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일반기술 전기·전자 > 기타 전기/전자

저유전 플라스마 중합체 박막의 제조 방법 및 이로부터 제조된 저유전 박막

1. 기술의 개요본 기술은 저유전 플라즈마 중합체(PLASMA POLYMERIZED) 박막 제조 방법 및 이를 이용하여 형성된 저유전 풀라즈마 박막에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 PECVD(PLASMA ENHANCED CHEMICAL VAPOR DEPOSITION) 방법을 이용한 저유전 플라스마 중합체 박막의 제조 방법에 관한 것이다.2. 기술의 특징본 기술은 거품기내에서 데카메실사이클로펜타실옥제인과 사이클로헥산를 포함하는 전구체를 증발시켜 전구체 용액을 증발시키는 단계, 증발된 전구체를 거품기로부터 배출하여 플라즈마 증착용 반응기로 유입시키는 단계, 반응기의 플라즈마를 이용하여 반응기 내의 기판 위에 플라즈마 중합된 박막을 증착하는 단계를 포함한다. 이와 같이 제조된 본 기술에 따른 박막은 열적으로 안정하고 매우 낮은 유전상수를 갖는 박막 구조로 형성되어 금속 다층 박막을 제조하는데 있어서 효과적이다.

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성균관대학교
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2008-07-11
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일반기술 전기·전자 > 기타 전기/전자

휴대형 영상촬영장치의 소비전력 절약방법 및 그 장치

1. 기술의 개요본 기술은 디지털 카메라, 캠코더와 같은 전용 영상촬영장치 및 휴대폰이나 게임기 등의 휴대용기기에 카메라 또는 캠코더 기능을 내장한 휴대폰과 융복합기기(이하, 이 모두를 통칭하여 휴대형 영상촬영장치라 한다)의 화면표시장치의 전원을 효과적으로 제어하여 제한된 용량의 배터리 사용 효율을 높일 수 있는 휴대형 영상촬영장치의 소비전력 절약방법 및 그 장치에 관한 것이다.2. 기술의 특징영상 촬영, 편집 및 기타 기능 조작을 위한 사용자인터페이스 수단으로 사용되는 화면표시장치, 화면표시장치에 필요한 전원을 공급하는 전원부, 화면표시장치의 ON/OFF를 제어하는 제어부 및 사용자가 휴대형 영상촬영장치로 영상을 촬영하고자 하는지를 감지하는 감지수단을 포함하고, 감지수단에 의해 사용자가 촬영을 하는 것으로 감지된 경우에만 화면표시장치가 ON 되는 구성을 마련한다. 본 기술은 휴면시간이 지속되어 전원 절약상태로 들어가 있는 기기를 다시 켜려고 할 때 기존에는 사용자가 의식적으로 켜는 동작을 수행해야 하는 불편함을 해소하고, 화면표시장치의 소비전력 사용 효율을 높일 수 있다.

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성균관대학교
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2008-07-11
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일반기술 전기·전자 > 기타 전기/전자

유도 결합형 플라즈마를 이용한 산화아연박막의 식각 방법

1. 기술의 개요본 기술은 디스플레이 등의 TCO(TRANSPARENT CONDUCTIVE ELECTRODE) 소재로 이용 가능한 ZNO 박막 또는 금속이 도핑된 ZNO 박막의 식각 처리를 유도 결합 플라즈마 방법으로 처리할 수 있는 유도 결합형 플라즈마를 이용한 산화아연박막의 식각 방법에 관한 것이다.2. 기술의 특징본 기술은 일면에 ZNO 박막 또는 금속이 도핑된 ZNO 박막이 증착되고, ZNO 박막 위에 패턴 형성을 위한 포토레지스트가 형성된 기판을 준비하는 단계, 기판을 미리 설정된 압력이 유지되는 챔버의 일 측에 장착하는 단계 및 기판에 대향하는 위치에 설치된 유도 코일에 제 1RF 파워를 인가하고, 기판에 제 2RF 파워를 인가하여, 챔버에 플라즈마 형성을 위한 가스를 공급하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

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2008-07-11
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일반기술 전기·전자 > 기타 반도체

