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파장 다중화 디지털 홀로그래픽 데이터 저장 시스템 670nm에서 동작하는 외부 공동 동조 가능 다이오드 레이저를 이용한 철도핑 리튬 니오베이트 결정에서 디지털 데이터의 검색과 자동 저장을 검증하였다.파장 다중화 디지털 홀로그래픽 데이터 저장 시스템 670nm에서 동작하는 외부 공동 동조 가능 다이오드 레이저를 이용한 철도핑 리튬 니오베이트 결정에서 디지털 데이터의 검색과 자동 저장을 검증하였다.
특별히 결정에 의한 효율적인 주파수 변환을 실행할 수 없는 광학 스펙트럼의 유용한 영역에서 가시 자외선과 초적외선 스펙트럼의 처리율 생성과 효율적인 주파수 변환의 새로운 방법을 제시하였다.단일 간섭성 길이에서 효율적인 비선형 주파수 변환, 단일 간섭성 길이에서 효율적인 비선형 광주파수를 허용하는 강한 국부 발진기 제작, 큰 대역폭을 가진 광파라메트릭 발진기의 새로운 형태 허용
열전달 기구의 새로운 배열을 이용하여 다중 지역 열 사이클링 모듈이 모노리소그래픽적 순차에서 채택한 포토레지스트 건조와 냉기 동작을 수행하였다. 이 모듈은 4개의 성분으로 나눌 수 있다. (1) 웨이퍼 지원 기구 (2) 과도와 정상 상태 조건 동안 웨이퍼 온도의 소신호 공간 변조를 위한 열소자의 다중 지역 배열 (3) 체적 가열 또는 냉각 효과를 이루기 위한 웨이퍼를 가진 도체 열전달을 위한 가열 교환기 (4) 다변수 온도 제어 전략웨이퍼 온도 불균일성을 제거하는 과도와 정상 상태 조건 모두에서 웨이퍼 온도의 공간 제어, 임계 차원 균일성을 개선시키기 위한 웨이퍼상의 원하는 공간 온도 프로파일, 같은 온도에서 굽기와 냉각, 분리된 굽기와 냉각 모듈 사이의 웨이퍼 수송 단계 제거
방사된 광자와 주입된 캐리어의 에너지 차가 있는 직접 대역갭 반도체에서 PN 접합 터널링 다이오드는 재료의 세로 광학 포논의 에너지와 동일하다.방사된 광자와 주입된 캐리어의 에너지 차가 있는 직접 대역갭 반도체에서 PN 접합 터널링 다이오드는 재료의 세로 광학 포논의 에너지와 동일하다.
수직 직접을 위한 고성능 MOS 소자를 이루기 위한 대규모 입계 다결정막 성장을 시드하기 위한 새로운 기법이다. 이 기법은 특수 위치에서 입계가 핵을 이루기 위한 비정질 실리콘 전구막상의 시딩점에 게르마늄을 패턴한 것을 이용한다. 게르마늄의 사용은 유리 기판을 할 수 있으므로 낮은 온도 처리를 사용하는 것이다. 이 기술을 깊은 준미크론 소자에서 거의 단결정 성능을 가지고 스케일러블하다. 이 소자들은 언시드 소자에 대한 통계적 변화의 저감과 성능에서 필수적인 개선을 시험으로 나타내었고 제작하였다.금속 기반 시딩 금속에서 성능 개선, 표준 VLSI 제조 공정과의 호환성, 게르마늄이 저온 다결정 형태로 증착, 게르마늄이 선택적으로 증착, 리소그래피 단계에서 저감 생성, 게르마늄 시딩이 게이트 정의에 앞서 실행
초점빔에 의해 여기된 2.2 고굴절률과 26도의 테이퍼 각을 가진 SiN 프리즘의 초급속 테이퍼를 고려하였다.초점빔에 의해 여기된 2.2 고굴절률과 26도의 테이퍼 각을 가진 SiN 프리즘의 초급속 테이퍼를 고
기계적 부품의 정확한 측정을 위하여 사용된 X선 스캐너 시스템 또는 위치 도량학 측정을 위한 2차원 측정계 상의 위치 왜곡의 정확한 교정을 위한 방법을 제공한다. 그 절차는 미지의 위치를 가진 마크의 강체 아티팩트를 사용하고 측정 계측 반복성과 등가한 정밀도를 위한 계측 측정계 왜곡의 교정이다.고속 계산, 잡음 내성, 설치 용이, 모든 2차원 왜곡 자기 교정 문제에 확장 가능
이 발명품은 미세 제작된 기계적 센서를 가진 가시광의 세기 변화에서의 적외선 조사의 세기 변화를 직접 변환하기 위한 장치와 방법이다. 100픽셀/mm² 이상의 밀도에서 미소 기계 이중 형태의 2차원 배열은 영상 적외선(IR) 방사의 열 센서로 사용할 수 있다.보다 개선된 분해능, 고감도
링다운 공동속으로 직접 광을 pump(dump 대신) 하기 위한 내부 공동 스위치의 사용은 입력 거울의 큰 결합 손실없이 통과시킨다.링다운 공동속으로 직접 광을 pump(dump 대신) 하기 위한 내부 공동 스위치의 사용은 입력 거울의 큰 결합 손실없이 통과시킨다.
이 발명품은 미세 제작된 음향 트랜스듀서를 위한 새로운 제조 공정이다. 제조 기구는 지원이 리소그래픽적으로 정의된 질화물 지원 질화물막이다. 희생층의 제거는 에칭의 고선택성 때문에 막기하학에 영향을 미치지 못한다. 질화물은 효과적으로 에치를 정지시킨다.트랜스듀서 막 기하학의 정밀 제어, 막과 지원 기하학의 리소그래픽적 정의, 막은 임의의 에치 바이어스를 가지지 않는다.
