산업기술 통합검색
1. 기술의 개요본 기술은 PR 애싱(ASHING) 및 리프트-오프(LIFT-OFF) 방식을 이용하여 나노 규격을 갖는 다양한 형태 · 물질로 구성된 구조물을 제한 없이 형성하는 방법에 관한 것이다.2. 기술의 특징본 기술은 레지스트 애싱 및 리프트-오프 방식을 이용하여 나노 규격을 갖는 구조물을 형성하는 방법에 있어서, 절연체의 상부에 포토레지스트로 패터닝할 구조물을 형성하는 공정, 절연체 상부에서 포토레지스트로 형성한 구조물의 양쪽 간격을 플라즈마 애싱 공정을 통하여 포토레지스트의 두께와 양 구조물 사이의 폭을 수 나노미터까지 줄이는 공정 및 포토레지스트 및 절연체 위에 구조물로 형성할 물질층을 형성한 후, 리프트-오프 방식으로 포토레지스트 상부에 존재하는 물질층을 제거하여 나노 규격의 구조물을 형성하는 공정을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.
1. 기술의 개요본 기술은 기판상에 특정 물질층을 식각 또는 증착하기 위해 사용되는 이온빔을 발생시키는 이온빔 소오스에 관한 것으로, 플라즈마 발생챔버로부터 이온빔을 추출하여 가속시키는 그리드 어셈블리의 구조를 개선하여 그리드간의 소트현상 및 파손을 방지하도록 된 개선된 이온빔 소오스에 관한 것이다.2. 기술의 특징본 기술은, 주입된 가스로부터 플라즈마를 발생시키는 플라즈마 발생챔버와, 플라즈마로부터 특정 극성을 갖는 이온빔을 추출하여 통과시킬 수 있는 그리드홀이 각기 대응하는 위치에 적어도 하나 이상 형성되어 있으며, 이온빔 통과 방향으로 일정 간격을 유지하며 이격되는 복수의 그리드와, 이 복수의 그리드의 그리드홀에 대응하는 홀이 각기 대응하는 위치에 형성되며 복수의 그리드 사이에 개재되는 절연층으로 이루어지는 그리드 어셈블리를 구비하여 구성되되, 절연층은 상부 그리드와 하부 그리드와 소정 간격을 유지하면서 스페이서에 의해 상부 및 하부 그리드에 지지되는 것을 특징으로 한다.
1. 기술의 개요본 기술은 탄소나노튜브가 혼합된 음극선 발광 형광분말 및 형광막의 제조방법에 관한 것으로, 본 기술에 의하면, 제조방법의 변화나 형광체에 물리적, 화학적 처리 방법 없이 더 향상된 발광효율과 낮은 발광전압을 얻을 수 있고, 이것은 성능이 향상된 새로운 형광분말과 형광막 생성을 위해 새 공정과 설비를 만들 필요가 없으므로 여기에 들어가는 비용을 획기적으로 줄일 수 있다. 2. 기술의 특징IPA(ISOPROPANOL) 용액속에 탄소나노튜브를 혼합한 후, 초음파를 이용하여 분산시키는 공정, IPA 용액속에 분산되어 있는 탄소나노튜브에 음극선 발광(CL; CATHODE LUMINESCENCE)용 형광체를 혼합하는 공정, IPA 용액을 초음파를 이용하여 증발시키는 건조과정을 거쳐 탄소나노튜브와 음극선 발광(CL)용 형광체의 분말을 생성하는 공정 및 탄소나노튜브와 음극선 발광(CL)용 형광체의 분말을 바인더와 혼합하여 양극 기판 위에 도포한 후 소성과정을 거치거나, 유리 기판 위에 도포한 후 소성과정을 거친 뒤 양극 기판을 그 위에 증착하여 음극선 발광(CL) 형광막을 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.
