일반기술
전기·전자 > 반도체 공정 (B63)
본 기술은 질화갈륨을 이용한 고안정성 가스센서 및 제조방법에 관한 것으로, 사파이어기판 전면에 형성된 단결정 질화갈륨과, 질화갈륨 위에 마스크를 이용하여 부분적으로 형성한 전극과, 전극이 형성되지 않은 질화갈륨 위에 증착된 촉매와, 사파이어기판 뒷면에 티탄과 백금을 차례로 형성시켜 제작된 히터를 포함하여 구성됨을 특징으로 하여, 질화갈륨을 이용한 고안정성 가스센서 및 제조방법을 적용하면, 모재로 사용하는 화합물 반도체인 질화갈륨은 질화갈륨의 소재 특성인 갈륨원자의 결핍으로 인해 n형 반도체가 형성되어, 종래의 산화물 반도체에 비하여 안정성이 월등히 뛰어나고 또한 전도도 변화요인이 되는 환경 인자 즉, 가스 등의 원상복귀에 따른 전기 전도도 값의 복귀성이 뛰어나고 이들 성질로 인한 특성의 불안정성의 문제를 아울러 해결한 형태로 신뢰성 있는 첨단 가스센서에 관한 것이다.- 질화갈륨을 이용한 고안정성 가스센서 및 제조방법을 적용하면, 모재로 사용하는 화합물 반도체인 질화갈륨은 질화갈륨의 소재 특성인 갈륨(Ga)원자의 결핍으로 인해 n형 반도체가 형성되어, 종래의 산화물 반도체에 비하여 안정성이 월등히 뛰어남,- 전도도 변화요인이 되는 환경 인자 즉, 가스 등의 원상복귀에 따른 전기 전도도 값의 복귀성이 뛰어나고 이들 성질로 인한 특성의 불안정성의 문제를 아울러 해결한 형태로 신뢰성 있는 첨단 가스센서의 구현을 할 수 있음.
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- 대일기업평가원
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- 2004-03-26
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일반기술
전기·전자 > 반도체 공정 (B63)
본 기술은 센서 기술에 관한 것으로, 반도체형 가스센서 기술에 관한 것이다. 본 기술은 촉매제가 균일하게 첨가된 SnO2계 감지막을 얻을 수 있는 반도체형 가스센서용 감지막 형성방법을 제공하고, 반도체형 가스센서의 사이즈를 줄이고 제조 공정을 간소화할 수 있는 반도체형 가스센서 어레이를 제공하며, 목적을 달성하기 위한 기술은 반도체형 가스센서용 감지막 형성방법에 있어서, 기판 상에 주석 박막을 형성하는 단계, 주석 박막 상에 촉매제 박막을 형성하는 단계, 주석 박막 촉매체 박막을 열산화하여 촉매제가 첨가된 산화주석 박막을 형성하는 단계를 포함하는 반도체형 가스센서용 감지막 형성방법에 관한 것이다.- 구성된 종래의 가스센서 어레이는 다양한 종류의 감지막(10)을 기판 상에 집적하기 위한 공정이 복잡한 단점이 있으며, 가스센서의 사이즈가 큰 단점이 있으나, 본 기술은 가스센서의 감응도를 높이고, 센서 시스템의 크기를 축소하고, 제조 공정을 단순화할 수 있어 고기능 저가의 전자후각 모듈의 양산을 가능하게 하는 효과가 있음.- 인간의 오감을 대체 하는 센서 시스템 중 가장 뒤쳐진 부분이 인각의 후각을 모방하는 시스템임
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- 대일기업평가원
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- 2004-03-26
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일반기술
전기·전자 > 반도체 공정 (B63)
본 기술은 후막형 반도체 가스 센서어레이 및 그 제조방법에 관한 것이다.본 기술은 백금페이스트를 이용해서 알루미나기판의 앞면에다 실크 스크린프린팅하여 다수의 전극을 형성함과 더불어 알루미나기판의 뒷면에는 히터를 형성시켜 800℃∼1200℃로 5분 내지 30분 정도 열처리 하고, 전극 상에 실크 스크린프린팅으로 다수의 감지물질을 형성한후 100℃에서 1시간 건조시킨 다음 700℃내지 900℃로 1시간 내지 4시간 범위에서 열처리 하며, 은페이스트를 이용하여 핀을 각 전극에다 고정시켜 상온에서 24시간 건조시킨 후 100℃내지 300℃에서 1시간 내지 3시간 동안 열처리하여 센서를 제조하는 방법에 관한 것이다.- 단일 가스센서가 갖고 있는 다른 종류의 폭발성가스에 대한 선택성의 결핍과 시간에 따른 신호변동으로 생기는 경보기나 계측기의 성능저하 및 오동작을 제거할 수 있을 뿐만 아니라 폭발성가스(부탄, 프로판, 메탄 등)를 선택적으로 인식 및 정량화할 수 있음.- 주변 소자 히터의 온도편차로 생기는 열적영향 및 공간적 외란을 제거하고, 센서의 공간적 분리로인하여 측정대상 가스의 공간적 불균일 또는 미소한 가스의 와류에 의한 센서신호의 변동 가능성을 배제하며, 안정하고 높은 감도를 가지면서 제작상의 공정이 용이한 선택성을 갖음
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- 2004-03-26
