일반기술
기계 > 초소형 센서 (I82)
본 발명의 센싱 펌프는 특정 물질과 반응하여 기체를 발생하는 감응막(感應膜)으로 피복된 개구부(開口部)와 압력구를 갖춘 중공체(中空體)로부터 되어, 감응막이 특정 물질과 반응해서 기체를 발생시켜, 발생한 기체가 중공체의 내부 압력을 상승시키는 작용에 의해 에너지를 얻는다. 감응막으로는 투석막(透析膜)상에, 1종 이상의 촉매를 함유하는 수지층(樹脂層)이 쌓임으로써 생긴 촉매 고정화막을 가리킨다. 촉매 반응에는 체적 변화를 수반하는 것이 있으며, 특히 촉매 반응에 의해 반응 후에 기체를 발생시키는 촉매를 이용할 수가 있다. 촉매로서는 생체 촉매가 바람직하고, 생체 촉매는 입체 선택성 등의 높은 선택성을 가진다.에너지를 기계적으로 변환시켜 움직는 펌프는 의료 분야에 있어서는, 생체에 사용하는 소형 분석 장치나 소형 의료 기구의 개발이 활발히 행해지고 있다. 그러나 펌프 이외에도 공급량을 제어하는 부품이나 전원등이 필요하다. 또, 진단 정보를 반영시키면서 약제 등을 공급하기 위해서는 분석 장치 등도 필요하여 시스템이 복잡해진다. 특히, 생체내에서 사용하는 경우에는 전원의 공급이나 장치의 크기 등의 제약이 많아진다. 이에 본 기술에 의한 센싱 펌프를 이용하면 특정 물질의 존재 하에서, 그 특정 물질의 농도에 대응되는 기계적 구동력을 얻을 수 있게 된다. 또한 촉매로서 카타라제를 이용하였을 경우에는 본 발명의 센서 시스템에 의해 과산화 수소를 정량·검출할 수가 있으며, 촉매로서 카타라제와 글루코스옥시다아제의 혼합물을 이용하였을 경우에는 본 발명의 센서 시스템에 의해 글루코오스를 정량·검출할 수가 있다.
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- 한국기술벤처재단
- 등록일
- 2005-07-25
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일반기술
기계 > 초소형 센서 (I82)
본 발명은 가속도계 기판의 평면과 평행한 방향으로 가속도를 측정하기 위한 초소형 고성능 평면형 압전 가속도계에 관한 것이다. 본 발명의 고성능 평면형 압전 가속도계는 깊은 반응성 이온 식각법과 경사 이온 주입법을 이용하여 제조된다. 상기한 고성능 평면형 압전 가속도계는 수축 격리대, 상기 수축 격리대에 부착되는 굴곡부, 및 상기 굴곡부에 부착되는 증거체를 포함한다. 상기한 수축 격리대는 패키징과 온도변화로 인한 기판의 수축으로부터 굴곡부를 격리시킨다. 압전체는 굴곡부의 일측에 형성된다. 상기한 가속도계의 원형은 최저가의 상업용 가속도계로 이루어진 성능 파라미터를 제공하며, 머지않아 상당한 개선을 기대할 수 있을 것이다.본 발명은 가속도계 기판의 평면과 평행한 방향으로 가속도를 측정하기 위한 초소형 고성능 평면형 압전 가속도계에 관한 것으로, 반응성 이온 식각법과 경사 이온 주입법을 이용하여 제조되며 또한 본 발명은 고성능 평면형 압전 가속도계는 수축 격리대, 상기 수축 격리대에 부착되는 굴곡부, 및 상기 굴곡부에 부착되는 증거체를 포함하여 이루어져 , 1. 상기한 고성능 평면형 압전 가속도계는 고도의 가속 감지능력을 가지고 있으며, 온도변화로 인한 오류를 비교적 발생시키지 않는다. 2. 제조과정이 단순하여 제작하기가 용이하다.3. 제작비가 적게 드는 특징이 있다.
