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본 기술은, 화소 개구부의 개구율을 보다 향상시켜 유기 발광 소자의 실질적인 발광 면적을 증가시킬 수 있게 하는 유기 발광 소자의 제조 방법에 관한 것이다. 종래의 유기 발광 소자 제조 방법에서, 격벽을 패터닝하는 공정에서의 노광 마스크의 얼라인 등 여러 가지 요인으로 인해 상기 오버행 구조의 격벽이 상기 화소 개구부의 끝단 일부를 가리게 형성될 수 있다. 그러므로, 종래 기술에 따르면 상기 화소 개구부의 개구율을 향상시키는데 한계가 있으며, 이로 인해, 유기 발광 소자의 실질적인 발광 면적을 증가시키는데에도 한계가 있었다. 본 기술의 목적은, 화소 개구부의 개구율을 보다 향상시켜 유기 발광 소자의 실질적인 발광 면적을 증가시킬 수 있게 하는 유기 발광 소자의 제조 방법을 제공하기 위한 것이다.본 기술의 유기 발광 소자 제조방법은, 기판 위에 줄무늬 형상의 복수의 제 1 전극을 형성하는 단계; 상기 제 1 전극이 형성된 기판 전면에 상변환 감광막을 형성하는 단계; 상기 상변환 감광막을 상기 제 1 전극 상에 복수의 화소 개구부를 정의하는 격자 형태를 띄도록 패터닝하는 단계; 각각의 영역이 상기 제 1 전극과 직교하는 방향으로 평행하게 배열된 복수의 화소 개구부만을 모두 포괄하면서 서로 인접하는 영역은 소정 간격 이격되게 정의된 복수의 영역 중에서, 하나씩 거른 영역의 상기 상변환 감광막에 제 1 노광하는 단계; 상기 제 1 노광된 상변환 감광막을 상변환하는 단계; 상기 상변환 감광막의 전면에 제 2 노광하는 단계; 및 상기 제 2 노광된 상변환 감광막을 현상하는 단계로 구성된다. 본 기술에 따르면, 단일층의 상변환 감광막에 대한 단순화된 공정을 통해 일체화된 구조로 절연막 및 격벽을 형성할 수 있고, 화소 개구부의 개구율을 향상시켜 실질적인 발광 면적이 크게 증가된 유기 발광 소자를 제조할 수 있게 하는 유기 발광 소자의 제조 방법을 제공할 수 있다. 따라서, 유기 발광 소자의 공정 단순화, 고해상도화 및 저소비전력화에 크게 기여할 수 있다.
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- (주)대우전자
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- 2007-07-13
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본 기술은, 진공펌프를 통한 공기 흡입으로 증착기판의 상측면을 흡착함으로써, 대형 증착기판이 자체 하중으로 인해 하방으로 쳐지는 현상을 방지하여, 제품의 제조수율 저하를 막아 제조단가를 절감하는 것을 특징으로 하는 유기물 증착 장치에 관한 것이다. 유기물을 증착하는 공정에서, 증착기판의 크기가 커지게 되면 증착기판의 자체 무게에 의해 중앙부분이 하방으로 쳐지게 되는데, 상향식 유기물 증착의 경우 증착하고자 하는 픽셀(pixel)에 정확히 증착하기 어려운 문제점이 있다. 이로 인해, 증착기판에 대한 제조수율의 저하를 초래하며 제조단가의 증가를 가져오게 된다. 본 기술의 목적은, 증착기판의 상측을 진공 흡입하여 대형 크기의 증착기판이 하방으로 쳐지는 것을 방지함으로써, 증착기판에 유기물이 정확히 증착하도록 함을 목적으로 한다. 본 기술은 진공챔버; 상기 진공챔버의 내부 하부에 위치하여 유기물을 증발시키는 증발원; 상기 증발원의 상방에 위치하여 유기물이 증착되는 증착기판을 지지하는 고정부재로 이루어지고, 상기 고정부재는 메탈마스크의 끝단면을 받쳐주는 하나 이상의 제1고정부; 상기 각 제1고정부의 상측에 구비되어 길이가 가변되는 이동부; 및 상기 각 이동부의 상단에 결합하고 진공펌프와 연결되어 상기 증착기판의 끝단 상측면을 흡착하는 제2고정부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 기술에 따른 유기물 증착 장치는, 진공펌프를 통한 흡입력으로 유리재질의 증착기판 상측 일부 또는 전면을 흡착함으로써, 대형 증착기판이 자체 하중으로 인해 하방으로 쳐지는 것을 방지하는 효과가 있다. 그리고, 증착기판과 접촉되는 제2고정부의 본체부분에는 연질의 연질부재가 부착됨으로써, 유리재질의 증착기판이 파손되는 것을 방지하는 이점이 있다.
