산업기술 통합검색
본 기술은 흡착장치에 관한 것이며 흡착성 내지 작동성 등이 대폭 향상된 흡착장치에 관한 것이다. 본 기술에 의한 흡착장치는, 내부에 개별적으로 중공부를 가진 다수의 흡착컵 및 다수의 흡착컵을 신장 내지 수축시키도록 선형적으로 이동가능하게 설치되는 가변플레이트를 포함한다.본 기술의 흡착장치는, 조립 내지 제조가 매우 용이하여 생산성을 높일 수 있다. 또 구동유닛의 동력제어를 통해 흡착강도를 손쉽게 제어할 수 있다. 더욱이 진공펌프를 사용하지 않기 때문에, 하나의 흡착컵에서 누설 현상이 일어나도 다른 흡착컵에 의한 흡착 작용이 유지될 수 있다.
본 기술은 열용사 공정을 이용하여 다이아몬드 공구를 제조하는 방법에 관한 것으로서 종래 다이아몬드 입자의 탄화로 인하여 열용사 방법으로 제조하는 것이 곤란하였던 다이아몬드 공구를 열용사 방법을 이용하여 균일한 품질을 가지도록 제조하는 방법에 관한 것이다.본 기술의 열 용사 코팅 방법은 다이아몬드 입자와 본드 메탈 입자를 기판에 열용사 코팅하여 다이아몬드 공구를 제조하는 방법으로서, 다이아몬드 입자로서 금속 박막이 코팅된 다이아몬드 입자를 사용하는 것을 특징으로 한다.
본 기술은 엔진의 착화시기 검출방법에 관한 것으로서 연소실 내의 연소압력과 모터링 압력의 차이를 이용하여 착화시기를 검출하는 엔진의 착화시기 검출방법에 관한 것이다. 본 기술에 따른 엔진의 착화시기 검출방법은 연소가 일어날 때의 엔진의 연소실 내부 압력과 연소가 일어나지 않을 때의 엔진의 연소실 내부 압력의 차이인 검출압력을 측정하는 단계와, 검출압력을 검출압력이 측정되는 해당 연소 사이클에서의 최대검출압력으로 노멀라이즈 하여 표준검출압력을 산출하는 단계와, 표준검출압력이 미리 설정된 기준표준검출압력과 일치하는 시점에서의 크랭크각도인 제1크랭크각도를 각 연소 사이클별로 측정하는 단계와, 엔진 내부에서 착화가 일어나는 착화시점에서의 크랭크각도인 제2크랭크각도를 각 연소 사이클별로 측정하는 단계와, 제1크랭크각도와 제2크랭크각도의 차이인 지연각을 각 연소 사이클별로 산출하는 단계와, 각 연소 사이클별로 산출된 지연각을 기초로 지연각을 대표하는 검출지연각을 설정하는 단계를 포함한다.본 기술에 따르면, 연료 분사 시기, 엔진 부하 등과 같은 운전조건의 변화에 관계없이 엔진의 착화시기를 정확하고 신속하게 검출할 수 있으며, 이를 이용하여 되먹임 제어 시스템의 성능을 향상시킬 수 있다. 그 결과, 엔진의 연소 효율을 향상시킬 수 있으며, 배기가스의 발생을 줄일 수 있게 된다.
챔버 안에서 기판 상에 타겟 물질을 스퍼터링 증착법으로 박막 코팅하는 스퍼터링 증착 장치에 있어서, 챔버 안의 산소 가스의 분압을 측정하는 잔류가스 분석기 및 잔류가스 분석기에서 측정한 산소 가스의 분압이 미리 설정된 범위안에 있도록 챔버 안에 주입되는 산소 가스의 양을 조절하는 가스 주입 제어기를 포함하는 스퍼터링 증착 장치가 제시된다. 본 기술에 따른 자성 반도체 제조 방법 및 그 장치는 스퍼터링 증착 방법으로 제작되는 다결정 자성 반도체 제조공정에서 잔류가스 분석기를 통해 자성 반도체 내의 산소 결손량을 정밀조절하여 후열처리나 추가 도펀트(Dopant)의 주입없이 전하농도를 제어할 수 있는 효과가 있다.
