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전기·전자 > 기타 전기/전자
본 기술은 차량용 문자 표시 시스템에 관한 것으로, 특히 소형 비디오 투사기(예를 들어, 프로젝터)로부터의 투사 영상을 후면으로부터 받아서 그 반대측의 전면의 관측자 측에서 투사 영상을 재생하는 후면 투사 스크린을 이용하여 주행 중인 전방차량과 후방차량 사이에 문자 데이터 정보를 후방차량의 운전자에게 제공함으로써 안전 운행을 도모할 수 있도록 하는 투사기 및 후면 투사 스크린을 이용한 문자 표시 시스템에 관한 것이다.본 기술은 차량용 문자 표시 시스템에 관한 것으로, 기존의 문자 표시 시스템에 있어 매트릭스 LED 방식의 문제점을 개선한 후면 투사 스크린 방식을 채택함으로써, 문자 표시부를 대화면으로 표시 가능하여 후방차량 운전자에게 시인성을 보다 확실하게 확보하여 안전운행을 도모할 수 있도록 하였다. 또한 거리감지 센서 및 휘도감지 센서를 부착하여 문자 데이터 정보를 차량 후방으로 자동 출력함으로써, 종래 운전자 조작 간과에서 비롯된 주행 안전을 보다 높였으며, 인터페이스수단을 더 구비하여 야영시에 TV수신은 물론, 외부기기를 접속 연결시켜 각종 영상 문화를 즐길 수 있는 레저 효과를 부가 하였다.
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- 대구기술이전센터
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- 2005-01-27
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전기·전자 > 기타 전기/전자
본 발명은 고청정 인테리어 공기정화기에 관한 것으로 필터부에 광촉매, 헤파필터(High Efficiency Particulate Air Filter; HEPA Filter)와 나노실버필터를 설치하여 더욱 고청정 처리가 될 수 있게 하고, 헤파필터/나노실버필터와 광촉매수단을 최적 상태로 배열하여 필터부의 사용 수명을 연장하고 처리효율이 극대화되도록 한 것으로 종래 먼지만 제거하던 공기청정기(air cleaner)와 살균기능만 수행하던 공기살균기(air sterilizer)의 기능을 모두 수행할 수 있을 뿐만 아니라 NOx/SOx등의 유해화학물질을 광분해 하여 제거하는 기능까지 수행할 수 있다. 또한, 본 발명은, 사진이나 광고 등의 각종 이미지가 부착/보호되는 디스플레이수단을 공기정화기 본체와 분리 가능하게 장착하여 필요할 때마다 마음대로 이미지를 교체할 수 있게 한, 다용도 고청정의 인테리어 공기정화기이다.본 발명은 인테리어 겸용 공기정화기에 관한 것으로, 등록실용신안 제20-0312957호에서 개진한 다용도 공기청정장치의 공기정화효율을 더욱 향상함과 동시에 각 필터들의 배치순서를 최적화하여 고가 필터의 사용수명과 교체주기를 연장한, 고청정 인테리어 공기정화기에 관한 것이다.종래의 공기청정장치는 전기집진 방식 또는 코로나 방식의 3단계 필터시스템을 채용하여 공기를 청정처리 하고 있었다. 그러나 본 발명은 종래의 3단계 필터 시스템과 달리 공지의 필터와 광촉매 수단을 병행하고 있어, ⑴먼지와 각종 냄새(악취, 애완동물의 냄새, 화장실 냄새, 쓰레기 냄새 등) 및 담배연기 등의 화학물질을 실내 공기로부터 제거하는 공기청정작용 및 ⑵공기 중에 포함된 곰팡이/진드기/바이러스/세균 등을 제거하는 살균·살충작용까지 수행할 수 있다. 또한 종래의 공기청정장치는, 공기와의 접촉면이 넓을수록 효율이 좋아지게 됨으로 타 가전제품에 비해 크기가 크다. 이에 본 발명에서는 이러한 공기청정장치의 활용도를 높이기 위하여, 아무 쓸모 없이 방치되고 있는 공기청정장치의 넓은 외표면에, 각종 광고를 싣거나 가족사진 등을 끼워 넣을 수 있는 신규 구성의 다용도 공기청정장치이다. 이에 따라 가격은 저렴하면서도 공기정화효율은 대단히 높은 광촉매 수단에 의해 종래의 공기청정장치보다 더욱 높은 공기처리효율을 갖게 된다.
