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SiGe 고주파 반도체 소자 제작에 필요한 SiGe/Si 이종접합 에피성장 및 고온 실리콘 에피성장 그리고 실시간 도핑된 실리콘 다결정 박막성장의 공정기술임 □ 실시간 n-형 도핑된 Si 다결정 박막성장 공정기술 전수 - 실리콘 기판을 습식식각으로 세척하여 표면을 청결하게 하고, - 에피성장 시스템 (AP/RPCVD system)에 로드락 챔버를 통하여 실리콘 기판을 장입하고, - 챔버 내의 온도를 성장온도로 조절한 다음, - SiH4, PH3 가스의 주입량과 챔버 압력을 조절하여 n-형 불순물의 함량을 결정하고. - 단순하고 정확하게 실시간 n-형 도핑된 Si 다결정층을 성장하는 공정으로 - 성장이 완료되면 실리콘 기판을 성장시스템에서 제거하고, - 박막성장 공정기술에 관련하여 소자에 응용하는데 필요한 물성의 평가를 위하여 전기적, 물리적, 광학적 측정분석을 하고, - 신뢰성과 uniformity에 대한 기술검증을 제공함 <활용방안 및 기대성과> - 에피성장에 대한 공정기술을 적용하여 통신용 반도체 소자를 개발하고, 전수업체의 신뢰성 Test를 거쳐 양산화로 성공시킴으로써 국내에서 고주파 실리콘-게르마늄 반도체의 국내 산업기반을 조성함 - SiGe 에피기술을 이전받고, 필요한 시설과 장비를 추가적으로 구축한다면 RF통신용 HBT 단위소자는 물론 RFIC, 발광소자 기술로 빠르게 발전하여 고부가가치 통신부품의 국산화로 연계할 수 있음 - SiGe 이종접합의 에피성장에 대한 공정기술은 향후에 SiGe 고주파 소자를 제작하는데 사용될 수 있어 다양한 RF&광 통신용 고속-고성능 반도체 소자의 국산화에 기여할 수 있음 - 통신용 SiGe 반도체 소자는 0.1불 정도이므로, 5,000만대의 기기에 0.1불인 소자가 2개씩 장착된다면 가격만 1,000만불(100억원) 이며, 그 중에서 10%를 생산하여 공급할 경우 국산화를 통하여 연간 10억원대의 수입대체 효과를 낼 수 있고, 핵심부품의 수입가격을 하락 시킬 수 있어서 국익에 대한 파급효과가 큼 - 반도체 소자의 개발에 성공하여 수익성이 증빙될 경우 국내기업이 사업에 투자할 가능성이 높아, 고주파통신 시장이 급격히 커지는 상황에서 바람직함
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- 한국전자통신연구원
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- 2009-01-22
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저전력 압전 마이크로 스피커 제조 기술 및 이를 이용한 방향지향성 마이크로스피커 어레이 제작 기술 초박형, 저전력 마이크로 스피커 소자를 제작하는 기술과 이 스피커 어레이 시스템을 통한 개인음향공간 형성을 위한 음향지향제어기술 이전을 통해 양산시스템을 갖는 업체로 하여금 스피커 소자 및 지향성 스피커 유닛 사업화 할수 있도록 함 휴대단말기의 다기능화에 따른 사용하는 시간이나 횟수 증가되고 있고 이에 따라 스피커 유닛의 전력소량이 증가되는데 반해 기존의 스피커는 전류구동형으로 전력소모가 크므로 이를 대체하는 저전력 마이크로 스피커 소자 양산화가 절실히 필요 Game, DMB, MP3등 이용시 주변에 영향을 주지 않는 개인음향공간 형성 기술에 대한 필요성이 증가하므로 마이크로 스피커 어레이 시스템을 통한 개인음향공간 형성 기술을 휴대단말기에 적용하는 것이 필요 휴대단말기의 초박화 흐름에 따른 초박형 마이크로 스피커 소자 제작 기술을 통하여 기존의 스피커를 대체하는 초박형 마이크로 스피커 양산이 필요<활용방안 및 기대성과>- 저전력 마이크로 스피커 유닛을 통한 휴대단말 사용시간 확대 - 초박형 마이크로 스피커 유닛을 통한 휴대단말기의 초박화 기술 가속 - 음향지향 제어를 통한 개인음향공간 형성기술을 이용하여 이어폰을 끼지 않고도 주변에 피해를 주지 않고 소리를 청취 가능 - TV나 Notebook 모니터에 스피커 어레이를 적용하여 개인음향공간 형성 하는 서비스
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- 한국전자통신연구원