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전기·전자 > 계측기기
본 기술은 시스템의 고장을 진단하기 위하여, 고장이 발생한 위치 및 원인을 규명하는 고장 분류 장치에 관한 것이다. 본 기술에 의한 고장 분류 장치는 고장 모델을 이용하는 고장분류기와 여러 경계 인수를 갖는 ART2 신경회로망을 이용하는 고장분류기가 병렬로 결합되어 이루어진 것으로서, 먼저 고장 모델을 이용하는 고장분류기에 구축된 고장 모델의 출력과 시스템 출력 사이의 유사도를 검사하여 만족하는 고장 모델(J)이 존재하면, 시스템의 고장을 J번째 고장으로 분류하고, 만족하는 고장 모델이 존재하지 않으면, ART2 신경회로망을 이용하는 고장분류기에 의하여 변화된 시스템 파라미터를 추정한 뒤 이미 저장된 각 고장 클래스의 추정 파라미터와 유사도를 검사하여 고장을 분류한다.- 본 기술의 고장분류기는 첫 번째는 ART2 신경회로망을 이용하는 고장분류기를 구성하는 여러 경계인수를 갖는 ART2 신경회로망은 새로운 고장 상태를 자동 생성해나가는 자율학습 신경회로망이므로 예상하지 못한 고장이 발생할 경우에도 새로운 고장 정보의 자동 구축과 분류가 가능함- 고장 유형에 따른 각 시스템 파라미터의 민감도 차이를 고려한 경계인수검사 조건을 이용함으로써 정확한 고장 분류가 가능함- 두 번째로 고장 모델을 이용하는 고장분류기는 고장으로 인하여 변화된 시스템 출력과 이미 구축된 각 고장 모델의 출력을 비교하여 가장 유사한 고장 모델을 결정하므로 변화된 시스템 파라미터를 추정할 필요가 없음- 고장 모델로 구축된 고장이 발생하면 고장이 감지된 뒤 고장 분류가 이루어지기까지의 시간을 많이 단축시킬 수 있음- 본 기술에 의한 고장분류기를 운전중인 시스템에서 발생한 고장의 종류를 알기 위한 고장 분류의 목적으로 사용하면, 운전자에게 발생한 고장에 대한 정확한 정보를 줄 수 있으므로 적절한 대응을 가능하게 함- 시스템에 발생한 고장이 본 기술에 의한 혼합 고장 분류 장치의 한 부분인 고장 모델을 이용하는 고장분류기에 고장 모델로 구축된 종류일 경우에는 고장분류시간을 많이 단축시킬 수 있으므로 운전자로 하여금 발생한 고장에 대하여 신속하게 적절한 조치를 취할 수 있게 함으로써 고장의 영향이 다른 부분으로 전파되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있음
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- 2004-03-26
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전기·전자 > 기타 산업용 전기전자
본 기술은 각종 세라믹 소자의 전극에 배선연결을 납땜하는 것 대신에, 고주파 가열기를 이용하여 짧은 시간에 간편하게 연결할 수 있는 방법에 관한 것이다. 본 기술은, 주파수가 200 Khz, 출력이 5 Kw인 고주파 전원에 유도 코일 가열기를 연결하고, 그 위에 세라믹 소자의 전극과 연결기판의 전극을 얼라인하여 고주파 전원을 인가함으로써 두 전극이 매우 강력하게 접합된다. 여기서 두 전극간의 접합재료로써 세라믹 전극에는 Pb/Ag 물질과 연결기판의 전극으로 Pb/Cu 물질을 수십 마이크로 두께로 올린 다음, 두 전극을 얼라인하여 유도코일 가열기 위에서 일정 압력을 가하여 고주파 전원의 전력을 100 V, 25 A로 수 십초 가열할 경우 두 전극이 접합된다. 접합된 두 전극간의 접합강도는 6O ㎏·m/sec2 이상이 되며, 수 작업으로 납땜한 것보다도 우수하다. 그러므로 각종 세라믹 소자의 전극과 연결기판간의 접합을 고주파 가열기로 한다면 간편하고 짧은 시간에 많은 전극을 값싸게 연결할 수 있는 방법이다.- 본 기술의 두 가지 공정기술의 개발은 소형 초음파 센서 제조에 바로 적용 할 수 있는 것으로 수 작업으로 행할 수 없는 미세패턴의 접합기술에 응용이 가능하고, 인건비, 신뢰성, 및 생산성 좋음- 접합시간이 짧고, 상당히 강한 접합면을 가지면서, 고온의 열로 인한 접합물질의 고유한 성질을 유지할 수 있어서 상당히 우수함- 의료용 소형 초음파 센서 제조기술의 핵심이 되는 PZT element cell의 전극과 연결기판과의 접합을 고주파 가열기를 이용하여 고주파 전원의 출력전류를 가변하여 접합할 수 있음
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- 2004-03-26
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일반기술
전기·전자 > 계측기기