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- 한국산업기술진흥원
- 등록일
- 2005-07-29
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전기·전자 > 기타 전기/전자
본 발명은 전계방출소자의 제조방법에 관한 것으로서, 특히 SOI(Silicon-On-Insulator)구조의 웨이퍼를 이용하여 LOCOS(Local Oxidation of Silicon)법에 의한 마이크로머쉬닝기법으로 뾰족한 실리콘 팁(tip)을 단순하게 제조할 수 있는 실리콘 전계방출소자 제조방법에 관한 것이다. 마이크로웨이브에서 동작하는 고체전자소자가 고온과 높은 방열환경에서 갖는 단점들을 개선하기 위하여 전자 이동의 매질을 진공으로 하는 전계방출소자에 관한 연구가 최근에 활발하게 진행되고 있다.종래의 전계방출소자는 수직형(vertical type)과 측면형(lateral type)으로 나눌수 있으며, 그중 수직형의 전계방출소자가 주종을 이루고 있으나 제조공정이 복잡하고 어려운 단점이 있다. 측면형의 전계방출소자는 캐소드-애노드간의 거리를 사진식각기술을 이용하여 매우작게 조절할 수 있는 장점이 있으나 금속팁을 이용함으로써 뾰족한 팁을 만들기가 어렵고 장기 안정도에 문제가 있다. 본 발명은 전계방출소자 제조방법으로서, 실리콘기판상에 실리콘산화막과 실리콘층이 차례로 형성된 SOI구조의 웨이퍼에 있어서, 상기 실리콘층 위에 실리콘 질화막을 도포한후 사진식각법으로 실리콘질화막을 애노드가 위치할 영역의 실리콘질화막과 게이트가 위치할 영역의 실리콘질화막 및 캐소드가 위치할 영역의 실리콘질화막으로 패터닝하고, LOCOS법으로 상기 실리콘층의 일부를 완전히 산화시켜 LOCOS산화막을 형성하며, 상기 실리콘질화막 각각에 접촉창을 열고 금속을 입혀 애노드전극과 캐소드전극 및 게이트전극을 형성한 다음 마지막으로 BHF(Buffered HF)로 상기 LOCOS 산화막의 전부와 SOI웨이퍼에 매몰되어 있는 산화막을 선택적으로 식각하여 전계방출소자를 제조함으로써 제조공정이 용이하고 단순하며 캐소드-애노드 사이 간격을 매우작게 조절할 수 있을 뿐만아니라 극히 뾰족한 실리콘팁을 제조할 수 있는 SOI(Silicon-On-Insulator)구조의 웨이퍼를 이용한 실리콘 전계방출소자 제조방법이다.
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- 대구기술이전센터
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- 2005-01-27
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전기·전자 > 기타 전기/전자
발명은 미세기계구조물을 제조하는 마이크로머시닝 방법에 관한 것으로, n형 실리콘기판을 세척하여 확산마스크용 실리콘 산화막을 성장시킨후 인을 확산시켜 n+층을 형성하고, n+층상에 n형 실리콘에피층을 성장시켜 n/n+/n 3층 구조를 만들고 표면에 LPCVD법으로 질화막(Si3N4)을 증착시키는 단계와 상기 질화막을 사진식각법으로 패터닝하고 질화막과 n형 실리콘 에피층을 식각하여 n+층을 노출시키는 단계와 노출된 n+층을 스테인 에칭을 실시하여 다공질 실리콘으로 만드는 단계와 스테인 에칭된 n+층을 제거하여 미세기계구조를 형성하는 단계로 이루어져 짧은 식각시간으로 다양한 모양의 미세구조를 만들 수 있으면서도 공정이 간단한 스테인 에칭 기법을 이용한 마이크로머시닝 방법이다. n형 실리콘기판을 세척하여 확산마스크용 실리콘 산화막을 성장시킨후 인을 확산시켜 n+층을 형성하고, n+층상에 n형 실리콘에피층을 성장시켜 n/n+/n 3층 구조를 만들고 표면에 LPCVD법으로 질화막(Si3N4)을 증착시키는 단계와 상기 질화막을 사진식각법으로 패터닝하고 질화막과 n형 실리콘 에피층을 식각하여 n+층을 노출시키는 단계와 노출된 n+층을 스테인 에칭을 실시하여 다공질 실리콘으로 만드는 단계와 스테인 에칭된 n+층을 제거하여 미세기계구조를 형성하는 단계를 포함하는 스테인 에칭기법을 이용한 마이크로머시닝 방법.
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- 2005-01-27
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전기·전자 > 기타 전기/전자
본 발명은 미세구조물을 제조하는 마이크로머시닝 방법에 관한 것으로, n형 실리콘기판을 세척하여 실리콘산화막을 성장시킨후 뒷면의 실리톤산화막을 제거하는 단계와; n+확산층이 형성될 부분의 실리콘산화막을 제거하고 인을 확산시켜 n+확산층을 형성하는 단계와; 정전류원으로 양극반응시켜 상기 n+확산층을 다공질 실리콘층으로 만들고 실리콘산화막을 제거하는 단계와; 상기 다공질 실리콘층위에 ZnO 또는 Ni-Cr/Au를 스퍼터링하여 박막을 증착하는 단계와 증착된 박막을 사진식각법으로 패터닝하는 단계와 노출된 다공질 실리콘층을 선택적으로 식각하여 동공을 형성하는 단계로 이루어져 소자가 들어갈 부분만 선택적으로 양극반응시키고 그 위에 박막을 증착한후 미세구조부를 형성하여 다공질실리콘층만을 식각함으로써 원하는 부위에 임의형상의 공간을 정확하게 제어하여 다양한 형태로 특정크기의 미세구조를 제조할 수 있고, 여러가지 기능성 박막으로 미세구조를 만들어 낼수있을 뿐만아니라 다른 집적회로 소자의 제조에 영향을 주지않고 완전히 독립으로 미세구조물을 제조할 수 있는 다공질실리콘상의 박막을 이용한 마이크로머시닝 방법이다.n형 실리콘기판을 세척하여 실리콘산화막을 성장시킨 후 뒷면의 실리콘산화막을 제거하는 단계와 n+확산층이 형성될 부분의 실리콘산화막을 제거하고 인을 확산시켜 n+확산층을 형성하는 단계와 정전류원으로 양극반응시켜 상기 n+확산층을 다공질 실리콘층으로 만들고 실리콘산화막을 제거하는 단계와 상기 당공질 실리콘층위에 ZnO 또는 Ni-Cr/Au를 스퍼터링하여 박막을 증착하는 단계와: 증착된 박막을 사진식각법으로 패터닝하는 단계와 노출된 다공질 실리콘층을 선택적으로 식각하여 동공을 형성하는 단계를 포함하는 다공질 실리콘상의 박막을 이용한 마이크로머시닝 방법.