발광소자 및 그 제조방법

1. 기술의 개요본 기술은 발광소자 및 그 제조방법에 관한 것으로, 발광소자는 기판과 기판 표면에 성장되는 중간층과, 기판과 중간층 상에 성장되는 박막을 포함하여 구성된다.2. 기술의 특징Μ-PD(MICRO PULLING DOWN)법으로 Β-GA2O3 단결정 기판을 성장시키는 단계와, 성장된 Β-GA2O3 단결정 기판 표면을 NH3 가스 분위기에서 열처리하여 아모노리시스(AMMONOLYSIS) 반응으로 산소와의 결합이 질소와의 결합으로 치환시켜 GAN 버퍼층을 성장시키는 단계와, 성장된 기판과 중간층 상에 GAN 박막을 성장시키는 단계를 포함하여 이루어지며, 기판으로 사용될 물질과 GAN과의 격자상수 차와 열팽창계수의 차이를 줄여 고품질의 단결정을 성장시킬 수 있는 효과가 있다.

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2008-07-11
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일반기술 전기·전자 > 기타 전기/전자

다층 세라믹 커패시터의 재료로 사용하기 위한 전극용페이스트 및 이를 사용하여 전극을 제조하는 방법

1. 기술의 개요본 기술은 다층 세라믹 커패시터(MLCC, MULTI-LAYER CERAMIC CAPACITOR)의 재료로 사용되는 유전체 세라믹스의 전극용 페이스트 및 이를 사용하여 전극을 제조하는 방법에 관한 것이다.2. 기술의 특징다층 세라믹 커패시터의 전극용 페이스트는 유전체 세라믹층과 전극 층이 반복 적층되어 이루어진 다층 세라믹 커패시터에 사용하기 위한 전극용 페이스트로서, 전극용 페이스트가 MN을 함유하는 물질을 0.1 내지 10.0중량%의 양으로 포함하는 것을 특징으로 하여 유전체 세라믹층의 유전 특성에 미치는 영향을 최소화하면서 누설전류는 감소시키고 신뢰성을 향상시킨다.

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2008-07-11
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일반기술 전기·전자 > 기타 반도체

나노 와이어 형성방법 및 이 나노 와이어 형성방법을 통해제조된 반도체장치

1. 기술의 개요본 기술은, 실리콘 등으로 구성될 수 있는 피처리기판 상에 금속층 또는 절연층을 증착하는 제1증착공정, 금속층 또는 절연층 상에 PR층을 증착한 후, 다수의 트렌치 형상으로 패턴을 형성하여 잔류 PR층과 함께 금속층 또는 절연층이 노출되게 하는 공정, 및 애싱 공정을 통해 잔류 PR의 폭을 감소시켜 금속층 또는 절연층의 노출 면적을 증가시키는 공정을 구비한 나노 와이어 형성방법에 관한 것이다.2. 기술의 특징노출된 금속층 또는 절연층 위를 절연층 또는 도전성 재료로 증착(또는 충진)하는 제2 증착공정, 및 잔류 PR을 제거하여 트렌치를 형성하는 공정을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.

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2008-07-11
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중성빔 식각장치를 이용한 질화물 반도체 발광 소자 및 그제조 방법

1. 기술의 개요중성빔 식각장치를 이용한 질화물 반도체 발광 소자 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 활성층 및 P형 질화물 반도체층에 많은 손상이 생기는 문제를 해소할 수 있다. 2. 기술의 특징기판, 기판 상에 형성된 N형 질화물 반도체층, N형 질화물 반도체층 상에 형성된 활성층, 활성층 상에 형성되며 그 상면에 소정 패턴의 홀이 형성된 P형 질화물 반도체층 및 N형 질화물 반도체층 및 P형 질화물 반도체층 상에 각각 형성된 N측 전극 및 P측 본딩전극을 포함하고, 소정 패턴의 홀은 중성빔 식각장치에 의해 형성되는 구성을 마련한다.

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2008-07-11
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계수형 유로가 형성된 세퍼레이터를 구비한 디메틸에테르 연료전지