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- 2009-01-22
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해당 기술은 다공성 전극의 제조방법에 관한 것으로, 상세하게는 (a) 활성 탄소, 전도성 입자 및 고분자 바인더를 포함하는 물질을 유기용매와 혼합하여 전극 슬러리를 제조하는 단계; (b) 상기 전극 슬러리를 집전체에 도포하는 단계; 및 (c) 상기 전극 슬러리가 도포된 집전체를 비용매에 침지시켜 고분자 바인더의 상전이 및 유기용매를 제거하는 단계;를 포함하여 제조되는 특징이 있다. 해당 기술의 제조방법은 고분자 바인더의 상전이(solidification) 및 유기용매의 액상 분리를 통해 전극에 기공을 형성함으로써 전극의 비표면적을 획기적으로 증가시킬 수 있어 큰 축전 용량을 가지는 장점이 있다. 전극에 형성되는 기공의 양 및 기공의 크기를 손쉽게 조절할 수 있는 장점이 있으며, 균일한 분포의 기공을 얻을 수 있는 장점이 있다. 또한 전극의 전기 저항이 작으며, 대면적의 전극에서도 균일한 전기장이 형성되며, 전극 자체가 높은 물리적 강도를 갖는 장점이 있으며, 제조된 전극이 높은 탄성을 가지기 때문에 임의의 형상의 전극 또는 전기화학 셀을 제조할 수 있는 장점이 있다.
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- (재)충남테크노파크
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- 2009-01-28
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해당 기술에 의하면, 호스트 시스템에 접속한 사용자가 상기 통신망을 통해 상기 레이드 시스템에 접속하고, 사용자의 요청에 의해 상기 레이드 시스템의 구성, 운영 상태, 사용자 관리 혹은 레이드 시스템의 유지 보수에 대한 데이터를 포함하는 정보를 요청하는 시스템 커맨드를 레이드 시스템에 전송하며, 시스템 커맨드를 수신한 레이드 시스템에서 시스템 커맨드에 대한 응답으로 레이드 시스템의 상태를 포함하는 응답 메시지를 호스트 시스템으로 전송하며, 호스트 시스템에서 응답 메시지를 수신하여 그 응답 메시지가 커맨드에 대응되는 응답 메시지이면 응답 메시지에 포함된 레이드 시스템에 대한 정보를 레이드 시스템의 상태에 따라 상기 사용자, 상기 사용자를 포함하는 상기 호스트 시스템에 접속한 사용자 혹은 다른 호스트 시스템에게 출력하여, 원격으로 레이드 시스템을 관리할 수 있다.인터넷과 같은 통신망을 이용하게 되어 기존의 레이드 시스템의 공간과 시간의 제약을 해결할 수 있어 관리자가 시간과 장소에 구애 없이 레이드 시스템의 상태를 검사하고 문제가 발생되면 즉각 대처할 수 있는 환경을 만들어 준다. 또한 여러 레이드 시스템의 관리를 단일의 공통된 환경으로 할 수 있어 통합 및 관리 기능이 향상된다.
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- 2009-01-28
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전기·전자 > 기타 반도체
해당 기술은 면광원용 도광판에 관한 것으로, 특히 휘도가 균일토록 보정하는 확산판 없이도 효율적인 빛 투과와 균일한 밝기를 얻도록 한 면광원용 도광판에 관한 것이다. 해당 기술은 일 측면에 놓인 광원으로부터 입사되는 빛을 분산시켜 상면으로 투과시키는 면광원용 도광판에 있어서, 상기 상면에는 임의의 폭을 갖는 패턴이 연이어서 형성되되, 상기 패턴은 상기 상면에서 소정의 높이로 돌출된 형상이며, 상기 광원에서 멀어질수록 그 높이가 변화되는 것을 특징으로 한다.전술한 목적을 달성하기 위해 해당 기술은 일 측면에 놓인 광원으로부터 입사되는 빛을 분산시켜 상면으로 투과시키는 면광원용 도광판에 있어서, 상기 상면에는 임의의 폭을 갖는 패턴이 연이어서 형성되되, 상기 패턴은 상기 상면에서 소정의 높이로 돌출된 형상이며, 상기 광원에서 멀어질수록 그 패턴의 폭이 변화되는 것을 특징으로 한다.