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- 2005-01-27
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전기·전자 > 기타 전기/전자
본 발명은 실리콘 가속도 센서의 제조방법에 관한 것으로서 메스(Mass)의 모서리에 언더컷이 발생하는 것을 억제할 수 있는 실리콘 가속도 센서의 제조방법에 관한 것이다. 가속도 센서 소자공간을 고려할 경우 무엇보다 정사각형의 보상구조로 사각뿔 형태의 메스를 보상하는 것이 적당하다는 결과를 얻고, 실험을 통해 최적의 보상조건을 찾았다. 위의 결과를 토대로, SDB(Silicon Direct Bording) 웨이퍼를 이용하여 실리콘 압저항형 가속도 센서의 완전한 사각뿔 형태의 Mass가 실현된 소자를 제조할 수 있다.본 발명은 실리콘 가속 센서의 제조 방법에 관한 것으로서 메스(Mass)의 모서리에 언더컷이 발생하는 것을 억제할 수 있는 실리콘 가속도 센서의 제조 방법에 관한 것이다. 실리콘 가속도 센서는 진동, 충격, 가속도 등의 물리량을 전기적 신호로 감지하는 센서로서 집적회로 기술을 이용하여 초소형화, 초경량화로 제작되어지고 있다. 이러한 가속도 센서는 자동차, 비행기, 선박 등 각종 수송 수단, 그리고 공장 자동화 및 로봇 등의 제어 시스템에 있어서 필수적인 소자이고, 그 소자의 적용 및 활용 분야의 가능성은 무한하다.
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- 2005-01-27
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전기·전자 > 기타 전기/전자
본 발명의 다공질 실리콘을 이용한 실리콘 다이아프램의 제조방법은 n형 실리콘기판을 제조하는 단계와 상기 실리콘 기판에 n+불순물을 확산시켜 상기 기판의 상면의 소정의 부분에 n+확산영역을 형성하는 단계와 n형 실리콘 에피택셜층을 성장시키는 단계와 상기 n형 실리콘 에피택셜층에 통공(through-hole)을 형성하여 상기 n+확산영역중 소정부분을 노출시키는 단계와 불산(HF)용액에서 양극반응을 수행하여 상기 n+확산영역을 다공질실리콘층으로 만드는 단계와 상기 다공질실리콘층을 에칭하여 에어-갭을 형성하는 단계 및 상기 통공을 밀봉하는 단계를 포함한다.n형 실리콘 기판을 제조하는 단계와 상기 실리콘 기판에 n+불순물을 확산시켜 상기 기판의 상면의 소정의 부분에 n+확산영역을 형성하는 단계와 n형 실리콘 에피택셜층을 성장시키는 단계와 상기 n형 실리콘 에피택셜층에 통공(through-hole)을 형성하여 상기 n+확산영역중 소정부분을 노풀시키는 단계와; 불산(HF)용액에서 양극반응을 수행하여 상기 n+확산여역을 다공질실리콘층으로 만드는 단계와 상기 다공질실리콘층을 에칭하여 에어-갭을 형성하는 단계 및 상기 통공을 밀봉하는 단계를 포함하는 다공질실리콘을 이용한 반도체 장치의 제조방법 2. n형 실리콘기판을 제조하는 단계와 상기 실리콘 기판에 n+불순물을 확산시켜 상기 기판의 상면에 소정의 부분에 n+확산영역을 형성하는 단계와 n형 실리콘 에피택셜층을 성장시키는 단계와 상기 n형 실리콘 에피택셜층에 P형 압저항을 형성시키는 단계와 상기 압저항이 형성된 n형 실리콘 에피택셜층상에 Ni/Cr/Au 금속층을 증착시키는 단계와 상기 Ni/Cr/Au 금속층 및 상기 n형 실리콘 에피택셜층에 통공을 형성하여 상기 n+확산영역중 소정부분을 노출시키는 단계와 불산(HF)용액에서 양극반응을 수행하여 상기 n+확산역역을 다공질실리콘층으로 만드는 단계와 상기 Ni/Cr/Au금속층을 패터닝하는 단계와 상기 다공질실리콘층을 에칭하여 에어갭을 형성하는 단계 및 상기 통공을 밀봉하는 단계를 포함하는 다공질시리콘을 이용한 반도체장치의 제조방법
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- 2005-01-27
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전기·전자 > 기타 전기/전자