본 기술은 알루미늄 휠의 분류 방법을 제공한다. 분류 방법은 일정 직경을 갖는 허브와 허브로부터 일정 거리 이격되어 허브의 외주를 에워싸는 일정 직경을 갖는 림으로 이루어지고, 원주 방향을 따라 반복적인 형상을 이루는 휠을 기설정된 위치에 정렬하는 휠 인식 단계와, 정렬된 휠의 상면으로 광을 조사하여 광에 의하여 반사된 휠의 화상 정보를 통하여 휠의 중심으로부터 일정 거리를 갖는 다수 위치에서의 외주를 따르는 휠의 상면의 형상에 대한 기준 패턴값의 범위를 설정하는 기준 패턴 설정 단계와, 외부로부터 인입되는 다른 휠의 패턴값이 기준 패턴값의 범위에 포함되는 지의 여부를 판별하여 분류하는 분류 단계를 포함함으로써, 그 외면에 원주 방향을 따라 반복되는 문양이 형성되는 다수 종류의 알루미늄 휠을 종류 별로 용이하게 판별하여 분류할 수 있다.본 기술은 휠의 중심으로부터 외주의 일정 위치가 임의의 각도로 회전되어 위치되는 경우에도, 설정된 기준 패턴값을 바탕으로 휠의 모델을 용이하게 분류할 수 있는 효과를 갖는다.또한, 본 기술은 휠의 모델을 분류하고 인식하기 위하여 제어부에 설정된 기준 패턴값을 형상 정보를 사용하지 않고, 주파수의 특성만을 설정하기 때문에 데이터 베이스가 간소화되고 이로 인하여 휠의 인식 및 분류 속도가 상승되는 효과를 갖는다.
- 개요 본 기술은 기체 농축기에 관한 것으로, 특히 공기 중으로부터 질소와 산소를 분리하는 농축기에 사용되는 펌프의 냉각구조와 소음감소구조에 관한 것임.- 특징 농축기에 사용되는 펌프는 주로 오일레스 타입의 컴프레서나 진공펌프로서, 이들을 실내용으로 사용하고자 하는 경우에 펌프를 밀폐하고 농축기에 사용되는 공기원료를 펌프에 통과시킴.- 효과 소형 가정용 기기에 적합하며, 별도의 냉각 팬 없이 경제적으로 저소음 및 저가격의 장치를 만들 수 있음.
- 개요 본 기술은 기체농축기에 관한 것으로, 특히 특정성분에 대하여 선택적인 흡착성능을 보이는 흡착제에 압력차이를 가하여 특정 기체성분이 부화된 기체를 얻는 장치에 관한 것임.- 특징 일반적으로 사용되는 압축스윙방식이나 진공스윙방식에서와 같이 컴프레서나 진공펌프를 사용하지 않고, 자석과 트랜스를 기본 구성요소로 갖는 버블펌프를 사용함으로써 저소음, 저가격 및 고내구성의 장치를 구성함.- 효과 산소농축기에 응용할 경우 저농도, 고유량의 개인 가정용으로서의 활용도가 큰 제품을 만들 수 있음.
본 기술은 금속 복합 범프 형성 및 이를 이용한 접합 방법에 관한 것으로서 반도체 칩을 유리기판에 실장하기 위한 금속복합범프 형성 시 전기적 특성이 우수한 금속 기지 내에 전도성 고분자를 첨가함으로써, 저가격으로 범프 형성이 가능하고 신뢰성 측면에서 우수한 특성을 나타내는 금속 복합 범프 형성 및 이를 이용한 접합 방법에 관한 것이다.이를 위해, 본 기술은 반도체 칩 상에 고분자 입자가 혼합된 도금액을 이용하여 전기 도금 또는 무전해 도금으로 형성되며, 양극에는 금속이, 음극에는 반도체 칩이 위치하여 금속 내에 고분자 입자가 분포되도록 금속과 고분자 입자가 동시에 도금되는 것을 특징으로 하는 플립칩 패키징용 금속 복합 범프를 제공한다.본 기술은 반도체 칩을 유리기판에 실장하기 위한 금속 복합 범프 형성방법에 있어서, 반도체 칩 상에 고분자 입자가 혼합된 도금액을 이용하여 전기 도금으로 형성되며, 양극에는 금속이, 음극에는 반도체 칩이 위치하여 금속 내에 고분자 입자가 분포되도록 금속과 고분자 입자가 동시에 도금되는 것을 특징으로 한다.또한, 본 기술은 반도체 칩을 유리기판에 실장하기 위한 금속 복합 범프 형성방법에 있어서, 반도체 칩 상에 고분자 입자가 혼합된 도금액을 이용하여 무전해 도금으로 형성되며, 반도체 칩을 고분자 입자가 혼합된 도금액 안에 위치시켜 금속 내에 고분자 입자가 분포되도록 금속과 고분자 입자가 동시에 도금되는 것을 특징으로 한다.
