일반기술
전기·전자 > 기타 전자제품
1. 시료에 양전자를 투과시킨 후 양전자소멸시간을 측정하여 시료의 미세구조결함을 분석하는 양전자응용분석장치(양전자응용분석을 위한 각종 모듈을 집적시킨 소형화)2. 입력 공동과 출력 공동의 중앙부를 연결하여 내부에서 전자기파 에너지를 귀환시킴으로써 구조를 단순화시키고 제작이 용이한 초고주파 발생 장치(초고주파 발진관내부를통하여 초고주파 발생 장치의 출력 공동으로부터 입력 공동으로의 귀환 전력을 전달하도록 한 초고주파 발생 장치)3. 전자렌즈에 사용되는 장치(초고주파 에너지를 발생시키는 간단한 구조를 갖는 초고주파 발생 장치)4. 분석하고자 하는 시료 위를 스쳐 지나가는 동안 그 전면에 걸친 결함분석을 할 수 있도록 된 스캐너형 양전자 분석 장치(스캐너형 양전자 분석장치는 스캔 방식이므로 기존의 단층촬영장치보다 사용이 용이하며 시료 전면에 대한 결함분석이 가능)5. 시료에 양전자를 투과시킨 후 양전자가 소멸되는 시간을 측정하여 시료의 미세구조결함을 분석하는 양전자응용 분석장치(원자단위의 극미세한 격자결함을 분석) 6.모더레이터의 일측면을 팁으로 형성하고 모더레이터의 상부 및 하부표면에 금속층을 형성하여 양전자원에서 출력되는 총 양전자수에 대한 얻어지는 저속 양전자의 수를 증가시키는 저속양전자 발생장치7.모더레이터의 일측면을 팁으로 형성하고 이 팁의양측면에 게이트전극을 절연층을 형성하여 양전자원에서 출력되는 총 양전자수에 대한 얻어지는 저속 양전자의 수를 증가시키는 저속 양전자 발생장치8.모더레이터를 팁형태로 제조하여 양전자원에서 출력되는 총 양전자수에 대한 얻어지는 저속 양전자의 수를 증가시키는 저속 양전자 발생1. 양전자응용분석을 위한 각종 장치를 집적시킴으로써 전체 시스템을 소형화시킬 뿐만아니라 이동을 용이하게 하고 한 개의 시료로도 분석 가능(검출기의 예비시이트를 마련하여 시료의 크기가 클 경우에도 분석이 가능)2. 상기 내부 결합기의 출력 공동측 끝 부분에 원형의 도체판을 설치하는 것(상기 내부결합기 주위의 일부에 상기 입력 공동과 출력공동사이의 전자기파 위상차를 조절하는 유전체를 설치(초고주파 발생 장치에 따르면 입력공동과 출력공동의 중앙부를 연결하여 내부에서 전자기파 에너지를 귀환시킴으로써 귀환 전력이 용이하게 전달, 구조를 단순화시키고, 제작을 용이, 제작비용을 절감)3. 제1그리드와 제2그리드이 조합구조에 의해 전자빔이 효과적으로 접속되고 제어되므로, 마그네트가 불필요하며 제2그리드와 애노드가 출력 캐비티를 이루고 제1그리드,캐소드, 쵸크구조몰이 입력캐비티를 이루어 구조가 간단하고 또한 출력캐비티와 입력캐비티가 캐비티상호간에 분리된 구조를 갖고 있어 고조파 및 노이즈에 대해 영향이 적다. 또한 트리밍저항에 의해 제1그리드의 바이어스 전위를 조정하여 초고주파 에너지의 출력을 가변할 수 있다.4. 스캐너형 양전자 발생장치에 의하면 이동과 사용이 용이하며 시료 전면에 대한 분석이 가능5.양전자응용 분석장치에 의하면 양전자의 소멸시간을 측정하여 시료을 분석함으로 전기적으로 취약한 시료의 분석이 가능하고 양전자의 소멸시간이 보통의완전격자의 위치에서 보다 전자밀도가 낮은 공격자점에서 길어진다는 원리에 착안하여 시료를 분석함으로 원자단위의 극미세한 격자결함을 분석6. 저속양전자발생장치는 양전자를 방출하는 양전자원과 상기 양전자원으로부터 양전자를 입사받아 저속 양전자를 강제로 재방출하는 모더레이터와 상기 모더레이터의 상부 및 하부표면에 형성된 금속층과 상기 금속층과 전기장을 형성하여 저속 양전자의 방출을 용이하게 하고 이 방출된 저속 양전자를 가속시키는 가속전극을 포함. 저속양전자 발생장치는 모더레이터를 팁모양으로 제조한후 금속층을 형성하여 양전자원에서 출력되는 총 양전자수에 대한 얻어지는 저속 양전자의 수의 비를 증가시켜 수율을 향상7.