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- (주)피앤아이비
- 등록일
- 2005-07-25
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일반기술
기계 > 초소형 센서 (I82)
본 발명의 목적은 최소한의 소자 구성만으로 잡음 발생이 적고, 소망하는 주파수 대역폭 및 증폭도를 얻을 수 있는 초전형 센서의 주변회로를 제공함에 있다.본 발명은 측정 대상물로부터 정보를 검출하여 그측정량을 전기적 신호로 변환시키는 센서부와 상기 센서부에서 변환된 전기적 신호를 게이트 단자로 받아 활성화되고 제1단자를 통해 신호를 제 1 출력하고 제 2단자를 통해 신호를 제 2 출력하는 트랜지스터와 상기 트랜지스터의 제 1출력을받아 주파수를 제한하고 신호를 출력하는 제 1차단 주파수 설정부와 상기 트랜지스터의 제 2출력를 반전단자로 받고 자신의 출력신호가 궤환되어 생성된 신호를 비반전단자로 받으며, 또한, 상기 제 2 소자부에서 출력된 신호를 자신의 출력단으로 받아 증폭하는 OP-AMP와 상기 OP-AMP의 출력을 받아 주파수를 제한하는 제2차단 주파수 설정부와 상기 OP-AMP의 출력을 받아 그 신호를 상술한 OP-AMP의 비반전입력단자로 궤한시키는 정궤환부로 구성됨을 특징으로 한다.종래의 초전형 적외선 센서를 지원하는 주변회로를 쿼시-부트스트랩 회로로 변환함에 특징이 있다.본 발명은 종래의 초전형 적외선 센서를 지원하는 주변회로를 쿼시-부트스트랩 회로로 변환하여 종래의 발명과 같은 성능을 가지면서도 소자들이 차지하는 부피를 줄여 생산성을 향상시키고 주변회로를 구성하는 소자들 사이에서 발생하는 잡음을 줄이는 효과가 있다.최근 전자산업 및 정보통신처리 기술의 발달로 측정 대상물로부터 정보를 검출하여 그 측정량을 전기적 신호로 변환하는 센서 소자에 대한 중요성이 증대되고 있으므로, 본 발명의 시장성이 크다.
- 보유기관
- 인하대학교
- 등록일
- 2006-05-12
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일반기술
기계 > 초소형 센서 (I82)
본 발명은 마이크로 터빈용 스러스트 가스베어링에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 하이드로스테틱 방식 및 하이드로다이나믹 방식이 조합된 하이브리드 방식의 마이크로터빈용 스러스트 가스베어링에 관한 것이다. 본 발명에 따른 마이크로터빈용 스러스트 가스베어링은 하이드로스테틱 방식의 설계요소로서, 실리콘 기판으로 된 몸체의 중심의 둘레에는 외부로부터 고압 가스가 유입되는 수개의 오리피스가 소정의 간격을 두고 형성되고, 하이드로다이나믹 방식의 설계 요소로서, 상기 수개의 오리피스의 둘레에는 오리피스를 통과한 고압가스가 그것을 따라 유동되면서 터빈 로터의 상하 치우침에 따른 압력차에 의하여 터빈 로터의 위치를 조정하는 수개의 스파이럴 그루브가 형성되며, 상기 수개의 스파이럴 그루브의 둘레에는 스파이럴 그루브를 통과한 고압가스가 외부로 배출되는 통로가 형성되는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따른 마이크로 터빈용 스러스트 가스베어링은 터빈로터의 저속회전으로부터 고속회전에 이르기 까지 거의 전 속도 범위에 걸쳐 안정적으로 작용할 수 있다.○ 기술의 독창성: 일반적인 가스베어링은 스러스트 베어링의 안정성을 보장하기 힘드나 스파이럴 그루브를 이용하여 상단과 하단의 압력평형을 이용하여 고속회전시에도 안정성을 유지하는 기술이 독창적임. ○ 기술의 우수성: 초정밀기계가공 기술력 우수한 베어링성능. ○ 기술의 활용 가능성: 반도체 공정방법과 절차의 연구가 진행되어지면 충분히 양산화 가능함. ○ 관련 유사기술과 비교한 시장 경쟁성: 미래의 초정밀기계 가공분야에서 반도체가공기술은 중요한 위치를 차지하며 그중에서도 초정밀 회전기기의 수요가 증대되어 경쟁성이 충분하다고 판단됨. ○ 본 기술의 이전사업화 조건 등을 고려한 경제성: 본 특허는 다른 기관과 연계되지 않아 기술이전사업화가 매우 용이함.
