산업기술 통합검색
본 기술은 펨토초 레이저 분광기술을 이용하여 초고속 광통신용 광전소자의 광응답특성, 광스위치소자의 스위칭특성 등을 비접촉으로 정밀 측정, 평가하는 기술이다. 또한 반도체소자의 광응답특성 등을 체계적으로 측정, 분석할 수 있으며, T Hz 영역의 새로운 주파수 대역에 대한 광특성을 측정할 수 있다. 광전소자의 특성평가 및 특성변화 원인규명을 통한 제품의 신뢰성 확립 및 고성능화에 기여할 것이다.- 화합물반도체로 이루어진 광스위치소자의 스위칭시간 측정- 초고속 광전소자의 광응답특성 측정 및 평가- T Hz 영역에 대한 투과 및 흡수특성 측정 및 평가
본 기술은 CFx 플라즈마로 SiO2 기판을 식각 할 때 반응 부산물인 CO 와 반응 염기인 CF2 의 발광스펙트럼 선들의 세기의 변화를 측정하여 SiO2 기판의 식각 완료시점을 측정하는 기술이다. 식각 완료시점(Endpoint)이란 반도체 기판위에 증착된 물질중에서 식각하려고 하는 물질이 완전히 식각이 되는 시각이다. 비접촉식이므로 플라즈마의 특성에 영향을 주지 않으며, 단색화장치(monochromatar)를 사용하지 않고 간섭필터를 사용하여 장치가 간편한 장점이 있다. - 플라즈마의 발광분광선을 이용하므로 비접촉식기술임- 단색화장치를 사용하지 않고 간섭필터를 사용한 간편한 장치임.- 식각완료시점 전 후에서 발광분광선의 세기가 반대인 두 신호세기의 신호비를 사용하므로 신호대 잡음비(S/N)가 높은 신호를 얻을 수 있는 장치임.
본 기술은 레이저 산란광의 간섭을 이용하여 재료나 구조물 미소부위의 변형을 연속적으로 측정하는 기술이다. 본 기술의 구성은 laser를 시편에 조사하는 광학부, 산란광을 확대 관측하는 비디오부, 그리고 관측된 상을 연속적으로 해석하고 계산하는 전산시스템으로 구성되어있다. 접촉식으로 측정이 불가능한 미소 부위의 변형을 연속적으로 측정할 수 있다.- 미소한 재료의 변형을 시스템의 영향 없이 측정할 수 있다..- 반도체 공정처럼 미소한 부위의 공정중에 생기는 변형의 양을 관찰할 수 있다. 특히 특정부위의 응력 집중을 관찰하여 공정의 조절 및 개선에 이용 가능하다.- 미소한 회전을 측정할 수 있다.
힘평형 서보 가속도계는 DC부터 수백Hz의 저주파진동을 고정밀로 측정할 수 있는 진동센서로서 closed-loop feedback 측정시스템이므로 여타 진동변환기에 비해 정밀도, 안정도, 재현성 등이 우수하다. 대형구조물의 안전성진단을 위한 동적 거동 모니터링시스템 개발이나 정밀저주파 진동제어가 필요한 반도체 제조설비나 정밀 기계의 제어등에 필수적이다. closed-loop feedback 시스템으로 정밀도,안정도,재현성이 우수하다.- 국가기간시설물의 안전성 평가를 위한 저주파 진동측정 : 교량등 대형 국가기간시설물의 동적 거동 파악을 통하여 안전성 진단 및 내구성 평가가 가능하며, 국가기간시설물 유지·관리의 신뢰성을 제고할 수 있음.- 반도체 및 정밀 기계가공 : 저주파 진동 제어를 통해 가공정밀도 향상하는데 활용할 수 있음.- 초정밀 측정 : 저주파 진동 제어를 통해 전자현미경 등 초정밀 측정장비의 측정정밀도를 보장할 수 있음.
대형입자가속기 실험에서 사용되는 고속데이터 전송을 위한 손실 데이터 압축방법으로서, 간헐적 데이터에 사용되던 기존의 run-length-encoding방법에 비해 전송률이 개선되었음하나의 데이터 packetso에 간헐적으로 신호가 나타날 때 많이 사용되던 run-length-encoding 방법은 신호의 수가 증가함에 따라 압축효율이 극도로 감소하는 단점을 가지고 있었으나, segment position compression방법은 데이터 packet내의 신호증가에 크게 의존하지 않는 특징을 지니고 있다.신호의 간헐성에 크게 의존하지 않는 압축효율을 원하는 신호의 간헐성이 특징인 데이터 전송에 유효할 것으로 생각됨
본 기술은 cross capacitance 측정원리를 적용하여 수은주 액면의 높이를 sub micrometer까지 측정할 수 있는 기술이다. Thompson-Lampard 정전기 이론을 이용한 cross capacitor는 탁월한 안정도, 재현성을 지니고 있기 때문에 전기용량의 절대측정장치에 적용하여 사용되고 기술이다. 이 기술을 수은압력계에 적용하면 중간 압력범위에서 수십 ppm 수준으로 압력측정이 가능하다.본 기술은 cross capacitance 측정원리를 적용하여 수은주의 레벨을 sub micrometer까지 측정할 수 있다.