저속양전자발생장치는 양전자를 방출하는 양전자원과 상기 양전자원으로부터 양전자를 입사받아저속양전자를 강제로 재방출하고 상부에 다수개의 팁이 형성된 모더레이터와 상기팁의 양측면에 전기전도성이 없는 부도체로 형성된 절연층과 상기절연층 상부에 형성되고 상기 팁으로부터 상기저속양전자의 방출을 용이하게 하는 게이트 전극과 상기 모더레이터와 전기장을 형성하여 방출된 저속 양전자를 가속시키는 가속전극을 포함. 저속 양전자 발생장치의 모더레이터를 팁모양을 형성한 후 이 팁의 양측면에 게이트전극을 갖는 절연층을 형성하여 양전자원에서 출력되는 총 양전자수에 대한 얻어지는 저속 양전자의 수의 비를 증가시켜 수율을 향상8.저속양전자발생장치를 팁모양으로 형성하여 양전자원에서 출력되는 총 양전자수에 해단 얻어지는 저속양전자의 수의 비를 증가시켜 수율을 향상
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- 고등기술연구원연구조합(사)
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- 2002-05-14
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일반기술
전기·전자 > 기타 산업용 전기전자
오늘날 전파 천문학이 이룩한 첨단 기기공학의 노하우를 바탕으로 우주 전파 검출과 분석분야에 쓰이는 테크놀러지를 상용화 함으로써 우주 전파 수신 분야, 위성 방송, CATV 분야, 전파 감시, 추적 분야, 정밀 계측장비 분야, RF 부품 분야, 공정 감시 제어 분야 등 궁극적으로 우주 전파와 전자, 통신 분야의 시스템 및 부품의 연구, 개발로 이 분야의 최고의 기술과 경쟁력을 강화시킨다 이학 및 공학 연구 기자재 분야 : 전문적인 연구 목적으로 진행되는 프로젝트에서 사용되는 전용의 장비의 개발 용역이나 생산 납품- 생화학 분야의 원소의 함유량이나 종류를 분석하는 장비- RF부분의 공동 연구 분야- 오존층 감시 등의 전파를 이용하는 분야 전파 감시 및 추적 분야 : 각종 전파의 신호 강도 측정, 각각의 전파 점유 대역폭, 스퓨리어스 신호 방사 강도, 방해전파 및 불법 전파원 추적 등을 위한 설비의 개선 및 제작 가능- 각종 통신, 방송 등의 실시간 전파 감시 시스템 개발- 전파망을 이용한 탄도 추적 시스템 개발- 현재 사용중인 위성 중계소의 수신 품질 개선- 항공 관제 설비중 레이더 신호의 검출 및 분석 장비 개발 및 개선 위성방송, CATV 분야 : 위성방송에 필요한 안테나, 수신기와 각종 전파 측정 설비와 CATV에 필요한 망관리 설비중 각종 신호 검출용 분석기의 개선 및 제작- 안테나, Feed Horn과 LNB개발- 휴대용 또는 차량 탑재용 전계 강도 측정기 개발- 망 관리용 저가 스펙트럼 분석기 개발- 현재 사용중인 HFC 중계기의 성능 개발 공정 감시, 제어 분야 : 중 소규모 공정 라인의 자동화, 연구실내 테스트 공정의자료 획득 및 제어용- Linux 환경의 HMI Software- PC 기반의 Analog, Digital I/O Card- 쉽고 빠른 데이터베이스 편집과 범용 Interface 채택 기타 : 각종 일반적인 계측기, 설비 분야의 업무- FFT 또는 Swept Filtering 방식의 스펙트럼 분석기 개발- 극 저온의 냉각 설비 개발 (GM-JT 사이클 이용)- 제어용 ASIC 개발
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- 2002-05-14
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일반기술
전기·전자 > 기타 전자제품