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- 서울대학교
- 등록일
- 2006-05-10
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일반기술
기계 > 초소형 센서 (I82)
본 기술은 유연성을 갖는 촉각센서에 관한 것으로, 보다 상세하게는 외부물체와의 접촉력에 대한 정보를 감지하기 위한 플렉서블 촉각센서 및 그 제조방법에 관한 것이다. 일반적으로 사람에게 있어서 촉각은 시각, 청각의 정보와는 달리 물체와의 매우 세밀한 접촉반력에 관한 정보를 제공함으로서 물체의 재질이나 질감 등을 파악하는 데 매우 중요한 감각중의 하나이다. 따라서 사람의 피부를 모방한 촉각센서는 접촉을 통해 주변환경의 정보, 즉 접촉력, 진동, 표면의 거칠기, 열전도도에 대한 온도변화 등을 감지할 수 있는 것이 필요하다. 촉각센서는 가정용 서비스 지능로봇, 암진단 등의 각종 의료진단 및 시술로봇에 사용될 뿐만 아니라 향후 가상환경 구현기술 및 촉각제시 기술 등의 다양한 분야에서 적용될 수 있다. 종래의 촉각센서는 기존의 반도체 공정기술과 유사한 실리콘웨이퍼 기판위에 마이크로가공기술(MEMS)을 이용하여 제조하는 것이 특징으로 센서 집적화에는 장점이 있다. 그러나 사람의 피부와 같은 유연성을 보장하지 않기 때문에 임의의 곡면에 부착이 가능한 센서로서는 적합하지 않는 단점을 가지고 있다. 따라서, 센서재질 자체를 실리콘웨이퍼가 아닌 PDMS, 폴리우레탄 등 고분자를 사용하는 접근방법이 요구된다. 본 기술은 여러 고분자 재료들 중에서 기계적 물성치(탄성계수, 항복응력 등)가 우수한 폴리이미드 필름을 사용하여 센서를 설계 및 제작하는 기술이다. 특히 본 고분자 재료는 다른 고분자 재료들에 비해 촉각센서 재질로서 중요한 내마모성이 우수하고 마이크로 가공기술이 용이한 것이 큰 특징이다. 본 촉각센서는 수직력, 수평력을 동시에 측정할 수 있을 뿐만 아니라 열전도에 의한 온도감지를 할 수 있기 때문에 사람의 손가락에서 감지 할 수 있는 접촉력(압력, 미끄러짐)과 온도변화를 감지할 수 있다. 센서의 감도를 높일 경우 향후에는 표면의 거칠기 및 접촉하는 물체의 형상을 감지할 수 있는 것으로 기대된다.실리콘웨이퍼를 센서재질로 사용하는 종래의 촉각센서는 정밀한 센서구조를 집적화하는데는 용이하나 유연성이 없기 때문에 임의의 곡면 상에 적용하기 어려운 큰 단점을 갖고 있다. 본 기술은 이런 단점을 극복하고자 유연성 있는 여러 고분자 재료들 중에서 기계적 물성치(탄성계수, 항복응력 등)와 내마모성이 우수한 폴리이미드 필름을 사용한 것이 특징이다. 본 촉각센서는 수직력, 수평력을 동시에 측정할 수 있을 뿐만 아니라 열전도에 의한 온도감지를 할 수 있기 때문에 사람의 손가락에서 감지 할 수 있는 접촉력(압력, 미끄러짐)과 온도변화를 감지할 수 있는 장점을 가지고 있다. 또한 센서의 감도를 높일 경우 향후에는 표면의 거칠기 및 접촉하는 물체의 형상을 감지할 수 있는 것으로 기대된다. 따라서 센서의 감지기능들을 융합 또는 분리할 경우 센서는 지능로봇뿐만 아니라 다양한 모바일 기기, 오락, 장난감 등에 적용될 수 있을 것이다. 그리고 촉각센서의 구조적인 견고성과 안정성을 확보하기 위한 폴리이미드 필름 기반 마이크로 가공기술은 실리콘웨이퍼 가공기술에 비해 용이하기 때문에 촉각센서가 아닌 다양한 센서(온도센서, 습도센서 등) 및 형상을 제작하는데도 이용될 것이다.