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- 2007-07-13
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본 기술은, 유기 전계 발광 소자에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 높은 개구율을 갖는 유기 전계 발광 소자의 제조방법에 관한 것이다. 화소를 정의하는 개구부는 역경사 구조의 격벽층 패턴의 각도에 의해 개구율이 결정된다. 그런데 안정하게 음전극층 패턴을 분리하기 위하여 역경사 구조의 오버행 부분의 각도를 낮출수록 개구율은 작아지게 되고, 이렇게 개구율이 작아지면 미세 구조를 갖는 고화질의 유기 전계 발광 소자를 구현하기 어려워진다. 본 기술의 목적은, 음전극층 패턴을 분리하는 방법을 개선하여 유기 전계 발광 소자의 개구율을 향상할 수 있고, 격벽층의 오버행 구조를 개선할 수 있는 유기 전계 발광 소자의 제조방법을 제조하는데 있다.본 기술에 따른 유기 전계 발광 소자의 제조방법은, 기판 위에 어느 한 방향으로 뻗어 있는 양전극층 패턴을 형성하는 단계; 상기 양전극층 패턴 및 기판 위에 격자 형태의 절연층 패턴을 형성하여 화소용 개구부를 정의하는 단계; 상기 절연층 패턴 상에 감광막을 도포 및 패터닝하여 정경사 구조의 격벽층 패턴을 형성하는 단계; 상기 정경사 구조의 격벽층 패턴을 포함하는 기판 전면에 유기 전계 발광층을 형성하는 단계; 상기 유기 전계 발광층 위에 전극형성용 금속물질을 증착하여 양전극층 패턴과 직교하여 배열되는 제1 음전극층 패턴 및 상기 격벽층 패턴 위에 배열되는 제2 음전극층 패턴을 형성하는 단계; 및 상기 기판 상에 음전극층 분리용 마스크를 배치하고, 상기 제2 음전극층 패턴을 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 기술에 따른 유기 전계 발광 소자의 제조방법에 의하면, 탄성체 재질의 고분자 물질으로 이루어진 음전극층 분리용 마스크를 이용하여 음전극층 패턴을 분리함으로써 정경사 구조의 격벽층 패턴으로 형성할 수 있다. 이에 따라 유기 전계 발광 소자의 개구율을 향상시켜 고화질의 유기 전계 발광 소자를 제조할 수 있다.
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- 2007-07-13
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본 기술은, 화소 개구부의 개구율을 보다 증가시켜 유기 발광 소자의 실질적인 발광 면적을 증가시킬 수 있게 하는 유기 발광 소자의 제조 방법에 관한 것이다. 유기 발광 소자는 일반적으로, 전기적 절연이 가능한 물질로 이루어진 절연막 및 격벽을 양전극층이 형성된 기판 위에 순차 형성하고, 형성된 격벽의 오버행(overhang) 구조를 통해 유기 발광층 및 음전극층을 패터닝하여 제조된다. 종래 기술에서는, 상기 절연막 및 오버행 구조의 격벽을 각각 패터닝하기 위한 2 차례의 노광 공정에서, 각각의 노광 마스크를 별도로 얼라인해 상기 절연막 및 격벽을 패터닝할 필요가 있다. 이 때문에, 상기 2 차례의 노광 공정에서 각각 사용되는 2 종류의 노광 마스크에 대한 어느 정도의 얼라인 마진이 필요하며, 이러한 얼라인 마진 확보의 필요성 때문에 상기 절연막 및 격벽의 폭을 줄이는데 한계가 있다. 따라서, 상기 종래기술에 따르면, 상기 절연막 및 격벽의 폭을 줄여 상기 절연막에 의해 정의되는 화소 개구부의 개구율을 증가시키는데 한계가 있으며, 이에 따라, 유기 발광 소자의 실질적인 발광 면적을 증가시는데 한계가 있다. 본 기술의 목적은, 화소 개구부의 개구율을 보다 증가시켜 유기 발광 소자의 실질적인 발광 면적을 증가시킬 수 있게 하는 유기 발광 소자의 제조 방법을 제공하기 위한 것이다.본 기술은, 기판 위에 줄무늬 형상의 복수의 제 1 전극을 형성하는 단계; 상기 복수의 제 1 전극이 형성된 기판 전면에 상변환 감광막을 형성하는 단계; 상기 복수의 제 1 전극과 직교하는 제 1 영역을 정의하는 차광 영역과, 상기 복수의 제 1 전극 사이의 제 2 영역을 정의하는 반투광 영역과, 나머지 영역을 정의하는 투광 영역을 구비한 하프톤 마스크를 통해, 상기 상변환 감광막에 제 1 노광하는 단계; 상기 제 1 노광된 상변환 감광막을 제 1 현상하는 단계; 상기 상변환 감광막을 상변환하는 단계; 상기 제 1 노광 단계보다 작은 노광 에너지로 상기 상변환 감광막의 전면에 제 2 노광하는 단계; 및 상기 제 2 노광된 상변환 감광막을 제 2 현상하는 단계로 구성되어 있다. 본 기술에 따르면, 단일층의 상변환 감광막에 대한 단순화된 공정을 통해 일체화된 구조로 절연막 및 격벽을 형성할 수 있고, 화소 개구부의 개구율을 증가시켜 실질적인 발광 면적이 크게 증가된 유기 발광 소자를 제조할 수 있게 하는 유기 발광 소자의 제조 방법을 제공할 수 있다. 따라서, 유기 발광 소자의 공정 단순화, 고해상도화 및 저소비전력화에 크게 기여할 수 있다.