1. 기술의 개요본 기술은 복소전력의 시간당 변화율을 이용한 동기탈조 검출방법에 관한 것으로, 동기탈조지점을 빠르고 정확하게 검출함으로서 계통의 동요에 정확히 대처하고, 계전기의 오동작 및 부동작을 방지하여 안정적이고 신뢰성 있는 계통운영을 기대할 수 있다. 2. 기술의 특징1기 무한모선 계통에서 전압, 전류를 측정하여 복소전력(유효전력 및 무효전력)을 계산하는 단계와,계산된 복소전력을 복소평면상에 타원의 방정식 형태의 궤적으로 표현하는 단계와, 계산된 복소전력으로부터 유효전력과 무효전력의 시간당 변화율을 계산하는 단계와, 계산된 유효전력과 무효전력의 시간당 변화율을 이용하여 안정한 경우의 전력동요인 SEP(STABLE EQUILIBRIUM POINT)와 불안정한 경우의 전력동요인 UEP(UNSTABLE EQUILIBRIUM POINT)를 구분하는 단계와, 타원의 방정식 형태로 표현된 복소전력의 궤적을 이용하여 등면적법과 유사한 형태로 과도안정도를 평가하는 단계 및 복소전력의 궤적이 UEP를 통과하는지를 검출하여 동기탈조 검출지점을 판정하는 단계를 포함하고, 과도안정도 평가의 기준이 되는 발전기 기계적 입력은 저역통과필터를 이용하여 유효전력으로부터 추정하며, 발전기 기계적 입력이 복소전력의 궤적과 만나는 지점인 UEP지점에서 동기탈조를 검출하는 것을 특징으로 한다.
1. 기술의 개요본 기술은 모듈식 초대면적 플라스마 발생장치에 관한 것으로서, 식각 기판이 장착되는 스테이지가 구비된 반응챔버와, 반응챔버 내에서 나란히 배치되어 있으며 일측은 전원에 타측은 접지되어 있는 다수의 안테나 봉과, 안테나 봉을 중심으로 양쪽에 각각 배치되는 자성체로 구성된 초대면적 플라스마 발생장치에 관한 것이다.2. 기술의 특징길이방향 양단에 관통공이 형성되어 있고, 내부에는 길이방향으로 홈이 형성되어 있는 조립 케이스과, 조립 케이스의 홈 위에 덮여진 쿼츠 창과, 조립 케이스의 관통공에 끼워져서 설치되는 안테나 봉과, 안테나 봉의 둘레에 진공 공간을 개재하여 설치된 수지관으로 구성되며, 반응챔버를 관통하여 설치되어 있는 안테나 조립체와, 길이방향 양단에 관통공이 형성되어 있고, 내부에는 길이방향으로 홈이 형성되어 있는 조립 케이스과, 조립 케이스의 홈 위에 덮여진 쿼츠 창과, 조립 케이스의 관통공에 끼워져 설치되는 자성체와, 자성체의 둘레에 진공 공간을 개재하여 설치된 수지관으로 구성되며, 반응챔버를 관통하여 설치되어 있는 자성체 조립체를 포함하여 구성되어 있는 것을 특징으로 하므로, 부식가스에 의해 쿼츠 창이 손상되었을 경우에도 수지관에 의해 진공을 유지할 수 있어 그 기능의 연속성을 유지할 수 있으며, 교체 및 유지보수가 용이하다는 이점도 있다.
1. 기술의 개요본 기술은 마이크로미터(㎛)에서 나노미터(㎚) 크기의 금속, 합금 및 금속 화합물 등을 이용하여 탄소나노튜브를 기판 위에서 함께 혼합하거나 탄소나노튜브 박막 기판 위에 표면 도포하고 용융시켜서 탄소나노튜브와의 화합물을 만든 후, 열 및 플라즈마 후처리 등을 통하여 전자방출원을 제조하는 방법에 관한 것이다. 2. 기술의 특징본 기술에 의한 탄소나노튜브 전자방출원은 탄소나노튜브와 기판과의 접착성 향상과 함께 튜브 외벽을 금속으로 에워싸고 있을 수도 있어서 팁의 수명 연장뿐만 아니라, 전계방출의 최적화를 위한 전처리 및 후처리 등의 조건을 확장시킬 수 있으며, 또한 금속, 합금 및 금속 화합물의 혼합 공정에 의한 줄(WIRE), 바(BAR) 및 평면(PLATE) 등의 여러 가지 형태를 가진 탄소나노튜브 전자방출원으로 이용할 수 있다.
