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화학공정 > 분자자기조립 공정 기술
원자층 화학 증착법에 의한 금속 실리 알루미네이트 박막의 제조 방법을 제공한다. 본 발명은 금속 전구체와 수소를 포함한 실리콘 전구체를 이용하여 금속 실리케이트를 제조하고, 중간 단계에 알루미늄 전구체 이용해 알루미늄 원자층을 추가한다. 이때, 알루미늄 전구체, 예컨대 TMA(trimethylaluminum)와 수증기(H 2 O)와의 반응으로 생긴 작용기(OH)와 TMA가 가지고 있는 리간드(CH 3 )가 실리콘 전구체에 함유된 수소와 반응하여 박막 내의 수소의 양을 줄일 수 있다. 기판을 포함하는 반응 챔버에 금속 전구체, 퍼지 가스, 산화제 및 퍼지 가스를 순차적으로 주입하여 기판 상에 금속-히드록시(OH) 원자층을 형성하는 단계; 상기 금속-히드록시 원자층이 형성된 반응 챔버에 알루미늄 전구체, 퍼지 가스, 산화제 및 퍼지 가스를 순차적으로 주입하여 상기 기판 상에 금속-산소-알루미늄-히드록시 원자층을 형성하는 단계; 상기 금속-산소-알루미늄-히드록시 원자층이 형성된 반응 챔버에 수소를 포함하는 실리콘 전구체, 퍼지 가스, 산화제 및 퍼지 가스를 순차적으로 주입하여 수소가 함입되지 않는 금속-산소-알루미늄-실리콘 원자층을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 금속-히드록시 원자층 형성 단계, 상기 금속-산소-알루미늄-히드록시 원자층 형성 단계 및 금속-산소-알루미늄-실리콘 원자층 형성 단계를 사이클적으로 반복하는 것을 특징으로 하는 원자층 화학 증착법에 의한 금속 실리 알루미네이트 박막의 제조방법.
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화학공정 > 고분자 가공공정 기술
본 발명은 2㎛이상의 두꺼운 수지도막 두께에도 불구하고 향상된 내식성, 용접성 및 전착도장성을 갖는 프리실드 강판용 수지조성물 및 이를 프리실드 강판에 피복하는 방법에 관한 것이다. ; 본 발명에 의하면, 수평균분자량이 15,000~60,000인 에폭시수지 100중량부,고분자-클레이 나노복합체 5~30 중량부, 멜라민 수지 5~20중량부, 왁스 1~5중량부,및 장축이 0.5~4㎛인 Al, Cu, Ni등으로 구성되는 군으로부터 선택된 1종이상의 금속분말 80~300중량부로 구성된 프리실드 강판용 수지조성물이 제공된다.또한, 본 발명에 의하면, 크로메이트 처리, 크롬프리 피막처리, 또는 SiOx 층 증착처리 중의 어느 하나의 처리가 된 아연 또는 아연합금 도금강판을 제공하는 단계, 상기와 같이 처리된 강판에 상기 수지조성물을 건조피막두께가 1.5~8㎛ 되도록 도포하는 단계, 및 상기 수지조성물이 도포된 강판을 200~250 ℃ 로 소부하고 냉각하는 단계로 구성된, 프리실드 강판에 수지조성물을 피복하는 방법이 제공된다.; 본 발명에 의한 수지피막은 아연도금 혹은 아연합금도금 강판에 피복 시 우수한 내식성, 내화학성, 용접성, 전착도장성 및 가공성을 나타낸다. 수평균분자량이 15,000~60,000인 에폭시수지(주제수지) 100중량부, 상기 에폭시 수지(주제수지)100중량부에 대하여 고분자-클레이 나노복합체 5~30 중량부, 멜라민 수지 5~20중량부, 왁스 1~5중량부,및 장축이 0.5~4 ㎛인 Al, Cu, Ni, Zn, Fe 2 P, Fe, Mn, Co, Ti 과 Sn으로 구성되는 군으로부터 선택된 1종이상의 금속분말 80~300중량부로 구성됨을 특징으로 하는 프리실드 강판용 수지조성물.