본 발명은 디지털 ×-선 사진촬영장치의 ×-선 위치검출기에 관한 것으로 특히 위치분해능 향상을 위한 ×-선 위치검출기의 동시성 선택회로에 관한 것이다. ×-선 위치검출기는 ×-선 입사위치를 측정하는 장치로서 ×-선 영상을 얻는데 사용될 수 있다. 현재 ×-선 영상을 얻는 방법으로는 ×-선, 필름, 영상판(image plate), 영상증배관, 형광체 또는 섬광체 등의 적산형이 사용되는데 이는 영상의 형태가 아나로그 형식이기 때문에 디지털화 하기가 용이치 않다. 이와는 달리 계수형의 ×-선 검출기는 입사 ×-선 광자를 계수하는 방법으로 영사자료를 디지털 형식으로 직접 얻을 수 있다.본 발명은 계수형으로 동작하는 일차원 다중선비례계수관(MWPC : Multi-Wire Proportional Chamber)에서 위치분해능 향상을 위한 것이다.일차원 다중선비례계수관은 기체형 검출기로 다수의 양극선과 음극선으로 구성되어 있으며 이 전극들은 기체가 봉입된 함(chamber)내에 있다. ×-선이 함내에 입사하면 기체를 전자와 이온으로 전리시킨다. 이때 전자는 양극으로 끌려와 양극선 표면 부근에서 전하증폭을 일으키게 된다. 또한 입사 ×-선의 위치정보는 이 양극선으로부터 획득한다. 다수의 양극선은 일정한 간격을 가지고 배치되어 있으며 이 간격에 의해 위치분해능은 결정된다. 위치분해능을 향상시키기 위하여 양극선 간격을 좁히는 것이 필요하지만 양극선 간격과 여기에 인가되는 전압은 반비례하므로 보다 좁게 양극선 간격을 유지할 경우 검출기의 국부적 방전 등으로 인하여 불안정한 동작 및 특성을 보인다. 결과적으로 본 발명에서와 같은 ×-선 검출기 구조에서는 양극선 간격의 최소값이 선정 된다.
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- 대구기술이전센터
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- 2005-01-27
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일반기술
전기·전자 > 기타 전기/전자
1. n형 실리콘기판에 선택적으로 n+불순물을 확산시켜 상기 n형 실리콘기판의 상면 소정부분에 n+확산영역을 형성하는 단계와: 양극반응을 수행하여 상기 n+확산영역을 다공질실리콘층을 산화시켜 산화막을 형성하는 단계를 포함하는 기판상에 두꺼운 산화막을 선택적으로 형성하는 방법. 2. 제1항에 있어서, 800oC∼1000oC의 산소(O2)분위기에서 25∼35분동안 n+불순물을 확산시켜 n+확산영역을 형성하는 것을 특징으로 하는 기판상에 두꺼운 산화막을 선택적으로 형성하는 방법.3. 제1항에 있어서, HF:C3H5OH:H20=10:7:7인 불산용액에서 21.5mA∼28.5mA의 전류를 45∼55분동안 인가하는 양극반을으로 다공질 실리콘층을 형성하는 것을 특징으로 하는 기판상에 두꺼운 산화막을 선택적으로 형성하는 방법.반도체 반도체 소자 및 장비, 재료 관련기술 마이크로콤포넌트 집적회로(마이크로프로세서, 마이크로콘트롤러), 다이오드, 트랜지스터, 전력용반도체, 특수용도반도체(ASIC), 화합물반도체(광소자, 마이크로웨이브소자), 메모리반도체(DRAM, SRAM, ROM), 반도체장비(공정장비,조립장비,검사장비), 반도체재료(기능재료, 공정재료, 구조재료), 반도체패키지, 리드프레임, 캐패시터, 정류소자, 증폭소자, 발진소자, 스위칭 소자, 광전소자
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- 2005-01-27
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전기·전자 > 기타 전기/전자
본 발명은 디지털 ×-선 사진촬영장치의 ×-선 위치검출기에 관한 것으로 특히 위치분해능 향상을 위한 ×-선 위치검출기의 동시성 선택회로에 관한 것이다. ×-선 위치검출기는 ×-선 입사위치를 측정하는 장치로서 ×-선 영상을 얻는데 사용될 수 있다. 현재 ×-선 영상을 얻는 방법으로는 ×-선, 필름, 영상판(image plate), 영상증배관, 형광체 또는 섬광체 등의 적산형이 사용되는데 이는 영상의 형태가 아나로그 형식이기 때문에 디지털화 하기가 용이치 않다. 이와는 달리 계수형의 ×-선 검출기는 입사 ×-선 광자를 계수하는 방법으로 영사자료를 디지털 형식으로 직접 얻을 수 있다.본 발명은 계수형으로 동작하는 일차원 다중선비례계수관(MWPC : Multi-Wire Proportional Chamber)에서 위치분해능 향상을 위한 것이다.일차원 다중선비례계수관은 기체형 검출기로 다수의 양극선과 음극선으로 구성되어 있으며 이 전극들은 기체가 봉입된 함(chamber)내에 있다. ×-선이 함내에 입사하면 기체를 전자와 이온으로 전리시킨다. 이때 전자는 양극으로 끌려와 양극선 표면 부근에서 전하증폭을 일으키게 된다. 또한 입사 ×-선의 위치정보는 이 양극선으로부터 획득한다. 다수의 양극선은 일정한 간격을 가지고 배치되어 있으며 이 간격에 의해 위치분해능은 결정된다. 위치분해능을 향상시키기 위하여 양극선 간격을 좁히는 것이 필요하지만 양극선 간격과 여기에 인가되는 전압은 반비례하므로 보다 좁게 양극선 간격을 유지할 경우 검출기의 국부적 방전 등으로 인하여 불안정한 동작 및 특성을 보인다. 결과적으로 본 발명에서와 같은 ×-선 검출기 구조에서는 양극선 간격의 최소값이 선정 된다.
