펄스 스택 공동 링다운 분광
이 발명품은 고반복률 레이저, 초단펄스를 가진 동기적으로 펌핑된 고미세 공동에 의한 공동 링다운 분광이 성능을 확장하고 개선한 것이다.처리율 증가, 고출력 레벨
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- 2001-02-28
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87 / 866 페이지반도체 공정 장비에서 물리적으로 수송 웨이퍼를 위한 재사용 가능 지원
이 발명품은 반도체 공정 장비에서 물리적 수송 웨이퍼를 위한 재사용 가능 지원을 마련하였다. 이 웨이퍼 지원은 공정 웨이퍼를 지원하는 강체 디스크이다. 이것의 설계와 재료는 각 에칭 도구에서 웨이퍼 클램핑 기구를 가지고 호환성이 있음을 알았다. 직접 후방을 준비한 선택이 있고 척을 위한 연속적 웨이퍼 정렬이 있다.관통 웨이퍼 에칭에의 매우 깊은 것과 관련한 많은 문제를 제거하는데 이 웨이퍼가 도움을 줌, 웨이퍼 공정의 후면 조건의 보다 적은 제한으로 인한 공정 유연성 증가 마련, 웨이퍼 지원이 정전기적으로와 기계적 클램프로 사용할 수 있도록 링으로 보호
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- 2001-02-28
원자 흡수 분광을 이용한 원자 자속 측정
이 발명품의 목적은 물리적 기상 증착 공정 제어를 위한 원자수 자속의 직접 측정을 제공하는 것이다. 다이오드 레이저와 평형 검출 기구를 이용한 파장 변조 분광의 조합은 고감도와 고신뢰성을 제공한다. 이것은 열장벽 코팅과 광전압 재료, 반도체 소자의 금속화, 고온 초전도체, 고성능 합금과 같은 재료 생산을 위한 물리적 기상 증착 공정의 제어와 감시를 개선시킬 수 있다.참 자속 측정을 위한 속도와 밀도상의 정보 준비, 전체 기판 영역에 대한 측정, 비침격 측정, 고감도, 강인성, 신뢰성
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- 2001-02-28
이중 캔틸레버를 가진 초음파력 현미경
이 발명품은 초음파력 현미경(UFM)이라 불리는 주사 탐침자 계측기의 새로운 버전이다. 표준 UFM(SUFM)은 음향 현미경과 주사 탐침자 현미경의 조합이다. SUFM은 2개의 캔틸레버를 이용한다. (1) 하나는 “blunt tip”을 가지며 정지이고 전송된 음원, (2) 다른 하나는 “sharp tip”을 가지며 표면을 주사하고 수신 음원을 가진다. 주사된 캔틸레버는 샘플 표면의 탄성 특성 영향으로부터 형태를 위한 래스러 패턴을 생성한다.현재 주사 탐침 측정을 가진 잠재적 통합, 초고분해능
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- 2001-02-28
cMUT DC 바이어스 분포를 위한 패턴 전극
이 발명품은 공기에서 동작하는 용량성 마이크로머신 초음파 트랜스듀서(cMUTs)의 성능을 개선하였다. 단일 직경을 이용한 것과 대조하여 트랜스듀서의 형태로 다른 막직경 분포에 의해 cMUTs의 대역폭은 증가되었다. 그러나 다른 크기막의 성능은 준최적이 될 것이다. 이 발명품은 이러한 문제를 극복하기 위한 방법을 마련하였다.다른 크기막을 이용할 때 고성능 허용
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- 2001-03-01
접속을 통한 관통 웨이퍼
이 발명품은 트랜스듀서의 2차원 배열에서 개별적인 요소와 접속하기 위한 관통 웨이퍼 비자 사용과 관계된다. 특별히 이 발명품은 마이크로머신 용량성 초음파 트랜스듀서의 접속과 관련이 있다.개별 요소와 결합하기 위한 관통 웨이퍼 사용
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- 2001-03-01
cMUTs에서 누화 저감
이 발명품은 단일 소자의 자기 유도 누화와 cMUT 배열 원소 사이의 누화 저감과 관련이 있다. 램브파의 경우에 하나의 접근법을 웨이퍼 두께의 변화에 위해 방사각의 변화와 효율의 감소이다. 고립파의 여기 효율은 에지 효과 감소를 위한 원소의 어포다이징에 의해 감소시킬 수 있다. 웨이퍼 에지 방향 또는 배열의 다른 원소를 위한 이들 파의 진행에 따른 차단 감쇄 은닉의 몇 가지 방법이 있다.누화 감소
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- 2001-03-01
자기 바이어스 캐패시터 마이크로머신 초음파 트랜스듀서
이 발명품은 용량성 마이크로머신 트랜스듀서(cMUTs)를 동작하기 위한 DC 바이어스를 위한 필요성을 제거하는 소자 배열이다. cMUT의 표준 배열을 가진 다른 차이는 도체 또는 금속 조각 분리로부터 만들어진 다른 전극이 존재한다는 것이다.DC 바이어스 필요성 제거
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- 2001-03-01
개선된 막재료와 구조
이 발명품은 동일 레벨 또는 증가 레벨에서 전환된 기계적 에너지를 유지시키는 동안 소자에 저장된 정전 에너지 양 감소에 대한 용량성 초음파 트랜스듀서(cMUTs)의 성능 개선을 위한 방법을 제공한다. 따라서 트랜스듀서의 전자 기계적 결합 능력은 증가된다.전기 기계적 결합 능력 향상
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- 2001-03-01
침수 응용을 위한 cMUT의 개선된 막설계
이 발명품은 활성 캐패시턴스 비를 위한 기생 캐패시턴스 감소와 트랜스듀서 영역의 활성 몫을 증가함에 의한 침수 응용을 위한 용량성 마이크로머신 초음파 트랜스듀서(cMUTs)의 성능을 개선하기 위한 몇 개의 새로운 설계를 포함하고 있다.트랜스듀서 면적의 활성 부분 증가, 능동 캐패시턴스 정량에의 기생 캐패시턴스 감소