투명전도막 필름과 배면전극 사이에 형광층, 절연층을 순차적으로 형성시켜 발광층을 이루고, 발광시트를 보호하기 위해 절연층과 배면전극사이에 카본 보호막을 삽입한 구조로 이루어진 평면형태의 면발광체이다. 형광체로 구성된 발공층에 교류전압을 인가하면 형광체내의 고전계 부분에 의하여 전자가 가속되어 고 에너지 전자가 발생된 들뜬【여기】상태가 된다. 여기상태는 전계의 방향이 변할 때마다 얻어지기 때문에 교류전압을 인가하면 한 주기동안 두 번 발광한다. 투명전극과 배면전극 사이에 전압이 흐르게 되어 임계전압을 넘게되면 절연체와 형광체의 한쪽 계면에 존재하는 전자들이 형광체 내부로 tunnelling되면서 매우 강한 형광체 내부의 전계로부터 큰 운동에너지를 얻게 된다. 이 고에너지 전자들은 형광체 내부에 주입된 발광원자와 충돌하여 발광원자의 전자들을 여기시키고 여기된 전자들이 다시 저 준위로 떨어지면서 빛을 발생시킨다. 충돌 후에 전자들은 다른쪽 계면에 포획되며 반대 극성의 신호가 인가되면 이미 계면에 포획된 전자들이 다시 형광체 내부로 tunnelling하면서 빛을 발생시킨다.옥외광고시장에서 소비되는 형광등이 최소 2백만개 이상 일반 폐기물로 처리되고 있으며 이때 나오는 수은에 의한 여러가지 문제점을 야기시키고 있는데 비해 EL Sheet는 환경친화적인 최첨단 신소재로서 정부차원에서도 적극 권장할 만한 광고 신소재이며, 220㎛미만의 초박형 평면에 균일한 발광을 할 수 있으며, 유연한 가공(곡면, 비정형)을 할 수 있다. 광고판에 사용되는 형광등이나, 네온 대비 70～80%의 전력 소비를 절감할 수 있으며, 동작전압 AC 40～200Vrms, 동작주파수 400Hz～1KHz, 동작온도 -35～70℃, 수명 3,000～5,000 시간으로 저전압, 저온에서도 동작되어 유연한 활용성과 유지, 보수비를 절감할 수 있고 기존 광고판의 후렉스는 배면조명의 전달의 개념이었으나 이플렉스(e-flex)는 자체발광으로 디스플레이의 개념과 발광시트의 역할을 동시에 수행하며, 16가지 다양한 색상으로 응용력이 뛰어나다.가볍고, 견고하며 진동과 충격, 방습방수력도 뛰어나며 특수처리된 수지필름을 사용하여 마일드한 빛을 내며, 기존 광고판의 광원이 장파장의 광원이라서 눈의 피로감이 심하나, EL Sheet는 단파장의 빛을 발광하므로 피로감이 없으며 시각적 효과 또한 우수하다. 전기장에 의한 고체 평면 발광체로 발광시 발열이 전혀 없어 여유공간 확보가 불필요하며 과열로 인한 누전, 화재의 위험성이 없는 비발열식 광원이며 유연한 가공으로 자유로운 표현 가능, 70～80%의 획기적인 전력소비 절감, 반영구적, 표면전체가 균일 발광되며 눈의 피로 최소화 및 어느 곳에 설치하더라도 안전하다
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- 한국테크노마트(사)
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- 2002-05-14
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일반기술
전기·전자 > 영상·음향기기
-해상도 및 밝기 기존 LCD보다 2배이상.. 값은 절반수준-본 LCD 프로젝션 모니터는 광원으로 LED를 채택하여 자연광에 가깝고, 수명이 반 영구적일 뿐만 아니라 발열이 없어 별도의 부가장치가 필요하지 않아 저전압 저소비 전력을 구현하는 새로운 개념의 차세대 모니터이다. 세계 최초로 개발한 본 LPM은 전자공학과 광학을 접목시킨 광전자 공학적 기술의 개가로서, 세계에서도 유래가 없는 신기술이다.Digital방송에 발맞추어 모니터 화면을 Wide(16:9)화면으로 디지털 TV수신 모듈을 내장하고 있어 컴퓨터 모니터 뿐만 아니라 Digital TV시청은 물론 DVD, VTR, VCR 등에 연결하여 영화관람, 뮤직비디오 등을 감상할 수 있는 다기능의 최첨단 모니터이다.LPM은 LCD PROJECTION MONITOR의 약자로서,LED램프, 반도체레이저 등의 광원을 사용하여 투과형 LCD나 반사형 LCD에 투과 또는 반사시켜 영상을 재현시킨 모니터로서 기존 CRT 모니터와 LCD 모니터의 단점들을 보완하고 장점만을 부각시킨 새로운 방식의모니터 제품으로 두께가 얇고 소비전력이 적으며 자계의 영향을 받지 않는다. 또한 발열이 적고, 유해전자파가 발생하지 안으며 저렴한 가격의 범용 모니터(컴퓨터 모니터, TV, DVD, VTR, VCR 등)을 들 수 있다.