본 기술은 액체의 밀도 또는 비중을 측정하는 비중 센서로 구조가 간단하고, 정밀도가 우수하며, 내구성이 있는 비중 센서에 관한 것이다. 본 기술에서는 로드셀을 비중 센서에 응용한 것으로 비중을 측정하는 원리는 액체속에 담겨있는 물체는 그 물체의 부피와 액체의 비중의 곱에 비례하는 부력을 받게된다. 따라서 액체속에 담겨있는 물체의 무게는 액체의 비중이 변하면 이에 비례하여 변하게 된다. 이러한 원리를 이용하여 본 기술에서는 무게의 변화를 그대로 측정할 수 있는 로드셀을 이용하였다. 로드실은 힘에 의해 변형이 발생하는 구조물 위에 스트레인 게이지를 브릿지 형태로 구성하여 무게를 측정할 수 있는 것으로 저울에 많이 응용되고 있다. 본 기술에서는 이러한 로드셀에 끈으로 추를 바로 달아 비중에 따른 추의무게 변화를 그대로 측정할 수 있도록 하였다. 이러한 로드셀은 설계하기에 따라서는 아주 미세한 무계 변화도 감지할 수 있어 비중의 측정 분해능을 설계자의 의도하는 방법으로 만들수 있다.- 종래의 광을 이용한 비중 센서는 장시간 사용시 스프링의 탄성이 변하게 되어 이를 보정해 주어야하고, 추의 무게 변화에 대한 스프링의 길이 변화는 분해능의 측면에서는 한계가 있어 비중 센서의 정밀도를 높이는데 한계가 있으나, 본 기술의 비중 센서는 로드셀에 끈으로 추를 연결하여 사용하는 방법을 이용하였기 때문에 구조가 간단하고, 정밀하며, 장시간 사용시에도 기계적 변형에 의한 오차가 발생하지 않아 보정이 필요없는 효과가 있음
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- 2004-03-26
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전기·전자 > 반도체 공정 (B63)
본 기술은 교류 공면 플라즈마 평판 표시기(AC coplanar PDP)의 고휘도, 고효율화, 저소비전력화에 발 맞추어 기존의 상판 구조를 대체할 수 있는 방전유지 전극 사이에 공극을 가지는 플라즈마 평판 표시기에 관한 것이다. 교류 컬러 플라즈마 평판 표시기의 동작원리는 먼저 상판유리의 두 방전유지 전극간에 표면 방전이 발생하면 방전에 의해 생성된 진공 자외선이 하판유리위에 있는 형광체를 여기시켜 사람의 눈으로 볼 수 있는 가시광을 만들게 된다. 이것을 상판 유리쪽에 위치한 관측자가 관측하게 되는 원리이다. 본 기술은 교류 컬러 플라즈마 평판 표시기의 상판구조를 개선한 상판 방전유지 전극 사이에 공극을 가지는 플라즈마 평판 표시기의 단위 셀이다. 이 구조는 기존의 상판 구조를 개선하여 방전유지 전극 사이의 투명 유전체층을 제거한 구조이다. 기존의 상판 구조와 비교할 때, 방전유지 전극 사이의 강한 전장을 이용할 수 있어 플라즈마의 밀도를 최대화 할 수 있다. 따라서, 진공자외선을 최대한으로 이용할 수 있고, 기존의 상판 구조에서는 유전층 때문에 이용할 수 없는 전극 사이의 강한 전장을 이용하여 방전전압의 크기도 줄일 수 있어 휘도, 효율 및 방전늦음 현상의 향상을 기대할 수 있다.- 본 기술은 벽걸이 텔레비전 및 탁상용 모니터용으로 적합한 플라즈마 표시기의 상판 구조를 개선하기 위해 방전유지 전극 사이의 투명 유전체층을 제거하여 공극을 가지는 플라즈마 평판 표시기의 상판 구조로, 이 구조를 통하여 플라즈마 표시기의 휘도, 효율 뿐 아니라 방전늦음 현상까지 개선할 수 있음- 플라즈마 표시기의 품질 향상에 기여하여 대형 평판 디스플레이 시장에서 플라즈마 표시기가 다른 평판 디스플레이 기술보다 유리하게 됨
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- 대일기업평가원
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- 2004-03-26
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일반기술
전기·전자 > 기타 반도체
본 기술은 반도체를 이용한 여러 IC 소자에 있어 발생하는 배선공정의 문제인 고전류 흐름에 의한 배선 원자의 이동(Electromigration)을 지연시키는 방법에 관한 것이다. Cu 배선구조에서는 Cu의 확산을 막는 확산방지막이 필요하며, 확산방지막으로 현재 TiN, TaN 등이 사용되어지고 있다. 그러나, 이러한 물질은 공기중의 산소와 결합하여 Cu와 확산방지막 경계면에 산소를 포함하는 오염층을 형성한다. 이와 같은 오염층으로 인해 기판의 저항을 증가 시켜 Cu의 성장률을 낮추고 Cu와 확산방지막 사이에 불순물이 존재하여 낮은 접합력을 가지게 하여 electromigration의 저항성을 악화시킨다. 본 기술은 리모트 수소 플라즈마를 이용하여 확산방지막 표면에 존재하는 산소 성분 및 불순물을 제거하여 높은 증착률 및 높은 접합력을 가지게 하여 electromigration에 관하여 높은 저항성을 가지게 한 방법이다.- 본 기술은 수소 플라즈마를 이용하여 확산방지막의 오염층을 건식 세정을 하며, 또한 수소 플라즈마에 의해 표면에 catalytic active point를 형성하여 높은 성장률을 가지며, 동시에 더 큰 결정립을 형성하고 (111/200)의 peak intensity를 높여 electromigration에 대하여 높은 저항성을 가지게 함- RP(remote plasma)방식은 부수적인 장비가 필요없이 간편하며, 일괄공정이 가능한 장점이 있음- 수소 플라즈마를 발생시키는 장소를 반응기 위에서 발생시켜 반응기내를 오염시키지도 않음