1. 기술의 개요본 기술은 1,2-다이엔일하이드라존을 몰리브덴 화합물을 이용하여 고리화 반응을 수행하여 알파-메틸렌-감마-부티로락탐(Α-METHYLENE-Γ-BUTYROLACTAM)의 골격을 갖는 고리화합물을 제조하는 방법에 관한 것이다. 2. 기술의 특징본 기술의 제조방법에 따르면, 몰리브덴 화합물과 1,2-다이엔일하이드라존을 이용하여 천연 항암제와 유사한 구조의 입체선택성인 알파-메틸렌-감마-부틸로락탐 화합물을 합성할 수 있어, 여러가지 약물 및 생리활성물질의 중간체 또는 생성물의 합성에 널리 사용될 수 있을 것으로 사료된다
1. 기술의 개요본 기술은 에너지 절약형 수전금구에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 수전금구의 사용 후 취출레버가 항상 냉수모드측에 위치되게 하여 냉수의 사용을 유도함으로써 불필요한 온수 사용으로 인한 에너지 낭비를 미연에 방지토록 한 에너지 절약형 수전금구에 관한 것이다.2. 기술의 특징본 기술은 에너지 절약형 수전금구에 관한 것으로서, 몸체에 삽입되고 냉수 또는 온수 또는 이의 혼용수를 공급하는 유로를 갖는 카트리지와, 카트리지와 연동되게 결합되어 카트리지의 유로를 전환시키는 취출레버를 갖는 수전금구에 있어서, 카트리지에 그 일단이 고정되고 타단은 카트리지에 감김 되어 돌출된 스프링바를 갖는 스프링과, 카트리지에 돌출 형성되고 스프링바가 걸림 되는 래칫과, 취출레버에 돌출 형성되고 스프링바를 온수모드측으로 회전시키는 고정바와, 취출레버에 돌출 형성되고 취출레버의 오프(OFF)시 스프링바를 래칫으로부터 해제시키는 누름판을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하여, 수전금구의 사용 후 취출레버가 항상 냉수모드측으로 위치되게 함으로써 냉수의 사용을 유도하여 불필요한 온수 사용으로 인한 에너지 낭비를 미연에 방지할 수 있게 된다.
1. 기술의 개요본 기술은 광촉매인 이산화티타늄을 주형 합성법을 이용하여 나노구조체로 제조하는 방법에 관한 것으로서, 상세하게는 튜브타입의 이산화티타늄 나노구조체를 합성하는 방법에 관한 것이다. 주형 합성법을 이용한 나노구조체는 일반적인 코팅법에 의하는 경우에 비하여 비표면적이 약 300배 이상이 크므로 촉매의 효율도 이에 비례해서 커진다. 본 기술에서는 이러한 주형 합성법을 이용하여 촉매의 활성을 최대로 한 이산화티타늄 광촉매를 제조하고자 하였다. 2. 기술의 특징본 기술은 사염화티타늄 또는 티타늄알콕사이드를 출발 물질로 하여 가수분해 지연제인 과산화수소 또는 2,4-펜탄디올을 첨가하여 미세한 나노졸인 이산화티타늄 졸용액을 제조하고, 이를 폴리카보네이트 맴브레인에 담궈 충진되게 한 다음 무기바인더를 이용하여 고정상에 부착시킨 후 수열반응기를 이용하여 50 내지 100℃ 사이에서 소성시켜 맴브레인 안의 이산화티타늄 졸을 단단하게 한 다음 이를 전기로를 이용하여 100 내지 1000℃ 사이에서 소성시키는 과정을 통하여 속이 빈 튜브 타입의 이산화티타늄 나노구조체를 제조하는 방법을 제공한다. 본 기술에 의하여 제조된 이산화티타늄 나노구조체는, 기존의 방법에 의하여 이산화티타늄졸을 만들고 이를 맴브레인 주형에 넣어서 만드는 경우와 같이 속이 꽉 찬 섬유상 타입이 아니라, 속이 빈 튜브타입으로 제조되기 때문에 비표면적이 증가하고 촉매의 효율도 그에 따라 증가하게 된다.