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본 기술은, 유기 전계 발광 소자에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 격벽층의 공정 안정성을 확보할 수 있는 유기 전계 발광 소자에 관한 것이다. 종래 기술에 의한 유기 전계 발광 소자는, 기판 상에 어느 한 방향으로 뻗어있는 줄무늬 형상(stripe type)의 양전극층 패턴이 형성되어 있다. 격벽층 패턴의 기저부에 위치한 패턴에 따라 상기 격벽층 패턴을 형성하기 위한 노광공정시 동일한 마스크를 이용하더라도 격벽층 패턴의 선폭이 변화할 수 있다. 격벽층 패턴의 선폭이 좁게 형성되면, 심한 경우 역경사 구조의 하부 폭 기판으로부터 격벽층 패턴이 떨어질 수도 있다. 그러면 후속 공정에서 음전극층 패턴을 형성하기 위해 전극형성용 금속물질을 증착시 라인 간에 단락이 발생할 수 있다. 또한, 격벽층 패턴의 선폭이 넓게 형성되면, 역경사의 각도가 커지게 되고, 심한 경우 음전극층 패턴간의 단락을 막기 위한 격벽층 패턴의 네가티브 프로파일의 역할을 수행하기에는 큰 내각을 갖게 되는 문제점이 있다. 본 기술의 목적은, 격벽층 패턴의 모든 선폭을 동일하게 형성하고 격벽층 패턴의 기저부에 위치하는 패턴을 동일한 패턴으로 형성함으로서 필요한 격벽층의 역경사 구조를 얻기 위한 공정 안정성을 확보하여 소자의 성능을 안정화할 수 있는 유기 전계 발광 소자를 제공하는데 있다.본 기술에 따른 유기 전계 발광 소자는, 기판과, 상기 기판 위에 어느 한 방향으로 뻗어 있는 양전극층 패턴과, 소정 영역의 양전극층 패턴 및 기판 위에 격자 형태로 형성되어 있는 절연층 패턴과, 상기 양전극층 패턴과 직교하는 절연층 패턴 위에 형성되어 있되, 상기 소정 영역을 제외한 나머지 영역의 기판 위에는 형성되지 않는 격벽층 패턴을 포함하는 유기전계 발광소자로 이루어져 있다. 본 기술에 따르면, 유기 전계 발광 소자에 의하면, 절연층 패턴을 확장하여 격벽층 패턴의 기저부를 동일한 물질로 형성함으로써 격벽층 패턴의 네가티브 프로파일을 안정적으로 형성할 수 있어 소자의 성능을 안정화할 수 있는 효과가 있다.
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- 2007-07-13
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전기·전자 > 기타 전기/전자
본 기술은, 빛의 손실을 최소화하여 휘도가 보다 향상된 유기 발광 소자에 관한 것이다. 유기 발광 소자는 일반적으로, 전기적 절연이 가능한 물질로 이루어진 절연막 및 격벽을 양전극층이 형성된 기판 위에 순차 형성하고, 형성된 격벽의 오버행(overhang) 구조를 통해 유기 발광층 및 음전극층을 패터닝하여 제조된다. 종래 기술에 의한 유기 발광 소자에서는, 각 화소에서 발생한 빛이 하부의 투명 기판을 통과하는 과정에서, 상기 투명 기판의 하면 등에 의해 반사되어 상당 부분 손실된다. 따라서, 각 화소에서 발생한 빛을 효율 좋게 이용하지 못하여 유기 발광 소자의 휘도가 저하되는 문제점이 있었으며, 이러한 문제점의 개선을 위해 보다 큰 전력을 인가하는 경우 소비전력이 증가하는 문제점이 있었다. 본 기술의 목적은, 각 화소에서 발생한 빛의 손실을 최소화하여 휘도가 보다 향상된 유기 발광 소자를 제공하기 위한 것이다.본 기술은, 투명 기판; 상기 투명 기판 위에 어느 한 방향으로 배열되어 있는 복수의 양전극층; 상기 양전극층 상에 복수의 화소 개구부를 정의하도록 상기 투명 기판 및 복수의 양전극층 위에 격자 형태로 형성되어 있고, 상기 투명 기판에 비해 작은 굴절율을 가진 물질로 이루어진 절연막; 상기 복수의 양전극층과 직교하는 방향으로 배열된 절연막 위에 형성되어 있는 격벽; 상기 화소 개구부의 양전극층 위에 형성되어 있는 유기 박막층; 및 상기 유기 박막층 위에 형성되어 있는 음전극층을 포함하고, 상기 절연막 하부의 투명 기판 및 양전극층 상에는, 양 측벽이 상기 투명 기판의 상면과 둔각을 이루는 트렌치로 구성되어 있다. 본 기술에 따르면, 각 화소에서 발생한 빛이 손실되는 것을 최소화하여 동일 소비 전력 하에서도 보다 향상된 휘도를 가진 유기 발광 소자를 제공할 수 있다. 따라서, 유기 발광 소자의 고휘도화, 저소비전력화에 크게 기여할 수 있다.