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- 한국표준과학연구원
- 등록일
- 2007-02-15
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일반기술
기계 > 초소형 센서 (I82)
최근 의료용으로 사용되는 체온계가 접촉식에서 응답속도가 빠른 귀체온계로 급격히 바꾸는 추세이다. 그러나 상용으로 판매되는 귀체온계의 정확도가 문제가 되면서 많은 제작사의 형식승인이 취소되는 사태가 발생하였다. 이 기술은 귀체온계를 체온 근방에서 간단한 방법으로 교정할 수 있는 장치를 제작하고 정확도를 관리하는 것으로, 흑체공동의 최적 설계 기술, 공동 복사율 계산에 의한 측정 불확도 산정, 히터의 최적 설계 및 정확도 높은 휘도온도 지정 기술로 구성되어 있다.국내에서 그 사용량 급격히 증가하고 있으나, 측정의 신뢰도를 확보하는데 어려움이 있는 귀체온계를 간단히 교정할 수 캘리브레이터를 설계 제작하는 기술로 이 캘리브레이터는 귀체온계를 자주 사용하는 병원의 간호사 스테이션에 설치되면 체온 측정의 신뢰도를 보장할 수 있게 하며, 이에 따라서 귀체온계의 보급을 확대하는 효과를 줄 수 있을 것이다. 귀체온계를 불확도 0.1 ℃로 교정할 수 있는 교정기의 개발에 활용할 수 있으며, 세부 기술 중 흑체의 설계 및 복사율 계산 기술은 복사온도계 및 열화상 카메라의 교정용 적외선 광원의 제작에 활용할 수 있다
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- 한국표준과학연구원
- 등록일
- 2007-02-15
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일반기술
기계 > 초소형 센서 (I82)
본 발명은 MEMS 기술을 이용한 가속도센서 및 그 제조방법에 관한 것이다. ; 본 발명의 제조방법은 실리콘 웨이퍼 양면에 제 1 산화막을 형성시키는 단계; 상기 제 1 산화막을 패터닝하는 단계; 상기 패터닝된 실리콘 웨이퍼의 하면을 벌크 에칭(bulk etching)하는 단계; 상기 벌크 에칭된 실리콘 웨이퍼에 제 2 산화막을 형성시키는 단계; 상기 제 2 산화막을 패터닝하는 단계; 상기 실리콘 웨이퍼의 하면에 베이스 실리콘 웨이퍼를 적층하는 단계; 상기 실리콘 웨이퍼에 진동센서를 DEEP RIE(Reactive Ion Etching) 식각으로 형성하는 단계; 상기 실리콘 웨이퍼에 DEEP RIE(Reactive Ion Etching) 식각으로 광섬유 삽입홈을 형성하는 단계; 상기 광섬유 삽입홈에 입, 출력 광섬유를 고정시키는 단계; 상기 입, 출력 광섬유가 고정된 상기 실리콘 웨이퍼 상면에 고정물을 패키징 하는 단계를; 포함하는 것을 특징으로 한다. 따라서 MEMS(Micro Electro Mechanical System) 공정을 이용하여 센서의 소형 제작이 가능하며, 광의 전송로로써 광섬유를 사용하여 무인 자동화 시스템을 구축할 때 다수의 공작기계를 장거리에서 효율적인 진단 및 감시가 가능한 효과가 있다. MEMS(Micro Electro Mechanical System) 기술을 이용한 가속도센서의 제조 방법에 있어서; 실리콘 웨이퍼 양면에 제 1 산화막을 형성시키는 단계; 상기 제 1 산화막을 패터닝하는 단계; 상기 패터닝된 실리콘 웨이퍼의 하면을 벌크 에칭(bulk etching)하는 단계; 상기 벌크 에칭된 실리콘 웨이퍼에 제 2 산화막을 형성시키는 단계; 상기 제 2 산화막을 패터닝하는 단계; 상기 실리콘 웨이퍼의 하면에 베이스 실리콘 웨이퍼를 적층하는 단계; 상기 실리콘 웨이퍼에 진동센서를 디프 반응성 이온 에칭(Deep Reactive Ion Etching : DRIE) 식각으로 형성하는 단계; 상기 실리콘 웨이퍼에 광섬유 삽입홈을 디프 반응성 이온 에칭 식각으로 형성하는 단계; 상기 광섬유 삽입홈에 입, 출력 광섬유를 고정시키는 단계; 상기 입, 출력 광섬유가 고정된 상기 실리콘 웨이퍼 상면에 고정물을 패키징 하는 단계를; 포함하는 것을 특징으로 하는 MEMS 기술을 이용한 가속도센서의 제조방법.
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- 포항공과대학교
- 등록일
- 2007-08-10
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일반기술
기계 > 초소형 센서 (I82)
본 발명은 수직형 프로브(vertical type probe)에 관한 것이다.; 본 발명은, 수직방향으로 세워져 상단측이 프로브카드측에 고정되고 그 하단측의 팁이 반도체 칩의 패드와 수직으로 접촉되는 수직형 프로브에 있어서, 양단의 중간부에 일정길이로 수직하중에 대해 수직상태를 유지하면서 먼저 분산 변형을 일으켜 상기 팁으로 하중이 집중되는 것을 방지하도록 다수 방향으로 대칭되는 3차원 구조로 된 하중흡수부를 포함하는 것을 특징으로 한다. ; 따라서, 자체 및 접촉손상을 방지하면서, 반도체 칩의 패드와 전체적으로 안정적인 접촉을 실현하고, 저비용으로 대량생산이 가능하며, 고밀도 배열이 가능한 프로브가 제공되게 되어, 전반적으로 검사비용을 절감시키고 검사효율을 향상시키는 효과가 있다. 수직방향으로 세워져 상단측이 프로브카드측에 고정되고 그 하단측의 팁이 반도체 칩의 패드와 수직으로 접촉되는 수직형 프로브에 있어서, 양단의 중간부에 일정길이로 수직하중에 대해 수직상태를 유지하면서 먼저 분산 변형을 일으켜 상기 팁으로 하중이 집중되는 것을 방지하도록 다수 방향으로 대칭되는 3차원 구조로 된 하중흡수부를 포함하는 것을 특징으로 하는 수직형 프로브.