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- 2001-03-01
cMUT 원소의 어포디제이션
이 발명품은 초음파 영상 배열의 개별적인 요소의 단일 요소를 위한 용량성 마이크로머신 초음파 트랜스듀서(cMUTs)의 방사 패턴 형상을 위한 방법이다. 종래의 압전 배열 트랜스듀서와 같지 않게 2차원에서 특성 변화를 허용하지 않으며 cMUT 배열 트랜스듀서들은 소형막으로 제작되었다. 이들 빌딩 블록들의 특성은 리소그래픽 공정에 의한 개별적인 트랜스듀서 원소내에서 변화를 쉽게 할 수 있다. 따라서 배열의 개별적인 원소의 방사 패턴은 어포디제이션에 의해 조정할 수 있다.초음파 영상 배열의 개별적인 요소의 단일 요소를 위한 cMUT의 방사 패턴 정형 허용
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- 2001-03-01
공중 초음파 응용을 위한 후지원 광대역 cMUT
공기에서 저주파와 광대역 초음파 여기와 검출이 가능한 용량성 마이크로머신 초음파 트랜스듀서(cMUT) 제작을 위한 새로운 방법을 기술하였다. 작은 변화막의 형성 대신에 cMUT의 주변에 따라 클램프되며 이들 트랜스듀서들은 점과 같은 지원에 의해 상대적으로 큰 막을 지원하여 형성되었다.공기에서 광대역 초음파 여기와 저주파 가능
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- 2001-03-01
캔틸레버 칩속으로 트랜지스터 집적
이 발명품은 주사 탐침자 리소그래피를 위한 일정 전류원으로 동작하기 위한 AFM 캔틸레버 속으로 트랜지스터를 집적하는 것이다. 이 트랜지스터는 활동 전류 피드백 회로에 대하여 필요성을 제거하고 방사 전류를 안정화한다.약 25nm 크기 패턴 차원
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- 2001-03-01
광섬유 센서
이 발명품은 금속 구조에서 광섬유 센서 내장에 의해 제작된 비접촉 온도/변형 측정을 위한 새로운 검출 시스템이다. 이 검출 시스템은 광유도를 위한 내장 광섬유 센서 광유도와 정렬을 위한 렌즈 섬유 결합기 복조 시스템 광대역 광원의 성분으로 구성되어 있다.고용융 온도를 가진 금속에서 광섬유 센서 내장을 위한 강인한 방법, 내장 유연성, 실시간 건강 감시
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- 2001-03-01
문서 보안법
이 발명품은 전문화된 잉크젯 프린터와 광판독기와 같은 컴퓨터 이용에 의한 물체의 식별과 유일한 마킹을 위한 방법이다.복제 곤란
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- 2001-03-01
완전 통합, 동조 가능 압전 공진기
통신 응용을 위한 현대 집적 회로들은 10MHz에서 수 GHz까지의 주파수 범위에서 협대역 필터를 요구한다. 현재 탄성 표면파 또는 체적파에 기반한 압전 공진기들이 이들 필터를 구현하기 위하여 사용되었다. 대부분의 경우에 공진기들은 완전히 분리하여 제작되었고 접합 와이어 등을 이용하여 IC에 접속하였다. 따라서 공진 주파수와 조정 가능한 품질 인자를 가지고 IC에 완전 통합한 공진기를 기대하게 된다. 이 발명품은 미세 제작막상 또는 반도체 웨이퍼상에 직접적으로 공진기를 구현하기 위한 몇 가지 방법을 기술하였다.온칩 전자 공학을 가진 추론 구조의 완전 집적 가능, 공진기의 공진 주파수와 품질 인자 제어 가능성
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- 2001-03-01
주사 캐패시턴스 표본 준비 기법
이 기법은 서브미크론 차원의 소자 IC 반도체에서 전기적 집중과 도핑의 측정 개선이다. 이 발명품은 개선된 트랜지스터 성능과 준 0.1 미크론 트랜지스터를 위한 보다 소형인 설계 규칙 개발을 위해 사용할 수 있다.준 0.1 미크론 소자 설계와 시험이 가능한 2차원 캐리어 프로파일링을 허용하는 샘플의 원래 표면으로부터 떨어진 곳에서 자동적으로 표면 평활 왜곡 자유 측정
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- 2001-03-01
다층 구조를 이용한 분산광을 위한 방법
이 발명품은 파장 분할 다중화기 채택 광섬유 통신과 부품에서 유용한 소자이다. 잘 알려진 기법을 이용하여 제작한 소형 소자이다. 이것은 현존하는 방법보다 큰 각 분산을 마련하였다.소형, 제조 용이
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- 2001-03-01
양자 도트 광자 턴스타닐 소자
이 발명품은 광의 양자 기계적 상태의 영역이다. 정규 단일 관자의 스트림을 만들기 위한 소자 개발이 목적이다.잘 조절된 시간 구간에서 단일 광자 생산, 사용 편리, 소형 크기, 광섬유와 같은 곳에서 광자 수집 용이, 광자 방사율 조절 가능
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- 2001-03-01
양자 도트 광자 턴스타닐 소자
이 발명품은 광의 양자 기계적 상태의 영역이다. 정규 단일 관자의 스트림을 만들기 위한 소자 개발이 목적이다.잘 조절된 시간 구간에서 단일 광자 생산, 사용 편리, 소형 크기, 광섬유와 같은 곳에서 광자 수집 용이, 광자 방사율 조절 가능
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- 2004-11-26