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화학공정 > 고분자 가공공정 기술
본 발명은 전도성 폴리아닐린 혼합액(polyaniline blend)의 제조방법 및 상기 혼합액과 수계 바인더를 포함하는 전도성 폴리아닐린 코팅 용액에 관한 것으로, 본 발명에 따르면, 1) 폴리아닐린을 암모니아 수에 침지시킨 후 여과하여 1차 디도핑(dedoping) 시키는 단계; 2) 1차 디도핑된 폴리아닐린을 암모니아 가스로 포화된 N-메틸피롤리돈(N-methylpyrrolidone, NMP) 용액에 용해시킨 후, 고형분을 제거하고 건조 및 세척하여 2차 디도핑 시키는 단계; 3) 2차 디도핑된 폴리아닐린을 페놀계 용매에 용해시키는 단계; 및 4) 페놀계 용매에 녹인 폴리아닐린 용액을 도판트를 포함하는 NMP와 혼합하여 도핑시키는 단계를 포함하는 방법에 의해 전도성 폴리아닐린 혼합액을 제조하며, 이 폴리아닐린 혼합액은 전도성 코팅 용액의 원료로 이용 시 코팅 용액에 우수한 전도성 및 접착성을 부여하여 부식방지, 정전기 방지 및 전자파 차폐 등의 여러 산업 분야에 유용하게 활용할 수 있다. 1) 폴리아닐린을 암모니아수에 침지시킨 후 여과하여 1차 디도핑(dedoping) 시키는 단계; 2) 1차 디도핑된 폴리아닐린을 암모니아 가스로 포화된 NMP 용액에 용해시킨 후, 고형분을 제거하고 건조 및 세척하여 2차 디도핑 시키는 단계; 3) 2차 디도핑된 폴리아닐린을 페놀계 용매에 용해시키는 단계; 및 4) 페놀계 용매에 녹인 폴리아닐린 용액을 도판트를 포함하는 NMP와 혼합하여 도핑시키는 단계를 포함하는 전도성 폴리아닐린 혼합액(blend)의 제조방법.
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화학공정 > 효소생물 공정 기술 (D54)
본 발명은 초고온성 미생물을 이용하여 알파글루코실글리세롤(α-glucosylglycerol) 화합물을 효소적으로 생산하는 방법에 관한 것으로, 구체적으로 설포로버스 속 솔파타리쿠스( Sulfolobus solfataricus ), 설포로버스 토코다이아이( S. tokodaii ) 또는 설포로버스 시바테( S. shibatae ) 균주를 고온에서 직접 균주 전세포(whole cell), 세포파쇄액 또는 세포파쇄액을 황산암모늄으로 처리한 조효소액에 말토오스와 글리세롤을 첨가하여 이루어지는 효소 반응을 통해, 알파글루코실글리세롤을 생산하고 이를 활성탄 칼럼을 통해 분리 정제함으로써 순수한 알파글루코실글리세롤을 얻는 방법에 대한 것이다. 본 발명을 이용하면 고온 균주의 효소특성상 효소안정성이 기존 효소보다 뛰어나고, 고온의 반응온도와 용매의 변화를 통해 알파글루코실글리세롤의 생성수율을 증대시킬 수 있다. i) 알파글루코시다제 활성을 갖는 초고온성 미생물 균주를 배양하는 단계; ⅱ) 상기 초고온성 균주의 전세포(whole cell), 세포파쇄액 또는 세포파쇄액의 조효소액에 말토오스와 글리세롤을 첨가하여 50 내지 90℃에서 이루어지는 효소 반응을 통해 알파글루코실글리세롤을 생산하는 단계; iii) 단계 ii)의 효소반응에 의한 반응물 내에서 알파글루코실글리세롤을 분리 정제하는 단계를 포함하는 알파글루코실글리세롤의 생산방법.