본 기술은 탐침 현미경을 이용한 리소그래피 장치 및 그 방법에 대한 것으로서 탐침 현미경을 이용하여 특정 조건에서 리소그래피를 수행하고, 특정 조건에 따른 리소그래피 결과를 데이터베이스로 구축하여 이를 기초로 수학적 모델을 도출한 후, 수학적 모델을 이용하여 리소그래피를 수행함으로써, 시행착오 없이 사용자가 원하는 형태의 나노 구조물을 반복하여 제작할 수 있는 탐침 현미경을 이용한 리소그래피 장치 및 그 방법에 관한 것이다.본 기술에 따른 탐침 및 캔틸레버를 포함하여 구성되는 탐침 현미경을 이용하여 샘플 상에 리소그래피를 수행하는 장치는, 탐침 현미경의 탐침 또는 샘플에 일정시간 동안 전압을 인가하는 전압인가 수단, 인가된 전압에 의하여 발생된 전류를 측정하는 전류검출 수단, 리소그래피가 수행되는 환경의 온도 및 습도를 제어하는 환경제어 수단, 샘플 상에 형성된 나노구조물의 높이를 측정하는 표면측정 수단, 인가된 전압의 크기, 전압 인가 시간, 발생된 전류, 환경의 온도 및 습도, 형성된 나노구조물의 높이를 포함하여 구성되는 데이터베이스를 구축하고, 데이터베이스를 기초로 샘플의 산화 모델을 계산하는 중앙제어 수단을 포함한다.본 기술에 따르면, 광센서(Photo Sensitive Detector, PSD)를 사용하는 경우 별도의 데이터베이스 구축 없이 시간에 따른 나노구조물의 높이에 대한 수학적 모델을 얻을 수 있고, 그 수학적 모델을 이용하여 나노 구조물을 얻기 위한 시스템 조건 을 계산할 수 있으며, 이러한 조건으로 리소그래피를 수행함으로써 사용자가 원하는 형태의 나노 구조물을 일정하게 반복적으로 제작할 수 있으므로, 상당한 상업적-경제적 효과가 기대된다.
본 기술은 변속장치에 관한 것으로 보다 단순한 구조에 의해 연속적인 변속작동을 구현할 수 있는 변속장치에 관한 것이다. 구동모터에 연결된 구동축, 구동축과 이격된 피동축, 구동축에 설치된 다수의 구동풀리, 피동축에 회전가능하게 지지된 다수의 피동풀리, 각 구동풀리를 대응되는 각 피동풀리에 연결하는 다수의 연결수단 및 다수의 피동풀리 중 하나를 피동축에 선택적으로 결합 또는 분리시키는 클러치부재를 포함한다. 본 기술에 따른 변속장치는 그 부피 내지 중량이 대폭 감소되며, 동력전달효율이 향상되는 효과가 있다. 이에 따라 로봇을 비롯한 다양한 분야에 보다 효과적으로 활용될 수 있다.
본 기술은 대상물의 표면을 타격체로 타격한 후, 발생하는 타격력 측정치와 타격음 측정치를 분석하여 대상물의 정상여부를 탐지하는 비파괴 타격 검사 시스템 및 검사 방법에 관한 것이다. o기술 개요 및 특징: 본 기술의 비파괴 타격 검사 시스템은 대상물에 타격을 주어 이상여부를 판단하는 비파괴 타격 검사 시스템을 구성함에 있어서, 대상물에 타격을 가하는 타격수단, 타격수단에 의해 대상물에 가해지는 타격력을 측정하는 타격력측정수단, 타격수단에 의해 타격을 입은 대상물에서 발생하는 타격음을 측정하는 타격음측정수단 및 대상물에 가해지는 타격력에 대응하는 타격음의 형태를 정상치와 비교 분석하는 제어부를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.간단히 구조물의 표면을 타격하여 발생하는 타격력과 타격음을 측정하고, 정상치와 비교 분석함으로써 구조물의 해체나 검사실로의 이송이 없이도 검사가 가능하여 검사 시간과 비용을 절감하며, 서로 보완이 되는 타격력 이용방법과 타격음 이용방법을 동시에 적용하여 대상물의 정상 여부를 보다 정밀하고 정확하게 판단할 수 있고, 손상이 없는 정상 구조물의 타격력, 타격음 데이터를 수치해석으로 계산하여 얻음으로써 적용분야가 넓으며, 보다 객관적이고 보다 정확하며 신속한 검사가 가능하고, 비전공자나 비숙련자라 할 지라도 대상물의 정상 여부를 정확하게 판단할 수 있게 하는 효과를 갖는다.