1. 기술의 개요본 기술은 계수형 유로가 형성된 세퍼레이터를 구비한 디메틸에테르 연료전지에 관한 것이다. 본 기술의 연료 조성물은 신규한 연료전지용 연료로 디메틸에테르를 사용함으로써, 우수한 전기화학적 활성을 나타내며, 이의 특성으로 인해 연료공급 펌프 없이 구동이 가능한 연료전지를 제작할 수 있다. 또한, 본 기술의 디메틸에테르 연료전지는 세퍼레이터 위에 구비된 유로로서 계수형 유로를 사용하여, 기상인 디메틸에테르 및 액상인 물의 혼합을 용이하게 함으로써, 디메틸에테르 연료전지의 전기화학적 성능을 더욱 향상시킬 수 있었다. 2. 기술의 특징전해질막과, 전해질막의 양측에 설치된 한 쌍의 다공질 전극을 가지는 막전극 조립체와, 막전극 조립체를 끼우는 애노드측 및 캐소드측 세퍼레이터를 구비하고, 세퍼레이터가 막전극 조립체에 마주보는 표면 상에 가스유로와, 가스유로를 형성하는 리브를 갖도록 형성되며,연료전지로서 디메틸에테르와 물을 혼합물을 사용하는 연료전지에 있어서, 애노드측 및 캐소드측 세퍼레이터 중 적어도 하나 위에, 한 쌍의 마주 끼워지는 계수형 유로(INTERDIGITATED FLOW PATH)가 형성되며, 각각의 계수형 유로는 주 유로와, 주 유로로부터 분기되는 복수의 분기 유로로 구성되고, 한 쌍의 계수형 유로의 분기 유로는 주 유로의 종방향을 따라서 교대로 배열됨을 특징으로 한다.

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2008-07-11
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디메틸에테르를 포함하는 다상 연료전지용 연료 조성물 및 이를 이용한 다상 연료전지

1. 기술의 개요본 기술은 디메틸에테르를 포함하는 다상 연료전지용 연료 조성물 및 이를 포함하는 다상 연료전지에 관한 것으로, 더욱 구체적으로 물-메탄올-디메틸에테르로 이루어진 다상 연료전지용 연료 조성물 및 계수형 유로가 형성된 세퍼레이터를 구비한 디메틸에테르 다상 연료전지에 관한 것이다.2. 기술의 특징본 기술의 연료 조성물은 신규한 다상 연료전지용 연료로서 디메틸에테르를 사용함으로써, 우수한 전기화학적 활성을 나타내며, 이의 특성으로 인해 연료공급 펌프 없이 구동이 가능한 연료전지를 제작할 수 있다. 또한, 본 기술의 디메틸에테르 연료전지는 세퍼레이터 위에 구비된 유로로서 계수형 유로를 사용하여, 기상인 디메틸에테르 및 액상인 물의 혼합을 용이하게 함으로써, 디메틸에테르 연료전지의 전기화학적 성능을 더욱 향상시킬 수 있었다.

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2008-07-11
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단일쇄 DNA-단일벽 탄소 나노튜브 하이브리드를제조하는 방법

1. 기술의 개요본 기술은 SSDNA-SWNT(SINGLE STRANDED DNA-SINGLE WALLED CARBON NANOTUBE: 단일쇄 DNA-단일벽 탄소 나노튜브) 하이브리드를 제조하는 방법 및 이를 이용한 표적 핵산의 검출 방법에 관한 것이다.2. 기술의 특징N(N은 10 내지 45의 정수이다) 염기 서열과 표적 핵산에 대한 프로브 염기 서열을 갖는 단일쇄 DNA(SINGLE STRANDED DNA: SSDNA)를 제조하는 단계, 프로브 염기 서열에 상보적인 핵산을 어닐링시키는 단계,) 위의 혼합물에 단일벽 탄소 나노튜브(SINGLE WALLED CARBON NANOTUBE: SWNT)를 가하고 초음파를 처리하는 단계 및 생성된 단일벽 탄소 나노튜브 및 이에 결합된 핵산 결합체로부터 변성(DENATURATION) 과정을 통해 프로브 염기 서열에 상보적인 핵산을 분리시키는 단계를 포함하는 표적 핵산 검출용 SSDNA-SWNT 하이브리드를 제조한다.

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2008-07-11
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연료전지용 막전극접합체의 수소이온교환막 상에 촉매층을형성시키는 방법