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- 포항공과대학교
- 등록일
- 2007-08-10
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일반기술
기계 > 초소형 센서 (I82)
본 발명은 미소선형변위의 측정을 위한 접촉식 전기용량형 센서에 관한 것이다.; 본 발명은, 고정물체상에 전도성패턴이 형성되고 상기 전도성패턴을 균일하게 코팅한 절연막을 포함하는 고정요소, 이동물체상에 전도성패턴이 형성되고 상기 전도성패턴을 균일하게 코팅한 절연막을 포함하며 상기 절연막이 상기 고정요소의 절연막과 맞닿게 배치되는 이동요소, 상기 고정요소 또는 이동요소의 어느 하나의 상기 전도성패턴에 공급되는 전원 및 상기 전원이 인가되지 않는 상기 고정요소 또는 이동요소의 어느 하나의 전도성패턴에 연결되어 상기 이동요소의 이동에 따른 상기 고정요소와 이동요소 사이의 전기용량의 변화를 검출하는 신호검출수단을 포함한다.; 따라서, 면적변화 측정 방식의 접촉식 전기용량형 센서가 제공되게 되어, 기계적 설치오차 및 구동방향과 측정방향의 불일치로 인한 오차를 줄일 수 있고 구동방향 이외의 변위오차가 포함될 여지가 없어 신뢰성 높은 측정이 가능하며, 구동방향과 측정방향이 일치하므로 구성시 공간절감을 이룰 수 있고, 미소변위의 측정은 물론 넓은 범위의 변위측정도 안정적으로 가능하여, 종국적으로 전반적인 성능이 대폭 향상되는 효과가 있다. 고정물체상에 전도성패턴이 형성되고 상기 전도성패턴을 균일하게 코팅한 절연막을 포함하는 고정요소, 이동물체상에 전도성패턴이 형성되고 상기 전도성패턴을 균일하게 코팅한 절연막을 포함하며 상기 절연막이 상기 고정요소의 절연막과 맞닿게 배치되는 이동요소, 상기 고정요소 또는 이동요소의 어느 하나의 상기 전도성패턴에 공급되는 전원 및 상기 전원이 인가되지 않는 상기 고정요소 또는 이동요소의 어느 하나의 전도성패턴에 연결되어 상기 이동요소의 이동에 따른 상기 고정요소와 이동요소 사이의 전기용량의 변화를 검출하는 신호검출수단을 포함하는 접촉식 전기용량형 센서.
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- 포항공과대학교
- 등록일
- 2007-08-10
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일반기술
기계 > 초소형 센서 (I82)
본 발명은 유연힌지 구조물과 압전 스택 구동기를 결합시켜 시편을 XY축으로 초정밀 초고속으로 이송하는 장치로서 Y축 방향 유연힌지 구조물을 X축 방향 힌지 구조물 내부에 두어서 높은 속도에서 생길 수 있는 X축과 Y축 간 상호 간섭에 의한 위치 결정 에러를 최소화하고 각 축 방향으로 지렛대 원리를 이용한 증폭 구조 설계로 인해 최대한 변위를 크게 함으로써 작은 변위를 가진 압전 구동기의 단점을 보완한 초고속 초정밀 대변위 정밀 스테이지에 관한 것이다.; 이를 위한 본 발명은, 원자 현미경을 위하여 시편을 XY축으로 이송하는 스테이지에 있어서, 상기 스테이지의 몸체를 형성하며, 유연성의 단위체로 이루어지고, 비대칭 구조의 X방향 스테이지와 Y방향 스테이지로 구분되어 형성되는 유연 힌지 구조물; 압전소자가 적층된 형태로 상기 유연 힌지 구조물에 설치되며, 전압이 인가될 때 X방향으로 변형을 일으키는 X축 방향 압전 구동기; 압전소자가 적층된 형태로 상기 유연 힌지 구조물에 설치되며, 전압이 인가될 때 Y방향으로 변형을 일으키는 Y축 방향 압전 구동기; 및 상기 시편이 탑재되는 시편 탑재 부재를 포함하는 것을 특징으로 한다. 원자 현미경을 위하여 시편을 XY축으로 이송하는 스테이지에 있어서, 상기 스테이지의 몸체를 형성하며, 유연성의 단위체로 이루어지고, 비대칭 구조의 X방향 스테이지와 Y방향 스테이지로 구분되어 형성되는 유연 힌지 구조물; 압전소자가 적층된 형태로 상기 유연 힌지 구조물에 설치되며, 전압이 인가될 때 X방향으로 변형을 일으키는 X축 방향 압전 구동기; 압전소자가 적층된 형태로 상기 유연 힌지 구조물에 설치되며, 전압이 인가될 때 Y방향으로 변형을 일으키는 Y축 방향 압전 구동기; 및 상기 시편이 탑재되는 시편 탑재 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 스테이지.