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화학공정 > 조합촉매 기술 (C38)
금속구조체 표면에 부식 방지 보호막 및 다공성 촉매 담체층을 형성하는 방법, 상기 구조체에 촉매를 부착하는 방법 및 상기 촉매가 부착된 구조체를 포함하는 모노리스(Monolith)형 촉매 모듈을 제공한다.; 본 발명에 따른 피복층은 금속구조체의 부식을 방지함과 동시에 촉매입자의 접착 안정성과 충격 내구성을 크게 향상시키게 되며, 상기 담체 입자 피복층에 촉매 입자를 부착함으로써 촉매 입자의 접착강도가 월등히 향상되어, 본 발명의 방법으로 금속구조체에 부착된 촉매 입자는 강한 기계적 또는 열적 충격에도 활성촉매 입자의 손실 없이 실제 공정에서 높은 전환율을 유지하여 장기간 사용이 가능하고, 본 발명에 의한 금속구조체를 포함하는 모노리스 촉매 모듈은 보다 가혹한 조건의 반응에 적용할 수 있다. 금속구조체 표면에 제 1 금속 입자를 10 내지 100㎛ 두께로 코팅한 후, 진공 또는 환원 분위기 하에서 700 내지 1500℃ 의 온도로 3 내지 24 시간 열처리하여 상기 제 1 금속층을 소결시켜 실질적으로 기공 없는 치밀한 구조의 제 1 금속 부식방지 보호층을 형성하는 단계; 상기 제 1 금속 부식방지 보호층 표면에 제 2 금속입자를 20 내지 200 ㎛ 두께로 다시 코팅한 후, 진공 또는 환원 분위기 하에서 600 내지 1500℃ 의 온도로 3 내지 10 시간 열처리하여 상기 제 2 금속 입자를 부분 소결시켜 다공성의 제 2 금속 촉매 담체층을 형성하는 단계; 및, 상기 제 1 금속 부식방지 보호층과 상기 제 2 금속 촉매 담체층이 형성된 금속구조체를 400 내지 1200℃ 에서 1 내지 10 시간 소성시켜 상기 제 1 금속층과 상기 제 2 금속층 각각의 표면층에 산화물막을 생성시켜 최종적으로 제 1 금속산화물/제 1 금속층과 다공성 제 2 금속산화물/제 2 금속층을 형성하는 단계 를 포함하는 부식방지 보호막 및 다공성의 촉매 담체층 형성방법
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화학공정 > 촉매평가 기술 (C38)
본 발명은 불균일계 촉매에 흡착된 질소산화물의 정량 분석방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 일괄흡착장치를 사용하여 다수의 시료를 동시에 흡착시키는 단계, 용매를 이용하여 흡착된 다수의 시료를 동시에 추출하는 단계, 히드라진을 이용하여 질소산화물을 아질산이온으로 환원시키는 단계 및 개량된 그리스 시약으로 발색시켜 검출 및 정량하는 단계를 포함함으로써, 종래의 방법이 다수의 시료를 정량하기 위해서 하나의 시료를 직렬적(serial)으로 흡착, 세척, 탈착 및 정량분석하고 이런 일련의 과정을 여러 번 반복하는 방법을 사용하여 발생되었던 시간적 또는 비용적 불이익을 현저히 절감시킬 수 있을 뿐만 아니라, 최근에 배기가스의 후처리를 위해 자동차 등에 활발히 적용되는 질소산화물 흡착 촉매의 특성 및 성능을 신속하고 신뢰성 있게 평가할 수 있도록 개선된, 불균일 촉매에 흡착된 질소산화물의 정량 분석방법에 관한 것이다. 일괄흡착장치를 사용하여 질소산화물이 포함된 다수의 시료들을 동시에 흡착시키는 단계; 물 용매를 이용하여 상기 시료들을 동시에 추출하는 단계; 히드라진을 이용하여 상기 질소산화물을 아질산이온으로 환원시키는 단계; 및 술파닐아마이드를 함유하는 인산용액과 N-(1-나프틸)에틸렌디아민 디하이드로클로라이드의 혼합물로 이루어진 개량된 그리스 시약으로 발색시켜 상기 시료의 흡광도를 측정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 불균일 촉매에 흡착된 질소산화물의 정량 분석방법.