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- 한국테크노마트(사)
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- 2002-05-14
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일반기술
전기·전자 > 기타 전자제품
세라믹 공진자는 전체 세라믹 부품시장에서 필수적으로 소요되는 부품으로 써 국내에도 세라믹재료를 통한 여러가지 특성 향상 및 가격 경쟁력 확보를 위한 연구가 많이 수행되고 있으나 여러가지로 미비한 수준이다. 그러나 시장규모를 감안할 때 기술력 향상이 크게 요구되고 있는 상태이며 양산화에 있어서의 품질 유지 및 단가 감소 등의 실질적인 문제를 해결하는 것이 큰 관건이다.세라믹 공진자는 고기술력과 자동생산 시스템으로써 고품질과 경쟁력있는 가격으로 생산되고 있다. 세라믹 공진자는 –40C ~ +125C에서 작동하며 원격제어유지나 심지어는 자동추진으로써 사용이 가능하다
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- 한국산업기술진흥원
- 등록일
- 2002-05-15
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일반기술
전기·전자 > 기타 전자제품
◎ 도광판 측면의 CCFL에서 나온 빛이 전반사되어 내부로 전달. 도광판 하부의 산란패턴을 만나면 산란되어 상부로 방출.◎ 2변 4등식은 선대칭으로 도광판의 반쪽에 대하여 설계 가능. 한 방향으로만 광이 마주 진행하므로 상대적으로 설계용이. 그러나 한 변에 광원이 두개씩 위치 하므로, 두께가 두껍다.◎ 4변 4등식은 모든 방향으로 광이 교차되어 진행하므로 패턴 설계가 쉽지 않은 반면, 한변에 광원이 하나씩 위치하므로 두께를 반으로 감소 가능.◎ 두께가 얇아지면 광원의 빛을 더 효율적으로 사용할 수 있어 휘도를 다소 증가시킬 수 있는 반면, 길이 방향으로 패턴 변화가 심하여져서 패턴설계가 쉽지 않다. ◎ 얇은 두께에 4변4등식 광원을 사용함으로써, 패턴설계는 어려워지는 반면, 휘도의 세기는 증가한다.패턴설계는 핵심보유기술을 이용하여 1-2회 반복설계로 가능함.◎ 14인치 모니터용 LCD 샘플 : 3mm 두께 도광판 4변4등식 패턴 적용 -> 5,000 Cd/m2 고휘도,6mm 두께 도광판 4변8등식 패턴 적용 ->10,000 Cd/m2 고휘도.◎ 508mm 406mm 5mm 사이즈의 광고용 라이트판넬 :보급형(2변2등식) : 휘도 600 Cd/m2 (타사 제품 200-400 Cd/m2)균일도 85% (타사 제품 50-70%)고급형(4변4등식) : 휘도 2,000 Cd/m2 (타사 제품 200-400 Cd/m2)균일도 85% (타사 제품 50-70%)국내 독자 기술에 의한 도광판 설계 기법 개발하여 시제품 및 양산제품 개발 적용 및 검증 완료 하였다. 유연하고 탄력적인 설계 기법 (생산설비 별 오차 및 특성 대응 용이)으로써 양산 적용 용이 (설계 수정에 대한 대응 속도가 빠르고, 부분 수정 용이)하며 일본 대비 우수성 입증 (기존 5개 업체 양산제품 적용 및 판정 결과) 되었고 모든 형태의 전반사형 도광판에 대한 확장 및 적용 용이하다.
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- 한국테크노마트(사)
- 등록일
- 2002-05-15
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일반기술
전기·전자 > 생활가전기기 (F43)
안정기에는 크게 자기식과 전자식이 있으며, 전자는 철심에 동선을 권선한 철심쵸크 또는 변압기 형태로, 역률개선 또는 잡음방지 등을 위한 콘덴서나 저항 등으로 구성된 것이다. 즉 동선에 코일을 감은 간단한 구조라고 할 수 있다. 전자식 안정기는 자기식 안정기의 일부 또는 전부를 반도체 회로로 치환하여 교류 60Hz의 전원을 20~50Hz의 고주파로 변환한 후 램프전원으로 사용, 회로손실을 감소하고 램프 발광효율의 향상에 따라 에너지 절약 및 소형 경량화가 가능하도록 한 안정기 이다.안정기 하나로 여러 개의 형광램프를 제어 할 수 있으며, 고주파 점등을 하므로 프리커 현상이 없다. 이로인해 형광램프의 발광효율이 증대되는데, 형광램프의 끝 부분이 검게되는 흑화현상도 자연히 줄어들게 된며 연간 35~44%의 에너지 절감하는 효과도 가져온다. 전자식 안정기는 다소 비싸지만, 이 부분은 전기료 절감으로 극복될 수 있으며 형광램프의 수명이 두 배 이상 길어지는 것으로 보고 되고 있으며, 그 외에도 소음이 적고 점등주파수가 높아 상원전원의 잡음이 없고 50/60Hz의 주파수의 공용이 가능하다.
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- 한국테크노마트(사)
- 등록일
- 2002-05-15
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일반기술
전기·전자 > 기타 반도체
주)석경 에이ㆍ티는 1994년 12월 석경화학으로 출발하여 지난 7년간 Nano Particle에 대한 연구개발을 중점적으로 실시하여 온 무기물 초미립자 생산업체로서 지금까지는 그다지 알려지지 않았던 Display용 정밀화학재료와 전자부품용 Ceramic 원료분말 등 고기능성 Sol 및 Powder 생산은 물론 새로운 용도개발을 위한 신상품에 관한 연구개발 및 이를 이용한 원료 및 제품 전문생산업체로의 도약을 추진하고 있다.본 기술은 고기능성 Silica Sol 및 Powder를 제조하는 기술로서 유기금속화합물을 원료로하여 구형의 미립자를 생성시켜 Silica Sol을 만들고, 이 Sol을 건조함으로써 Silica Powder를 제조하는 기술이다. 핵심적 기술로서는 핵(Seed) 생성기술 및 입자성장기술, 무기 Binder 배합기술, Sol 용매치환기술, 입자 응용기술, 굴졀율조절 기술, Powder 표면개질 기술 등이다. NANO Technology를 이용한 무기물 초미립자 생산공정으로서 Display용 전자부품 및 전자부품용 Ceramic 원료분말의 합성, 생산 및 새로운 market으로의 적용이 가능한 특징을 지니고 있다. 특히 Seed generation 및 Seed growth, binder formulation, Sol-gel exchange 등의 분야에서 우수한 기술이다. 또한, Parxzle의 표면 Coating에 의한 표면 특성의 활성화 등으로 새로운 파생 기술의 가능성이 있으며, 유기 및 무기안료 분산체의 Display사업으로 적용할 수 있고 외국 수입소재의 매체효과 및 국산화 및 가격경쟁력을 갖출 것으로 기대된다. 또한, 표면코팅 등 광학특성의 변화로 인한 응용분야도 새로운 시장으로의 가능성이 많은 기술이다.