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- 2009-01-28
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전기·전자 > 기타 반도체
해당 기술은 도광판에 관한 것으로, 특히 휘도가 균일토록 보정하는 확산판 없이도 효율적인 빛 투과와 균일한 밝기를 얻도록 한 도광판에 관한 것이다. 또한, 해당 기술은 일 측면에 놓인 광원으로부터 입사되는 빛을 분산시켜 상면으로 투과시키는 도광판에 있어서, 상기 상면에는 임의의 폭을 갖는 패턴이 연이어서 형성되되, 상기 패턴은 상기 상면에서 소정의 높이로 돌출된 형상이며, 상기 광원에서 멀어질수록 패턴의 간격이 변화되는 것을 특징으로 하는 도광판을 제공한다.해당 기술은 전술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 빛이 투과되는 평면에 나노미터 크기의 패턴을 규칙적으로 배열하고 이 패턴의 모양 또는 패턴 사이의 간격을 사용하는 광원의 종류(LED 또는 CCFL)와 광원의 개수에 따라 변화시킴으로써, 확산판 없이도 투과되는 빛이 그 전면에 걸쳐 균일한 밝기를 갖도록 한 도광판을 제공하는데 그 목적이 있다.
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- 2009-01-28
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해당 기술은 임의 형상을 나노미터급으로 패터닝하기 위한 노광장치에 관한 것으로 새로운 회로를 제작할 때 해당 마스크만 바꿔주면 되므로 반도체 공정 시 칩의 단가를 혁신적으로 낮출 수 있을 뿐만 아니라 나노미터 가공이 필요한 전 분야에서 연구와 생산을 용이하게 할 수 있는 임의 형상을 나노미터급으로 패터닝하기 위한 노광장치 및 프리어 변환된 패턴이 형성된 마스크 제작 방법에 관한 것이다. 특히 임의 형상을 원점대칭의 형태로 만들어 프리어변환을 한 뒤 음수를 제거하는 방법으로 프리어변환된 패턴이 형성된 마스크를 만들어 노광장치에 특별한 추가사항없이 임의형상을 나노미터급으로 패터닝할 수 있다. 해당 기술의 임의형상을 나노미터급으로 패터닝하기 위한 노광장치는 광원을 제공하는 램프를 구비한 광원부, 상기 광원의 광이 통과하고 프리어변환된 패턴이 형성된 마스크를 장착하는 마스크부, 상기 마스크부를 지난 광을 프리어변화시키기 위한 적어도 하나의 렌즈로 구성된 렌즈부 및 photoresistor가 증착된 웨이퍼가 장착되는 PR부를 포함하여 구성된 것을 특징으로 프리어변환된 패턴이 형성된 마스크를 이용하는 노광장치를 제공한다.
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- 2009-01-28
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전기·전자 > 기타 반도체
해당 기술은 호스트와 도펀트가 혼합된 단일 타겟을 사용함으로써 단일 증발원의 사용이 가능하고, 이에 따라 간단한 구성과 장치 사이즈이 소형화가 가능하게 하고, 나아가 1:1000 이하의 도핑률과 대면적을 갖는 도핑박막의 제조를 가능하게 하는 단일 타겟을 이용한 도핑박막 제조방법에 관한 것이다.단일 타겟을 이용한 도핑박막 제조방법은 두 종류 이상의 호스트와 도펀트를 소정의 도핑률에 의해 균일하게 배합하여 얻어진 단일 타겟을 이용하여 도핑박막을 증착시키되, 상기 소정의 도핑률은 상기 호스트와 상기 도펀트만으로 이루어진 개별 타겟에 대한 목표 증착조건에 있어서의 호스트 증착률과 도펀트 증착률 및 사기 도핑박막의 목표 도핑률에 의거하여 결정된다. 상기 소정의 도핑률은 간단한 수식에 의하여 정해질 수 있다. 나아가 상기 목표 증착조건은 진공증착인 경우에 온도값으로 정해지고, 레이저 증착인 경우에는 레이저빔 플루언스로 정해질 수 있다. 그리고 상기 도핑박막 증착 과정에서 질소나 아르곤을 주변가스로 사용하는 것이 바람직하다.