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화학공정 > 조합촉매 기술 (C38)
본 발명은 고분자 소각으로 발생하는 유해물질인 다이옥신이나 불완전연소로 인해 생성되는 일산화 탄소, VOC(휘발성 유기 화합물)을 억제하거나 제거하는데 활성을 가지는 금속 산화물 나노 입자에 흰색을 띄는 다공성 무기물 층을 코팅하여 최종적으로 나노 이중층의 촉매 나노입자를 제조한다. 이렇게 만들어진 촉매는 저온에서의 유해물질 산화특성이 우수하면서도 흰색이나 옅은 색을 띄어 염색성이 좋고 입자크기가 작아서 다양한 고분자에 첨가제로 사용 가능하다. 이렇게 첨가제가 함유된 고분자는 폐기 후 소각로에서 소각시킬 때 유해물질의 발생량이 월등하게 줄어 들어 환경 친화적이다. FeO x 및 TiO 2 2성분을 포함하는 촉매 나노입자에 있어서, 상기 FeO x 및 상기TiO 2 의 성분을 함께 입도 10~5000nm의 Al 2 O 3 , SiO 2 , 제올라이트, ZrO 2 , MgO, CaO 및 이들의 조합으로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 혹은 2종 이상의 촉매지지체에 담지하여 분산시킨 것을 특징으로 하는 촉매 나노입자.
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화학공정 > 조합촉매 기술 (C38)
본 발명은, 아노다이징을 이용한 연료전지 개질기용 열교환기 튜브에 관한 것으로, 보다 상세하게는 알루미늄 튜브를 아노다이징 처리함으로써 상기 알루미늄 튜브 표면에 다공질 알루미나를 형성시켜 열전달 효율 및 촉매 담지량을 현저히 증가시킨 연료전지 개질기용 열교환기 튜브에 관한 것이다.; 상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 열교환기 튜브는 연료 전지의 연료 개질기에서 사용되며, 개질반응이 일어나는 개질구역과 산화반응이 일어나는 산화구역을 구획하여 산화구역에서 발생되는 열을 개질구역으로 전달하는 연료 개질기용 열교환기 튜브로서, 넓은 전열 면적을 가지도록 내표면과 외표면이 아노다이징 처리된 미세 다공질 산화 피막을 가진 알루미늄 튜브인 것을 특징으로 한다.; 본 발명에 의해 제공된 알루미늄 튜브를 개질기에 사용할 경우 전열량과, 반응효율이 현저히 증가되어 단위시간당 연료의 개질량이 증가하여 수소 생산성이 향상될 수 있다. 연료 전지의 연료 개질기에서 사용되며, 개질반응이 일어나는 개질구역과 산화반응이 일어나는 산화구역을 구획하여 산화구역에서 발생되는 열을 개질구역으로 전달하는 연료 개질기용 열교환기 튜브로서, 넓은 전열 면적을 가지도록 내표면과 외표면이 아노다이징 처리된 미세 다공질 산화 피막을 가진 관모양의 알루미늄 튜브인 것을 특징으로 하는 연료 개질기용 열교환기 튜브.
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화학공정 > 촉매평가 기술 (C38)
본 발명은 촉매에 흡착된 방향족 탄화수소의 정량분석 방법에 관한 것으로서, 일괄흡착장치를 이용하여 방향족 탄화수소가 포함된 가스를 다수의 흡착촉매에 동시에 통과시켜 상기 흡착촉매들에 방향족 탄화수소를 동일 조건으로 흡착시키는 단계, 상기 다수의 흡착촉매들로부터 각각 시료를 채취하고 채취된 각 시료에 용매를 가한 뒤 일괄추출장치에 넣어 동시에 쉐이킹하는 방법으로 다수의 시료에 대해 방향족 탄화수소를 동시 추출하는 단계, 상기 각 시료들로부터 방향족 탄화수소가 용출된 용액을 각각 취한 후 이들을 UV 흡광도 측정장치를 이용하여 동시에 흡광도를 측정함으로써 각 방향족 탄화수소의 양을 정량분석하는 단계를 포함하여 구성됨으로써, 종래 직렬적 정량 방법이 갖는 시간적, 비용적 불이익을 현저히 절감시킬 수 있을 뿐만 아니라, 최근에 배기가스의 후처리를 위해 자동차 등에 활발히 적용되는 탄화수소 흡착촉매의 특성 및 성능을 신속하고 신뢰성 있게 평가할 수 있는 촉매에 흡착된 방향족 탄화수소의 정량분석 방법에 관한 것이다. (a)흡착장치를 이용하여 방향족 탄화수소가 포함된 가스를 흡착촉매에 통과시켜 상기 흡착촉매에 방향족 탄화수소를 흡착시키는 단계; (b)상기 흡착촉매로부터 시료를 채취하고, 이 채취된 시료에 용매를 가한 후 추출장치에 넣어 쉐이킹하는 방법으로 상기 시료에서 방향족 탄화수소를 용출시키는 단계; (c)상기 시료에서 방향족 탄화수소가 용출된 용액을 취한 후 이를 UV 흡광도 측정장치를 이용하여 흡광도를 측정함으로써 방향족 탄화수소의 양을 정량분석하는 단계; 를 포함하는 촉매에 흡착된 방향족 탄화수소의 정량분석 방법.