- 보유기관
- 포항공과대학교
- 등록일
- 2007-08-10
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일반기술
기계 > 초소형 센서 (I82)
기체, 액체의 단계별 압력 검출이 가능한 레벨센서로써, 신호증폭용/온도보상용 회로기술이 불필요한 센서 칩 원천기술. 탄성변형된 전도성 다이어프램과 압력스위치 어레이와의 물리적 접촉에 의한 전기저항 변화를 이용하여 압력을 검출하며, 압력스위치 어레이의 저항체 사이간격을 조절하여 단계별 측정값의 조절 및 선형화가 가능한 신방식의 센서. 상기 마이크로 압력센서는 단계별 압력검출에 적합한 타입이며, 반도체형 MEMS 기술 및 일반 기계가공에 의해서도 구현 가능. 사용압력 등은 다이아프램 두께 설계에 따라 조절가능/전기적 앰프 불필요 및 심플한 구조로 기존센서(수위센서, 하중센서)보다 가격경쟁력 우위. 기존 국내/국외 특허와는 전혀 다른 압력/하중 검출 방식으로써, 막대한 수입대체 효과가 있으며, 5천억원(2005년 기준)의 센서 시장에 진입 가능성 큼. 반도체형 압력센서가 미래 수요를 주도할 것으로 예상되나, 현재 국내에서는 전량 수입에 의존하고 있으며, 선진국은 기술 공개 및 이전을 기피하고 있음에 따라 국내의 독자 기술력 확보가 시급. 상기 수위/레벨센서는 기존 센서 대비 30% 생산 가격으로 경쟁력 우위 확보. 전기회로의 최소화로 내구성 및 신뢰성 향상.
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- 한국기계연구원
- 등록일
- 2008-09-25
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일반기술
기계 > 초소형 센서 (I82)
본 기술은 미세 압전 외팔보 센서 및 이를 위한 발진회로에 관한 것이다.본 기술이 개시하는 미세 압전 외팔보 센서는, 상부 실리콘에 외팔보를 형성한 SOI 구조의 베이스 기판과, 제 1 산화막을 개재하여 외팔보 상부에 구비되는 압전체, 그리고 압전체의 상하부 전극 각각으로부터 연장되는 금속 패턴 간의 절연을 위한 제2 산화막을 포함한다. 본 발명의 특징적인 양상에 따라, 베이스 기판의 상부 실리콘 상부에 소정 크기의 제1 옴 접촉이 형성되고, 베이스 기판의 하부 실리콘 상부에 소정 크기의 제2 옴 접촉이 형성되어, 이들이 전기적으로 연결된다.본 기술에 의하면, 누설전류 및 부유전류를 차단할 수 있으므로 전기적인 특성과 아울러 정밀도를 향상시킬 수 있다.
- 보유기관
- 포항공과대학교
- 등록일
- 2008-10-31
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일반기술
기계 > 초소형 센서 (I82)
본 발명은 화학 센서 기능성 브러쉬 폴리에테르계 고분자 화합물 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 하기 화학식 1의 구조를 가진 본 발명에 따른 화학 센서 기능성 브러쉬 폴리에테르계 고분자 화합물은 활성 성분의 침출이 일어나지 않고, 용융 및 가용성이 우수하여 다양한 형태로 가공이 가능하며, 환경 및 생체 내의 화합물을 검출 및 분석하는 용도로서 이온 선택성 전극, 광센서 및 기체 센서 등의 화학 센서 소자에 유용하게 이용될 수 있다.
- 보유기관
- 포항공과대학교
- 등록일
- 2008-10-31
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일반기술
기계 > 초소형 센서 (I82)
F61본 발명은 압저항 캔틸리버를 이용한 포름알데히드 센서에 관한 것으로, 보다 상세하게는 압저항 캔틸리버 표면에 포름알데히드와 반응하는 물질인 머캡토페놀이 코팅된 캔틸리버 센서에 관한 것이다. 상기 포름알데히드 센서는 머캡토페놀과 포름알데히드의 결합에 의해 캔틸리버가 휘어지면서 저항 변화가 발생하게 된다. 본 발명에 따른 센서는 휘스톤-브리지 회로를 통해 캔틸리버 표면의 스트레스 변화를 전압으로 환산이 가능하다.