1. 기술의 개요습식도금을 이용한 연성회로기판의 제조방법에 관한 것으로, 폴리이미드 필름과 금속 박막층과의 사이의 접착성을 동종의 금속 씨드(SEED) 층을 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 증착하여 향상시킴으로써, 10㎛ 두께 이상의 습식도금법을 이용한 연성동박적층 필름 제조시 공정 단순화를 통한 경제적 효과를 얻을 수 있다.2. 기술의 특징폴리이미드 필름과 마그네트론 스퍼터링장치를 구비한 연성회로기판의 제조방법에 있어서, 폴리이미드 필름의 표면에 마그네트론 스퍼터링장치에 의해 고에너지의 이온과 타겟 금속 이온을 충돌침입시켜 고에너지의 이온에 의해 가교층을 형성하는 단계, 형성된 가교층에 충돌침입되는 금속 이온에 의해 동 박막을 형성하는 단계와 형성된 동 박막 상에 습식도금법을 이용하여 동 후막을 증착하는 단계를 포함하여 이루어진다.
1. 기술의 개요본 기술에 따른 다이아몬드상 카본코팅 박막장치의 제조방법에서는, 기판의 표면에 금속층을 증착한 후, 그 위에 비정질인 다이아몬드상 카본(이하, DLC이라함) 박막층을 증착함으로써 DLC 박막의 내부응력을 줄여서 기판과 박막간의 접착력을 향상시키는 효과를 기대할 수 있다. 2. 기술의 특징DLC 박막의 고유특성인 작은 마찰계수를 유지함으로써, 코팅막의 용도로 쓰일 수 있는 효과를 기대할 수 있다. 게다가, 비교적 간단한 제조 공정과 낮은 가격으로 증착할 수 있기 때문에 코팅막의 광범위한 실용화에도 기여할 수 있다. 끝으로, 실리콘 또는 금속 기판 외 코팅을 필요로 하는 실질적인 기타 모재에도 응용이 가능하다.
1. 기술의 개요본 기술은 영상을 이용한 물체 추적에 관한 것으로, 특히 입자 필터(Particle Filter)를 이용, 이동하는 물체를 실시간으로추적하는 실시간 물체 추적 장치에 관한 것이다.2. 기술의 특징본 기술은, 촬영장치로부터 입력되는 움직이는 물체가 있는 영상 정보를 이용하여 물체 추적을 수행하는 장치에 있어서, 영상 정보를 시간 순서에 따라 저장하는 영상 저장 메모리와, 영상 저장 메모리의 이전 프레임의 영상과 현재 프레임의 영상의 차감 연산을 통하여 차감영상을 구하는 영상 차감기, 영상 차감기에 의해 얻어진 차감영상의 잡음을 제거하기 위한 잡음 제거 필터 및 잡음 제거 필터에 의해 잡음이 제거된 차감영상을 이용하여 물체 추적을 수행하는 입자 필터를 포함하여 구성되고,입자 필터는, 잡음이 제거된 차감영상에 대해서, 2차원 평면상의 위치가 될 수 있는 입자의 상태 및 가중치가 부여된 N개의 입자{XTI, ΩTI}T=1..N를 분포시키고, (여기서, XTI는 시간 T에서 ITH 입자의 상태를 의미하고, ΩTI는 입자 XTI의 가중치를 의미한다.) 차감영상의 변화에 대응하여 변화되는 입자의 상태 및 가중치 변화에 따라 확률적 접근방법으로 입자의 분포 밀도를 통해 물체의 운동방향을 설정하는 것을 특징으로 하는 실시간 물체 추적 장치.