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- 2004-03-26
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일반기술
전기·전자 > 계측기기
본 기술은 반도체를 이용한 수소센서 개발로 수중의 수소를 측정하는 방법을 제시한 것이다. 본 기술은, 공기중의 측정 방법으로는 후막형(thick film sensor), 박막형(thin film sensor), 연료전지형, MISFET형 등의 수소가스 감지소자가 있는데, 이 센서들을 이용하여 수중의 수소를 측정하는 데는 많은 어려움이 있다. 그래서 수소가스 투과율이 좋은 Pd thin film을 사용하여 수중과 감지소자를 분리하고, 투과한 수소를 감지소자가 측정하게 된다. 본 기술은 수소가스 감지를 위한 MISFET(Metal Isulator Semiconductor Field Effet Transistor) 소자를 제작하고 수중과 소자를 분리하기 위하여 Pd thin film을 사용하여 MISFET 소자를 밀봉(Encapsulation)하고 패키지(Package)화 한다.- 원자력 발전소의 수소가스 발생은 폭발 위험성을 내재하고 있기 때문에 계속적인 용존가스 분석이 필요하다. gas analyzer등의 분석기로 용존가스를 분석하다 보면 상당히 번거롭고 비용이 많이 들며 연속적인 관찰이 어렵움. 정류수내의 수소량을 검지 할 수 있는 센서가 개발된다면 원자력 발전소의 무인화와 자동화가 가능해지고, stator copper coil에 pinhole발생으로 인한 Generator의 고장을 미리 검지할 수 있으므로 국내의 전력공급에 보다 안정된 공급이 가능함- 수중가스 자동분석장치의 생산가격 저하와 활용도의 증대를 기대할 수 있음
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- 2004-03-26
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일반기술
전기·전자 > 반도체 소자 (B63)
본 기술은 플라즈마 평판 디스플레이 구동 회로에 사용되는 단위 소자의 수를 줄임으로써 구동 회로의 크기를 줄이고 공정상의 제조 비용을 절감할 수 있는 방법에 관한 것이다. 본 기술에서는 기존의 구동 회로가 각 Scan 전극마다 필요하던 방법을 대체하여 하나의 구동 회로에 복수의 switching 소자를 연결하여 복수의 Scan 전극을 구동할 수 있는 방안을 제시하여 종래의 기술에서 하나의 Scan 전극을 구동하기 위해 필요한 고내압 단위 소자의 수보다 작은 수의 단위 소자로 구동할 수 있고, 종래의 기술보다 상대적으로 저압(～15V)을 견딜 수 있는 단위 소자를 이용함으로써 단위 소자의 크기를 줄일 수 있어 같은 크기의 IC내에 더욱 많은 구동 회로를 집적할 수 있고 그에 따라 제조 비용도 낮출 수 있는 방법이다. 따라서 본 기술의 핵심 기술은 하나의 구동 회로에 복수의 switching 소자를 연결하여 복수의 Scan 전극을 구동한다는 것이고, 또한 모든 Scan 전극이 동시에 구동되는 순간인 reset과 sustain 구간과 Scan 전극이 순차적으로 구동되는 addressing 구간을 구분하여 주는 controller가 있다는 것이다.- 본 기술은 벽걸이 텔레비전 및 탁상용 모니터용으로 적합한 플라즈마 표시기의 구동 회로의 고집적화와 이에 따른 제조 비용의 절감을 위해 종래의 기술에서 Scan 전극 하나당 하나씩의 구동 회로가 필요하였던 것을 개선하여 하나의 구동 회로로 복수의 Scan 전극을 구동할 수 있음- 구동 회로에 사용되는 단위 소자의 수와 크기를 줄여 구동 IC의 집적도를 높이고 제조 비용을 절감할 수 있어 PDP 모듈의 제조 비용을 줄임으로써 PDP의 상용화를 앞당길 수 있음
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- 2004-03-26
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일반기술
전기·전자 > 반도체 소자 (B63)