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화학공정 > 증류 공정 기술
본 발명은 에탄올, 특히 주정, 주류 또는 고순도 에탄올 중에 존재하는 메탄올을 제거하기 위한 흡착제에 관한 것이다. 그 흡착제는, 2∼5Å 크기의 세공을 갖는 제올라이트 분말로 이루어지거나 또는 2∼5Å 크기의 세공을 갖는 제올라이트에 바인더를 혼합하여 펠릿형상으로 성형한 제올라이트 성형물로 이루어진 것을 특징으로 한다. 이러한 흡착제에 의하면, 에탄올에 포함되어 있는 불순물인 메탄올을 보다 효과적으로 그리고 경제적으로 분리할 수 있게 된다. 다량의 수분을 함께 포함하는 주정, 주류에 미량 포함된 메탄올을 제거하기 위하여 사용되는 흡착제로서, 2∼5Å 크기의 세공을 갖는 제올라이트 분말로 이루어지거나 또는 2∼5Å 크기의 세공을 갖는 제올라이트에 바인더, 물을 혼합하여 성형한 다음, 가열 및 냉각시킨 제올라이트 성형물로 이루어지며, 여기서, 상기 제올라이트 성형물은 제올라이트 70∼95wt%와 이 제올라이트의 성형을 위한 바인더를 5∼30wt%로 구성되며, 상기 바인더는, 실리카 분말 또는 실리카졸 또는 이들의 혼합물로 구성된 주바인더 3∼20wt%와, 규산소다 또는 규산칼륨 또는 이들의 혼합물로 구성된 보조바인더 2∼10wt%를 포함하는 것을 특징으로 하는 메탄올 제거용 흡착제.
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화학공정 > 고분자 가공공정 기술
본 발명은 콜레스테롤 에스터라제를 특이적으로 인지하여 결합할 수 있는 단세포군 항체 단백질 및 이 항체를 분비하는 융합세포주에 관한 것이며 또한 이 융합세포주를 이용하여 상기 단세포군 항체 단백질을 제조하는 방법에 관한 것이다. 콜레스테롤 에스터라제를 특이적으로 인지하여 결합할 수 있는 단세포군 항체 단백질.
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화학공정 > 무기합성 공정 기술
본 발명은 구리 박막을 화학증착에 의해 형성할 때 유용하게 사용할 수 있는 하기 화학식 1의 유기 구리(I) 전구체에 관한 것으로, 본 발명에 따르는 유기 구리 전구체는 상온에서 액체로 존재하여 구리의 저온 화학증착에 특히 적합하면서도 불순물이 없으며 우수한 층 덮힘 및 홀(hole)-충진 특성을 가진 구리 박막을 형성할 수 있다.; [화학식 1] [IMAGE 1] ; 상기 식에서, ; R 1 은 C 3-8 사이클로알킬기이고,; R 2 및 R 3 는 각각 독립적으로 C 1-4 알킬 또는 불소-치환된 C 1-4 알킬기이다. 하기 화학식 1로 표시되는 유기 구리(I) 화합물. 화학식 1 [IMAGE 4] 상기 식에서, R 1 은 C 3-8 사이클로알킬기이고, R 2 및 R 3 는 각각 독립적으로 C 1-4 알킬기 또는 불소-치환된 C 1-4 알킬기이다.
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화학공정 > 무기합성 공정 기술
본 발명은 알루미늄 박막의 제조에 전구체로 유용한 디메틸알루미늄 하이드라이드(dimethyl aluminum hydride, DMAH) 액체의 점도 저하 방법에 관한 것으로, 구체적으로는 액상 디메틸알루미늄 하이드라이드에 방향족 아민을 첨가함으로써 디메틸알루미늄 하이드라이드의 점도를 현저히 저하시키는 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 디메틸알루미늄 하이드라이드 혼합 용액은 유기금속 화학 증착법에 의한 박막의 제조에 있어 유기금속 전구체(metal-organic precursor)로 사용될 경우 버블러형 전구체 이송 시스템에서의 버블링 효과가 뛰어날 뿐 아니라 직접 액체 주입형 이송 시스템에의 적용이 용이하고 단위 시간당 증기화되는 디메틸알루미늄 하이드라이드 양이 증가되어 알루미늄 박막의 대량생산에 유용하다. 액상 디메틸알루미늄 하이드라이드에 방향족 아민을 0.5 내지 2 몰% 범위의 양으로 첨가하여 디메틸알루미늄 하이드라이드의 점도를 저하시키는 방법.