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- 2009-01-28
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전기·전자 > 기타 반도체
해당 기술은 유기발광 디바이스 및 그 제조방법에 관한 것으로, 고분자 물질인 PTFE를 차단벽 및 패시베이션 박막으로 사용한 유기발광 디바이스 및 그 제조방법에 관한 것이다. 특히 산소 및 습기에 민감한 유기발광 디바이스는 수명연장을 위하여 보호막이 필수적으로 구비되어야 하는바, 고분자 물질 중 내수성이 강한 PTFE를 박막으로 사용하여 유기발광 디바이스 내부로 유입될 수 있는 산소 및 습기를 효율적으로 차단함으로써, 유기발광 디바이스의 수명을 연장시킬 수 있다. 해당 기술은 산소 및 습기가 유기발광 디바이스에 유입되어 디바이스의 수명이 단축되는 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서 유기발과 디바이스를 캡슐화하기 위해 사용되는 박막의 재질로 고분자 물질 중 수분 차단율이 가장 우수한 PTFE를 사용하여 디바이스 내부로 유입되는 산소와 습기를 효과적으로 차단하며 접착제 및 흡습제가 필요없고 상온에서 제조가 가능한 유기발광 디바이스 및 그 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
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- (재)충남테크노파크
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- 2009-01-28
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전기·전자 > 기타 반도체
해당 기술은 광 도파로에 관한 것으로, 특히 휘도가 균일토록 보정하는 확산판 없이도 효율적인 빛 투과와 균일한 밝기를 얻도록 한 광 도파로에 관한 것이다. 또한, 해당 기술은 일 측면에 놓인 광원으로부터 입사되는 빛을 분산시켜 상면으로 투과시키는 광 도파로에 있어서, 상기 상면에는 임의의 폭을 갖는 패턴이 연이어서 형성되되, 상기 패턴은 상기 상면에서 소정의 높이로 돌출된 형상이며, 상기 광원에서 멀어질수록 그 높이가 변화되는 것을 특징으로 하는 광 도파로를 제공한다. 해당 기술은 LCD 백라이트에서 휘도 균일성을 유지하기 위하여 확산판 등을 사용하는데 이는 빛의 효율의 손실 요인으로 작용되는 문제점이 있다. 해당 기술은 이런 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로 빛이 투과되는 평면에 동심원 구조로 가시광선의 파장 정도 크기의 회절격자를 갖는 블레이드 또는 이 모양이 변형된 패턴을 형성하고, 이 패턴의 폭 또는 높이가 광원과으 거리에 따라 변화시킴으로써 확산판 없이도 투과되는 빛이 그 전면에 걸쳐 균일한 밝기를 갖도록 한 광 도파로를 제공하는데 그 목적이 있다.
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- (재)충남테크노파크
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- 2009-01-28
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전기·전자 > 기타 반도체
3극관 전계방출소자 및 그 제조방법에 관한 것으로, 탄소나노튜브가 수직 성장된 수십 나노미터 크기의 각 미세공마다 게이트전극을 구비시켜 저전압 구동이 가능하면서 높은 발광효율을 보이는 3극관 전계방출소자 및 그 제조방법에 관한 것이다. 특히, 탄소나노튜브가 성장된 미세공마다 게이트전극을 구비시켜 게이트전극과 전자방출원의 거리를 수 나노미터 이내로 줄임으로서, 한 개의 화소에서 기존의 방식보다 수십 내지 수백 배 더 많은 수의 에미터를 얻을 수 있으며, 이로 인하여 지속적이고 안정적인 전자방출 특성을 보일 수 있다. 또한 게이트전극과 전자방출원의 거리를 수 나노미터 이내로 줄임으로서 낮은 전계에서도 높은 전자방출효과를 보인다. 탄소나노튜브가 성장된 미세공마다 게이트전극을 만들어주어 게이트전극과 전자방출원의 거리를 수 나노미터 이내로 줄임으로써 한 개의 화소에서 기존의 방식보다 수십 내지 수 백배 더 많은 에미터를 제작할 수 있으며 지속적이고 안정적인 전자방출 특성을 보이고 낮은 전계에서도 높은 전계방출효과를 보이므로 베터리를 이용한 전자제품에 응용이 가능하다. 또한 알루미나 구조체를 이용한 3극관 구조의 전계방출소자를 제작함에 있어서 양극산화법을 이용하기 때문에 기존의 포토리소그래피법을 이용하는 것보다 공정단계를 현저하게 줄일 수 있어 제조단가를 낮출 수 있다.