본 기술은 평판 디스플레이 소자 중에 하나인 플라즈마 디스플레이 패널 (plasma display panel)에 관한 것이다. 플라즈마를 이용한 디스플레이는 플라즈마 디스플레이 패널과 플라즈마 어드레싱 액정(plasma addressing liquid crystal)소자가 있다. 플라즈마 디스플레이 패널도 구동 방식에 따라 직류 구동과 교류 구동방식이 있다. 또 교류 구동방식은 또 면방전 방식과 배향 방전 방식으로 구분된다. 대개 두 개의 유리로 구성된 이 소자는 두 유리판 사이에 일정한 규모의 미소 공간을 만들고 이 공간에 방전에 필요한 가스를 채운다. 방전을 위해 두 개 이상의 전극이 배치된다. 화소와 부화소 사이에는 광학적 간섭을 줄이기 위해 격벽이라 명칭하는 벽이 제조되어 있다. 본 기술은 플라즈마 디스플레이 패널의 앞 유리에 자성체 를 도포하는 방법은 증착, 스크린 인쇄 그리고 도금 등의 방법이 있으나, 제품의 성격에 따라 방법을 선택할 수 있다. 비록 정밀도는 떨어지지만 제조 단가측면에서 가장 유리한 방법은 스크린 인쇄 방법이다. 앞 유리에 배치된 배치된 자성체는 블랙 매트릭스의 기능을 할 수도 있으므로 자성체의 색은 검정색을 이용하면 유리하다. 즉 이 물질은 자성체 기능과 블랙 매트릭스 기능을 겸할 수 있다. 본 기술은 플라즈마 디스플레이 패널의 뒷 유리에 자성체는 플라즈마의 발생 전압 및 전력을 낮게 해 주며, 또한 발생된 하전 입자가 격벽에서 소멸되는 것을 막아주는 역할을 하므로 고휘도의 소자를 얻을 수 있다. 자성체를 이용하여 플라즈마를 일정한 공간에 제한시킬수 있기 때문이다. 자장을 플라즈마 방전에 이용하면 플라즈마 밀도를 높일 수 있어 전력 효율을 높일 수 있고, 고휘도의 소자를 만들 수 있다.- 본 기술은 벽걸이 텔레비전 및 탁상용 모니터용으로 적합한 플라즈마 디스플레이 패널의 특성을 개선하기 위해 자성체를 집적화 것이 특징임- 집적화된 자성체는 자장의 분포에 따라 높은 휘도, 고효율의 소자가 가능해져 플라즈마 디스플레이 패널의 시장를 확보하는데 액정이나 전계 방출 디스플레이 기술보다 유리함- 자성체를 플라즈마 디스플레이 패널에 배치하는 방법은 앞 유리, 뒷 유리, 앞 뒷 유리, 그리고 격벽 등이 가능함
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- 대일기업평가원
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- 2004-03-26
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일반기술
전기·전자 > 기타 반도체
본 기술은 전해도금 공정에서 매우 얇은 seed layer 층을 가지는 대면적 기판에 균일한 금속 도금을 하는 방법에 관한 것이다. 일반적인 도금장치는 음극에 기판을 고정시키고 전해용액속에서 전류를 가하면 기판표면에 원하는 금속이 도금된다. 반도체 소자 제조시 사용되는 실리콘 기판에 구리와 같은 금속을 도금하려면 실리콘 표면에 전류를 흘려주어야 한다. 이를 위해 대개 실리콘 가장자리에 전류 공급을 위한 접촉기구를 사용한다. 접촉된 실리콘 기판위에는 전류를 실리콘 표면 전체로 골고루 전달할 수 있는 전도층 물질이 증착되어 있다. 이를 seed layer 라 하며 대개 같은 물질인 구리를 물리적 기상 증착 또는 화학적 기상 증착 방법을 이용한다. 이 seed layer 는 매우 얇고 또한 요철이 있는 기판에 증착되었으므로 두께 균일도가 매우 나쁘므로, 이 층을 통한 전류 또한 불균일하게 된다. 이 때문에 전해용액을 통해 흐르는 전류차이로 도금되는 막의 두께 역시 불균일하게 되어 양질의 소자 제조가 불가능하게 된다. 기존 도금 장치의 문제점을 해결하기 위해 본 기술장치는 기존 장치와의 가장 큰 차이는 자장을 도금조에 인가하는 자기장 발생기를 가졌다는 것이다. 자장을 가하는 방법은 영구자석과 전자석이 있으며, 도금조내에 임의의 자장분포를 위해서는 여러 가지 형태의 자기장 발생기의 배치가 가능하다. 액상중의 이온 분포를 효과적으로 조정하기 위해 자장을 가하면서 변형된 양극을 설계하였다. 또한 본 기술 장치는 도금조에 편향 코일을 채용해서 임의의 도금 두께 조절을 할 수 있다. 편향코일을 채용한 도금조의 특징은 기판에 도착하는 이온의 분포를 편향 코일에 가해주는 신호에 의해 조정할 수 있다. 이는 전자총을 가진 음극선관과 비슷한 형태이다. 전자총에 해당하는 부분이 편향 코일용 양극이고, 스크린에 해당하는 부분이 음극, 즉 기판이다. 이를 이용하면 기존 장치의 문제점인 도금 막의 두께 불균일 문제점을 해결 할 수 있다.- 본 기술의 반도체 공정에 채택된 구리, 백금(Pt), 룻세늄(Ru) 등의 금속을 300mm 이상의 대면적 실리콘 기판에 도금할 때 매우 균일한 막을 형성할 수 있는 장치와 공정임- 반도체 소자 제조용 구리 도금 장비 및 공정에 특히 대면적 실리콘 기판과 얇은 seed layer 를 사용하는 기판의 도금에 유용함- 도금 기술을 도입한 반도체 장비 산업 및 공정의 핵심 및 원천 기술이므로, 이의 확보는 차세대 초고속 소자의 양산 시기를 앞당기는 계기가 될 것임
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- 등록일
- 2004-03-26
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일반기술
전기·전자 > 기타 반도체