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- 2007-07-13
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전기·전자 > 기타 전기/전자
본 기술은, 유기 전계 발광 소자에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 저저항 전극을 제조하는 과정에서 발생하는 결함을 방지할 수 있는 유기 전계 발광 소자의 제조방법에 관한 것이다. 종래 기술에 따른 유기 전계 발광 소자의 제조방법에서, 메탈 마스크 패턴은, 코너 부분의 인장강도가 약해 메탈 마스크 패턴이 기판에 밀착되지 못하고 들떠 있거나 움직일 수 있다. 이와 같이 메탈 마스크 패턴이 기판으로부터 들떠 있거나 움직일 경우, 배선 패턴 형성용 물질이 증착되지 않아야 할 곳까지 확장하여 증착되는 문제가 발생할 수 있다. 본 기술의 목적은, 메탈 마스크 패턴을 이용한 제2 배선 패턴 형성용 물질의 증착방법을 개선하여, 기판 위에 메탈 마스크 패턴이 완전히 밀착하여 비증착영역으로의 증착 물질이 침투하는 결함을 방지할 수 있는 유기 전계 발광 소자의 제조방법을 제공하는 데 있다.본 기술에 따른 유기 전계 발광 소자의 제조방법은, 발광부와 패드부로 구분되어 있는 기판의 발광부 상에 어느 한 방향으로 배열되는 제1 전극을 형성하는 단계; 상기 제1 전극을 형성하면서 상기 기판의 패드부 상에 상기 제1 전극과 연결되고, 제1 전극 형성물질을 포함하는 제1 배선패턴을 형성하는 단계; 상기 제1 전극 상에 복수의 화소 개구부를 정의하도록 상기 제1 전극 및 기판 위에 격자 형태로 절연층 패턴을 형성하는 단계; 상기 제1 전극과 직교하는 절연층 패턴 위에 격벽층을 형성하는 단계; 상기 화소 개구부 상에 유기박막층을 형성하는 단계; 상기 기판의 발광부를 포함하는 제1 영역을 노출하는 제1 메탈 마스크 패턴을 형성하는 단계; 상기 제1 메탈 마스크 패턴을 마스크로 상기 제1 영역에 제2 전극 형성용 물질을 증착하는 단계; 상기 제1 영역을 제외한 제2 영역을 노출하는 제2 메탈 마스크 패턴을 형성하는 단계; 상기 제2 메탈 마스크 패턴을 이용하여 상기 제2 영역에 제2 전극 형성용 물질을 증착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 기술에 따르면, 제2 배선 패턴 형성용 물질의 증착시 두장의 메탈 마스크 패턴을 이용함으로써 기판 위에 메탈 마스크 패턴이 완전히 밀착하여 비증착영역으로의 증착 물질이 침투하는 결함을 방지할 수 있다.
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- (주)대우전자
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- 2007-07-13
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전기·전자 > 기타 전기/전자
본 기술은, 유기물의 증발 속도를 균일하게 하여 안정적인 유기물 증착을 가능케 하는 유기물 진공 증착 장치에 관한 것이다. 종래의 유기물 진공 증착 장치및 증착 방법에서는, 도가니로부터 증발되는 유기물의 증발량 및 증발속도가 균일화․안정화된 후 셔터부를 회전시켜 상기 도가니 주위의 소정 영역을 진공 챔버 내의 나머지 영역에 대해 개방하는 과정에서, 상기 도가니로부터 증발되는 유기물이 회전 중인 셔터부에 의해 방해를 받게 된다. 이 때문에, 순간적으로 유기물의 증발량 및 증발속도에 급격한 변화가 초래되므로, 안정적인 유기물 증착이 이루어지지 않을 수 있다. 또한, 상기 셔터부가 회전 가능하게 형성되어 있기 때문에 상당한 면적을 차지하여 전체적인 장치의 크기가 불필요하게 커지는 문제점 역시 있다. 본 기술의 목적은, 유기물의 증착 공정 중 유기물의 증발량 및 증발 속도를 항상 균일하게 하여 안정적인 유기물 증착을 가능케 하는 유기물 진공 증착 장치를 제공하기 위한 것이다.본 기술은, 진공 챔버; 상기 진공 챔버 내의 상부에 배치되는 증착 기판; 상기 증착 기판 하부에서 유기물을 수용하고, 주위에 가열용 열선을 구비하는 하나 이상의 도가니; 상기 증착 기판과 상기 하나 이상의 도가니 사이에 형성되는 개폐 가능한 메인 셔터부; 상기 도가니 상부에 형성되는 유기물 증발량 측정 센서; 상기 도가니 주위의 소정 영역을 둘러싸되, 상기 도가니 주위를 따라 이동하여 상기 소정 영역을 나머지 영역에 대해 개폐 가능하도록 형성되는 셔터부; 및 상기 진공 챔버 내의 배기가스를 배출하는 배기 시스템으로 구성되어 있다. 본 기술에 따르면, 불필요한 공정 시간의 지연 없이도, 유기물의 증발량 및 증발속도를 항상 균일하게 유지할 수 있으므로, 안정적인 유기물 증착이 가능해지는 동시에 유기물 증착 공정의 수율 및 양산성이 크게 향상될 수 있다. 또한, 셔터부의 내벽 등에 증착된 유기물이 도가니에 떨어져 도가니의 입구 등을 막는 문제점 역시 크게 줄일 수 있으며, 유기물 진공 증착 장치의 전체적인 크기가 불필요하게 커지는 문제점 역시 해결할 수 있다.
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- (주)대우전자
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- 2007-07-13
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전기·전자 > 기타 전기/전자
본 기술은, 하나의 축으로 회전하면서 기판을 이동시키는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치에 관한 것이다. 종래의 이송장치는 기판을 파지하는 파지부, 상기 파지부를 수직 상하방으로 이동시키기 위해 길이가 가변되는 조절부 및 상기 조절부와 결합되어 수평방향으로 조절부를 이동시키기 위한 레일부로 이루어진다. 이러한 이송장치는 반도체나 인쇄회로기판과 같이 다양한 기판을 가공하는 공정에서 기판의 이송을 담당하게 된다. 그러나, 이러한 이송장치는 다수의 조절부들이 레일을 따라 이동하기 때문에, 조절부 전체가 구동하는 구조이므로 조절부의 개별적인 독립구동이 불가능하게 된다. 본 기술의 목적은, 독립구동에 의해 기판을 이송시키기 위한 기판 이송 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.본 기술은, 수평 설치되는 고정부; 상기 고정부의 일측에 회전 가능하도록 결합되고 모터의 구동에 의해 결합부분이 회전축이 되어 회전되는 구동부; 상기 구동부와 대응되도록 상기 고정부의 타측에 회전 가능하도록 결합되는 지지부; 및 상기 구동부와 상기 지지부의 상측에 양단이 각각 힌지 결합되어 기판이 안착되는 안착부로 구성되어 있다. 본 기술에 따른 기판 이송 장치는, 개별 구동을 통해 하나의 챔버에서 다른 챔버로 기판을 이동시키는 효과가 있다. 그리고, 이송 장치의 구조를 단순화하여, 제품의 고장을 억제하고 제조 비용을 절감하는 이점이 있다. 특히, 회전체의 회전으로 이송 장치의 설치 장소가 한정되지 않는 이점이 있다.