접촉 또는 비접촉으로 다양한 물리량 변화를 측정할 수 있는 전기용량 센서를 제작할 수 있는 기술이다. 전기용량 센서는 측정범위가 극히 넓고, 안정도와 분해능이 탁월하기 때문에 폭 넓게 활용이 가능하다. 구조가 간단하며, 감도와 분해능 우수, 주파수 응답 특성이 우수하며 전력소모가 적고안전도, 재현도, 정밀도가 우수하다.- 미소변위 측정- 제품의 두께 균일도 측정- 액체레벨 측정- 회전속도 측정- 전원도, 편심도 측정- 진동측정
크로스 커패시터 원리를 이용하여 1.9mm이하의 범위에서 0.1㎛의 분해능으로 비접촉 측정할 수 있는 센서이다. 측정대상물을 대향전극으로 사용하였던 기존의 개념과는 달리 크로스 커패시터 원리를 이용하였으므로 전극자체의 비대칭 및 표면의 영향이 없이 극히 얇은 고리모양의 감지영역에 의해 미소변위를 정밀하게 측정할 수 있다. 4-전극형 센서이므로 전극 표면의 오염에 영향을 받지않고, 평행 원판위에 전극을 형성하여 완전대칭이며, 측정체의 표면상태를 미세하게 분석 가능.- 원통형 및 봉형 가공물체의 진원도, 직진도 측정- 미소진동 측정- 회전체 변위, 편심도 및 회전수 측정
크로스커패시터 원리를 이용하여 액체 유전상수를 정밀하게 측정하는 기술이다. 석영 시험관의 외부 벽면에 4개의 크로스커패시터 전극을 형성하였으므로 전극의 분해, 세척, 재조립 과정이 필요 없고, 시험관의 특성은 한번만 교정해 놓으면 영구적으로 상수로 취급되므로 여러 개의 시험관을 동시에 설치 가능하다. 액체 유전상수를 ±0.02~0.05이하의 불확도로 신속하게 측정할 수 있다. 소량의 액체만으로 유전상수 측정 가능. 전극과 액체와의 화학반응 문제점 완전해결, 측정 전후에 전극부위 세척에 의한 측정오차 제거, 여러 액체의 유전상수를 동시 측정 가능, 온도에 의한 영향이 거의 없음.- 제약회사, 정유회사등에서 액체조성의 균일성 측정- 생산현장 등에서 액체유전상수의 on line측정- 액체 유전상수 측정용 계측기 제작(데스크 탚 또는 휴대용)
본 기술은 온도계수(0.01 ppm/K)와 손실계수(10-7이하)특성이 탁월한 소재를 이용하여 고도의 안정도를 갖는 새로운 전기용량 표준기를 제작하는 기술이다. 이 기술에 의해 제작된 전기용량 표준기는 국제적으로 정밀 정확도를 인정받고 있다.- 고 정밀 전기용량 표준기 개발- 전기용량 관련 계측기 생산업체의 전기용량 표준기 개발
좋은 특성의 계단식 전기용량 표준기를 제작하기 위해서는 각각의 전기용량 표준기의 특성이 좋아야 하고 이들을 조합할 때 나타나는 stray capacitance를 적절히 처리할 수 있는 기술이 중요하다. 본 기술에서는 최적의 정전차폐 기술을 적용함으로서 terminal 방법에 큰 영향없이 안정된 전기용량 값을 얻을 수 있고, 한대의 계단식 전기용량표준기로서 넓은 범위의 표준기로서 사용할 수가 있다.- 임피던스 분야에서 교정검사를 할 때 전기용량표준기로서 사용가능.- LCR meter의 교정시 전기용량 부분의 linearity check에 사용.- decade resistor와 병렬연결 함으로서 D(dissipation factor)값 조합시에 사용.- 임피던스 측정용 브리지 제작시에 임피던스 평형조절용 기기로 사용.- 전자부품을 생산하는 공장에서의 표준기로 사용가능.