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화학공정 > 무기합성 공정 기술
본 발명은 알루미늄 박막의 제조에 전구체로 유용한 디메틸알루미늄 하이드라이드(dimethyl aluminum hydride, DMAH)의 점도 저하 방법에 관한 것으로, 구체적으로는 액상 디메틸알루미늄 하이드라이드에 포스핀을 첨가함으로써 디메틸알루미늄 하이드라이드 액체의 점도를 현저히 저하시키는 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 디메틸알루미늄 하이드라이드 혼합 용액은 유기금속 화학 증착법에 의한 박막의 제조에 있어 유기금속 전구체(metal-organic precursor)로 사용될 경우 버블러형 전구체 이송 시스템에서의 버블링 효과가 뛰어날 뿐 아니라 직접 액체 주입형 이송 시스템에의 적용이 용이하고 단위 시간당 증기화되는 디메틸알루미늄 하이드라이드 양이 증가되어 알루미늄 박막의 대량생산에 유용하다. 액상 디메틸알루미늄 하이드라이드에 트리벤질포스핀을 0.1 내지 5 몰%로 첨가하여 디메틸알루미늄 하이드라이드 액체의 점도를 저하시키는 방법.
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화학공정 > 무기합성 공정 기술
본 발명은 반도체 소자 등의 금속배선시에 사용되는 구리 박막의 식각 방법에 관한 것으로, 구리 박막을 오존, 또는 산소 또는 오존 플라즈마를 이용하여 산화시킨 다음, 산화된 구리에 β-디케톤(diketone) 계열의 식각 반응 기체를 도입하여 반응시키거나, 구리 박막을 산화시킴과 동시에 식각 반응 기체와 반응시키는 것을 특징으로 한다. 본 발명의 구리 박막의 식각 방법은 소량의 산화제 및 식각 반응 기체를 사용하면서 종래기술보다 낮은 온도에서도 식각이 가능한 방법으로서 반응 조건에 따라 식각 속도를 효율적으로 조절할 수 있다. 구리 박막을 산화시키고 β-디케톤(diketone) 계열의 식각 반응 기체를 사용하여 식각시키는 방법에 있어서, 구리박막을 산소 플라즈마 또는 오존 플라즈마를 이용하여 산화시키는 것을 특징으로 하는 방법.
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화학공정 > 무기합성 공정 기술
본 발명은 반도체 소자의 회로용 구리 도선을 화학증착에 의해 형성할 때 유용하게 사용할 수 있는 하기 화학식 1의 유기 구리(I) 착화합물에 관한 것으로, 본 발명에 따르는 유기 구리 전구체는 상온에서 액체로 존재하며 안정성과 증기압이 높아 구리의 화학증착에 특히 적합하면서도 우수한 증착 특성을 나타낸다.; [화학식 1] [IMAGE 1] ; 상기 식에서, ; R 1 은 C 1-4 알킬기이고, ; R 2 는 수소 또는 C 1-4 알킬기이며,; R 3 및 R 4 는 각각 C 1-4 알킬 또는 플루오로-치환된 C 1-4 알킬이다. 하기 화학식 1의 구조를 갖는 유기 구리(I) 착화합물: 화학식 1 [IMAGE 4] 상기 식에서, R 1 은 C 1-4 알킬기이고, R 2 는 수소 또는 C 1-4 알킬기이며, R 3 및 R 4 는 각각 C 1-4 알킬 또는 플루오로-치환된 C 1-4 알킬이다.