- 보유기관
- 포항공과대학교
- 등록일
- 2008-10-31
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일반기술
기계 > 초소형 센서 (I82)
본 기술은 마주보는 대상 구조물들의 평면방향의 병진 움직임들과 상관없이 두 시스템 구조물 간의 상대적 요우(yaw) 방향 회전각을 측정하기 위한 것으로, 이를 위한 본 발명은, 교류 전원을 공급하는 교류 전원부와, 상기 교류 전원에 의해 전기장 전극을 발생하는 전기장 발생부와, 상기 발생된 전기장 전극에 대응하는 전기장 대응부와, 상기 전기장 발생부 및 전기장 대응부 사이에서 전기적 용량 변화를 확인하기 위해 전기적 신호로 변환하여 출력하는 신호 검출부를 포함한다. 따라서, 시스템의 수평운동과 관계없이 시스템의 요우 방향의 회전을 측정할 수 있다. 또한, 본 기술은 회전 중심 및 초기 위치에 영향을 받지 않으므로 센서 초기 위치 설정에 큰 어려움을 갖지 않으며, 센서에 포함된 두 평판의 전극 교차각을 작게하고 다수의 전극을 포함시켜 민감도를 향상시킬 수 있으며, 기판에 전극의 패턴을 새김으로 손쉽게 본 기술의 제작이 가능하며, 또한 MEMS 공정으로 제작이 가능하므로 MEMS 구조물에 센서를 추가하기 용이하다는 효과가 있다.
- 보유기관
- 포항공과대학교
- 등록일
- 2008-10-31
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기계 > 초소형 센서 (I82)
□ 기술개요 - 목적 : 압전 전압상수(g)가 크고 온도안정성이 현저하게 개선되어 가속도 센서에 적합한 압전 세라믹스 조성물을 제공하는 것을 목적으로 한다.- 구성 : 압전세라믹스 조성물은 αPb(Sb1/2Nb1/2)O3-βPbZrO3-γPbTiO3+xMnO2 +yLa2O3의 압전 세라믹스 조성에서 조성식 중의 변수 α가 몰비로 0.01≤α≤0.10이고, β가 몰비로 0.30≤β≤0.60이며, γ가 몰비로 0.30≤γ≤0.60이고, x는 조성물 총량에 대한 중량%로서 0.1≤x≤1.0이며, y는 조성물 총량에 대한 중량%로서 0.1≤y≤0.5인 것을 특징으로 한다.- 효과 : 압전전압상수가 크고 온도안정성이 현저하게 개선되어 가속도 센서용 압전 세라믹스로서 실용성이 높은 효과가 있다. □ 기술특징해당 기술은 새로운 조성식을 가지는 가속도 센서용 압전 세라믹스 조성물에 대한 것으로, 해당 기술의 압전 세라믹스 조성물은 기존에 사용되고 있는 가속도 센서용 압전 재료에 비해 우수한 특성을 가지고 있다. 압전 세라믹스는 압력이 가해졌을 때 전압을 발생하고, 전계가 가해졌을 때 기계적인 변형이 일어나는 소자로서 진동을 전기적인 에너지로 변환할 수 있는 원리를 이용해 가속도 센서에 응용된다. 또한, 마이크로 폰, 스피커 등의 소자와 각종 센서와 탐지기 등에 사용된다. 압전 세라믹스는 응용분야에 따라 요구되는 특성이 매우 상이하여 정밀한 제조공정 제어가 필요하다. 해당 기술은 αPb(Sb1/2Nb1/2)O3-βPbZrO3-γPbTiO3+xMnO2+yLa2O3의 압전 세라믹스 조성을 가지며, 각 성분을 조성에 맞게 혼합하고 분쇄한 후 온도가 약 700~1000 ℃인 전기로에서 약 1 내지 5 시간 동안 하소시켜 세라믹 조성물 분말을 제조하는 것이 특징이다. 해당 기술은 기존 일반적으로 사용되고 있는 PZT[Pb(Zr,Ti)O3]를 기초로 한 3성분계 압전재료의 단점을 해결하여, 온도계수가 작아서 사용온도 변화에 관계없이 일정한 특성을 유지할 수 있는 조성인 것이 장점이다.또한, 본 기술에서 첨가되는 이산화망간 및 산화티타늄은 특정 원소와의 치환이나 격자내 침입을 통하여 소결체의 소결성, 미세구조 등을 변화시킴으로써 압전 세라믹스 조성물에 우수한 압전특성을 부여할 수 있는 효과가 있다.