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- (주)대우전자
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- 2007-07-13
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일반기술
전기·전자 > 기타 전기/전자
본 기술은, 기판을 회전시키면서 코팅시킬 때 발생하는 진동이 보울에 전달되더라도, 이러한 진동이 신속히 흡수되도록 하는 것을 특징으로 하는 오엘이디 제조용 스핀 코팅 장치에 관한 것이다. 종래의 스핀 코팅 장치에서, 스핀들 및 진공척이 고속으로 회전하다 보면 보울에 진동이 전달될 수 있고, 진공척의 회전에 의해 발생하는 와류에 의해 보울에서 진동이 발생할 수 있다. 이러한 보울의 진동은 스핀 코팅 장치와 근접하는 다른 공정장비에도 영향을 줄뿐만 아니라, 보울에서 발생하는 진동이 다시 진공척으로 전달되면 기판에 안정적인 코팅작업이 이루어지지 못하는 문제점이 있다. 본 기술의 목적은, 보울에서 발생하는 진동이 감쇄되도록 하여 안정적인 코팅 작업이 이루어지도록 함을 특징으로 하는 스핀 코팅 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.본 기술은, 모터에 의해 회전되는 스핀들; 상기 스핀들의 상단에 위치하여 기판을 고정시키는 진공척; 상기 스핀들과 상기 진공척을 감싸는 보울; 상기 기판에 코팅액을 분사하는 코팅액 공급노즐; 및 상기 보울의 외주면에 구비되어 진동을 흡수하는 하나 이상의 흡수부재를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다. 본 기술에 따른 스핀 코팅 장치는, 장치 구동시 보울에서 발생하는 진동을 효과적으로 감쇄시켜주는 효과가 있다.이러한 진동 감쇄로 인해, 코팅이 되는 기판으로 진동이 전달되지 않아 기판에 균일한 박막을 형성하는 이점이 있다.
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- (주)대우전자
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- 2007-07-13
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본 기술은, 오엘이디 제조용 스핀코팅 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 포토레지스터의 코팅시 기판의 에지부에 발생하는 에지 비드(edge bead)를 코팅단계에서 효과적으로 제거하여 기판의 유효면적을 넓힘으로써 수율(yield)을 향상시킬 수 있는 오엘이디 제조용 스핀코팅 장치에 관한 것이다. 종래의 에지 비드 제거방식은 모두 형성된 에지 비드를 후제거하는 방식에 집중되어 있으며, 원천적으로 에지 비드를 제거해주기 위한 기술은 전무한 형편이다. 본 기술의 목적은, 에지 비드의 발생을 스핀코팅 단계에서 원천적으로 억제할 수 있는 오엘이디 제조용 스핀코팅 장치를 제공하는데에 있다.본 기술은, 오엘이디 제조용 스핀코팅 장치는 액체의 침입을 억제할 수 있는 밀폐공간과 외기의 유통이 가능한 수납공간을 구비하는 코터 본체부, 코터 본체부의 밀폐공간에 내장되어 있는 구동모터부, 코터 본체부의 수납공간에 설치되는 로딩 플레이트, 구동모터부와 로딩 플레이트를 연결시켜 구동모터부에서 발생한 회전력을 로딩 플레이트에 전달하는 회전축, 및 코터 본체부의 수납공간을 밀폐시키고, 내부에는 로딩 플레이트에 로딩되는 기판의 에지부와 접촉하여 스핀코팅시 기판의 에지부에 필요 이상의 두께로 형성되는 액체를 흘러내리는 방식으로 제거해 주기 위한 가이드부가 형성되어 있는 커버부로 구성되어 있다. 본 기술에 따른 오엘이디 제조용 스핀 코팅 장치는, 에지 비드의 발생을 원천적으로 제어함으로써 기판의 가용영역을 최대화할 수 있으며, 에지 부근에서 발생하는 리바운드(rebound)성 결함(defect)의 발생을 최소화할 수 있고, 후속공정으로 EBR(edge bead remove) 공정을 진행하더라도 제거할 양이 크게 줄어 들어 신속하고 효율적인 EBR 공정 수행이 가능해 진다. 또, 기판의 배면의 오염을 줄일 수 있다.