본 기술의 목적은 큰 출력을 얻을 수 있고 정확한 측정이 가능하며 센서의 제작이 용이하고 센서의 성능 조절이 용이한 마그네토스트릭션 센서를 이용한 굽힘파의 측정 장치 및 방법을 제공하는데 있다. ○ 기술 개요 및 특징: 본 기술은 자성체 또는 자성재료 박막이 코팅된 물체에 작용하는 굽힘파 및 굽힘진동을 측정하는 장치 및 방법에 관한 것으로 본 기술에 따른 굽힘파 및 굽힘진동 측정 장치는, 자성체 주위에 설치되어 굽힘파가 자성체에 작용할 때에 형성되는 응력 분포의 프로파일의 형태로 자기장을 형성하는 바이어스 자석 및 굽힘파가 자성체에 작용하여 자성체에 형성된 자기장에 변화가 생기는 것을 측정하는 자기장 변화 측정수단으로 구성된다. 또한 여기서, 바이어스 자석과 자기장 변화 측정수단으로 형성되는 자기 회로의 형성을 돕기 위하여 자성체 주위에 바이어스 요크를 더 설치할 수 있고, 바이어스 자석 및 바이어스 요크는 마그네토스트릭션 센서의 출력을 크게 하고 정확하게 측정하는게 가능하다. 또한, 자성체가 아닌 물체에 대해서도 그 표면에 자성재료 박막을 코팅하면 본 기술에 따른 측정 장치 및 방법을 사용할 수 있어 측정 대상에 구애받지 않고 물체에 작용하는 굽힘파 및 굽힘진동을 측정할 수 있는 특징을 갖는다.
본 기술에 의한 3차원상의 위치 및 자세 제어를 위한 병렬 기구 구조에 의하면, 종래의 모션 시뮬레이터에서 주축이 20~30˚까지만 경사지는 것임에 반하여, 본 기술에서 제안된 병렬 기구 구조가 모션 시뮬레이터에 응용되었을 때에는 주축이 ±360˚ 이상 무한 회전 가능한 효과가 있다. 또한, 본 기술에 의한 병렬기구 구조는 비행기, 자동차 시뮬레이터 등의 모셔 시뮬레이터 뿐만 아니라, 공작기계, 놀이 기구 등에 응용될 수 있다.○ 기술 개요 및 특징: 본 기술은 3차원상의 위치 및 자세 제어를 위한 병렬 기구 구조에 관한 것으로서, 기구의 주축에 3개의 링크들을 연결시키고, 주축에 연결된 3개의 링크들이 각각 수직 방향 및 수평 방향의 두 방향으로 구동되어 주축이 6자유도 운동을 하도록 하는 3차원상의 위치 및 자세 제어를 위한 병렬 기구 구조에 있어서, 세 개의 링크들은, 원호형 수직 가이드를 따라서 이송하도록 구동되는 제1링크, 각각의 직선형 수직 가이드를 따라서 이송하도록 구동되는 제2링크 및 제3링크 두개의 링크들로 구성되고, 원호형 수직 가이드와 두개의 직선형 수직 가이드가 수평 이송할 수 있는 원호형 수평 가이드를 포함하는 것임을 특징으로 한다.
본 기술은 마이크로 냉각기에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 컴퓨터의 마이크로프로세서장치(Micro Processer Unit: MPU)나 이동통신기기의 집적회로와 같이 크기가 작으면서도 많은 양의 열을 발생시키는 반도체 칩의 온도를 반도체 칩의 성능에 영향을 미치지 않을 수 있는 온도로 유지하기 위한 마이크로 냉각기에 관한 것이다. ○ 기술 개요 및 특징: 본 기술은 열원에 직접 부착되어 냉매를 기화시키는 증발기, 기화된 냉매 기체를 흡입하여 압축하는 압축기, 압축된 냉매 기체를 응축시키면서 냉매로부터 열을 방출시키는 응축기, 응축된 냉매가 증발기로 유입되도록 하는 도관, 및 도관 상에 구비되어 응축된 냉매를 팽창시키는 팽창밸브로 구성되는 능동형 마이크로 냉각기에 관한 것이다. 증발기와 응축기에는, 둘레에 벽이 있는 판상 부재 위에 열전달 증진 수단이 구비되어 있고, 냉매가 이동하기 위한 소정 개수의 채널연결부가 형성되어 있다. 본 기술에 따른 능동형 마이크로 냉각기에 의하면, 비교적 구조가 간단하고, 수동형 냉각기에 비하여 냉각용량이 크며, 구동수단으로 피에조 엑츄에이터를 사용함으로써 컴퓨터의 MPU와 같은 반도체 칩 크기가 되도록 작게 제작하여도 정교한 동작을 얻을 수 있는 마이크로 냉각기를 구현할 수 있다.