1. 기술의 개요본 기술은 연료전지용 막전극접합체의 수소이온교환막 상에 촉매층을 형성시키는 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 연료전지의 수소이온교환막 상에 촉매입자를 균일하게 도포하여 고분산된 촉매층으로 촉매의 반응 효율성을 증대시켜서 연료전지의 에너지 밀도와 출력 밀도를 향상시킬 수 있는 연료전지용 막전극접합체의 수소이온교환막 상에 촉매층을 형성시키는 방법에 관한 것이다. 2. 기술의 특징본 기술에 따른 방법은 고분자 전해질 연료전지(PEMFC, POLYMER ELECTROLYTE MEMBRANE FUEL CELL), 직접 메탄올 연료전지(DMFC, DIRECT METHANOL FUEL CELL) 등의 막전극접합체(MEA) 제조에서 주로 사용되던 스프레이 방법이나 브러쉬 방법에 의한 촉매층 형성 방법과는 전혀 다른 방법으로, 고분산된 촉매 입자들이 균일한 촉매층을 형성하므로 촉매 증착량의 조절이 용이하고 촉매 이용 효율을 증가시켜 연료전지의 성능을 향상시킬 수 있으며 촉매 손실을 감소시켜 경제성 또한 확보할 수 있다.

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2008-07-11
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연료 확산속도 제어물질층을 포함하여 메탄올 크로스오버현상을 억제시킨 직접 메탄올 연료전지

1. 기술의 개요본 기술은 연료 확산속도 제어물질층을 포함하여 메탄올 크로스오버 현상을 억제시킨 직접 메탄올 연료전지에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 연료 확산속도 제어물질층이 연료극과 연료통 사이에 삽입되어 고농도의 메탄올 연료를 사용하는 경우에도 메탄올의 확산속도를 감소시켜 주입된 메탄올이 촉매층에서 모두 반응되도록 하므로써 미반응 메탄올을 원천적으로 감소시켜 메탄올 크로스오버 현상을 억제하고 높은 전력 밀도를 나타내는 직접 메탄올 연료전지에 관한 것이다.2. 기술의 특징본 기술에 따른 직접 메탄올 연료전지는 연료 확산속도 제어물질층에 의해 연료 공급 속도를 조절하여 메탄올 크로스오버 현상을 억제하므로, 에너지 밀도 및 출력 밀도가 향상되며 고농도 메탄올 수용액 연료를 사용할 수 있어서 적은 양의 연료로도 장시간 사용할 수 있으며, 또한 연료통의 부피를 감소시켜 연료전지의 소형화를 이룰 수 있다. 따라서, 활성 또는 불활성 타입 등의 모든 종류의 직접 메탄올 연료전지의 성능을 개선하여 휴대폰, PDA, 노트북 등의 소형 휴대 전자제품의 전원으로 이용할 수 있다.

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2008-07-11
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전기방사법을 이용하여 절연체 위에 탄소나노튜브를 증착하는 방법 및 이에사용되는 전기방사장치

1. 기술의 개요본 기술은 탄소나노튜브(Carbon Nanometer Tube: CNT) 용액을 PET 필름에 증착시켜 전도성을 가진 PET필름을 제작하려는 것에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 전기방사법을 이용하여 탄소나노튜브를 증착한 전도성 PET 필름 제조 방법 및 장치에 관한 것이다.2. 기술의 특징본 기술에서는 전기방사법을 이용하여 PET와 같은 절연체에 탄소나노튜브를 증착함에 있어, 많은 구멍이 있는 매시(mesh)를 수거부(collector)에 사용함으로써 전기장에 의해 수거부까지 이동해 온 탄소나노튜브가 매시 구멍을 통과해 그리드 위에 위치한 PET 필름에 증착되도록 하였다. 따라서 본 기술에 의해 전기방사법을 통해 절연체 위에도 원하는 물질을 증착시킬 수 있게 되었다.

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2008-07-11
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폴리디비닐벤젠 구형 입자와 금속을 이용한 코어/쉘도전입자 및 이의 제조방법

1. 기술의 개요본 기술은 폴리디비닐벤젠 구형 입자와 금속을 이용한 코어/쉘 도전입자 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 이방 전도성 접착제에서 사용되는 도전입자에 있어서, 고분자 미립자로 이루어진 경질입자, 경질입자와 금속과의 접착력을 증가시키기 위해 경질입자 표면을 작용기로 개질시킨 제 1 피복층 및 제 1 피복층을 둘러싸는 Au 코팅층으로 이루어진 제 2 피복층으로 구성됨을 특징으로 하는 도전입자 및 이의 제조방법에 관한 것이다. 2. 기술의 특징본 기술의 도전입자는 입자의 크기 조절이 가능하며, 동시에 전도성 입자로 전기전도도가 양호하여 접속신뢰성이 높은 효과를 나타낼 수 있으며, 또한 경질입자에 금속층을 직접 코팅하므로써, 원가 절감 및 공정 향상의 효과를 얻을 수 있어 액정디스플레이 패널과 인쇄회로기판 등의 접착에 사용되는 이방성 도전필름의 구성요소로서 유용하게 이용할 수 있다.