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- (주)대우전자
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- 2007-07-13
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전기·전자 > 기타 전기/전자
본 기술은, 대상 기판과 대상 마스크를 보다 정확히 얼라인 할 수 있게 하는 얼라인 방법 및 얼라인 장치에 관한 것이다. 종래에는 박막 패턴 형성 공정에 따라, 해당 공정에 사용되는 얼라인 키가 제대로 인식되지 못하여, 상기 대상 기판과 대상 마스크의 얼라인이 정확히 이루어지지 못하는 경우가 다수 발생하였으며, 이는 반도체 소자 또는 각종 디스플레이 소자의 특성 저하 또는 수율 저하로 직결되었다. 본 기술의 목적은, 종래 기술의 문제점을 해결하여, 대상 기판과 대상 마스크를 보다 정확히 얼라인할 수 있게 하는 얼라인 방법 및 얼라인 장치를 제공하기 위한 것이다.본 기술은, 각각 소정의 광량으로 조절된 하나 이상의 광원을 사용해, 대상 기판 또는 대상 마스크 상에 형성된 얼라인 키에 대한 인식율을 측정하는 제 1 단계; 상기 측정 인식율을 미리 설정된 기준 인식율과 비교하는 제 2 단계; 상기 측정 인식율이 상기 기준 인식율보다 낮으면, 상기 하나 이상의 광원의 종류, 광량 또는 광축을 조절하는 제 3 단계; 상기 측정 인식율이 상기 기준 인식율 이상으로 될 때까지 제 1 단계 내지 제 3 단계를 반복하는 제 4 단계; 및 상기 대상 기판 및 대상 마스크 상에 각각 형성된 얼라인 키의 위치를 기준으로 상기 대상 기판 및 상기 대상 마스크를 얼라인하는 제 5 단계로 구성되어 있다. 본 기술에 따르면, 반도체 소자 또는 각종 디스플레이 소자를 제조하는 공정에서, 대상 기판과 대상 마스크를 보다 정확히 얼라인 할 수 있으므로, 반도체 소자 또는 각종 디스플레이 소자의 특성 향상에 크게 기여할 수 있으며, 이들의 수율 또한 크게 높일 수 있다.
- 보유기관
- (주)대우전자
- 등록일
- 2007-07-13
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일반기술
전기·전자 > 기타 전기/전자
본 기술은, 유기 전계 발광 소자에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 유기 전계 발광 소자의 패턴 결함 수정방법에 관한 것이다. 종래의 경우, 파티클을 제거하기 위해 레이저를 이용한 결함수정방법 및 포토마스크의 잔류결함수정방법이 제안되어 있다. 그러나 파티클 상에 레이저를 조사하여 제거하는 레이저를 이용한 결함수정방법은, 초미세 파티클이나 다각형상을 가진 미세 파티클의 제거가 불가능하고, 파티클이 존재하지 않는 주변 패턴에 대해 영향을 주지 않으면서 레이저 조사를 통한 미세 파티클의 정확한 제거가 어려울 수 있다. 또한, 패턴에 레이저를 조사함으로서 주변 패턴에 영향을 주어 잔류 열응력으로 인해 포토리소그래피 공정으로 조사되는 노광기의 자외선 효과에 부정적인 영향력을 미칠 수 있다. 본 기술의 목적은, 유기 전계 발광 소자의 패턴 형성시 발생하는 결함과 패턴불량을 주변 패턴에 영향을 미치지 않고 수정할 수 있는 유기 전계 발광 소자의 패턴 결함 수정방법을 제공하는데 있다.본 기술에 따른 유기 전계 발광 소자의 패턴 결함 수정방법은, 기판 상에 패턴을 형성하는 단계; 상기 기판 상에 집속이온빔(FIB)장비를 배치하고, 상기 집속이온빔(FIB)장비의 이온현미경(SIM)을 이용하여 상기 패턴 상에 발생한 결함을 관측하여 이미지를 추출하는 단계; 상기 추출된 이미지로부터 오차 정보 데이터를 형성하는 단계; 상기 오차 정보 데이터를 제어프로그램을 이용하여 집속이온빔(FIB)장비에 입력할 수 있는 파일로 변환하는 단계; 및 상기 집속이온빔(FIB)장비에 상기 오차 정보 데이터를 입력하고, 집속이온빔 에칭공정을 실시하여 상기 패턴 상에 발생한 결함을 제거하는 단계로 이루어져 있다. 본 기술에 따른 유기 전계 발광 소자의 패턴 결함 수정방법에 의하면, 패턴 형성시 발생되는 미세 파티클에 의해 저하되는 유기 전계 발광 소자의 불량률을 집속이온빔(FIB) 공정에서 화상처리 프로그램을 이용하여 오차 정보 데이터를 형성하고, 이러한 오차 정보 데이터를 집속이온빔(FIB)장비에 입력하기 위한 가공경로 작성을 위해 제어프로그램을 통해 결함을 제거할 수 있다. 이에 따라 집속이온빔(FIB) 장비 내에서 결함의 수정이 가능하여 파티클을 정확하게 제거할 수 있다.