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- 특허법인충정
- 등록일
- 2002-05-15
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일반기술
전기·전자 > 소자응용 기술
인터넷 접속기능을 갖춘 각종 인터넷 기기(Internet Appliance)에 필수적으로 사용되는 핵심 요소 기술로서 네트웍 카메라, DVR, 웹비데오폰(Web Video Phone), 인터넷 TV, 인터넷 게임기, 인터넷 DVD, 웹패드, 인터넷 냉장고등 인터넷 접속을 필요로 하는 모든 정보단말기기에 사용할 수 있도록 하였다.임베디드 시스템은 내장형 시스템으로서 하나의 작은 보드에 운영체제가 통째로 들어가서 완제품속에 들어있는 작은 컴퓨터 역할을 하는 것으로 모바일 시스템에서부터 가전제품, 산업용 기기까지 그 적용분야가 다양하다. 기기들이 인터넷에 연결된다면, 많은 서비스를 제공 할 수 있으며 비단 인터넷의 분야가 아니라도 일반컴퓨터가 할 수 있는 능력을 완제품 속에 작은 보드 하나를 탑재함으로써 가능하게 하는 임베디드 기술이다
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- 한국테크노마트(사)
- 등록일
- 2002-05-15
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일반기술
전기·전자 > 기타 전자제품
니켈-수소와 니켈-카드뮴 전지는 전지의 특성이 우수함에도 불구하고, 여러 개의 단위전지를 사용하는 기기에서 제 수명과 성능을 다하지 못해 왔다. 그 원인을 살펴보면, 이들 전지의 공칭전압이 낮아 일정한 전압을 만들고자 한다면, 다른 전지를 사용할 때 보다 단위전지의 개수가 늘어나 단위전지의 위치에너지의 양이 쉽게 불균등해저 용량이 쉽게 감소하고 수명도 짧아진다. 이러한 문제점을 해결하기 위해서 전지를 구성하는 단위 전지들 사이의 위치에너지의 양을 효과적으로 쉽게 균등화 시킬수 있는 방법을 고안하여 전지의 개수에 상관없이 전지의 용량과 수명을 극대화 시켰다.니카드(Ni-Cd)전지는 휴대폰, 노트북 등에 쓰이는 충전용 건전지로서 리튬이온전지보다는 덜 알려진 편이지만 짧은 시간에 고출력을 낼수 있어 무전기, 무선전화기, 방송기기, 전철, 군수장비 등 많은 전지기기에 사용되고 있다. 그러나 묶음으로써 사용되어 왔기 때문에 수명의 10%도 다 못쓰고 버려져 막대한 경제적, 환경적 손실을 발생 시키고 있는데, 니카드 전지의 재활용 기술의 개발로 일반 사용자들에게 많은 경제적 이익을 제공하고 국가적 외화낭비를 줄일 수 있다.
- 보유기관
- 한국테크노마트(사)
- 등록일
- 2002-05-15
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일반기술
전기·전자 > 기타 전자제품
본 기술은 광원으로 바륨을 사용해 가시 광선을 방출하는 장치이다. 이 기술은 백색광을 만드는데 효율적이며, 전력소비량을 줄일 수 있다. 현재 사용되는 조명등은 형광등과 고압 나트륨램프와 백열등이다. 백열등은 백색광이 쓸만하지만 저압 나트륨의 빛보다 효율이 10분의 1에 지나지 않는다. 형광등은 수은을 함유하고 있다는 문제점이 있는데 이는 우리가 잘 알고 있는 생체에 누적되는 유해물질이다. 이 기술은 백색광의 광원을 제공하는 장치에 관한 것이며 바륨원소와 버퍼충전 가스가 있는 배출용기로 이루어져 있다.바륨 Discharge는 단색의 589nm 나트륨 램프보다 30% 더 효율적이다.바륨의 백색광의 특성은 저압나트륨램프 또는 고압의 수은등보다 낫다.바륨은 직접조명에서 좋은 공명파장을 가진다.바륨 방전은 이온화 에너지의 절반보다 덜한 여기상태를 가지는 가시광선을 방출한다.중성 바륨원자와 바륨 이온의 혼합은 실질적으로 백색으로 지각되는 빛을 만든다.가시광선의 방전과 색의 색조를 수정하기 위해 온도와 출력을 조정할 수 있다.방전용기에 있는 충전가스는 수은증기가 없으며 이는 수은처리 문제에 고심할 필요가 없게 만든다.