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2008-07-11
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방식 감지 시스템

1. 기술의 개요갈바닉 전류를 이용하여 토양에 매설된 배관의 방식전위 및 방식전류를 측정하여 배관의 방식 상태와 과방식이나 전식에 의해 배관이 손상되는 정도 및 지점을 모니터링하는 방식 감지 시스템에 관한 것으로, 음극방식이 진행 중인 배관의 방식상태(방식전위 및 방식전류)와의 상관관계를 이용하여 배관의 방식 정도를 정량적인 수치로 제시함으로써 배관의 방식상태를 손쉽게 감지할 수 있고, 과방식이나 전식에 의해 배관이 손상되는 문제를 미연에 방지할 수 있다.2. 기술의 특징토양에 매설된 배관의 방식 상태를 감지하기 위한 시스템으로서, 부식 감지용 센서, 부식 감지용 센서에서 유기되는 갈바닉 전류의 부호를 통해 미주전류에 의한 배관의 전식을 감지하는 영저항 전류계를 포함하며, 부식 감지용 센서는 측정되는 배관과 동일한 재료로 형성된 양극과 순도 99.99% 이상의 동으로 이루어진 음극으로 구성을 마련한다.

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성균관대학교
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2008-07-11
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이중 주파수를 이용한 초대면적 플라스마 발생장치

본 기술은 이중 주파수를 이용한 초대면적 플라스마 발생장치에 관한 것으로서, 초대면적 플라스마 발생장치를 이용하는 것에 의해 플라스마의 균일도를 최대한 향상시킴으로써, 좀 더 나은 고밀도의 플라스마를 얻을 수 있다.식각 또는 증착공정을 수행할 기판이 장착되는 스테이지, 스테이지와 분리 가능하고, 플라스마 처리장치 영역을 갖는 반응챔버, 반응챔버를 덮는 덮개, 반응챔버와 덮개를 결합하는 조립 프레임, 플라스마 처리장치 영역 내에서 배치되어 있으며, 일 측은 전원에 접속되고, 타 측은 접지되어 있는 다수의 안테나 조립체가 각각 병렬로 구성되는 제1 및 제2의 안테나 소스 및 각각의 안테나 조립체를 중심으로 양쪽에 각각 배치되는 다수의 자성체 조립체를 포함하며, 제1의 안테나 소스는 각각 동일 전력이 인가되는 m개의 안테나 조립체를 구비하고, 제2의 안테나 소스는 각각 동일 전력이 인가되는 m-1개의 안테나 조립체를 구비하며, 제1의 안테나 소스의 각각의 안테나 조립체와 제2의 안테나 소스의 각각의 안테나 조립체는 교대로 배치되고, 제1의 안테나 소스에 인가된 입력전력과 제2의 안테나 소스에 인가된 입력전력은 서로 다른 크기이고 동시에 인가되는 구성을 마련한다.

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성균관대학교
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2008-07-11
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일반기술 전기·전자 > 기타 전기/전자

발광다이오드를 이용한 투광기

본 발명은 발광다이오드로부터 방출되는 광을 확산 및 집속시킬 수 있는 발광다이오드를 이용한 투광기에 관한 것으로 복수개의 발광다이오드들을 이용하게 되므로 각각의 발광다이오드들로부터 조사되는 광의 코어부가 분산되므로 균일한 조도의 광을 조사할 수 없고 발광다이오드가 고휘도용인 경우 많은 열이 발생되는데, 이를 충분히 냉각시키기 못할 경우 상기 발광다이오드가 열화되는 문제점이 있다.위와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 복수개의 발광다이오드로부터 조사되는 광의 조도를 균일하게 할 수 있으며, 적, 녹, 청색 발광다이오드들에 의한 칼라 광의 구현 시 화이트 밸런스 특성을 향상시킬 수 있는 발광다이오드를 이용한 투광기를 제공함에 그 목적이 있다. 본 발명의 다른 목적은 방열특성과 반사효율을 높일 수 있으며, 구조를 단순화하여 생산성의 향상을 도모 할 수 있는 발광다이오드를 이용한 투광기를 제공함에 있다.