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- 2005-01-27
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전기·전자 > 기타 전기/전자
본 발명 마이크로머시닝 방법에 의하면 고온의 열처리를 필요로 하지 않으며, HF 용액속에서 양극반응시 화학적 및 전기적 절연특성이 우수한 폴리이미드 마스킹을 이용함으로써 신호처리회로 및 변환 소자부를 보호할 수 있을 뿐만아니라 정교한 미세구조물을 용이하게 제조할 수 있는 장점이 있다. 폴리이미드 마스킹을 이용한 다공질실리콘 마이크로머시닝방법은 개발단계에서 부터 시제품생산에 이르기까지 발전가능성이있는 기술이다.본 발명은 미세구조물을 제조하는 마이크로머시닝 방법에 관한 것으로, n형실리콘기판을 세척하여 실리콘 산화막을 성장시키고 실리콘산화막을 선택적으로 식각하여 n+확산창을 열고 P0Cl3를 주입확산시켜 n+ 확산영역을 형성한 다음 실리콘산화막을 제거하고 n형 실리콘에 피택셜층을 성장시키는 단계와; 상기 n형실리콘에피택셜층에 신호처리회로 및 변환소자부를 형성한 후 버퍼산화막과 질화막을 순차 증착하고 소자의 접촉부를 정의하고 난다음 Au/Ni-Cr막을 증착하여 금속패턴을 정의하는 금속화공정 단계와; 금속화공정이 끝난 기판위에 폴리이미드를 도포하고 폴리이미드를 부분적으로 선택식각 하여 패턴을 정의하고 난 후 습식식각 또는 건식식각법으로 상기 n형실리콘에피택셜층을 식각하여 n+확산영역을 노출시키는 단계와; 고농도 HF 용액에서 정전류 또는 정전압원으로 양극반응시켜 상기 n+확산영역을 다공질실리콘층으로 만들고, 다공질실리콘층을 NaOH용액에서 식각하여 동공(12;cavity)을 형성하고 상기 폴리이미드를 제거하는 단계로 이루어져 고온의 열처리를 필요로 하지 않으며, HF 용액속에서 양극반응시 화학적 및 전기적 절연특성이 우수한 폴리이미드 마스킹을 이용함으로써 신호처리회로 및 변환 소자부를 보호할 수 있을 뿐만아니라 정교한 미세구조물을 용이하게 제조할 수 있는 폴리이미드 마스킹을 이용한 다공질실리콘마이크로머시닝 방법이다.
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- 2005-01-27
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일반기술
전기·전자 > 기타 전기/전자
본 발명은 가속도센서 및 진동센서의 질량을 제조하는 질량제조방법에 관한 것으로서, 특히 집적회로공정이나 미세구조공정과는 독립적인 공정으로 수행하여 공정이 간편하고 양산적용에 이상적이면서도 정확한 질량을 원하는 부분에 선택적으로 다량 올릴 수 있는 메탈페이스트 디스펜싱(metal paste dispensing)방법을 이용한 가속도센서 및 진동센서의 질량제조방법에 관한 것이다. 기존의 질량의 제조방법이 갖는 결점및 문제점들을 해결하고자 발명된 기술로서 여러가지 장점을 가지고 있는 기술이다.본 발명은 종래 질량의 제조방법이 갖는 결점 및 문제점들을 해결하고자 발명한 것으로, 메탈 페이스트 디스펜싱(metal paste dispensing)방법을 이용하여 정확한 질량을 원하는 부분에 선택적으로 다량 올릴수 있고, 형성된 질량의 미세편차는 하이브리드 집적회로(hybrid IC)출력단의 저항크기를 트리밍(trmming)할때 완전히 보정되며, 또 집적회로공정이나 미세구조공정과는 독립적으로 수행될 수 있기 때문에 공정이 간편하고 양산적용에 이상적이며 다량의 질량을 형성할 수 있고 하나의 칩위에 서로 다른 질량을 가지는 여러가지 센서를 함께 제조하기 쉬운 가속도센서 및 진동센서의 질량제조방법을 제공함에 그 목적이 있다. 상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명 메탈페이스트 디스펜싱방법을 이용한 가속도센서 및 진동센서의 질량제조방법은 실리콘웨이퍼를 초기세척한 후 진공증착법으로 Ni박막을 증착하고, Ni박막을 사진식각법과 습식식각으로 패턴을 형성한 후 열처리하여 Ni실리사이드를 형성하며, NH4OH로 Ni산화막을 제거한 다음 Ni박막에 디스펜서(dispenser)를 사용하여 메탈페이스트(metal paste)를 정량 올리고 난후 180∼200 ℃의 온도로 열처리하여 메탈페이스트를 경화시키는 것을 특징으로 한다.
