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기술 개요)O반도체 리소그래피에 관한 것으로서, 반도체의 광콘트라스트 특성에 따른 리소그래피에 관한 것임기술 특징 및 대표 청구항)O반도체 제조 공정 중 웨이퍼 상에 원하는 모양으로 패턴을 형성하는 리소그래피 공정 과정에 있어,반도체를 수직으로 2개 이상 적층하여 각 반도체의 광 콘트라스트 특징에 따라 각각 다른 식각 과정이 생기며 이에 따라 원하는 구조의 패턴을 간단하게 얻을 수 있는 리소그래피 해석 방법임
본 발명은 아모포스-실리콘 박막 트랜지스터(a-Si TFT; amorphous silicon Thin Film Transistor)를 이용하여 게이트 드라이버를 구성할 때 저전압의 입력에 대해서도 우수한 동작 특성을 확보할 수 있는 디스플레이용 레벨 시프터에 관한 것이다.본 발명에 따르면 아모포스-실리콘 박막 트랜지스터를 이용하여 레벨 시프터를 구성할 때 저전압의 입력신호에 대해서도 우수한 동작 특성을 확보함으로써, 소비전력을 줄일 수 있음과 아울러 게이트 드라이버의 전력 설계의 편의성을 제공할 수 있는 이점이 있다.
본 발명은 아모포스-실리콘 박막 트랜지스터(amorphous-silicon Thin Film Transistor)를 이용한 디코더 타입의 디스플레이용 시프트 레지스터에 관한 것이다. 본 발명에 따르면 아모포스-실리콘 박막 트랜지스터를 이용하여 디코더 타입의 시프트 레지스터를 구성함으로써, 레지스터들 간에 상호연동이 필요없어 개별 동작이 가능함으로서, 전체 화면 중 원하는 부분 화면만 선택적으로 켤 수 있음과 아울러 PIP 화면 구현이 용이한 이점이 있다. 또한, 시프트 레지스터들 간에 상호 연동이 없어 어느 하나의 시프트 레지스터에 에러가 발생하여도 전체적인 동작에는 전혀 문제가 없어 구동동작의 신뢰성을 확보할 수 있는 이점이 있다.
본 기술은 flexible 기판위에 증착된 비정질 실리콘의 국부영역에 열처리를 하여 결정화 시키는 것과 polymer 등의 물질에 열처리를 하여 원하는 물질을 얻는 것에 관한 것으로, 본 기술은 flexible 기판위에 화학기상증착법과 유기 용매를 이용하여 증착한 비정질 실리콘 박막을 준비하고, 주기적으로 배치되어 있는 요철이 있는 기판의 요철을 발열되게 하여 그 요철을 증착된 비정질 실리콘 박막에 마스크 및 기타 여러 가지의 방법으로 비접촉시켜 에너지를 주입함으로써 국부영역에만 열처리를 실시하게 되며, 열처리된 부분에서 보다 좋은 성질의 결정화 및 원하는 물질을 얻을 수 있다. flexible 기판은 국부적인 영역만을 열을 받으므로 기판 전체에 thermal budget 영향을 최소화 할 수 있는 방법을 제공한다.
반도체 소자에 게이트 산화막(gate oxide) 공정에 있어서 사용되어지고 있는 고유전율 물질인 하프늄 실리케이트(Hf-silicate) 박막을 형성 시켜 소자의 채널(channel) 부분의 전하 이동도를 개선시키는 방법에 대한 것이다.