1. 기술의 개요본 기술은 3고조파를 이용한 피엠 비엘디씨(PM BLDC: Permanent Magnet Brushless Direct Current; 이하 'PM BLDC'로 통칭함) 전동기의 구동장치 및 그 구동방법에 관한 것으로서, 특히 여러 가지 센서리스 구동방식 중에 단자 전압의 제3고조파 성분을 전동기의 구동을 위한 제어 메커니즘에 활용함으로써 필터에 의한 지연에 민감하지 않고, 넓은 속도 범위에서 좋은 수행능력을 가지는 3고조파를 이용한 PM BLDC 전동기의 구동장치 및 그 구동방법에 관한 것이다.2. 기술의 특징본 기술에 따른 3고조파를 이용한 PM BLDC 전동기의 구동 장치는, 단상 교류 전원을 입력받아 직류로 변환하여 출력하는 정류기, 정류기로부터 입력받은 직류 전원을 3상 교류 전원으로 변환하여 PM BLDC 전동기로 제공하는 인버터, 인버터와 PM BLDC 전동기를 연결하는 3상 라인의 각 상에 Y-결선으로 접속되며, PM BLDC 전동기의 제3고조파 전압을 검출하는 제3고조파 검출회로부, 인버터와 PM BLDC 전동기를 연결하는 3상 라인중의 임의의 2상에 접속되며, 그 접속된 2상의 전류를 검출하여 히스테리시스 전류를 제어하는 히스테리시스 전류 제어부, 제3고조파 검출회로부 및 히스테리시스 전류 제어부로부터의 출력신호를 입력받아 추정 홀센서 신호를 발생하는 홀센서 신호 발생부, 홀센서 신호 발생부로부터의 출력신호를 입력받아 인버터 내의 반도체 스위칭 소자의 게이트 단자를 구동시키기 위한 게이트 신호를 발생하는 게이트 드라이버 및 히스테리시스 전류 제어부 및 홀센서 신호 발생부와 전기적으로 연결되며, 홀센서 신호 발생부의 구동 시작 신호를 출력하고, 홀센서 신호 발생부로부터의 홀센서 신호를 입력받아 PI제어 및 D/A 제어를 수행하며, 히스테리시스 전류 제어부의 제어를 위한 제어신호를 출력하는 주제어부를 포함하여 구성된다.
1. 기술의 개요본 기술에 따른 2개의 홀센서와 PLL을 이용한 브러시리스 직류 전동기의 속도 제어방법은, PM BLDC 전동기의 3상중 임의의 2상에만 홀센서를 설치하고, 그 홀센서의 검출신호를 이용하여 나머지 한 상에 대한 홀센서 신호를 별도로 마련한 홀센서 추정회로에 의해 추정하며, 2개의 실제로 측정한 홀센서 신호와 한 개의 추정 홀센서 신호를 이용하여 전동기의 속도제어를 위한 엔코더를 대신하기 위해 별도로 마련한 디지털 로직 회로에 의해 회전자의 1회전당 6개의 펄스를 발생시키는 한편, 2개의 홀센서를 사용함에 따른 낮은 분해능의 문제를 보상하기 위해 별도로 마련된 PLL에 의해 디지털 로직 회로로부터의 펄스에 대응하여 디지털 로직 회로에서 발생되는 펄스에 비해 상대적으로 더욱 조밀한 간격의 펄스를 발생하여, 그 발생된 펄스를 전동기 구동 시스템의 속도제어부에 제공함으로써 최종적으로 PM BLDC 전동기의 속도를 제어한다.2. 기술의 특징2개의 실측 홀센서 신호와 한 개의 추정 홀센서 신호를 이용하여 6개의 펄스를 발생시키고, 다시 6개의 펄스 각각에 대하여 23개의 펄스를 발생시켜 총 138개의 펄스를 이용하여 전동기의 속도 제어에 활용하므로, 고가의 엔코더와 레졸버 없이도 정밀한 속도 제어가 가능하며, 궁극적으로 전체적인 전동기 구동 시스템의 제작비용을 대폭 감축시킬 수 있는 장점이 있다.