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전기·전자 > 기타 전기/전자
본 발명은 가속도센서나 진동센서의 사이즈믹프루프-매스(seismic proof-mass)를 제조하는 방법에 관한 것으로서, 특히포토레지스트를 이용한 리소그라피(lithography)방법으로 필요부분에만 선택적으로 진동질량을 정량 전기도금하는 선택적인 금속도금법(Electro-Plating Method)을 이용한 가속도센서 및 진동센서의 질량제조방법에 관한 것이다. 선택적인 금속 도금법을 이용한 가속도 센서 및 진동 센서의 질량 제조 방법 은 발명기초단계부터 개발에 이르기 까지 여러가지 장점이 있는 기술이다본 발명의 진동질량 제조방법에 의하면 정확한 질량을 원하는 부분에 선택적으로 용이하게 전기도금할수 있고, 하이브리드 IC(hybrid IC) 출력단의 저항 크기를 트리밍(triming) 할 때 완전히 보정될 수 있는 장점 뿐만 아니라, 질량형성부분의 크기를 리소그라피(lithography)방법으로 정의할 수 있기 때문에 하나의 칩 위에 서로 다른 질량을가지는 여러가지 센서를 함께 제조하기 편리한 공정상의 장점이 있다. 특히포토레지스트를 이용한 리소그라피(lithography)방법으로 필요부분에만 선택적으로 진동질량을 정량 전기도금하는 선택적인 금속도금법(Electro-Plating Method)을 이용한 가속도센서 및 진동센서의 질량제조방법에 관한 것이다.
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- 2005-01-27
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전기·전자 > 기타 전기/전자
본 발명은 각종센서나 액츄에이터를 제조하기 위하여 사용되는 실리콘 미세구조를 형성하는 방법에 관한 것으로서, 특히 다공질 실리콘위에 실리콘 에피탁시층을 형성하여 임의 형상의 미세 기계구조물을 정확히 제어하여 구현하는 다공질 실리콘 에피탁시법을 이용한 실리콘 미세구조의 형성방법에 관한 것이다 .다공질 실리콘에 피탁시법을 이용한 실리콘 미세 구조의 형성 방법은 발명의 기초단계에서 연구 개발까지여러가지 장점을 이용하여 만들어졌다. 실리콘을 식각하여 미세구조를 3차원적으로 형성하는 방법은 일반적으로 건식식각법과 습식식각으로 크게 대별된다.그런데 종래의 건식식각이나 습식식각으로 식각을 할 경우 선택 식각 및 식각정지를 제어하기 어려워 정확한 구조물을 만들기 쉽지 않아 양산에 적용하는데에는 많은 문제가 있다. 본 발명은 상기한 종래 실리콘 미세구조를 형성하는 방법이 갖는 문제점을 해결하고자 발명한 것으로, 다공질 실리콘위에 실리콘 에피탁시층을 형성하여 에피탁시층을 식각함으로써 임의 형상의 공간을 정확히 제어하여 다른 집적회로소자 제조공정과는 완전히 독립적으로 영향을 주지 않고 수행되어 임의형상의 실리콘 미세구조를 형성하는 다공질 실리콘 에피탁시법을 이용한 실리콘 미세구조의 형성방법을 제공함에 그 목적이 있다.
- 보유기관
- 대구기술이전센터
- 등록일
- 2005-01-27
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시중에 일반적으로 사용되고 있는 콘센트의 경우 젓가락 2개를 동시에 또는 핀셋을 사용하여 콘센트 구멍 내부로 삽입이 가능해 감전의 우려가 있다. 7세 이하 정도의 어린아이들은 콘센트 구멍보다 작은 물체를 플러그를 모방해 콘센트 구멍에 삽입하려는 경향이 있어 위험하다. 플러그를 콘센트 구멍에 일치 시킨 후 돌려서 사용하는 비교적 안전한 제품이 있으나 불편하고, 기존의 콘센트 내부 부속품 양쪽을 붙들고 있다가 플러그 삽입시 구멍 양쪽에 뾰족 튀어 나온 부분이 벌어지면서 들어가는 제품도 있으나 미관이 좋지 않고 플러그와 비슷한 크기의 못이나 십자드라이버에는 취약해 보여 기존의 제품을 대체하기에는 한계가 있다. 하지만 저의 제품의 경우 기존제품과 비교해 디자인,편리성,안전성 어느 것에도 뒤질 부분이 없다.콘센트의 내부에 슬라이딩 가능한 두개의 안전커버가 중첩 배치되고 그 사이에 스프링이 들어 있어, 플러그를 꽂지 않았을 때는 콘센트의 두 구멍을 막고 있고 플러그를 꽂았을때는 안전커버의 삽입공과 연통되는데 삽입공의 내면에는 계단부가 형성되어 있고 계단부의 양쪽에 경사부가 있어 정격규격의 플러그는 경사부를 통해 삽입가능하나, 젓가락등은 계단부의 홈이 파진 곳에 걸리게 되어 계단부에서는 슬라이딩이 곤란하게 되어 있다. 즉, 핀셋이나 두개의 젓가락등을 동시에 콘센트 구멍에 꽂을 수 없는 구조로 되어 있으며, 사용방법도 기존의 콘센트와 전혀 다르지 않아 편리성이 있다. 전기의 특성상 두선이 맞닿을 경우에 화재나 감전의 위험이 한쪽선만을 접촉했을 때보다 훨씬 커 기존의 콘센트(한 쪽 선만 차단 가능하고 핀셋 등 두선 모두 동시에 꽂았을 경우 전혀 안전하지 못한)와는 비교가 되지 않을 정도로 안전하다.