넓은 공간을 손쉽게 수월하게 다양한 범위의 소비자가 그들의 요구에 맞춰서 선택을 하면서 수월하게 이동할 수 있는 체제를 의미한다. 1. 소비자가 집으로의 배달을 원할 경우 자체내의 집배소를 거쳐서 집으로 배달해주고, 자기가 직접 들고 가기 원할 때는 그렇게 하도록 한다. 2. 소비자가 주차한 곳에 이동해주는 시스템이다. 이는 소비자가 상품을 결제하고 확인한 후에 직접 가져가지 않고 주차장소에 가장 가까운 상품 배분 장소에 소비자 자체의 보관소가 형성되어 이곳에 차곡차곡 물건이 쌓이고, 나중에 자신의 자동차로 바로 쉽게 이동할 수 있는 시스템 3. 각 매장에서 창고의 물건을 이동시킬 때도 사용가능하고 편리하다. 4. 모든 물건이동이 소비자 동선에서 보이지 않으므로 쇼핑센터가 더욱 자유롭고 쾌적한 공간이 되게 한다. 5. 모든 인간공학적으로 편안히 상품을 놓을 수 있는 편안한 레일 시스템: 인간적으로 편안히 편안한 레이시스템으로 건물 내의 상품이 배송되어야하는 모든 기점에 다 연결되어있다. 6. 레일을 타고 해당하는 주차장소에 상품을 집적시킬 수 있는 collection & distribution center 7. 이동형 카트/로봇:소비자의 자동차 트렁크까지 쉽게 움직일 수 있는 카트
본 기술은 액상 전구체를 이용하여 국부적인 열 인가를 통하여 선택 영역은 비정질 실리콘 박막을 형성하고, 열이 인가되지 않은 부분은 유기용매를 이용해 제거하는 기술이다. 액상 전구체에 UV를 조사하여 광중합을 시키고, 필터링 한 후 유리 및 실리콘 웨이퍼 위에 스핀 코팅 하여 박막을 형성 하고, 주기적으로 배치되어 있는 요철이 있는 금속판에 열을 인가하여 선택영역에 비정질 실리콘 박막을 형성하고, 열이 인가되지 않은 영역은 유기용매를 이용하여 제거하는 방법을 제공한다.
본 기술은 기존의 비정질 실리콘의 결정화 방법과 다르게 화학 반응을 통한 결정화 방법에 관한 것으로, 레이저나 가열로를 통한 결정화 방법은 오랜 시간과 많은 비용이 들어가는 방법인 것에 비해 화학 반응을 통한 결정화 방법은 매우 효과적인 결정화 방법으로 위험성을 수반하지만 매우 고온의 열을 단시간에 낼 수 있다는 장점이 있다.
슬레이브 노드의 제 1 루프는 마스터 노드와 메시지 교환을 통하여 목표 주파수를 계산하고 슬레이브 노드 클럭의 위상을 점진적으로 변화시킴으로써 기존의 DCO의 주파수 해상도 제한을 극복한다. 또한 제 2 루프는 제 1 루프의 주파수 정보를 인가받아 필터링하여 주파수 흔들림을 제거함으로써 보다 안정된 클럭 동기를 이룬다.
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본 기술의 목적은, 믹스드 모드 복조기를 이용하여, 중간 주파수를 높게 하여 무선 회로들의 부담을 덜어 수신기의 성능을 향상시키거나, 중간 주파수를 아예 사용하지 않고, 무선신호를 직접변환하여 무선수신기를 더욱 간단한 구조로 구현하기 위함이다. 또한 믹스드 모드 복조기를 이용하여 소형화된 수신기를 제공하기 위함이다. 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른, 수신방법은, 무선 신호를 수신하는 단계; 상기 변환된 신호를 믹스드 모드 복조방법을 이용하여 복조하는 단계;를 포함하는 것이 바람직하다. 그리고, 상기 무선 신호를 수신하는 단계는, 상기 무선 신호를 안테나를 이용하여 수신하는 단계; 수신된 신호를 증폭하는 단계; 증폭된 신호를 중간 주파수로 변환하는 단계;를 포함하는 것이 바람직하다. 그리고, 상기 중간 주파수는, 상기 믹스드 모드 복조방법에서 사용하는 클럭의 정수배인 것이 바람직하다. 한편, 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른, 수신방법은, 무선 신호를 수신하는 수신부; 상기 변환된 신호를 믹스드 모드 복조방법을 이용하여 복조하는 복조기;를 포함하는 것이 바람직하다. 그리고, 상기 수신부는, 상기 무선 신호를 수신하는 안테나; 수신된 신호를 증폭하는 증폭기; 증폭된 신호를 중간 주파수로 변환하는 믹서; 중간 주파수의 클럭을 생성하는 위상동기루프;를 포함하는 것이 바람직하다. 그리고, 상기 중간 주파수는, 상기 복조기에서 사용하는 클럭의 정수배인 것이 바람직하다.