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(재)광주테크노파크
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2008-07-15
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일반기술 전기·전자 > 기타 전자제품

식기 건조기의 열 공급장치

본 발명은 식기 건조기의 열 공급장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 순환 공기를 직접 가열 하여 열손실을 감소시키고, 히터의 수명을 연장시킬 수 있게 하는 식기 건조기의 열 공급장치에 관한 것이다.본 발명의 목적은 아래와 같다.1)직열식 히팅부를 사용하여 순환 공기를 직접 가열함으로써 매개물에 의한 열손실을 방지하고, 열효율을 크게 향상시킴2)순환 공기와 코일형 히터가 직접 접촉되는 동시에 방습제를 구비하여 김서림현상 등 수분 발생 현상을 방지하여 부품의 수명을 향상3)직열식 히팅부의 위치나 그 구조가 건조실의 상부에 착탈가능하도록 위치하여 부품의 관리 및 교체 수리를 간편하게 할 수 있는 식기건조기의 열 공급장치를 제공 본 발명의 특징은 다음과 같다1)본 발명의 식기 건조기의 열 공급장치는, 식기건조기 본체와 식기가 거치된 건조실 사이에공기순환통로를 형성하여 송풍기에 의해서 가열 공기가 건조실로 공급되게하고,2)건조실 공기는 흡기구를 통해서 공기순환 통로로 순환하게 한 것에 있어서, 상기 공기순환 통로에 상기 공기순환통로를 순환하는 순환공기와 직접 접촉되어 공기를 직접 가열하도록 순환공기의 경로상에 위치하는 직열식 히팅부를 설치하여 히팅부의 열이 순환 공기로 직접 전달시키게 함.3)또한 본 발명에 따르면, 상기 히팅부는 코일과 코일 사이로 상기공기순환통로 의 공기가 소통될수 있도록 형성되는 코일형 히터임.

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전북기술이전센터
등록일
2008-07-15
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일반기술 전기·전자 > 기타 반도체

플라즈마를 이용한 단백질칩 기판의 제조 방법 및 이로부터제조된 단백질칩 기판

본 기술은 단백질칩 기판 및 그 제조방법에 관한 것이다. 플라즈마 중합된 싸이클로핵산(PPCHEX) 및 아민 기능성 그룹을 가진 플라즈마 중합된 에틸렌다이아민(PPEDA)을 유도 결합형 플라즈마 화학기상 증착법을 사용하여 증착하는 것을 특징으올 한다.아민 기능성 그룹을 가진 플라즈마 중합된 에틸렌다이아민(PPEDA)과 비특이성 흡착이 없는 플라즈마 중합된 싸이클로핵산(PPCHex)을 유도 결합형 플라즈마 화학기상법(Inductively Coupled Plasma-Chemical Vapor Deposition; ICP-CVD)을 사용하여 증착함으로써 슬라이드 표면에 발생하는 비특이성 흡착을 방지한다.

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성균관대학교
등록일
2008-07-16
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일반기술 전기·전자 > 기타 전기/전자

평판 표시 소자 제조에 사용되는 상압 플라즈마 식각 장치

본 기술은 TFT-LCD와 같은 평판 표시 소자 제조에 사용되는 기판을 플라즈마를 이용하여 식각하는 장치이다. 식각 공정이 다른 공정과 인라인으로 진행될 수 있도록 기판이송부가 제공되며, 상압에서 플라즈마가 안정하고 균일하게 발생될 수 있도록 글로우 방전을 유도하기 위해 상부전극의 아래에 절연판이 제공되고, 공정진행시 가스의 온도를 낮추기 위해 비반응성 가스가 공급된다. 본 기술은 상압에서 플라즈마를 이용하여 평판 표시 소자 제조에 사용되는 기판을 식각하는 장치에 있어서, 하부전극과, 하부전극과 일정 간격 이격되어 이와 대향되도록 배치되는, 그리고 하부전극과 마주보는 하부면에 뾰족한 복수의 돌기들이 형성된 상부전극과, 상부전극 아래에 배치되며 복수의 돌기들을 포함하여 상부전극의 하부면을 감싸는 절연판과, 절연판과 하부전극 사이에 플라즈마가 발생되도록 상부전극에 전원을 공급하는 전원공급부와; 그리고아크 방전이 발생되는 것을 방지하기 위해 절연판과 하부전극 사이의 영역 내로 비반응성 가스를 공급하는 비반응성 가스 공급부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

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성균관대학교
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2008-07-16
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