- 등록일
- 2005-01-27
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무더운 여름철이나 추운 겨울철에 내부 케이싱에 위치시킨 발을 시원하게 또는 따뜻하게 유지하여 사용자에게 상쾌한 느낌을 제공할 수 있고, 발바닥에 대한 마사지 효과를 추가로 제공할 수 있어서 건강증진에도 유익한 발 안마장치가 개시되어 있다. 본 발명에 따른 발 안마장치에서는, 콘테이너 내에 내부 케이싱을 설치하고, 내부 케이싱 주위로 관형상의 증발기, 증발기와 연통하는 압축기, 압축기와 연통하며 상기 콘테이너의 측벽 하부 내측에 배치된 관형상의 응축기, 그리고 상기 응축기 및 상기 증발기와 연통하는 캐필러리 튜브를 구비하는 냉방 시스템을 배치한다. 또한, 내부 케이싱 주위로 관형상의 히이터 라인 및 상기 히이터 라인과 전기적으로 접속된 파워 라인을 배치하며, 내부 케이싱의 외측 아랫쪽에는 맛사지판을 진동시키기 위한 진동모터를 설치한다. 또한, 내부 케이싱과 콘테이너 내벽 사이에는 송풍기와 전기 펌프를 설치한다. 송풍기는 냉기/난기를 순환시킬수 있는 송풍기류를 제공한다. 전기 펌프는 내부 케이싱에 물을 채워서 사용할 때, 물의 일부를 순환시켜서 냉기/난기를 유동시킬 수 있는 수류를 형성한다.외측 상부에는 한쌍의 손잡이(102)가 부착되고, 상측에는 배기구(103)가 형성된 콘테이너(101); 상기 콘테이너(101) 내에 설치되고, 바닥(111)에는 다공성의 맛사지판(112)이 부착되며, 일정량의 물을 수용하기에 적합한 내부 케이싱(110); 상기 내부 케이싱(110) 주위로 배치된 관형상의 증발기(140), 제 1 냉매 증기통로(161)를 통해서 상기 증발기(140)와 연통하는 압축기(142), 제 2 냉매 증기통로(162)를 통해서 상기 압축기(142)와 연통하며 상기 콘테이너(101)의 측벽(101b) 하부 내측에 배치된 관형상의 응축기(144), 그리고 제 3 냉매 증기통로(163)를 통해서 상기 응축기(144)와 연통하고 제 4 냉매 증기통로(164)를 통해서 상기 증발기(140)와 연통하는 캐필러리 튜브(143)를 구비하는 냉방 시스템; 상기 내부 케이싱(110) 주위로 배치된 관형상의 히이터 라인(130) 및 상기 히이터 라인(134)과 전기적으로 접속된 파워 라인(134)을 구비하는 난방 시스템; 상기 내부 케이싱(110)의 외측 아랫쪽에 배치되고, 상기 맛사지판(112)을 진동시키기 위한 진동모터(190); 상기 콘테이너(101)의 상부 일측에 위치하는 계기판(104) 상에 장착되고, 상기 냉방 시스템, 상기 난방 시스템 및 상기 진동모터(190)의 작동 신호를 인가하는 스위치 수단; 그리고 외부의 전력공급원으로부터 동력을 전달받으며, 상기 스위치 수단으로부터 인가되는 신호에 따라 상기 냉방 시스템, 상기 난방 시스템, 상기 진동모터(190)의 작동을 제어하기 위한 컨트롤러(150)를 포함하는 것을 특징으로 하는 발 안마장치.