비자성 원소인 구리를 질화물 반도체에 도핑하여 자성 특성을 갖는 희박 자성 반도체를 제조하는 방법
본 기술은 아날로그-디지털 변환기에 적용되는 트랙 앤 홀드 회로를 개시한다. 트랙 앤 홀드는, 아날로그-디지털 변환기 내부에서 아날로그 신호가 디지털 코드로 변환되는 시간 동안 일정한 값으로 유지하여 비교기의 역할을 수월하게 하는 회로로써, 고속의 변환속도를 갖는 아날로그-디지털 변환기는 모두 트랙 앤 홀드를 포함하고 있다. 본 발명은 이와 같은 트랙 앤 홀드 회로를 아날로그-디지털 변환기의 한 종류인 폴딩-인터폴레이션 방식의 아날로그-디지털 변환기에 적용하며, 종래의 방법으로 배치하던 입력 트랙 앤 홀드, 분산 트랙 앤 홀드의 위치를 변경 함으로써 간단히 구현 가능하다. 이에 따라서, 기존 구조가 갖는 스위치 킥 백 노이즈 영향에 의한 아날로그 입력신호의 신호 왜곡 현상이 현저히 줄어들며, 스위치 및 커패시터의 개수를 줄일 수 있어 전체 아날로그-디지털 변환기의 면적과 전력소모를 줄이는 효과가 있다.
본 기술에서 제안하는 저 전력 자체 테스트를 위한 구조를 제안하고 있다. 기존의 구조에 비해 새롭게 추가된 것은 Probability Generator 모듈인데, Probability Generator는 LFSR을 통해 생성되는 랜덤 값과 미리 정해져 있는 확률 모델을 이용하여 천이 억제 신호를 발생시키는 역할을 한다. 이러한 천이 억제 신호는 MUX의 동작을 컨트롤하는데, 이를 통해 스캔 입력 벡터의 천이 억제 여부를 결정하게 된다. 즉, Probability Generator의 출력 값이 0인 경우에는 천이가 억제된 스캔 입력 값이, 1인 경우에는 기존의 랜덤 값이 스캔 체인으로 들어간다. 본 발명에서는 고장 검출률과 전력 소모의 두 가지 요소를 최대한 만족시킬 수 있는 Probability Generator를 구현하기 위하여 확률 모델을 제시하였다. 제안하는 두 가지의 모델은 모두 선형성을 가지고, 테스트가 진행되는 동안 천이가 억제될 확률이 낮아진다는 공통점이 있다. 제안하는 확률 모델의 선형성은 카운터 모듈을 이용하여 간단히 Probability Generator를 구현할 수 있다는 장점이 된다. 그리고 테스트가 진행되는 동안 천이 억제 확률이 낮아지도록 설정한 것은 하나의 스캔 입력이 회로에 영향을 미치는 시간을 고려한 것인데, 앞선 입력일수록 스캔 체인에서 보다 오래 쉬프트 되어 많은 영향을 미치기 때문이다. 이러한 확률 모델을 적용하여 본 발명에서는 저전력 스캔구조를 제안하고자 한다. 확률 모델에 대한 값, 즉 천이 억제 확률의 정도가 카운터 모듈을 통해 n 비트로 생성되고, 이 값이 n 비트의 랜덤 값과 비교되어 Probability Generator의 출력 값이 결정된다. 앞서 설명한대로, 카운터의 값은 테스트가 진행되는 동안 점차 작아지는데, 이를 통해 천이를 억제할 확률이 점차 작아지도록 설정하였다.
Fig.2 와 같이 silicon die 의 pad 와 package 의 lead frame을 사용하여 둘 사이를 wire bond로 연결하여 meander type 의 안테나로 사용한다. 이때 적절한 beam forming 에 적절한 위치에 필요한 만큼 wire bond 길이를 조절 할 수 있다. 한 예로 Fig.2 와 같이 각 변을 하나의 안테나로 이용할 수 있다. 즉 4개의 변이 있는 정사각형 형태의 칩에서는 4개의 안테나를 구현 할 수 있다. 각각의 마주보고 있는 변의 안테나가 beam forming을 형성 할 수 있다. 또한 beam forming을 형성하기 위해서는 transmitter 내부에서 phase shift array를 형성해야 하는데 silicon die 에서 그것을 구현하면 칩 하나로 통신이 가능한 궁극적인 beam forming single-chip radio를 구현할 수 있다.