본 기술은 반도체를 이용한 여러 IC소자에 있어 배선공정에서의 일어나는 문제점 중에 하나인 고전류 흐름에 의한 배선 원자의 이동(Electromigration)을 지연시키는 방법에 관한 것이다. 본 기술은 소자의 특성을 저하시키지 않고 종래의 배선에서 발생되어지는 문제점인 Electromigration에 대하여 TiN위에 Al을 증착하여 높은 저항성을 가지는 배선구조를 갖게 하는것이다. Al의 두께가 고속 스위칭속도에 미치지 않는 범위까지 증착하는 기술이 필요로 되어진다. 본 기술은 Sputter법에 의하여 증착된 TiN위에 진공증착법에 의하여 Al을 배선의 저항이 증가하지 않는 범위까지 얇게 수백∼수천Å 증착한 후 화학 기상 증착법(CVD), 또는 전기도금법(Electroplating)으로 Cu를 완전하게 성장시킨다.- 본 rltnf은 단순히 Electromigration에 대한 저항성을 향상시키는 것 외에 표면의 전기전도도가 높은 물질일수록 화학 기상 증착법(CVD), 전기도금법(Electroplating)에 있어 Cu가 증착이 잘되기 때문에 기존의 TiN보다는 전기전도도가 우수한 Al위에서의 Cu증착이 보다 높은 증착율을 가질 수 있음- 앞으로의 배선구조의 형태가 될 trench구조에서는 TiN의 면적이 보다 더 커지므로 본 기술로 인하여 차세대 반도체 공정에 있어 electromigration대하여 더 높은 저항을 가질수 있음
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- 2004-03-26
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전기·전자 > 기타 반도체
본 기술은 교류 플라즈마 표시기(AC PDP)의 고 휘도, 고 효율화, 저 소비전력화에 발맞추어 기존의 방전유지 전극 형태를 대체할 수 있는 톱니형태의 방전유지 전극을 가지는 플라즈마 표시기에 관한 것이다, 교류 컬러 플라즈마 평판 표시기의 동작원리는 먼저 상판유리의 두 방전유지 전극간에 표면 방전이 발생하면 방전에 의해 생성된 진공 자외선이 하판유리위에 있는 형광체를 여기시켜 사람의 눈으로 볼 수 있는 가시광을 만들게 된다. 이것을 상판 유리 쪽에 위치한 관측자가 관측하게 되는 원리이다. 본 기술방법은 기존의 전극구조를 개선하여 두 전극이 톱니형태로 맞물리는 구조이다. 톱니형태의 방전유지 전극을 가지는 플라즈마 평판 표시기의 상판은 같은 크기의 방전 전극간격을 가지는 기존의 전극구조와 비교할 때, 실제 발광에 유효한 면적을 늘이는 효과가 있어 플라즈마의 생성량을 최대화 할 수 있다. 따라서, 방전전극 간격 사이에서 주로 발생하는 진공자외선을 최대한으로 이용할 수 있고, 전계집중점을 도입하여 방전전압의 크기와 방전 늦음 현상도 줄일 수 있어 휘도 및 효율의 향상을 기대할 수 있다.- 본 기술은 벽걸이 텔레비전 및 탁상용 모니터용으로 적합한 플라즈마 표시기의 전극구조를 개선하기 위해 톱니형태 및 양, 음각이 맞물리도록 한 전극구조로 전극을 형성할 경우 TV나 모니터 및 각종 표시장치의 교류 플라즈마 표시기에서 휘도, 효율 뿐 아니라 방전늦음 현상까지 개선할 수 있음- 플라즈마 표시기의 품질 향상에 기여하여 대형 평판 디스플레이 시장에서 플라즈마 표시기가 다른 평판 디스플레이 기술보다 유리하게 됨
- 보유기관
- 대일기업평가원
- 등록일
- 2004-03-26
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일반기술
전기·전자 > 기타 반도체
본 기술은 평판 디스플레이 소자 중의 하나인 플라즈마 표시기(plasma display panel)에 관한 것이다. 본 기술은 플라즈마 표시기의 고 휘도, 고 효율, 대형화 및 고 정세화에 발 맞추어 기존의 여러 격벽 제조공정들을 대체할 수 있는 고 종횡비를 가지는 실리콘 고무 소프트 몰드에 의한 격벽 성형방법을 제시한 것이다. 이 방법은 기존의 가압법을 개선하여 몰드로 저 표면에너지, 고 탄성을 가지는 실리콘 고무를 사용함으로서 기존 가압법의 문제점인 격벽용 페이스트(paste)의 비 매입, 격벽 파단, 몰드의 고 질량, 유리기판의 파단 등의 문제점을 해결할 수 있다 그리고, SU-8등의 두꺼운 감광제를 자외선으로 노광, 현상한 형상을 실리콘 고무로 채워서 몰드를 제조하기 때문에 고 종횡비를 가지는 모든 형태의 격벽 형상을 성형할 수 있다. 여기서 소프트 몰드는 현상된 두꺼운 감광제 또는 UV-LIGA 공정을 이용하여 제조된 금속 몰드에 실리콘 고무를 채운 뒤 건조하여 제조한다.- 본 기술은 벽걸이 텔레비전 및 탁상용 모니터용으로 적합한 플라즈마 표시기의 제조공정을 개선하기 위해 기존의 가압법을 변화시킨 방법임- 본 기술방법은 제조 공정이 매우 단순하며, 생산성이 높고, 고정세화가 유리한 격벽 제조 공정을 확립할 수 있음- 생산비 절감과 양산성 향상 뿐만 아니라 휘도, 고정세화등 품질 향상에도 기여하여 대형 평판 디스플레이 시장에서 플라즈마 표시기가 다른 디스플레이 기술보다 유리하게 됨
- 보유기관
- 대일기업평가원
- 등록일
- 2004-03-26