1. 기술의 개요본 기술에 따른 2개의 홀센서를 이용한 브러시리스 직류 전동기의 속도 제어방법은, PM BLDC 전동기의 3상중 임의의 2상에만 홀센서를 설치하고, 그 2상에 설치된 홀센서에 의해 PM BLDC 전동기의 영구자석 회전자의 위치에 대한 2상의 각각에 대한 상대적인 위치를 검출하는 한편 그 2상에 대한 위치 검출신호를 이용하여 실용 적분회로와 영점 검출회로의 조합으로 이루어진 홀센서 신호 추정회로에 의해 나머지 한 상에 대한 위치를 추정하고, 2상에 대한 실제의 검출신호와 나머지 한 상에 대한 추정신호를 PM BLDC 전동기의 속도 제어 알고리즘에 제공하여 최종적으로 PM BLDC 전동기의 속도를 제어한다.2. 기술의 특징PM BLDC 전동기의 3상중 임의의 2상에만 홀센서를 설치하고, 그에 따른 검출신호와 나머지 한 상에 대한 추정신호를 바탕으로 전동기의 속도를 제어하므로, 종래의 전동기의 속도 제어를 위해 사용되던 고가의 장치를 필요로 하지 않아 PM BLDC 전동기의 전체적인 구동 시스템의 제작비용을 대폭 감축시킬 수 있고, 기존의 속도 센서 설치에 있어서의 여러 가지 문제점들을 원천적으로 해결할 수 있는 장점이 있다.
1. 기술의 개요본 기술은 기판 상에 탄소나노튜브를 형성하는 장치에 관한 것이다. 공정진행 중 공정챔버 내부는 상압으로 유지되며, 공정챔버 내에 배치된 상부전극 아래에는 모세관으로 기능하는 통공들이 형성된 유전체판이 배치된다. 본 기술의 장치를 사용하면 대면적에서 균일하고 밀도가 높은 플라즈마를 발생시킬 수 있다.2. 기술의 특징상압에서 플라즈마를 이용하여 기판에 탄소나노튜브를 형성하는 장치에 있어서, 공정챔버와, 공정챔버 내의 하부에 배치되며 기판이 놓여지는 하부전극과, 하부전극에 놓여진 기판을 가열하는 가열기와, 공정챔버 내에 하부전극과 일정간격 이격되어 이와 대향되도록 배치되는 상부전극과, 하부전극과 마주보는 상부전극의 면 상에 위치되는, 그리고 소스가스가 상부전극의 수직 아래 위치로 공급되도록 소스가스가 공급되는 통로인 복수의 통공들이 형성된 유전체판과, 소스가스를 플라즈마 상태로 여기시키기 위해 두 개의 금속전극 중 적어도 하나에 전원을 공급하는 전원 공급부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
1. 기술의 개요본 기술은 티올기를 가진 리셉터 분자를 고정화할 수 있는, 디아세틸렌 분자들로 구성된 폴리디아세틸렌 초분자체에 관한 것이다. 본 기술에 따른 폴리디아세틸렌 초분자체는 항체와 같이 티올기를 갖는 리셉터가 고정화되어 있어, 시료와 반응시키는 경우 색전이를 나타내므로, 이를 리셉터-리간드 반응 예를 들어, 항체-항원 반응에 이용하는 경우 폴리디아세틸렌 특유의 색전이를 통해 항원을 검출할 수 있다.2. 기술의 특징본 기술의 티올기를 가진 리셉터 분자를 고장화시킬 수 있는 폴리디아세틸렌 초분자체는, 적합한 리셉터를 용이하게 폴리디아세틸렌 초분자체 표면에 고정화시켜 리간드 검출에 이용할 수 있다. 따라서, 본 기술에 따르면 리간드에따라 적합한 리셉터를 용이하게 선택하여 시료 분석에 이용할 수 있다.