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- 대일기업평가원
- 등록일
- 2002-05-16
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일반기술
전기·전자 > 기타 반도체
본 기술은 게이트 폭이 30nm 이하인 나노소자를 제조하기 위한 고해상도 리도그래피(lithography)이다. 리도그래피 공정은 웨이퍼에 이미지를 투영하고, 이 이미지는 칩의 속도를 결정하는 폭을 가지는데 이용된다. 예로 펜티엄3과 펜티엄4 칩은 명목상 약 180nm와 120nm의 노드 사이즈를 가지고 있다. 거기에는 더 작은 모양을 만들지 못하는 몇 가지 제약이 있는데 그중 하나는 회절이다. 회절은 마스크에 있는 모양보다 더 크게 칩에 모양이 생성되는 원인이 되는 리도그래피 공정의 불필요한 부작용이다. PSM(phase shifting mask)을 포함해서 회절 효과를 최소화 할려고 많은 기술들이 채용되었는데 PSM은 회절을 최소화 하기 위해 위상 차이를 조정한다. 그러나 더 작은 파장을 가진 X 레이와 함께 PSM은 1차원적인 해상도의 강화만 가져올 뿐이었다. 이 기술은 소자 게이트 폭과 같이 1차원적인 모양뿐만 아니라 접촉홀(contact hole) 또는 vias 같은 2차원적인 패턴에도 사용되는 깨끗한 위성 이동 마스크를 제공한다. 특히 개개의 에지와 결합하고 있는 bright-peak 사이에 일어나는 간섭같은 두 개의 인접 위상 이동 에지(edge)를 위치시켜 회절을 최소화하고 인텐서티(intensity)를 세게한다.마이크로프로세서 같은 저밀도 초소형회로를 위한 1차원,2차원 패턴 이미징에 적합하다.프린트된 웨이퍼의 모양은 마스크 모양 보다 작다.마스크와 웨이퍼사이 틈의 구속이 적어진다.이 공정은 intensity를 강화하고 positive resist가 덜 민감해도 된다.
- 보유기관
- 대일기업평가원
- 등록일
- 2003-01-27
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일반기술
전기·전자 > 시험측정 기술 (B63)
본 측정장치의 기술개발의 내용은 반도체 웨이퍼 절삭용 dicing blade의 두께 및 직경과 그 각각의 Runout을 360도 회전하면서 연속적으로 정밀 측정할 수 있는 측정부, dicing blade를 정밀 회전시키는 구동부 및 측정 자동화를 위한 측정시스템 제어부로 구성되어 있다. 측정부의 경우, 두께의 반복 측정정밀도는 ±1.0㎛, 직경의 반복 측정정밀도는 ± 0.5㎛이며 측정속도는 시간당 100개를 측정할 수 있도록 하였다. 구동부의 경우, dicing blade를 정밀 회전시키기 위하여 에어베어링 및 정밀 지그를 사용하여 측정 오차의 요인을 감소시켰다.본 측정장치의 특징은 측정부 및 구동부의 제어 및 측정 데이터의 처리를 수행하는 전용 소프트웨어를 개발하여 측정 과정을 자동화하였으며 교정 게이지를 이용하여 센서의 교정을 할 수 있는 기능이 있다. 또한 두께 센서의 경우, 고가의 특수한 레이저빔 센서를 사용하는 외국산 측정장치보다 가격은 저렴하지만 측정 정밀도는 우수한 초소형 정전용량형 센서를 사용하여 차별화된 특징이 있다. 본 측정장치의 기술개발의 효과로서는 측정속도가 시간당 100개를 정밀 측정할 수 있으므로 전수검사가 가능하고 생산성 향상, 제품의 품질 관리 및 품질 개선에 기여할 수 있으며, 측정 결과를 내수 및 수출에 필수적으로 포함되는 제품 성적서 작성에 사용할 수 있다. 국내에서는 본 측정장치와 유사한 측정 성능을 가진 장비를 개발한 적이 없으며, 특수 레이저빔 센서를 사용하는 유사 성능의 외국산 장비와 비교하여 개발 가격이 1/2이하이므로 수입대체 효과가 클 것으로 기대된다.
- 보유기관
- 한국기계연구원
- 등록일
- 2002-05-16
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일반기술
전기·전자 > 기타 반도체
화학적으로 증폭된 포토레지스트의 이미징 acids법은 산 의존 fluorophore로 이루어진 화학폭된 포토레지스트를 방사선에 노출시키는 것을 포함한다. 예를 들어 자외선 같은 방사선에 노출해 화학증폭 포토레지스트는 산을 생산하고 이것은 산 의존 fluorophore 의 형광에 의해 가시화된다. 이런 식으로 포토레지스터의 산의 위치를 알 수 있는 맵을 제공한다. 레지스트요소를 굽기 전에 먼저 이미지들이 보이게 된다. 산 의존 fluorophore를 이루는 화학 증폭 포토레지스트는 이 기술의 실용화에 유용하다. 이 방법은 포토액시드 제너레이터의 효율을 조사하는데 특별히 사용되고 포토 레지스트 안에 발생된 산의 양을 직접 조사할 수 있게 해준다.포토레지스트속의 산의 양 직접 측정 가능하다.
