘라 표면을 매끈하게 다듬은, 집적회로를 만드는 토대가 되는 얇은 규소판이다. 웨이퍼의 표면은 결함이나 오염이 없어야 함은 물론, 회로의 정밀도에 영향을 미치기 때문에 고도의 평탄도가 요구된다. 최근에는 두께 0.3㎜, 지름 15㎝의 원판 모양의 것이 사용되고 있다.이 실리콘웨이퍼는 조립한 후에 검사가 끝나면 개별 칩으로 잘려져서 완성된 집적회로로 사용된다. 한편, 집적회로 제작기술의 진보와 더불어 실리콘웨이퍼의 지름은 커져서, 앞으로는 지름이 30㎝나 되는 것도 나올 것으로 예상된다. 이에 본 기술은 반도체 산업의 핵심적인 기판재료인 실리콘 웨이퍼 중, GDRAM급 이상의 반도체 소자제조에는 SOI(Silicon On Insulator) 웨이퍼가 사용될 것으로 추측되어 개발을 시작했었다. 본 개발 6인치 SOI 웨이퍼는 진공접합에 의해서 계면결함을 제어하고, 표면 활성화층을 20㎛까지 연마한 것으로 향후 8인치급 SOI의 개발에도 연결될 수 있을 것으로 판단되어 진다.본 기술을 적용했을시, 차세대 반도체 기판재료의 국산화로 국가경쟁력 확보에 길을 틀 것으로 예상되며, 진공접합장치 제작으로 계면결함 제어가 가능해지고 6인치 SOI 웨이퍼의 반도체 소자제조 공정에 투입이 가능해 질 것으로 보여진다. 또한 반도체 소자생산 수율향상 가능의 효과도 있을 것으로 예상된다.
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- (재)포항산업과학연구원
- 등록일
- 2001-08-30
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전기·전자 > 기타 반도체
유리탄소섬유의 성질은 ① 고온에 견디며, 불에 타지 않는다. ② 흡수성이 없고, 흡습성이 적다. ③ 화학적 내구성이 있기 때문에 부식하지 않는다. ④ 강도, 특히 인장강도가 강하다. ⑤ 신장률이 적다. ⑥ 단열·방음성이 좋다. 등으로 크게 생각해 볼 수 있다. 최근 이와 같은 성질을 이용하여 각 방면의 공업재료로서 널리 사용되며, 항공기·보트 등의 구조재나 파이프, 속이 빈 기둥·낚싯대로 쓰인다. 또한 도체와 절연체의 중간적 성질을 이용하여, 반도체 기술에도 도입하고 있다.본 기술은 페놀, 퓨란 등의 열경화성 수지를 이용하여 적정 중축합, 탄소화 조건에서 고순도, 고탄성의 Glassy Carbon 제조기술로서, 중축합 반응 및 탄소화 조건의 제어에 의하여 다양한 형상의 Glassy Carbon을 제조할 수 있게 한다.본 기술에 의한 개발제품의 물성은 다음과 같다.. 밀도 : 1.5g/㎤. 결정구조 : 비정질. 꺽임강도 : 1000kg/㎠. 전기저항 : 4 x 10Ωcm본 기술을 활용할 수 있는 분야는 다양한 것으로 파악된다. 반도체 건식 에칭 전극용 Glassy Carbon (전량 수입에 의존하는 전극의 국산화 가능), 화학분석용 도가니, 비이커 등은 물론이고, Li 이온 전지용 음극재 분말, 분자체(zeolite계 대체가능)등에 쓰일 수 있다.
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- (재)포항산업과학연구원
- 등록일
- 2001-08-30
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전기·전자 > 기타 반도체
본 고안은 균일한 특성의 광커플러가 제조될 수 있도록 광섬유를 안정되게 고정하는 광커플러 제조용 고정장치에 관한 것임광섬유커플러 제조장비에서 광섬유고정을 용이하게 고정
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- 전자부품연구원
- 등록일
- 2001-09-01
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전기·전자 > 기타 반도체
본 고안은 전동식으로 복수개의 광섬유를 동시에 스트리핑할 수 있고 스트리핑되는 광섬유의 길이를 정밀제어할 수 있는 광섬유 스트리핑장치에 관한 것임광섬유커플러 제작을 위한 광섬유스트리퍼
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- 전자부품연구원
- 등록일
- 2001-09-01
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전기·전자 > 기타 반도체
본 발명은 웨이퍼상태의 초고주파용 부품의 특성측정시 초고주파 프로브 헤드와 웨이퍼의 접촉여부를검사하기 위한 장치에 관한 것임. 본 발명은 웨이퍼상태의 초고주파용 부품의 특성 측정시 웨이퍼와 프로브헤드의 접촉 여부를 검사하기 위한 장치에 관한 것이다. 본 발명은 균일하게 분배된 제1기준신호와 제2기준신호를 이용하여, 제2기준신호가 웨이퍼에 인가되어 반사된 반사신호와 제1기준신호를 각각 신호처리한 후 비교하여 접촉여부확인신호를 표시수단에 인가하여 표시수단에 도시된 상태도에 따라 웨이퍼와 프로브헤드의 접촉 여부를 검사한다. 이로써 스펙트럼 분석기등의 고가의 장비를 사용하지 않고 간단한 장치로 구성을 하여 검사비용 및 시간을 줄이고 정확하게 접촉 여부를 검사하며 잘못된 접촉방법에 따른 고가의 초고주파 프로브헤드의 손상을 미연에 방지할 수 있는 웨이퍼와 프로브헤드의 접촉 여부 검사 장치를 제공한다검사장비가 간단하다.검사비용및시간을 절약한다.정확하다.