본 기술은 간단한 구조로 넓은 측정 범위와 높은 측정 정밀도를 갖는 새로운 유속 측정 장치 및 유속 측정 장치에서 사용되는 유속 데이터의 맵핑 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.ㅇ 기술 요약 및 특징:본 기술은 마이크로 유속 센서로 적합한 유속 측정 장치에 관한 것이다. 본 기술의 유속 측정 장치는 유동 내에 삽입되는 저항 발열체, 저항 발열체를 주기적으로 가열하기 위해 저항 발열체에 공급되는 제1 주파수의 교류전원, 교류 전원에 의해 저항 발열체에서 일어나는 온도 변화와 관련되어 저항 발열체에서 발생하는 제1 신호를 검출하여, 교류 전원 전압에 대한 제1 신호의 위상 지연을 구하는 신호 처리 수단 및 위상 지연으로부터 유동의 속도를 계산하는 연산 수단을 포함한다. 본 발명에 따르면, 간단한 구조로 넓은 측정범위와 높은 측정 정밀도를 갖는 유속 측정 장치의 제공이 가능하다. 본 기술은 다음과 같은 장점들을 가지고 있다. 첫 번째로, 가열 주파수에서의 위상 지연을 측정하기 때문에 주변에서 발생하는 모든 다른 주파수의 노이즈는 능동적으로 제거될 수 있다. 따라서, 유체의 물성치에 큰 영향을 미칠 정도로 주위의 온도변화가 매우 심해서 열 유동장의 특성 자체가 변하지 않는 한, 센서가 주변 온도의 변화에 거의 영향을 받지 않는다. 두 번째로, 주파수 공간에서의 유속을 측정하기 때문에 측정 정밀도가 열선의 온도나 열선의 열 발생량에 의존하지 않는다. 따라서 위상 측정에 필요한 신호를 발생시킬 수 있는 최소한의 열량으로도 유속을 측정할 수 있으며, 센서를 작동시키는 데 필요한 에너지 소모가 적고 유속 측정으로 인해 유체가 가열되는 단점을 최소화할 수 있다. 세 번째는 디지털 신호 처리 기술의 발달로 위상을 정밀한 측정이 가능하기 때문에, 매우 느린 유동의 속도까지 높은 정밀도로 정확하게 측정할 수 있다.또한 공급해주는 교류 전원의 주파수를 변화시킴에 따라, 넓은 범위에 걸쳐서 쉽게 유속 측정이 가능하고, 유동 내에 미소한 열선의 장착만으로 유속이 측정이 가능하기 때문에 구조가 간단하여 미소 유체 시스템에 적용시키기도 용이하다.이와 같은 장점으로 인해, 본 기술의 교류 방식 유속 측정법은 온도 변화가 있는 유동장의 유속 측정이나 마이크로 시스템에서의 유속 또는 유량의 정밀 측정에 적합하다.
본 기술은 냉장·냉동기기 및 열펌프용 증발기에 관한 것으로, 증발기 전면부 즉, 공기의 유입부측에 전기한 증발기의 냉각핀과 동일한 두께와 간격을 갖는 별도의 가이드핀 결합체를 형성하여 결합하므로서 증발기로 유입되는 공기의 흐름을 안정되게 하여 증발기의 서리 성장 속도가 현저히 저하되어 별도의 히터에 의한 제상장치의 가동시간이 단축됨은 물론 가동시간의 간격이 매우 길어지게 되므로 냉동 및 난방 효율이 높아질 뿐만 아니라 전력 감소 효과가 매우 큰 냉장·냉동기기 및 열펌프용 증발기의 서리 억제 방법 및 그 장치에 관한 것이다.