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- (재)충남테크노파크
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- 2009-01-28
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전기·전자 > 기타 반도체
스핀트형 3그관 전계방출소자 제조방법에 관한 것으로 알루미나 구조체 및 미세공의 높이와 크기를 조절하여 미세공 내부에 금속 팁을 스퍼터링으로 형성시킬 수 있는 3극관 제조 방법에 관한 것이다. 하판에 캐소드 전극과 알루미늄을 증착하고 양극산화 공정을 수행하여 상기 알루미늄을 소정크기의 미세공과 알루미나 구조체로 형성시킴으로써 전해도금 공정에 비해 공정 단계를 현저히 줄일 수 있고, 한 개의 전자방출원의 크기를 수십 나노미터부터 수백나노미터까지 자유로이 조절할 수 있다. 미세공마다 게이트 전극을 구비시켜 낮은 동작전압과 높은 전계방출특성을 얻을 수 있으며 항상 일정한 크기의 전계방출소자의 제조가 가능하다. 스핀트형 3극관 전계방출소자 제조방법에 따르면 하판에 캐소드 전극과 알루미늄을 증착하고 양극산화 공정과 인산처리공정을 수행하여 상기 알루미늄을 소정크기의 미세공과 알루미나 구조체로 형성시킴으로써 전금도금 공정을 이용하여 형성시키는 방법에 비해 공정 단계를 현저히 줄일 수 있고, 한 개의 전자 방출원의 크기를 수십 나노미터부터 수백 나노미터까지 자유로이 조절할 수 있으며 비교적 간단히 원하는 크기의 전계방출소자를 제조할 수 있다. 또한 미세공마다 게이트 전극을 구비시켜 낮은 동작전압과 높은 전계방출 특성을 얻을 수 있으며 항상 일정한 크기의 전계방출소자의 제조가 가능하다.
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- (재)충남테크노파크
- 등록일
- 2009-01-28
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전기·전자 > 기타 반도체
해당 기술은 양면 발광이 가능한 스핀트형 3극관 전계방출소자 및 그 제조방법에 대한 것으로 기판의 양면 즉, 상면 및 하면 모두에 금속팁을 형성시킴으로써 양면 발광이 가능하도록 하며, 특히 알루미나 구조체 및 희생층을 양면에 동일하게 형성시킬 수 있도록 한 양면 발광이 가능한 스핀트형 3극관 전계방출소자 및 그 제조방법에 대한 것이다. 양면 발광이 가능한 스핀트형 3극관 전계방출소자 및 그 제조방법에 따르면 양면 발광이 필요한 장치에서 단면 발광이 가능한 스핀트형 3극관 전계방출소자를 2개이상 사용하는 것보다 두께가 얇아지고 비용도 절감되는 특징이 있다.
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- (재)충남테크노파크
- 등록일
- 2009-01-28
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일반기술
전기·전자 > 기타 반도체
해당 기술은 유기 EL 소자의 진공 증착공정 진행시 유리기판의 편평도를 지속적으로 측정하여 유리기판의 처짐, 휨 현상을 실시간으로 파악할 수 있는 유기 EL 소자의 유리기판 편평도 측정장치 및 방법에 관한 것으로서, 해당 기술에 따른 유기 EL 소자의 유리기판 편평도 측정장치는 고정판에 의해 일면이 고정, 지지되는 유리기판과, 상기 유리기판의 양 측면의 대향되는 위치에 각각 구비되는 레이저 발광부 및 레이저 수광부와, 상기 레이저 발광부 및 레이저 수광부와 통신연결관계를 맺으며, 상기 레이저 발광부로부터 조사된 레이저가 유리기판을 거쳐 상기 레이저 수광부에 수광되는 시간을 측정하는 측정 제어부를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.- 유리기판의 측면에 레이저 발광부 및 레이저 수광부를 구비시키고 레이저의 유리기판 투과시간을 측정하여 해당 유리기판의 불량 여부를 판단함으로써, 공정 진행 중인 유리기판의 불량 여부를 실시간으로 파악할 수 있음.- 빛이 도파로를 투과할 때 도파 경로에 따라 투과시간이 서로 다르게 되는 기술적 원리를 이용함. 즉, 레이저가 유리기판을 투과하는 시간을 측정하여 해당 유리기판의 처짐, 휨 현상을 체크함.