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- 전자부품연구원
- 등록일
- 2001-09-01
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전기·전자 > 기타 반도체
이 발명은 광 변조기 패키지 및 그 제조방법에 관한 것으로 주위의 온도나 습도 변화에 무관하게 항상 일정한 동작 성능을 유지하고 제조 공정을 단수화시켜 제조 비용과 제조 시간을 단축시켜 제조 원가를 절감하고 생산성을 향상시키는 것이다. 광도파로가 형성된 재부칩의 상면 양측에 보조 블록이 형성되어 있고 하부에 제 1 보조 기판 및 제 2 보조 기판이 적층되어 상/하부 하우징에 내장된다. 광섬유가 삽입된 캐필러리는 상기 내부칩 및 보조 블록에 고정되며 하부 하우징 안에 채워지는 액체 상태의 수지의 경화동작에 의해 하부 하우징 안에 장착되는 알루미나 피더, 커넥터 및 칩 저항 등 필요한 전기 소자나 장치 등과 함께 일체화되어 하부 하우징과 밀봉되게 상부 하우징을 설치한다. 그러므로 외부의 충격이나 진동에 영향을 받지 않고 주변 온도나 습도에 따라 광섬유 등의 고정 위치가 변화하지 않으므로 제품의 내구성 및 동작의 신뢰성을 향상시키고 제조공정을 감소시켜 제조비용을 절감하고 제조시간을 줄여 생산성이 향상되는 효과가 발생한다광변조기 패키징에 있어서 외적인 진동이나, 충격,온도습도등으로부터 내부칩을 보호하기 위하여 단계별로 패키징을 하기 위한 조립순서를 확립하였으며 또한 수지류를 이용하여 내부를 채움으로서 칩의 흔들림 없이 고정되어 신뢰성 향상에 기여함.
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- 전자부품연구원
- 등록일
- 2001-09-01
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일반기술
전기·전자 > 기타 반도체
본 발명은 커플러 제조장치에 관하여 개시한다 본발명은 광원을 구비하는 광원입사부와 광섬유로 연결된 광섬유를 다발부와 상기 광섬유 다발부의 제 1광섬유와 다른 제2광섬유를 정렬 및 연결되어 상기 제1광섬유및 제2광섬유를 인장하고 인장속력을 각각 제어할수 있는 제 1인장부및 제2 고아섬유와 연결되고 상기 제1 광섬유 및 제2 광섬유로 부터 나오는 광출력을 검출하는 수광부와 상기 제 1인장부 및 제2 인장부를 제어하는 제어부와 상기 인장된 제1광섬유 및 제2광섬유의 보강 페키징을 위한 페키지부을 포함한다 본 발명은 제1인장부, 제2인장부 , 광학파장필터 및 패키지부를 구비하여 특성어 우수한 커플러를 제작할수 있인장부를 2개 구비하여 커플러 제조장비의 기능을 향상 시켰음
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- 전자부품연구원
- 등록일
- 2001-09-01
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일반기술
전기·전자 > 기타 반도체
본 발명은 레이저 광을 이용하여 평면화상을 형성할 수 있또록 된 레이저 디스플레이장치에 관한 것이다일반적으인 디스플레이 장치로 음극선관은 펀넬의 전면에 패널이 그리고 후면에 전자총이 설치된구조로 패널의 크기에 비하여 음극선관 전체의 부치가 크다는 단점이 있레이저 디스플레이장치에 관한 것이다
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- 전자부품연구원
- 등록일
- 2001-09-01
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일반기술
전기·전자 > 기타 반도체
가상현실 표시장치에 관해 개시된다. 개시된 가상현실 표시장치는 제1방향으로 배치된 다수의 광원소자에 의한 라인광원 상기 라인 광원으로 부터의 라인광을 전송하는 도광수단 상기 라인광원으로 부터의 라인광을 상기 도광수단에 집속하는 제1집속수단 상기 도광 수단으로부터 출사된 라인광을 두개의 경로로 분기하는 분광수단에 의해 분기된 라인광을 각각 반사하는 것으로 상기 제1방향에 대해 직교되는 방향으로 스캐닝하는 두개의 액투에이팅 미러를 구비한다 개시된 가상현실 표시장치는 초고해상도의 가상화면으로 구현할수 있고 소형 결량화가 가능한 저소비 전력형이고집적의 LED Array와 microlens와의 조합으로 1인치미만의 소자로 대형 VR기술을 구현하는 소자
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- 전자부품연구원
- 등록일
- 2001-09-01
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일반기술
전기·전자 > 기타 반도체