- 보유기관
- (재)울산테크노파크
- 등록일
- 2009-01-15
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기계 > 초소형 센서 (I82)
본 개발품은 “기로 옵티카”사가 개발한 제품이다. 이 회사는 입체 마이크로 기계공학 기술에 따라 마이크로 기계공학적 자이로스코프들을 개발하고 생산해온 최초의 러시아 회사들 중의 하나이다. 밀리미터 단위들 내의 센서의 규모는 마이크로 전자공학 구성 요소들의 규격에 필적된다. 센서들은 기계적인 충격의 작용에 대해 향상된 내구성과 강도를 (1회당 최대16000 g 및 주파 대역 최대2000 Hz의 광대역 일시적 진동) 소유하고 있으며, 다음과 같은 중간 급 정밀도 기구들의 틈새 시장을 장악하고 있다:자이로스코프용 시간당 5 도 수준의 제로 시그널 드리프트의 일시적 컴퍼넌트(casual component);가속도계용 0,3 mg 수준의 제로 시그널 드리프트의 일시적 컴퍼넌트.마이크로 기계공학적 자이로스코프와 마이크로 기계공학적 가속도계는, 이동식 기계적 부분의 현가장치 평면에 놓여 있을 뿐 아니라 이에 수직적인 평면에도 놓여 있는 민감도 축들을 가진 다양한 구조 양식들을 보유하고 있다. 이는 전기 기계적인 마이크로 조립품들의 평면적인 형태를 보존할 수 있게 해 준다.마이크로 기계 공학적 센서의 모든 구조들은, 이동식 기계적인 부분을 고주파 파동상태로 유도하는, 빗모양의 정전기적 구동 장치로 제어된다. 정전기적 구동 장치는 자동 모드로 작동하는 제너레이터로 제어된다. 절대 각속도 및 선형 가속도의 투영에 비례적인 전압치로서의 정보를 받아들이기 위해서는 이동식 및 고정형 기계 공학적 부분의 구조 요소들로 구성되는 용량 센서를 사용한다. 어떤 마이크로 기계공학적인 센서들이던지 간에 가용 시그널 제어, 수용 및 예비 처리는 LSI를 사용하여 수행된다.
- 보유기관
- 한국기술벤처재단
- 등록일
- 2009-03-20
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기계 > 초소형 센서 (I82)
황 함유 가스 및 독성 물질 감지용 저항성 타입 가스 센서가 개발되었다. 센서 기반으로서는 다양한 불순물이 섞인 나노크리스탈 반도체 산화물을 사용했다. 소재는 분말형(졸-겔 공법) 및 막형(마그네트론 스푸터링, CVD, spin-coating )으로 합성되며, 180-250 m2/g의 고 비교 표면과 우수한 열 및 화학 안정성을 보유하고 있다.섞인 불순물들은(Pt, PdO, Fe2O3, NiO, CuO, MoO3, V2O5) 촉매 활성을 드러내었고, 그러한 방식으로 여러 가지의 가스 분자들에 대한 민감도를 향상시켰다. 나노 합성 소재의 민감도는 10 ppb에 달한다. 유황 함유 가스인 H2S 및 메르캅탄 감지 센서가 개발되었다. 감지 조건 최적화 연구가 진행되었다. 흡착제-예비 농축제(preconcentrator)를 소유한 센서 시스템은 가스 감지 한계를 현저히 향상 시킬 수 있게 해 준다.
- 보유기관
- 한국기술벤처재단
- 등록일
- 2009-03-20
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기계 > 초소형 센서 (I82)
- 광범위한 금속-절연체-반도체 (MIS-구조)기반, 수소, 중수소, 황화수소, 질소 이산화물, 에틸메르캅탄, 염소 및 암모니아 감지용 센서들이 개발되었다.- 감지기의 주요 요소는 Pd-Ta2O5-SiO2-Si 유형의 MIS-구조이며, 그 용량은 가스와의 상호작용에 따라 변화한다.- MIS-구조 제조 기술은 마이크로전자공학 기술(트랜지스터 제작)과 레이저 기술(박막 스프레잉)의 결합이다.- 가스유출 탐지용, 주변 환경 모니터링용의 다양한 변종형 기구가 제작되었다.- 감지 한계 최대 5 ppb의 감지한계와 고선택성을 가진 H2S 감지용 독창적인 가스분석기를 개발했다.- 민감도(최대0,1 ppb)에서 유명 유사 제품들을 능가하는, 폭발성 물질 판별용 가스분석기도 제작하였다.- NH3 센서는 생화학 및 의학 (유문 헬리코박터 감염발견)에서 성공적으로 사용할 수 있다.
- 보유기관
- 한국기술벤처재단
- 등록일
- 2009-03-20
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