- 보유기관
- (주)대우전자
- 등록일
- 2007-07-13
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일반기술
전기·전자 > 기타 전기/전자
본 기술은 유기 전계 발광 소자에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 유기 전계 발광 소자의 발광면적을 증가하고, 휘도를 개선시킬 수 있는 유기 전계 발광 소자 및 그 제조방법에 관한 것이다. 종래의 유기 전계 발광 소자에 있어서, 투명전극패턴의 일부 영역은 절연층 패턴에 의해 덮여지게 된다. 이와 같이 절연층 패턴에 의해 덮여지는 투명전극패턴의 일부 영역은 유기 전계 발광층과 접촉하지 않는 상태가 되면서 화소 개구부와 달리 발광하지 않고, 절연층 패턴에 의해 정의되어 있는 화소 개구부를 통해서만 빛이 투과되어 발광 부위가 제한될 수 있다. 본 기술의 목적은, 절연층 패턴에 의해 덮여지는 투명전극패턴의 일부 영역을 유기 전계 발광층과 보다 넓게 접촉하도록 개선하여 발광 부위를 증가시킬 수 있고, 휘도를 개선할 수 있는 유기 전계 발광 소자 및 그 제조방법을 제공하는데 있다.본 기술에 유기 전계 발광 소자의 제조방법은, 기판 상에 어느 한 방향으로 배열되는 제1 투명전극패턴을 형성하는 단계; 상기 제1 투명전극패턴 위에 가시광이 50-80% 투과하는 절연층을 형성하는 단계; 상기 제1 투명전극패턴 및 기판 위에 격자 형태로 절연층 패턴을 형성하여 상기 제1 투명전극패턴 상에 화소개구부를 정의하는 단계; 상기 제1 투명전극패턴과 직교하는 절연층 패턴 위에 격벽층을 형성하는 단계; 상기 제1 투명전극패턴과 대응하는 영역의 화소 개구부 및 절연층 패턴위에 제2 투명전극패턴을 형성하는 단계; 상기 제2 투명전극패턴 위에 유기 전계 발광층을 형성하는 단계; 및 상기 유기 전계 발광층 위에 음전극층을 형성하는 단계로 구성되어 있다. 본 기술에 따른 유기 전계 발광 소자 및 그 제조방법에 의하면, 절연층 패턴을 가시광이 투과되는 물질로 형성하고, 투명 전극층을 이중구조로 형성하여 유기 전계 발광층과 보다 넓게 접촉하도록 개선함으로써 발광 부위를 증가시킬 수 있고, 휘도를 개선할 수 있다.
- 보유기관
- (주)대우전자
- 등록일
- 2007-07-13
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일반기술
전기·전자 > 기타 전기/전자
본 기술은 전원 온시 각종 동작 모드에서 사용자가 많이 확인하는 기능 표시만 밝게하여 편리하게 동작 모드를 판단할 수 있도록 한 디스플레이 밝기 제어 방법을 제공한다.본 기술을 이용하면 전자기기의 디스플레이 처리시스템에 있어서, 키입력에 의해 전자기기의 동작신호를 입력하는 키입력단계, 키입력단계에 의해 키신호를 수신하여 키신호를 검파하는 검파단계, 검파단계에 의해 검파된 키신호가 상기 디스플레이부에 디스플레이되는지를 판별하는 판별단계, 판별단계에 의해 판별된 신호로서 디스플레이부의 밝기를 제어하는 제어단계로 이루어짐을 특징으로 한다.
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 등록일
- 2008-01-02
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일반기술
전기·전자 > 기타 전기/전자
본 기술은 부하가 저전압에 운전되었을 때 손상되는 것을 방지하기 위한 부하보호회로에 관한 것으로 인가전압을 검출하여 일정전압 이하가 될 때는 부하를 정지시키도록 한 저전압 인가시 부하보호회로를 제공하는 것이다. 본 기술을 이용하면 외부에서 낮은 전압이 인가되거나 차단시 이를 검출하여 부하의 운전을 정지하게 하므로써, 낮은 전압에서 부하가 운전하게 될 때 발생하는 부하 및 부하를 제어하는 회로의 손상을 방지할 수 있다.외부의 교류전압을 직류전압으로 출력하는 정류 및 평활부와, 정류 및 평활부의 직류전압을 부하에 교류전압 형태로 인가하는 전력 트랜지스터부와, 정류 및 평활부의 출력이 일정전압 이하임을 체크하는 출력전압 체크부와, 전력 트랜지스터부가 직류전압을 교류전압형태로 인가할 수 있도록 전력 트랜지스터부를 구동하는 드라이버부와, 출력전압 체크부의 신호를 입력받아 정류 및 평활부의 출력이 일정전압 이하이면 부하의 운전을 정지하도록 드라이버부에 제어신호를 출력하고 일정전압 이상이면 정상적으로 운전되도록 제어신호를 출력하는 마이콤을 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 등록일
- 2008-01-02
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일반기술
전기·전자 > 기타 전기/전자
본 기술은 수상관 작업시 반복되는 섀도우마스크의 착탈작업에 의한 탄성부재의 영구적인 소성변형을 감소시킬 수 있도록 한 칼라수상관의 섀도우마스크 지지용 탄성부재 고정방법에 관한 것이다.용접되어 일정위치에 고정부와, 패널의 내측부에 형성된 패널핀에 결합되는 결합공이 형성된 결합부와, 고정부와 결합부를 일체로 연결하는 연결부로 구성되는 탄성부재를 고정함에 있어서, 마스크프레임에 용접되는 고정부의 용접점을 고정부의 자유단으로부터 고정부 길이의 1/2 이하되는 지점에서 위치하도록 구성한 것을 특징으로 한다.
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 등록일
- 2008-01-02
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일반기술
전기·전자 > 기타 전기/전자
본 기술은 약전계의 방송신호를 수신할 경우에 입력감도를 높이고, 잡음지수 특성을 향상시켜 S/N비(신호대 잡음비)를 향상시킬 수 있도록 하는 것이다.본 기술은 수신신호의 전계세기에 따라 전단필터의 출력신호를 고주파 증폭부에 직접 또는 입력동조부를 통해 입력시키는 스위칭부와 자동이득조절신호의 레벨에 따라 일정 히스테리시스 값을 가지면서 스위칭 제어신호를 발생시켜 스위칭부의 스위칭 동작을 제어하는 판별부를 구비하여 약전계 신호의 수신시 수신신호가 입력동조부를 통과하지 않고 고주파 증폭부에 직접 입력되게 하여 수신신호의 손실을 줄임으로써 입력감도가 향상되고, 잡음지수가 향상되어 S/N비가 개선된다.안테나의 수신신호에서 방송신호를 필터링하는 전단필터와, 전단필터의 출력신호에서 선택된 방송신호의 주파수 대역에 동조되는 입력동조부와, 수신한 고주파 신호를 증폭하는 고주파 증폭부와, 전단필터의 출력신호가 고주파 증폭부에 직접 또는 입력동조부를 통해 입력되게 스위칭하는 스위칭부와, 설정된 히스테리시스 값을 가지면서 자동이득조절신호의 레벨을 판단하여 스위칭부에 스위칭 제어신호를 인가하는 판별부로 구성함을 특징으로 한다.