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일반기술
전기·전자 > 기타 반도체
본 기술은 플라즈마 평판 표시기의 고휘도, 고효율화, 대형화 및 고정세화에 발 맞추어 기존에 여러 격벽 제조공정들을 대체할 수 있는 회전-가압법에 관한 것이다. 본 기술은 회전-가압법에서 금형의 제조방법과 무거운 실린더와의 접합으로서, 얇은 금속판 위에 LIGA 또는 UV-LIGA 공정으로 Ni 금형을 만들고, 이것을 굽혀서 곡률반경이 큰 무거운 원통에 접합시켜 회전시킬수 있는 금형을 제조한다. 먼저 얇은 금속판 위에 evaporator나 sputter등을 이용하여 Ni seed layer를 형성한뒤 그 위에 PMMA 또는 두꺼운(수 백 ㎛) PR을 도포한다. 그 후 마스크를 제작하여 X-ray 혹은 UV 사진식각법을 이용하여 Ni 금형의 음각모양인 틀을 형성한다. 형성된 PMMA 또는 두꺼운 PR 틀 위에 Ni 전기도금을 행하면 seed layer가 노출된곳 위에만 선택적으로 Ni이 증착된다. 여기서 PMMA 또는 두꺼운 PR을 제거하면 Ni 금형이 제조되는 것이다. 얇은 금속판위에 제조된 Ni 금형을 무거운, 곡률반경이 큰 원통과 접합하면 금형이 최종적으로 제조된다.- 본 기술방법을 이용하여 제조 공정이 매우 단순하며, 생산성이 높고, 고정세화가 유리한 격벽 제조 공정을 확립할 수 있으며, 금형은 얇은(0.2∼0.8 ㎛) 스테인레스 기판이나 니켈기판 위에 LIGA(Lithographie, Galvanoformung, Abformung) 또는 UV-LIGA 공정을 이용하여 제조할 수 있음- 생산비 절감과 양산성 향상 뿐만 아니라 휘도, 고정세화등 품질 향상에도 기여하여 평판 디스플레이 시장에서 플라즈마 표시기가 액정 디스플레이와 전계 방출 디스플레이 기술보다 유리하게 됨
- 보유기관
- 대일기업평가원
- 등록일
- 2004-03-26
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일반기술
전기·전자 > 계측기기
본 기술은 센서 cell 크기에 대하여 상대적으로 넓은 다이아프램을 가지게 할수 있는 DRIE를 이용한 다이아프램 형성에 관한 것이다. 본 기술의 DRIE는 실리콘 에칭 방법으로 고농도(inductively coupled) 플라즈마 소스(source)를 사용하고 실리콘 에칭과 고분자 보호층 증착을 번갈아 하면서 고종횡비(high-aspect-ratio)를 이룰 수 있다. 본 기술방법은 기존의 실리콘 이방성 에칭으로 다이아프램을 형성시 문제점인 센서 cell과 다이아프램 크기의 제한을 극복할 수 있다. DRIE는 실리콘 에칭 방법으로 고농도(inductively coupled) 플라즈마 소스(source)를 사용하고 실리콘 에칭과 고분자 보호층 증착을 번갈아 하면서 고종횡비(high-aspect-ratio)를 이룰 수 있다 . 따라서 같은 크기의 센서 cell에 더 넓은 다이아프램을 실현할 수 있어 고감도를 이룰수 있고, 불필요한 공간이 없어 초소형으로 실리콘 압력센서를 제조할 수 있다. 특히 SDB 웨이퍼를 사용할 경우 DRIE는 SiO2 층에 대하여 에칭스탑(etch-stop) 되기 때문에 균일한 두께의 다이아프램을 형성시킬 수 있다.- 기존의 실리콘 이방성 에칭시 다이아프램의 크기가 제한되는 점을 개선하여 DRIE를 이용하여 다이아프램을 형성함으로서, 같은 크기의 센서 cell에 더 넓은 다이아프램을 실현할 수 있어 고감도를 이룰수 있고, 초소형으로 실리콘 압력센서를 제조할 있음.- 최근 압력센서의 소형화에 발맞추어 기존의 실리콘 이방성 에칭방법을 개선하여, DRIE를 이용한 고종횡비 실리콘 에칭으로 더욱 효율적인 다이아프램을 형성할 수 있는 공정임- 의료용 압력센서와 같은 초소형 압력센서의 경우 DRIE를 이용하는 방법이 다른 방법보다 유리함
- 보유기관
- 대일기업평가원
- 등록일
- 2004-03-26
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일반기술
전기·전자 > 기타 전기/전자
재래의 기술 차속 정보신호송신기가 단속관 전용 휴대용 송신기로 소형화, 경량화, 간소화 제작에 부적절하였다가 전자부품과 전자기술의 발달로 본 고안의 4비트 신호로써 16종 신호를 구성함에 따라 소형화, 경량화, 간소화한 휴대용 송신기 제작이 가능해졌고 재래의기술 수신식별 적색등이 과소하여 단속관 식별 기능인 ℓ1을 무능화하여도 적발이 용이치 않았으므로 수신 식별회로를 신설하고 수신중에만 조명하는 녹색 식별등을 연결하며 과속제어장치의 각양 각색인 제어기능을 본고안의 과속제어신로회로 신설과 본고안 드롯틀-밸브 조절기를 연결함으로써 종합화 간소화 하였다.자동차과속 자동제어기에 속하는 기술로써 송신기기와 같이 16종 신호 발생용 16개의 J-K 플립.