본 기술은 wire-bond를 이용하여 구현한 안테나 이다. Fig. 5에서 보여주는 바와 같이 chip 의 pad 와 package lead frame 사이를 wire-bond 로 이어서 그것을 안테나로 사용하는 것이다. 이는 형태적으로 meander 타입 안테나로 해석 될 수 있으며 적절한 lead frame 수를 사용하면 UWB 등의 낮은 주파수 영역에서 사용 될 수 있다. 집적된 transmitter 와 PA를 사용하면 또는 receiver를 사용하면 chip 하나로 통신이 가능한 초소형 통신칩을 구현 할 수 있다. Fig. 6 은 Fig. 5 의 3-dimensional 그림이다. 또한 이러한 wire-bond를 이용한 antenna는 Fig. 7에서 보는 바와 같이 switch 를 이용하여 길이를 조절 할 수 있어 frequency band를 programmable 하게 사용할 수 있다. 이러한 스위치는 chip 내부에서 MOSFET 등을 이용 하여 구현 할 수 있다. Lead frame을 안테나로 사용하게 되면 칩 내부와 외부의 연결 pin이 모자라게 된다. 이때는 through via 를 사용하여 BGA(ball grid array) 형태로 핀을 구성할 수 있다. 즉 그림 8-a, 8-b와 같이 안테나용 패드는 기존의 패드를 사용하고 외부와 인터커넥션이 필요한 패드는 through via를 사용하여 외부 핀을 만들어 준다. 이러한 기법은 Fig. 9와 같이 stack die 의 경우에도 사용할 수 있다.
본 발명은 할로 도핑 영역을 이중으로 구성하여, 드레인/소스와 일반적으로 형성된 할로 도핑 영역에서 형성될 p+n+접합의 형태를 p+-i-n+접합 혹은n+-i-p+접합 형태로 바꿈으로써 sub-leakage currents의 발생을 방지와 BTBT(band to band tunneling)현상을 감소시켜 반도체 소자의 전기적 동작 특성을 향상시키고 그에 따른 모스펫(MOSFET) 소자의 특성 및 신뢰성을 향상 시킬 수 있도록 하는 기술이다.
내장된 메모리를 효과적으로 테스트할 수 있는 PMBIST 구조와 사용자가 원하는 스펙의 PMBIST 회로를 자동으로 생성하는 컴파일러 PMBISTGen을 제안한다. 제안한 PMBIST 구조는 micro code 방식으로 알고리즘을 instruction으로 명령어 메모리에 저장하고, instrruciton을 decoding 하여 패턴을 생성한다. 최대 8개의 알고리즘을 내장할 수 있고, 사용자가 원하는 알고리즘을 선택하여 테스트할 수 있다. 또한 March 기반 이외의 non-March 기반의 알고리즘도 지원하여 고장검출률을 기존의 memory BIST 보다 높다. 또한 PMBIST 컴파일러는 사용자가 테스트할 메모리의 스펙과 알고리즘 등의 정보를 입력하면 사용자가 원하는 사양의 PMBIST RTL code와 Testbench를 자동으로 생성해준다.
본 기술은 flexible 기판위에 증착된 비정질 실리콘의 국부영역에 열처리를 하여 결정화 시키는 것과 polymer 등의 물질에 열처리를 하여 원하는 물질을 얻는 것에 관한 것으로, 본 기술은 flexible 기판위에 화학기상증착법과 유기 용매를 이용하여 증착한 비정질 실리콘 박막을 준비하고, 주기적으로 배치되어 있는 요철이 있는 기판의 요철을 발열되게 하여 그 요철을 증착된 비정질 실리콘 박막에 마스크 및 기타 여러 가지의 방법으로 비접촉시켜 에너지를 주입함으로써 국부영역에만 열처리를 실시하게 되며, 열처리된 부분에서 보다 좋은 성질의 결정화 및 원하는 물질을 얻을 수 있다. flexible 기판은 국부적인 영역만을 열을 받으므로 기판 전체에 thermal budget 영향을 최소화 할 수 있는 방법을 제공한다.