이것은 거의 단결정 성능을 가진 측면 결정화된 박막 트랜지스터(TFT)의 제작에 대한 새로운 기술이다. 이 기법들은 제어 위치에서 핵을 이루는 입계의 급속 열어널링 동안 광의 제어 흡수에 사용되며 완전하게 비접촉 시딩 기법을 검증하였다. 니켈과 같은 종래의 시딩 에이전트들은 소자 성능에 유해한 효과를 가지며 표준 CMOS 공정과는 비교할 수가 없다. 제작된 소자들은 소형 소자 크기를 위한 특별히 표준 저온 공정 TFT에 대한 중요한 개선이 있다. 따라서 이 기법은 VLSI 응용에 대한 디스플레이 구동기 3차원 집적 회로에 사용할 수 있다.소자 성능에서 낮은 공간과 통계적 변화, 금속 기반 시딩 기법에 대한 성능 개선, 표준 CMOS 공정과 호환, 마스크 설계의 변화에 의한 단일 기판상의 다른 응용을 위한 소자의 동조 성능
광원속으로 광이 피드백하는 문제를 극복하기 위하여 광원에의 반사 백들은 링다운 셀에서 링공동 배열에 의한 완전하게 제거된다.광원속으로 광이 피드백하는 문제를 극복하기 위하여 광원에의 반사 백들은 링다운 셀에서 링공동 배열에 의한 완전하게 제거된다.
통합 아날로그 디지털 컨버터(이중 기울기 적분기)를 이용하여 링다운 시정수 계산통합 아날로그 디지털 컨버터(이중 기울기 적분기)를 이용하여 링다운 시정수 계산
이 조절기는 출력 부하와 공급 전압의 넓은 영역에 대해 고효율을 얻을 수 있는 고정 펄스폭을 가진 가변 스위칭 주파수를 채택하였다. (nMOS 트랜지스터가 턴오프 하였을 때) 동기 정류를 이루기 위한 접근과 빠른 추적을 위한 비선형 피드백 루프는 새로운 특징이다.고속 추적 속도, 출력 전압에서의 최소 리플, 저출력 영역에서의 동작을 위한 조정
이 발명품은 간섭성 산란을 이용한 새로운 레이저 냉각법으로 레이저광은 흡수되지 않으며 산란된다. 이 방법이 광학적으로 냉각하는 분자에 대한 최초의 방법임을 믿으며 광학적 냉각에서 원자 상호 작용은 전에는 가능하지 않은 방법이다. 예를 들어 분자의 소형 정량화는 많은 다른 제품으로 구성된 가스에서 희박된 것을 높게 검출하는 것을 가능하게 한다.전에 불가능한 영역까지 레이저 냉각 확장
정렬 신호의 부공간 분해에 기반한 새로운 정렬 기법이 개발되었다. 정렬 신호의 구조는 미지 위치를 가진 훈련 신호의 집합으로부터 추출되었다. 이 구조는 새로운 정렬 신호들의 위치를 찾는데 공헌한다. 모델은 공정 파라미터들에서 변화로 인한 신호에서 작은 변화가 있다고 가정한다. 실험 웨이퍼가 이 기법의 성능을 검증하기 위해 제작되었다. 실험 결과는 공통 정합 필터링법과 비교하여 정렬 오차에서 진폭의 순서 저감이 큼을 보여주었다.리소그래피 장비상의 정렬 시스템의 성능 개선, 하드웨어 변경을 요구하지 않기 때문에 저비용으로 쉽게 구현, 적응 현상으로 인한 공정의 변화에 대한 조정 능력
이 발명품은 2개의 부품으로 구성된다. (1) 매우 좁은 폭에서 웨이퍼로 덮어진 포토 레지스터에의 UV 광적용을 위한 렌즈에서 결과 단계를 통하여 만들어진 캔틸레버 기반 소자 (2) 팁 샘플 공간 제어를 위한 새로운 방법개선된 보다 적은 선폭
이 발명품은 유체의 정확한 양에 대한 효율적인 수송을 위한 배열에서 조합할 수 있는 개선된 트랜스듀서이다. 개선된 트랜스듀서는 현재의 방법에 대해 보다 높은 감도와 보다 큰 동적 범위를 가지며 각 원소들은 개별적으로 제어할 수 있으며 하나의 보드는 봉입된 막을 가진다.고감도, 대규모 동적 범위, 2차원 배열, 종래의 IC 제조 공정을 이용한 마이크로머신, AC 신호 구동
디지털 처리 블록에 의해 생성된 잡음 아날로그 신호 처리 검출에 필요한 신호 처리 시스템은 아날로그 몫의 감도 성능을 감소시킬 수 있다. 이 부분 기구는 시스템에서 아날로그 성분에 영향을 주는 잡음을 감소시킨다.아날로그상의 디지털 회로에 의해 생성된 잡음 효과 저감, 크기, 비용 전력 소비, 잡음 문제 고려
칼만 필터는 시스템 모델의 지원을 가진 시스템 상태를 추정하는데 종종 사용한다. 이 발명품은 시스템 동력학들이 실제의 시스템 모델없이 유도할 수 있도록 하기 위해 칼만 필터 설계상의 몇 가지 요구를 완화시켰다. 전반적인 추정 정밀도를 개선하는 자기 조절 칼만 필터를 시뮬레이션으로 보였다.실제 시스템 모델없이 칼만 필터를 이용한 정밀 상태 추정