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일반기술
화학공정 > 무기합성 공정 기술
본 발명은 구리 박막을 화학증착에 의해 형성할 때 유용하게 사용할 수 있는 하기 화학식 1의 유기 구리(I) 전구체에 관한 것으로, 본 발명에 따르는 유기 구리 전구체는 상온에서 액체로 존재하고 높은 증기압과 열안정성을 갖기 때문에 높은 증착속도로 구리를 화학증착시킬 수 있으며, 증착된 박막은 낮은 비저항치를 갖는다.; [화학식 1] [IMAGE 1] ; 상기 식에서, ; R 1 및 R 2 는 각각 독립적으로 C 1-4 알킬기이고,; R 3 는 수소 또는 C 1-4 알킬기이고,; R 4 및 R 5 는 각각 독립적으로 C n F 2n+1 또는 C n H 2n+1 (n=0 내지 7)이다. 하기 화학식 1로 표시되는 유기 구리(I) 화합물. 화학식 1 [IMAGE 4] 상기 식에서, R 1 및 R 2 는 각각 독립적으로 C 1-4 알킬기이고, R 3 는 수소 또는 C 1-4 알킬기이고, R 4 및 R 5 는 각각 독립적으로 C n F 2n+1 또는 C n H 2n+1 (n=0 내지 7)이다.
- 보유기관
- 포항공과대학교
- 등록일
- 2007-08-10
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화학공정 > 분자자기조립 공정 기술
본 발명은 Ru/RuO 2 박막의 형성 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따르면 Ru(OD) 3 (OD: 옥탄디오네이트)를 전구체로 사용함으로써 유기금속화학증착법에 의해 기판 상에 우수한 특성을 가진 고순도의 Ru/RuO 2 박막을 높은 증착속도로 형성시킬 수 있다. Ru(OD) 3 (OD: 옥탄디오네이트)를 알콜성 용매에 용해시킨 용액을 순간기화기에서 기화시키고, 생성된 증기를 아르곤 또는 아르곤과 산소의 혼합 가스에 의해 증착 반응기로 이송하여 기판과 접촉시킴을 포함하는, 기판 상에 Ru 또는 RuO 2 박막 또는 이들의 혼합박막을 형성시키는 방법.
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- 포항공과대학교
- 등록일
- 2007-08-10
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일반기술
화학공정 > 분자자기조립 공정 기술
본 발명은 하기 화학식 1의 유기금속 착물, 이의 제조방법 및 이를 이용한 유기금속화학증착법에 관한 것으로, 본 발명의 유기금속 착물은 열안정성이 높고, 낮은 온도에서도 기화 특성이 우수하기 때문에 유기금속화학증착법 (MOCVD, metal organic chemical vapor deposition)을 이용하여 효율적으로 박막을 제조할 수 있다.; [화학식 1] [IMAGE 1] ; (상기식에서, M, m, R 1 , R 2 , R 3 , 및 R 4 는 명세서 중에서 정의한 바와 같다.) 하기 화학식 1로 표시되는 유기금속 착물: 화학식 1 [IMAGE 9] 상기식에서, M은 Ti 또는 Zr이고; R 1 , R 2 , R 3 및 R 4 는 각각 독립적으로 H 또는 C 1-4 알킬이며; m은 2 내지 5의 정수이다.
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- 포항공과대학교
- 등록일
- 2007-08-10
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일반기술
화학공정 > 분자자기조립 공정 기술
본 발명은 액상 유기구리 전구체의 열적 안정성을 향상시키는 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따라 (hfac)Cu(I)L (여기서, hfac는 헥사플루오로아세틸아세토네이트이고, L은 중성 리간드이다)로 나타내어지는 액상 유기구리 전구체에, L과 다른 중성 리간드, L'를 첨가함으로써 그의 열 안정성을 지속적으로 유지시켜 구리 박막 증착시 재현성과 신뢰성을 높이고 박막의 모폴로지나 물성을 크게 향상시킬 수 있다. 하기 식의 액상 유기구리 전구체에, 이 전구체의 중성 리간드보다 비점이 높은 이종의 중성 리간드(L') 물질을 0.01 내지 50 부피%의 양으로 첨가하는 것을 포함하는, 액상 유기구리 전구체의 열적 안정성 향상 방법: 화학식 1 (hfac)Cu(I)L 상기 식에서, hfac는 헥사플루오로아세틸아세토네이트이고, L과 L'는 중성 리간드이다.
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- 포항공과대학교
- 등록일
- 2007-08-10
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