- 보유기관
- 대일기업평가원
- 등록일
- 2003-01-27
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일반기술
전기·전자 > 집적회로설계 기술 (B63)
본 기술은 다층 미세 구조의 제작을 위해 X-ray 마스크와 디바이스 기판사이에 정밀한 얼라인먼트를 위한 공정이다. 기판 위의 첫 번째 포토레지스트층은 첫 번째 미세구조층의 패턴을 따라 X-ray 마스크에 의해서 첫 번째 얼라인먼트 홀을 포함하게 패턴화 된다. 포토레지스트 레이어 마스크는 미세구조 디바이스 기판에 붙여지는 부가적인 포토레지스트층을 패턴화 하기 위해 사용되는 두 번째 마스크에 붙여진다. 마스크 포토레지스트층은 디바이스 기판 위에 첫 번째 포토레지스트층에 있는 얼라인먼트 홀에 대해 기하학적으로 맞아들어가는 마스크 얼라인먼트 홀을 포함하게 형성된다. 두 번째 마스크와 첫 번째 포토레지스트층 사이의 얼라인먼트는 첫 번째 포토레지스트층에 있는 두 번째 마스크의 조합에 의해 만들어진다. 이는 마스크 포토레지스트층에 있는 마스크 얼라인먼트 홀을 통과하는 첫 번째 포토레지스트층에 있는 첫 번째 얼라인먼트 홀에 위치한 얼라인먼트 post를 이용한다. 얼라인먼트 공정은 특별히 Deep X-ray 리소그래피와 전기도금을 사용하는 다층 금속 미세구조 제조에 적용 가능하다. 이 얼라인먼트 공정은 얼라인먼트 post를 이용해서 합쳐진 서브시퀀트 마스크와 첫 번째 포토레지스트 사이의 spacer 포토레지스트 시트를 사용한 더 큰 디바이스 길이와 다중의 포토레지스크층까지 확장될 수 있다.다층의 미세 구조 제작에 사용 가능하다.긴 spacer 포토레지스트 시트에까지 적용 가능하다.
- 보유기관
- 대일기업평가원
- 등록일
- 2002-05-16
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일반기술
전기·전자 > 기타 반도체
미세구조형식에서 형성된 PMMA(polymethylmethacrylate) 같은 포토레지스트 시트는 변형이 없다. 이것은 원하는 두께로 기판에 앞뒤로 붙여서 제작된다. 이 포토레지스트는 마스크를 통해서 X-레이 같은 방사능에 노출시켜 만들어지고 민감하다고 알려진 포토레지스트소재를 제거해서 만들어진다. 미세 금속 구조는 포토레지스트가 제거된 영역에서 전기도금에 의해 형성된다. 포토레지스트 그 자신은 유효한 미세 구조를 형성하고 포토레지스트에 영향을 받지 않는 제거제로 사용해 제거할 수 있는 시트와 기판사이의 릴리즈층(release layer)을 이용해서 기판으로부터 제거된다. 형성된 포토레지스트의 다중층은 복잡한 3차원 미세구조로 만든다.포토레지스트 내의 매우 작은 내부 변형은 더 두꺼운 포토레지스트 구조를 만들게 한다.자유로운 구조를 생산할 수 있다.모든 3차원에서 다양한 모양을 가질 수 있는 전해석출법(electrodeposition)에 의한 금속구조를 생산할 수 있다.
- 보유기관
- 대일기업평가원
- 등록일
- 2003-01-27
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일반기술
전기·전자 > 기타 반도체
실질적인 임의의 삼차원 모양을 생산할 수 있는 다중 마스크 토울을 이용한 초소형 차원으로 복잡한 금속구조가 형성된다. 첫째금속의 첫 번째 층은 포토레지스트에 빈자리를 채우기 위한 노출된 도금판의 기초위에 전기도금 된다. 이 포토레지스트는 제거되고 두 번째 금속은 sacrificial 금속을 이루는데 첫 번째 층과 도금판 기초위에 전기 도금된다. 적층된 두 번째 금속의 노출면은 실질적으로 프라이머리와 세컨드리 금속 양쪽에 교차하여 연장된 평평하고 균일한 표면을 생산하기 위해 첫 번째 금속에 노출된 높이에 그 다음 기계에 걸린다. 프라이머리 금속에 세컨드리 금속에 의해서 제공된 역학적 안정성 때문에 프라이머리와 세컨드리 금속의 기계가공을 세컨드리 금속이 용이하게 하다. 프라이머리와 세컨드리 금속의 첫 번째 층이 가공되고 난 다음에 다른 포토레지스층이 프라이머리와 세컨드리 금속위에 적용되고 프라이머리 금속의 두 번째층은 전기 도금된다. 세컨드리 금속의 그이상의 층은 원하면 더 전기도금 될 수 있다. 원하는 구조가 형성될 때까지 전기도금과 가공의 과정이 되풀이된다. 세컨드리 금속은 프라이머리 금속을 에칭하지 않는 etchant에 의해 제거된다.완전히 또는 부분적으로 접착된 완전한 자유 금속 구조의 제조가 가능하다.거의 임의의 삼차원구조를 제조할 수 있다.할로우 튜브나 브리지 같은 복잡한 구조를 포함해서 금속을 이루는 초소형의 구조를 형성하는데 유용하고 수력이나 공기력적인 최소 디바이스에도 유용하다.