인체의 심장, 뇌가 활동할 때 발생하는 미세한 자기장을 측정하여 의학적으로 응용하기 위한 측정장치 제작기술로서 고감도 SQUID 센서기술, SQUID 구동회로 기술, 환경자기잡음 제거기술, 미약 자기신호 측정기술, 신호처리 및 분석기술 등의 요소기술이 포함된다. SQUID를 이용한 생체자장 측정기술은 시간·공간분해능이 우수하고 기존의 진단기술과는 차별화된 정보를 얻을 수 있다. 비파괴, 비접촉식이며, 인체내부의 기능 이상 부위를 우수한 시간·공간분해능으로 조사가 가능하다.- 심장의 자장신호를 분석하여 심장질환 진단 : 심장돌연사 예측, 태아 심장기능 진단- 뇌의 자기장을 측정하여 뇌기능 진단 : 간질부위 추정- 고부가가치 의료진단장비 개발
본 기술은 호파저울의 자동 교정 장치에 관한 기술이다. 호파저울에 분동을 적재하여 교정하는 작업이 매우 비능률적이어서 유압기를 이용하여 교정하는 즉 힘을 발생시키고 이힘을 표준기 값과 비교하여 교정하는 장치를 이용하는 기술이다.비능률적 교정 작업 개선
콘베어벨트 상이나 질량선별기를 지나가는 이송물체의 질량(무게)을 고속으로 측정하는 기술이다. 로드셀에서 나오는 신호를 고속 처리하여 값이 안정화하는데 걸리는 시간의 1/3 정도의 짧은 시간으로 이송물체의 질량을 정확하게 측정할 수 있다.세계 최고 기술. 기계적 한계를 신호 처리로 극복. - 질량선별기 - 콘베어벨트 - 충진기
본 기술은 질량 교정 결과를 전산처리 함으로 계산의 정확성, 편리성, 신속성을 제공한다. 불확도 계산, 참값, 상용값 산정, 성적서 인쇄등의 기능이 있다.- 측정 결과의 처리에 전문가의 능력 활용.- 저울 교정, 분동 치환교정에 활용.- 시리즈 교정으로 셋트 교정의뢰치 않고 1 kg만 교정의뢰 후 남어지 자체 교정.
NSOM(near-field scanning optical microscope)은 근접광(near field)을 이용하는 장비로 나노 공간분해능을 갖고 있다. 본 기술은 기존의 광 계측 기술로는 광의 공간분해능 (∼ 1 μm) 한계 때문에 불가능하였던 다양한 나노 소재의 광학적 특성을 NSOM을 이용하여 평가하는 기술이다. 또한 이 기술은 기존의 반도체 광 특성평가 기술인 Raman 분광, 반사, 흡수, 투과 등과 결합하여 나노공간에서의 광특성 평가를 활용할 수 있는 장점이 있다.- 미소 광학부품 (MOEMS; micro opto-electro mechanical systems)의 광특성 및 결함 측정 - 나노구조체의 나노광 특성평가 - 광통신용 광섬유 광특성 평가- 레이저 다이오드 등 광소자 특성평가
반사형 회절 격자를 외부 공진기로 사용하여 다이오드 레이저에서 발진하는 광 주파수의 선폭을 1 MHz 이하로 줄이고 동시에 발진하는 파장을 선택할 수 있는 반도체 레이저 제작기술이다. 반사형 회절 격자의 각도와 위치를 조절함으로써 발진하는 파장을 수 나노미터 범위 내에서 선택할 수 있고, 또한 발진 주파수를 수십 GHz 범위 내에서 스캐닝 할 수 있으며 레이저 마운트가 compact 하여 레이저가 안정적으로 발진한다.-초미세 분광용 레이저 설계제작에 활용 -광주파수 표준기 설계제작에 활용
본 기술은 진공펌프의 고유 배기성능 및 특성을 정확히 측정/평가하는 기술이다. 기체유량흐름의 제어, 유량계의 hardware 및 software에 기인한 불연속적인 측정의 오차 요인을 제거하며 표준유량을 in-situ 상태에서 측정하므로 시간, 경비 면에서의 절감효과를 가져온다. 소형의 로타리펌프, 드라이펌프 등으로부터 대용량의 루츠펌프 까지 성능측정이 가능하므로 외국 펌프 회사에 의존하던 성능검사를 자립기술로 측정할 수 있다.- 저/고진공 펌프의 배기속도 및 도달진공도의 측정에 활용- Bulk 형태의 반도체 공정에 소요되는 수많은 진공펌프들의 특성 검사- 토카막, 반도체 생산라인 등의 연료주입 장치
진동을 응용하여 유체의 밀도를 0.0005 g/cm3 까지 정밀측정할 수 있는 센서 제작기술이다. 유량의 정밀측정이 가능하며 식품 및 화학제품의 자동화에 활용가능하다.사업성 : 국내 제작자가 없으며 전량 수입함.(년간 수입액 100억원 예상)-송유관, 도시가스 배관의 유량 및 밀도측정-화학원료의 밀도,농도측정 및 공정자동화-음료 및 식품의 당도,염도,주정도측정 및 공정 자동화
본 기술은 각종 흡음재의 흡음계수를 측정할 수 있는 정상파비 측정장치와 흡음계수 예측 소프트웨어(s/w)이며, ISO 10534-1와 KS F 2814에 규정되어 있는 전통적으로 안정된 방법으로 측정의 정확성을 보장하고 있다. 측정장치는 기존의 상용화된 제품의 단점을 대폭 개선하여 측정의 편리성을 고려하였으며, 흡음율 예측 프로그램도 사용자 편의로 구성되어 있어 음향에 대한 전문적인 지식이 없는 초보자도 충분히 활용할 수 있다. 각종 흡음재의 흡음계수 측정 및 예측에 활용 가능함