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- (재)충남테크노파크
- 등록일
- 2009-01-28
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전기·전자 > 기타 반도체
해당 기술은 진공 열 증착(Vacuum Thermal Evaporation) 방법으로 OLED(Organic Electroluminescence Display) 등의 박막(Thin Film)을 제작하기 위하여 증착물질을 가열하기 위한 가열장치에 관한 것으로서, 특히 대면적 OLED의 박막을 제작하는 경우에 대면적 전체 박막의 균일성을 향상시킬수 있는, 원형 또는 사각형 모양의 면적형 증착물질 가열장치에 관한 것이다. 해당 기술은 진공 열 증착에 의한 대면적 유기박막 제작에 있어서, 기존 선형 증발원의 결점이었던 이송장치 사용을 해소한 것으로, 기판 또는 증발원의 이송 없이 대면적의 기판에 균일한 두께의 박막을 제작할 수 있어, 증착 장치의 효율성을 높일 수 있고, 기판 또는 증발원의 이동 시 발생할 수 있는 입자의 발생이나 불량률을 최소화할 수 있다.
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- (재)충남테크노파크
- 등록일
- 2009-01-28
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전기·전자 > 기타 반도체
해당 기술은 진공 열 증착(Vacuum Thermal Evaporation) 방법으로 OLED(Organic Electroluminescence Display) 등의 박막(Thin Film)을 제작하기 위하여 증착물질을 가열하기 위한 가열장치에 관한 것으로서, 특히 대면적 OLED의 박막을 제작하는 경우에 대면적 전체 박막의 균일성을 향상시킬수 있는, 원형 또는 사각형 모양의 면적형 증착물질 가열장치에 관한 것이다. 해당 기술은 진공 열 증착에 의한 대면적 유기박막 제작에 있어서, 기존 선형 증발원의 결점이었던 이송장치 사용을 해소한 것으로, 기판 또는 증발원의 이송 없이 대면적의 기판에 균일한 두께의 박막을 제작할 수 있어, 증착 장치의 효율성을 높일 수 있고, 기판 또는 증발원의 이동 시 발생할 수 있는 입자의 발생이나 불량률을 최소화할 수 있다.
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- (재)충남테크노파크
- 등록일
- 2009-01-28
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전기·전자 > 기타 반도체
해당 기술은 유기 EL용 새도우 마스크의 스트레칭시 유효영역이 균일하게 인장되도록 함과 함께 유기 EL용 새도우 마스크의 처짐 현상을 개선할 수 있는 유기 EL용 새도우 마스크에 관한 것으로서, 해당 기술에 따른 유기 EL용 새도우 마스크는 유효영역과 비유효영역이 정의된 유기 EL용 새도우 마스크에 있어서, 상기 유효영역의 둘레를 따라 장력 완충부가 구비되며, 상기 장력 완충부는 상기 유효영역과 비유효영역의 수평면 기준으로 상부로 돌출된 부분과 하부로 돌출된 부분으로 구성되는 것을 특징으로 한다. 해당 기술에 따른 유기 EL용 새도우 마스크는 다음과 같은 효과가 있다. 유효영역과 비유효영역이 정의된 유기 EL용 새도우 마스크에 있어서, 상기 유효영역의 둘레를 따라 장력 완충부가 구비됨에 따라 비유효영역에 인가된 인장력이 상기 유효영역에 균일하게 인가될 수 있게 된다. 이에 따라, 마스크 패턴의 변형 없이 유기 EL용 새도우 마스크의 처짐 현상을 방지할 수 있다. 또한, 상기 장력 완충부가 구비됨에 따라 유기 EL용 새도우 마스크의 자체 강성을 향상시킬 수 있게 되어 처짐 현상을 개선할 수 있게 된다.