- 보유기관
- 대일기업평가원
- 등록일
- 2002-05-16
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일반기술
전기·전자 > 기타 반도체
X-레이 리소그래피 빔라인 기구는 포토리소크래피에서 미세 구조 스케일을 위해 X-레이를 유도하는 수단이다. 일정한 power distribution이 필수인 그런 작업의 섬세함은 산업에 있어서 X-레이 리소그래피의 실제적인 적용에 있어서 약점이다. 빔라인 기구는 -레이 소스로서 싱크로트론과 X-레이를 모으고 초점을 맞추는 두 개의 거울과 높고 낮은 X-레이의 에너지를 통제하기 위한 몇 개의 필터로 이루어져 있다. X-레이 리소그래피는 실리콘웨이퍼와 마이크로 전자공학의 전기회로의 제조업을 위해 보다 더 섬세한 도구를 제공한다.싱크로트론은 원하는 방사선의 어떤 주파수라도 맞출 수 있다.모듈의 광시스템은 사용자 환경으로 조절가능하고 2x1 면적의 타겟을 쓸 수 있다.각각의 요소가 진공의 체임버에 있으므로 모듈의 광 시스템이 더 쉽게 유지된다.평행광을 만드는 거울에 X-레이 각도을 조정하는 필터는 X-레이 리소그래피에서 일정한 power를 제공하는데 도움이 된다.
- 보유기관
- 대일기업평가원
- 등록일
- 2003-01-27
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일반기술
전기·전자 > 기타 산업용 전기전자
공초점(confocal, 초점을 공유)현미경 같은 광학현미경의 스캐닝은 살아있는 세포를 보거나 다른 생물학적 구조를 조사하기 위해서 그 중요성이 날로 증가하고 있다. GFP(green fluorescent protein) 같은 형광 분자를 이용하면 형광 현미경 스캐닝을 사용한 세포와 세포 구조의 위치를 결정하거나 추적하고 그 차이를 조사하는게 가능해진다. 살아있는 표본을 연구하는데 가장 좋은 현미경은 다중양자 여기 형광 레이저 스캐닝 현미경(MPELSM:multi-photon excitation fluorescence laser-scanning microscope)이다. 왜냐하면 다른 것 보다 덜 phototoxic(광독성)하기 때문이다. 현재 사용되는 상업적인 MPELSM의 약점은 장비에 비용이 너무 많이 든다는 것이다. 이 기술은 하나 또는 여러 개의 fluorophores 타입을 포함하는 견본을 분석하기 위한 다중광자 분광 이미징에 아주 적합한 분광 현미경 시스템이다. 이 현미경은 시스템의 사이의 통제를 통합해서 제어하고 디지털 구성요소를 이용하기 때문에 현재 사용하는 MPELSM보다 비용이 훨씬 적게 든다.다양하고 내부에서 발생되는 fluorophore 가 사용될 때, 배경작음이 있는 곳에서도 높은 정확성으로 원하는 신호를 잡을 수 있다.fluorophore 신호를 분리하기 위한 비싸고 복잡한 필터가 필요 업다.살아있는 견본의 실시간 분석이 용이하다.여기된 빛에 노출된 Fluorophore는 적당한 수준으로 유지된다.연속적인 형광수명 이미징(fluorescence lifetime imaging)을 수행한다.매우 높은 광자수의 비율이 가능하다.공초점 현미경과 비교해서 3배나 많은 방출된 형광광자를 사용할수 있다.
- 보유기관
- 대일기업평가원
- 등록일
- 2002-05-16
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일반기술
전기·전자 > 기타 반도체
광촉매의 활성을 시킬수 있는 자외선 영역의 발광 다이오드 개발본상품은 350nm 의 파장의 자외선 LED Lamp로서 GaN 화합물반도체 칩 및 Viewing angle 30°를 갖는 자외선 투과 에폭시 몰딩으로 이루어진 자외선 LED Lamp이다. 정전류 20mA에서 정전압은 평균 3.6V이고 약 40㎼의 광출력 을 가진다. 이 제품은 TiO2등의 광촉매 코팅하므로써 광촉매를 활성화시켜 NO나 CO등의 유해물질을 안정한 물질로 변환시키는 작용을 한다.이러한 작용을 응용하여 환경오염 방지 제품(공기정화기, 정수기)등에 사용할 수 있다. 또한 자외선 Lamp는 의료분야, 화학분야, 각종 검사기 등에 사용될 수 있다.
- 보유기관
- (재)충남테크노파크
- 등록일
- 2002-05-17
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