본 기술은 광학적 나노장치에 이용될 수 있는 광발광 특성을 갖는 산화마그네슘 나노입자를 제공하는 것이다.ㅇ 기술 요약 및 특징: 본 기술은 광발광(photoluminescence) 특성을 갖는 산화마그네슘 나노입자에 관한 것으로, 본 기술에 따라 망간 성분 함유 마그네슘 금속을 공기 중에서 연소시켜 제조되는 산화마그네슘 나노입자는 소량의 Mn2+ 이온을 함유한 정육면체 결정구조로, 2개의 매우 예리한 발광피크가 발생하며, 여기상태(excited state)가 장시간 지속되는 광발광 특성을 나타내어 나노 레이저와 같은 새로운 광학적 나노장치에 응용될 수 있다.
본 기술은 광통신에 사용되는 광섬유 모재를 제조함에 있어서, 원관내부에서 기체상으로부터 입자를 발생시켜 원관내벽에 부착시키는 고증착률과 고균일도를 나타내는 화학증착방법에 관한 것이다.현재 광섬유 제조에 광범위하게 사용되는 MCVD(Modified Chemical Vapor Deposition)에서는 실리카 원관의 중심에서 가스의 속도가 최대가 되므로 외부 가열효과가 충분히 중심축까지 전달되기 어렵고 중심부근에서 입자가 생성되더라도 축방향으로 상당한 거리를 이동하기 때문에 입자부착율이 낮아지고 불균일 입자부착구간이 길어진다. 이러한 점들을 해결하기 위해 출원되는 본 발명은 기존의 MCVD방법과 유사하나 기존의 MCVD는 하나의 실리카 원관을 사용하여 그 원관내에서 화학반응을 이용하여 미세입자를 생성, 부착시키는 반면 본 발명에 따른 방법은 입자가 부착되는 실리카 원관내부에 고온의 가스가 분사될 수 있는 원관을 그 원관의 배기구로부터 추가로 주입하는 것을 특징으로 한다.내부에서 고온의 기체가 분사되면 분사되는 가스제트는 막(A)을 형성하여 생성된 입자를 외부원관의 벽쪽으로 이동시키고 분사된 제트의 온도가 고온이므로 높은 온도구배의 효과를 얻을 수 있어서 입자부착율이 높아지고 입자의 부착구간은 훨씬 줄어든다. 또한 분사된 제트의 유량과 온도를 조절함으로서 막의 두께를 조절할 수 있는데 이것은 온도구배와 연관이 있으므로 이 유량과 온도의 조절로 단위시간당의 입자부착량과 입자부착 구간의 제어를 할 수 있을 것이다. 내부원관은 토치의 이송속도와 동일하게 이송시켜 토치위치근방에서 제트를 분사할 수 있도록 한다. 내부원관의 가열에는 전열선에 의한 가열, 유도전류에 의한 가열, 연료의 연소에 의한 가열의 방법 등을 포함한다.
본 기술은 핸들링 웨이퍼의 접착이라는 복잡한 과정이 없이 반도체 소자의 제조공정에서 일반적으로 사용되는 기술을 접목시켜 공정을 단순화시킨 기판 관통 식각방법을 제공한다. ○ 기술 요약 및 특징: 본 기술은 공정을 단순화시키며, 기판의 냉각을 효율적으로 수행시키고, 플라즈마 이온 플럭스의 흐름을 일정하게 유지할 수 있는 기판 관통 식각방법이 개시된다. 본 기술의 일 형태에 따른 기판 관통 식각방법은, 기판에 버퍼층과 금속층을 형성하고, 반대되는 기판에 식각마스크 패턴을 형성한 후 이를 식각마스크로 하여 기판을 관통 식각한다. 바람직하게는 버퍼층은 이산화실리콘층이며, 금속층은 알루미늄층을 사용한다.
본 기술은3차원상에서 위치 및 자세를 제어하는 병렬 기구 구조에 관한 것으로서, 본 기술에서는 주축에 3개의 링크들을 연결시키고, 주축에 연결된 각 링크는 수직 방향 및 수평 방향으로 2가지 방향으로 구동되어 주축이 6자유도 운동을 하는 것임을 특징으로 하는 병렬 기구 구조를 제시한다. 본 기술에서는 6자유도 병렬 기구의 다양한 실시예들을 제시하고, 특히, 주축의 90°경사 및 선회가 가능한 구조로서 작업 공간 전 범위에서 5면 5축 동시 가공을 수행할 수 있을 뿐만 아니라, 선삭과 연마 공정을 포함하는 복합 가공을 수행할 수 있는 병렬 기구 구조를 제시한다.