1. 기술의 개요본 기술은 담지체에 담지된 전이금속촉매를 보트 위에 올려놓고 상압 열화학기상법 (혹은 열분해법)을 이용하여 벽수가 2-10 개의 얇은 다층 탄소나노튜브를 대량으로 합성하는 방법에 관한 것이다. 본 기술의 일 관점에 의한 얇은 다층 탄소나노튜브 대량합성법은 전이금속촉매를 담지체에 담지하는 방법, 상압 열화학기상법으로 메탄기체와 에틸렌기체를 혼합하여 상기 탄소나노튜브를 대량으로 합성하는 방법, 일괄처리 공정을 연속적으로 수행하는 단계를 포함한다2. 기술의 특징공기분위기에서 높은 온도로 연소하는 연소법을 사용하여 제조한 FEMOMGO 촉매 위에 상압 열화학기상증착법을 이용, 벽 수가 2-10개인 얇은 다층 탄소나노튜브를 대량 합성하는 방법에 있어서, 제조된 FEMOMGO 촉매의 재산화 방지 목적으로 환원 과정과 나노튜브 합성 과정을 같은 챔버에서 연속 수행하여 나노튜브 수율을 증가시키는 것을 특징으로 한다.
1. 기술의 개요본 기술은, 실리콘 등으로 구성될 수 있는 피처리기판 상에 금속층 또는 절연층을 증착하는 공정과, PR층을 증착한 후, 다수의 홀 형상에 따라 패턴을 형성하여, 잔류 PR층과 함께 금속층 또는 절연층이 노출되게 하는 공정, 애싱 공정을 통해 잔류 PR의 폭을 감소시켜, 금속층 또는 절연층의 노출 면적을 증가시키는 공정, 노출된 금속층 또는 절연층 위를 절연성 또는 도전성재료로 증착(또는 충진)하는 공정 및, 잔류 PR을 제거하여 나노 홀을 형성하는 공정을 구비하여 이루어지는 나노 홀 형성방법 및 이 나노 홀 형성방법을 통해 제조된 반도체장치를 제공한다.2. 기술의 특징본 기술에 의하면, 금속층 식각 등의 복잡한 공정을 거치지 않고, PR애싱을 이용하여 하향식 접근방식(상부로부터 하부층으로)으로 나노미터 규격의 홀을 균일하게 구현할 수 있도록 된 나노 홀 형성방법을 제공하는 효과가 있다.
1. 기술의 개요미량의 대상 물질을 짧은 시간에 검출할 수 있도록 하는 기능화된 다공성 양극산화 알루미늄을 이용한 광간섭 바이오센서에 관한 것이다.2. 기술의 특징기능화된 다공성 양극산화 알루미늄을 이용한 광간섭 바이오센서의 제조방법은, 다공성 양극산화 알루미늄을 에탄올로 세척하는 단계, 세척된 양극산화 알루미늄을 상온에서 자기조립단분자막(SELF-ASSEMBLED MONOLAYER: SAM)방식을 이용하여 3-아미노프로필트리메토시실란(AMINOPROPYLTRIMETHOXYSILANE)를 50MM로 증류수에 녹여 아세틱산(ACETIC ACID)를 가하여 PH 4.5로 한 후에 24시간 동안 침지하는 단계, 양극산화 알루미늄 시편을 꺼내어 세척한 후에 상온에서 1시간 동안 건조시키는 단계, 115℃에서 30분간 질소분위기하에서 다시 건조시키는 단계, 및 프로링커(PROLINKERTM)A를 CHC13에 10MM로 용해시킨 후에 용액 내에 건조된 양극산화 알루미늄을 5시간 동안 침지하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.