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- (재)충남테크노파크
- 등록일
- 2009-01-28
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일반기술
전기·전자 > 기타 반도체
기준 영상과 검사 영상을 각각 취득하고, 기준 영상과 검사 영상에 대해 문자 단위에 상관도를 구한 후, 상관도 값과 기설정 된 제1 임계값을 비교한다. 다음으로 상관도 값이 제1 임계값보다 큰 경우, 상기 해당 문자를 일정한 개수의 영역으로 분할하고, 분할한 영역별로 기준 영상과 검사 영상의 상관도를 구한 후, 상관도의 최대값 및 최소값의 차이와 기설정 된 제2 임계값을 비교한다. 여기서, 상관도의 최대값 및 최소값의 차이가 제2 임계값보다 큰 경우 검사 영상을 불량으로 판단하고, 상관도의 최대값 및 최소값의 차이가 제2 임계값보다 작은 경우, 검사 영상을 정상으로 판단함으로써, 불량정도가 작은 마크라 할지라도 그 불량 여부를 정밀히 판단해 낼 수 있는 마크 분할 검사 방법이 개시된다.마크의 불량 여부를 판정하기 위한 기준이 되는 기준 영상을 취득하는 단계와, 마크의 불량 여부를 판정할 검사 영상을 취득하는 단계와, 상기 기준영상과 검사 영상에 대해 문자 단위의 상관도를 구한 후, 상기 상관도 값과 기설정 된 제1 임계값을 비교하는 단계와, 상기 상관도 값이 제1 임계값보다 큰 경우, 상기 해당 문자를 일정한 개수의 영역으로 분할하는 단계와, 상기 분할한 영역별로기준 영상과 검사 영상의 상관도를 구한 후, 상관도의 최대값 및 최소값의 차이와 기설정 된 제2 임계값을 비교하여 검사 영상의 불량 여부를 판정하는 단계를 포함하여 이루어진다.
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- (재)충남테크노파크
- 등록일
- 2009-01-28
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일반기술
전기·전자 > 제어·자동화
모터를 가속하는 제1 구간과, 상기 구간에 연속하여 이어지는 제2 구간에 걸쳐서 상기 모터를 등속 제어하는 단계와, 상기 제2 구간에 연속하여 이어지는 제3 구간에 걸쳐서 상기 모터를 감속하여 모터의 최종 속도를 0에 이르게 하는 감속 단계를 포함한다. 그리고 상기 제3 구간의 시간이 제1 구간보다 더 길게 되어 있다. 모터를 제어 하는 방법에 관한 것으로서 특히 잔류 진동을 최소화할 수 있는 모터 제어 방법에 관한 것이다. 제1 구간에 걸쳐 상기 모터를 가속하는 단계와, 상기 제1 구간에 연속하여 이어지는 제2 구간에 걸쳐서 상기 모터를 등속 제어하는 단계와, 상기 제2 구간에 연속하여 이어지는 제3 구간에 걸쳐서 상기 모터를 감속하여 모터의 최종 속도를 0에 이르게 하는 감속 단계를 포함한다. 그리고 상기 제3 구간의 시간이 제1 구간보다 더 길게 되어 있다. 이러한 모터 제어 방법은 비대칭 S-커브 프로파일에 의해 달성되며, 제3 구간의 지속시간이 가속 구간인 제1 시간보다 길게 되어 있으므로, 모터에 연결된 물체가 최종 위치에 배치되기 전에 감속하는 단계를 길게 할 수 있으며, 따라서 저그의 변화를 적게 할 수 있다. 결국 대칭형 커브 프로파일을 사용하여 모터를 제어하는 경우에 비해, 모터에 연결되어 이동하는 물체의 잔류 진동을 감소시킬 수 있다.
- 보유기관
- (재)충남테크노파크
- 등록일
- 2009-01-28
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일반기술
전기·전자 > 기타 반도체
검사 대상인 평판의 이미지를 입력받는 단계와 이미지에 최소 자승법을 사용하는 첫 단계로 배경 정규화를 수행하여 중간 이미지를 생성하는 단계, 상기 중간 이미지의 휘도값을 기준값에 대해서 이산화시킨 후, 소정 휘도값 이하의 부분은 상기 소정 휘도값보다 낮은 값으로 조정하여 중간 이미지를 생성하는 단계, 상기 중간 이미지에 메디안 필터를 사용하여 잡음(noise)이 제거된 새로운 중간 이미지를 생성하는 단계, 상기 중간 이미지에 배경 정규화를 수행하여 중간 이미지를 생성하는 단계와 중간 이미지에 오프닝 필터링과 클로징 필터링을 수행하여 최종 이미지를 생성하는 단계를 포함한다.특정 각도와 특정 조명하에 디스플레이 장치용 평판을 배치하고, 검사원이 평판을 직접 육안으로 검사하여야 하는 팽이 무라 검사를 이미지 처리 과정을 거쳐서 평판의 전체 또는 부분 이미지에 팽이 무라가 보이도록 함으로써 검사원의 숙련도와 상관없이 검사할 수 있게 되므로, 평판의 팽이 무라 검사 속도를 증대시키고, 검사 오류를 현저히 저감시킬 수 있다.
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- (재)충남테크노파크
- 등록일
- 2009-01-28
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