플럽(F/F/)과 크록신호 발생기와 1개의 안테나에서 2종의 신호를 교호로 송출키 위한 멀티바이브레이터 및 신호파의 송출방향을 정하는 혼등 그 크기와 중량이 단속관 전용 휴대용 송신기로 부적합하여 송신기를 대로의 전주 육교 단속관 순찰차에만 고정설치하여 소로와 이상기후시에 임장임시로 실용하기에는 그 이동성에 한계가 있고, 차랑에 장착한 과속제어 기능을 무능화하고 단속관의 시선을 피해 무한과속하려다 사고를 유발하는 사례가 허다하며, 과속 중 적발되어 정지 당하면 위협가속하여 정면돌파하려는 악습적인 사례에 대처하지 못하였다. 보고안은 송신기의 송신회로 개선으로 송신회로를 소형화 경량화하여 휴대용에 적절한 송신기를 제작할 수 있게 하고, 차량에 장착한 과속제어 기능을 무능화 조작하면 자량운행에 막심한 불이익을 자초하게 될 식별등을 설치하며, 과속으로 적발되어도 현장도주가 어려운 장치로써 단속관 지시에 순종하는 새로운 교통질서가 립돼야 할 필요가 있었다. 본 고안 실용으로 단속관이 휴대할수 있는 송신기 실용으로 대로뿐 아닌 주택가 골목길에 이르기까지 속속들이로 과속을 단속지도할 수 있고, 과속제어 기능을 무능화하고 정상을 가장함으로써 단속관을 속이며 무한 과속하려는 악습과, 단속관이 정지를 지시하여도 틈을 타서 급가속으로 정면탈출 도주하려는 악습적인 경향이 교도되는 등 단속관 지시에 순종하는 순화된 교통풍토가 이루어진다
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- 부산기술이전센터
- 등록일
- 2004-03-26
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일반기술
전기·전자 > 기타 전기/전자
본 고안은 물티슈를 수납하여 보관할 수 있고 가열장치에 의하여 가열된 열기를 외부로 방출되는 것을 방지하기 위하여 보온재로 된 畿굼구비한 물티슈 보온 용기와, 상기 물티슈 보온 용기의 하부에 설치되어 물티슈 보온 용기에 수납된 걱섹뉨가열하기 위한 PTC 세라믹 소자와 전열판으로 이루어진 가열장치와, 상기 가열장치의 PTC 세라믹 弩悶전원을 공급하기 위한 전원 공급용 케이블로 구성되고, 상기 전열판은 상부 전열판과 하부 전열판으구분되며, 상기 상부 전열판과 하부 전열판 사이에 적당 개수의 PTC 세라믹 소자가 설치된다.물티슈가 포장되어 있는 리필용 물티슈 봉지를 수납할 수 있고 보온재로 형성된 뚜껑을 구비한 물티슈 보온 용기와, 상기 물티슈 보온용기의 하부에 설치되어 리필용 물티슈 봉지에 포장된 물티슈를 가열하기 위한 PTC 세라믹 소자와 전열판막이루어진 가열장치와, 상기 가열장치의 PTC 세라믹 소자에 전원을 공급하기 위한 전원 공급용 케이블과, 상기 가열장치에 전원을 인가하기 위한 스위치로 구성된 물티슈 보온 용기를 제공함에 그 목적이 있다.
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- 부산기술이전센터
- 등록일
- 2004-03-26
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일반기술
전기·전자 > 기타 전기/전자
반도체 메모리 DRAM(dielectric random access memory)에 응용이 되는 3성분계로 구성된 PZT(PbZr1-xTixO3)타겟은 최근 MEMS 기술의 급속성장과 더불어 수요가 더욱더 증가하고 있다. 세라믹 타겟을 이용한 PZT박막은 압전성, 강유전성, 광학적, SAW filter특성을 동시에 가지는 물질로서 응용되고 있으며, 특히 스퍼터링 증착은 타겟의 조성과 같게 박막조성을 그대로 증착할 수 있는 것과 deposition rate가 높고, 넓은 면적에 증착이 가능하며, 기판온도가 낮은 장점을 이용하기 때문에 생산성 증대와 단가절감의 큰 효과를 가진다.현재 PZT 타겟은 순도 99.9%로 2 inch와 4 inch가 범용으로 사용하고 있으며, 6 inch는 자체개발이 없으며, 수요는 대부분 수입에 의존하고 있는 실정이다. 또한 타겟 가격이 고가이며, 수입 타겟으로 증착된 메모리는 경제성을 고려할 때 단가상승을 초래한다. 수입 타겟과 개발될 타겟(6 inch)의 특성평가를 동등하게 하여 국산화하므로서 메모리소자 제작시 국가적 차원에서 경쟁력이 확보되는 효과를 기대할 수 있다.현재 PZT 타겟은 순도 99.9%로 2 inch와 4 inch가 범용으로 사용하고 있으며, 6 inch는 자체개발이 없으며, 수요는 대부분 수입에 의존하고 있는 실정이다. 또한 타겟 가격이 고가이며, 수입 타겟으로 증착된 메모리는 경제성을 고려할 때 단가상승을 초래한다. 수입 타겟과 개발될 타겟(6 inch)의 특성평가를 동등하게 하여 국산화하므로서 메모리소자 제작시 국가적 차원에서 경쟁력이 확보되는 효과를 기대할 수 있다.
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- 부산기술이전센터
- 등록일
- 2004-03-26
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