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 등록일
- 2008-01-02
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일반기술
전기·전자 > 기타 전기/전자
본 기술은 디지탈 컨버젼스 보정장치에 관한 것으로 특히, 디지탈 컨버젼스 보정장치가 오동작을 발생시키거나, 혹은 메모리 내의 보정 데이타가 비어 있을 때 잘못된 보정 데이타가 출력되어 컨버젼스 요크에 공급되는 전류를 증폭시키는 CY(컨버젼스 요크) 앰프에 과대 전류가 흘러 CY앰프가 파괴되는 것을 방지하는 디지탈 컨버젼스 보정장치의 컨버젼스 요크앰프 보호 장치 및 그 제어방법에 관한 것이다.종래 디지탈 컨버젼스 보정장치는 수평 동기 펄스를 입력받아 동기 신호를 발생시키는 동기 발생 회로와, 동기 발생 회로로부터 출력되는 동기 신호와 수직 동기 펄스를 입력받아 어드레스 신호를 발생시키는 어드레스 발생기와, 보정데이타가 저장된 메모리와, 수직 동기 신호와 동기 발생 회로로부터 신호를 인가받아 펄스를 발생시키는 펄스 발생회로와, 펄스 발생회로의 펄스 신호에 의해 메모리에 저장된 보정데이타에서 최상위 비트를 인버터로 인버팅시키는 데이타 절환회로와, 데이타 절환회로를 통과한 보정데이타를 아나로그 값으로 변화시키는 D/A 변환기와, D/A 변환기로부터 출력되는 신호에서 수평 보정데이타와 수직 보정데이타를 분리시키는 샘플링-홀더부와, 샘플링-홀더부를 통과한 신호를 평활시키는 로패스 필터와, 로패스필터를 통과한 신호를 클램프시키며 CY앰프를 통하여 전류증폭시켜 컨버젼스 요크에 전류를 흘려서 컨버젼스 보정을 하는 클램프 회로로 구성되었다.본 기술의 목적은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 메모리에서 출력되는 데이타 또는 메모리에 입력되는 어드레스를 점검하여 과대 직류 전류가 앰프에 공급되는 것을 클램프시켜 CY앰프를 과대 전류로부터 보호하여 과대 전류로 인해 CY앰프가 파괴되는 것을 방지하여 줄 수 있는 디지탈 컨버젼스 보정장치의 컨버젼스 요크앰프 보호장치 및 그 제어방법을 제공하는 데 있다.본 기술 디지탈 컨버젼스 보정장치의 컨버젼스 요크앰프 보호장치는 제3도에 도시되는 바와 같이. 수평 동기 펄스와 수직 동기 펄스를 입력받아 어드레스 신호를 발생시키는 어드레스 발생기와, 디지탈의 컨버젼스 보정데이타가 저장된 메모리와, 메모리로부터 출력되는 컨버젼스 보정데이타를 아나로그 값으로 변환시키는 D/A 변환기와, D/A 변환기로부터 출력되는 신호에서 수평 보정데이타와 수직 보정 데이타를 분리시키는 샘플링-홀더부와, 샘플링-홀더부를 통과한 신호를 평활시키는 로패스 필터와, 로패스 필터를 통과한 신호를 클램프시키며 CY앰프를 통하여 전류증폭시켜 컨버젼스 요크에 전류를 흘려서 컨버젼스 보정을 하는 클램프 회로와, 메모리에서 출력되는 데이타 또는 메모리에 입력되는 어드레스를 점검하여 과대 직류 전류가 CY앰프에 공급되는 것을 클램프시켜 CY앰프가 파괴되는 것을 방지하는 제어부로 구성함을 그 기술적 구성상의 특징으로 한다.
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 등록일
- 2008-01-02
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일반기술
전기·전자 > 기타 전기/전자
본 기술은 정상 동기 신호에 잡음이 혼입되면 동기 위치를 오판하여 티브이 화면에 표시되는 자막이 상,하,좌,우로 떨리는 문제점을 해결하기 위하여, 동기신호 발생구간을 계수함에 따라 설정값과 같을 때 동기신호를 출력시킴으로써 동기구간에 발생된 잡음에 의해 자막이 떨리는 현상을 방지하기 위한 것이다. 본 기술을 이용하면 수평, 수직동기신호의 구간을 계수하여 설정 기준값과 비교함에 따라 수평, 수직동기신호를 인에이블시킴으로써 동기신호의 구간에 발생하는 잡음으로 제거하게 되어 잡음제거에 의해 정확한 수직, 수평동기신호를 발생시킴으로써 영상자막의 떨림을 방지할 수 있다.수평, 수직 동기신호의 구간을 계수함에 따라 설정 기준값과 비교하고 비교값이 일치하면 정형된 수평, 수직 동기신호를 출력하는 동기정형부와, 이 동기정형부의 출력에 따라 트브이 화면의 자막 표시 위치를 결정하는 동기부와, 이 동기부의 출력에 따라 자막신호를 출력하는 자막 출력부로 구성함을 특징으로 한다.
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 등록일
- 2008-01-02
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