점광원을 이용한 소형 디스플레이 장치에 관해 기술된다.개시된 디스플레이장치는 한 프레임의 화상을 화소 단위로 순차표시하는 점광원과 상기 광원으로부터 출사된 광을 접속하는 렌즈와 상기 렌즈에 의해 접ㅈ속된 광을 반사하는 미러와 상기 미러를 제 1방향과 제1방향에 대해 직교하는 제2방향의 소정각도 범위로 회동시켜 사기 미러로 입사되는 점광원을 소정면적으 ㅣ가상화면에 스캐닝 하는 2축성 진동 스케너를 구비한다. 개시된 디스플레이 장치는 점광원을 이용하기 때문에 소형화가 가능하고 고밀도 고해상도의 화상을 재현 할수 있단말기의 소형디스플레이를 극복한 심개념 display
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- 전자부품연구원
- 등록일
- 2001-09-01
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일반기술
전기·전자 > 기타 반도체
선형 디스플레이 장치에 관해 기술된다. 개시된 디스플레이장치는 한 프레임의 화상을 라인 단위로 순차표시하는 광원과 상기 광원으로부터 출사된 광을 접속하는 렌즈와 상기 렌즈에 의해 집속된 광을 반사하는 것으로 상기 광원으로 부터의 라인 상의 광이 반사하는 다수의 라인상의 반사면을 갖는 회전다면경과, 상기 회전다면경을 구동하는 구동장치를 구비한다.개시된 디스플레이장치는 라인상의 반사면을 갖는 것으로 소형화가 가능하고 기구적 안정성이 높은 회전다면경을 이용하기 때문에 소형화가 가능하고 떨림현상이 저감된 화상을 실현할 수 있고 또한 회전다면경의 크기를 조절함에 의해 가상화면의 크기를 적절히 조절할 수 있는 이점이 있다micro한 display로 가상의 화면을 구현
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- 전자부품연구원
- 등록일
- 2001-09-01
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일반기술
전기·전자 > 기타 반도체
본 고안은 마이크로 직접렌즈를 채용하여 스캐닝 리니어 어레이표시장치의 크기를 축소하고 성능을 향상시킨 마이크로 직접렌즈를채용한 스캐닝 리니어 어레이 표시장치에 관한 것임. 본 고안은 스캐닝 리니어 어레이(scanning linear array; SLA) 표시장치에 관한 것으로서, 특히 마이크로 집적 렌즈를 채용하여 스캐닝 리니어 어레이 표시장치의 크기를 축소시키고 성능을 향상시킨 마이크로 집적 렌즈를 채용한 스캐닝 리니어 어레이 표시장치에 관한 것이다. 이를 위한 본 고안은, 복수의 LED 소자로 이루어진 LED 어레이와, 상기 LED 어레이에서 방출된 광을 확대하는 렌즈 수단과, 상기 확대 렌즈를 통과한 광을 스캐닝하는 미러, 및 상기 미러가 확대 렌즈를 통과한 광을 스캐닝하도록 상기 미러를 진동시키는 진동수단을 포함하는 SLA 표시장치에 있어서, 상기 렌즈 수단이 상기 LED 소자와 1:1 대응되는 마이크로 렌즈군을 포함한 마이크로 집적 렌즈를 채용한 SLA 표시장치는, 그 부피, 체적이 적고 그 키기가 작으며, 높은 해상도를 달성하는 마이크로 렌즈군으로 이루어진 마이크로 집적 렌즈를 채용함으로써, SLA 표시장치 전체의 부피와 키기를 줄일 수 있으며, 해상도 성능을 향상시킬 수 있는 이점을 제공한다스캐닝 리니어 어레이표시장치의 크기를 축소하고 성능을 향상시킨 마이크로 직접렌즈를채용한 스캐닝 리니어 어레이 표시장치에 관한 것임
- 보유기관
- 전자부품연구원
- 등록일
- 2001-09-01
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일반기술
전기·전자 > 기타 반도체
본 발명은 액정표시장치에 관한 것으로 특히, 인접한 두 개의 주사라인에 인가되는 구동신호를 제어하여 하나의 데이터 라인으로 그 양쪽의 화소영역에 화상신호를 전달할 수 있게 함으로써 데이터 라인수를 절반으로 줄일 수 있게 하여 고해상도를 유지하면서 생산 코스트를 절감할 수 있게 한 액정표시장치 및 그 구동회로에 관한 것임.●하나의 데이터 라인이 그 좌측과 우측의 두 화소역역에 선택적으로 화상신호를 전달할 수 있으므로 데이터 라인의 수를 절반으로 감소되므로 소오스 드라이버의 수도 절반으로 감소 시킬 수 있음.●소자의 사이즈를 감소시킬 수 있고 동시에 코스트를 절감시킬 수 있음.●동일 사이즈에서 더 많은 화상을 디스플레이 할 수 있으므로 고해상도를 실현 할 수 있음.●관련 권리-해외 출원: 미국,일본,중국,대만,유럽●국내 굴지의 반도체회사에서 기술성 및 사업성 검토후 기술이전 요청
- 보유기관
- (주)네오텍리서치
- 등록일
- 2001-11-23
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