- 등록일
- 2005-03-02
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전기·전자 > 기타 전기/전자
본 고안은 농형 유도전동기의 회전로타를 구조 변경하여 유도전동기의 운전 특성을 개선하고자 하는 창안이다. 농형 유도전동기는 구조가 간단하고 취급이 쉬우나 기동 시 회전 토르크의 감소와 함께 많은 기동전류의 소요등이 따르며 또한 과부하시 회전토르크가 감소됨으로 인하여 더욱 많은 운전전류의 소요등의 문제점이 있다. 특히 대형 유도 전동기의 경우에는 단점들이 더욱 부각된다. 이의 문제점들을 개선 하기 위하여 권선형 유도기를 일부에서 채용하고 있느나 구조가 복잡하고 제어가 까다로우며 농형 유도전동기의 단점을 완전하게 보완하지 못하며 취급의 곤란함, 크기의 증가등의 단점이 있다. 본 고안은 이러한 문제점들을 개선하기 위하여 농형 유도전동기의 Rotor 에 방사형으로 2~3 회의 권선이 감기고 두께가 얇은 보조 Rotor 를 부착함으로써 유도전동기의 단점들을 모두 보완하도록 하였다. 보조 Rotor 는 바퀴 형식의 방사형 자로를 갖추고 자로에 권선된 도선은 주 Rotor 의 유기선과 연결되어 주 Rotor 에 유도되어 흐르는 전류의 위상각을 크게하여 회전 토르크를 증가시키며 기동시 또는 과부하시 많은 전류가 흐를시 Reactance 의 증가로 인하여 대전류가 흐르지 못하도록 하여 운전특성을 현저히 개선하는 역할을 한다. 정속 운전시에는 슬립의 감소로 인한 유도전압의 감소와 함께 2차권에 흐르는 전류의 주파수가 매우 낮아지므로 Reactance 가 아주 작아지게 되어 정속 운전에 영향을 미치지 않도록 된다. 본 고안은 유도기의 과부하시나 기동시등 슬립이 증가되었을때 전기자 권선을 보호하게 되어 소손을 방지하며 특히 부하가 증가되었을시의 전동기 효율이 현저히 개선되도록 유도전동기의 Rotor 의 구조를 변경한 창안이다. 1) 원리 1>유도전동기의 정확한 회전 원리와 기동초기 또는 과부하시 운전전류의 소요에 비해 회전 토르크가 작아지는 이유는 아래와 같다. ① 유도전동기가 기동초기 또는 과부하시의 특성은 변압기와 유사한 전기적 현상 을 나타내며 공학적인 이론의 측면에서도 동일하게 취급 되어진다. 일반적으로 유도전동기의 기초원리 이론에서는 전기자의 회전자계에 의해 플레밍의 오른손 법칙에 따라 2차 권선에서의 유도전류에 의한 현상으로 설명 되어지고 있으나 그와는 달리 실제로는 전기자 자극의 위치 변동에 의하여 로타에 자속의 변화가 발생되어 마치 변압기처럼 전자 유도 현상에 따라 유도 전류가 흐르게 되고 변압기와 동일한 이론의 결과가 나타 내어지게 된다. 이는 일반적으로 해석되는 유도전동기의 기초원리 이론과는 다른 현상이라 보아야 한다. 실제로 전기자 자극이 직접 회전하지 않는 이상은 로타 권선에서 발전기와 같은 유도 현상은 일어나지 않는다. ② 로타에서 회전 토르크가 발생하는 이유는 로타에서의 유도되는 전압과 전류의 위상차에 의해 전류가 늦게 흐르게 됨으로써 전기자 자극의 위치 변동에 의하여 전기자 자극과 로타 전류 간에 플레밍의 왼손 법칙에 의해 발생되어지고 또 전기자의 자기장과 로타의 자기장 간의 일치력에 의존되어 토르크의 발생이 형성된다.
- 보유기관
- 경북기술이전센터
- 등록일
- 2005-03-02
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전기·전자 > 기타 전기/전자
본 발명은 회전자의 중앙부에 암나사부를 형성한 뒤에 수나사부재를 상기 회전자와 결합하여 회전자의 회전으로 고정된 수나사부재의 길이 방향으로 이동하기 때문에 구조가 간단하여 전동기의 설치 장소를 별도로 마련할 필요가 없어 직선 운동장치의 부피를 줄일 수 있으며, 회전자의 중심부에 수나사부재가 체결되기 때문에 별도의 센터링 작업을 하지 않아 조립 작업이 용이하고, 수나사부재에 작용되는 비틀림이 발생하지 않게 되는 등의 효과를 발휘한다.동력으로 직선운동을 발생하는 직선운동용 전동기에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 전동기 자체를 수나사부재의 길이 방향으로 이동시킴으로써 간단한 구조로 직선운동을 용이하게 실현할 수 있도록 하는 직선운동용 전동기에 관한것이다. 미닫이 방식의 문이나 창문, 공작기계의 공작물이동, 두개의 직선운동으로 구성된 평면운동 등에 기본적으로 사용된다. 상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 직선운동용 이동부재가 결합되는 케이스의 내부에 고정자가 설치되어 자기력을 발생하게 되고, 상기고정자의 자기력에 의하여 회전하는 회전자가 상기 고정자의 중앙에 위치하는 전동기에 있어서, 케이스의 중앙부에 두 개의 베어링을 각각 설치하고, 회전자의 중앙부에 암나사부를 형성하여 상기 베어링을 통하여 삽입되는 수나사부재에 상기 회전자를 나사 결합하는 것으로 이루어지는 직선운동용 전동기를 제공한다.
- 등록일
- 2005-03-02
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전기·전자 > 기타 전기/전자
본 발명은 벨트구동식 압축기를 이용하여 주 냉동시스템을 구성한 냉동차량에 있어서, 엔진이 정지 시에도 외부 교류전원을 이용하여 냉동기능을 수행할 수 있는 냉동차량 장착용 보조 냉동 시스템에 관한 것이다. 이를 위하여 본 발명에서는 냉매가스를 압축하고 냉동유를 회수, 저장하는 교류전원 냉동 압축장치 결합체와 이를 냉동차량의 주 냉동 시스템 냉동배관에 접속시키는 연결배관 키트, 주 냉동시스템과 보조 냉동시스템의 냉매량을 선택적으로 조절하는 냉매량 조절장치, 보조 냉동시스템의 작동을 조절하고 제어하는 전기제어장치 결합체 등으로 구성되는 냉동차량 장착용 보조냉동 시스템과 이 시스템의 작동방법을 제시한다. 따라서 냉동효율과 내구성이 향상됨과 동시에 차량 장착 작업성과 사용상 편리성이 개선되고, 주 냉동장치에 접속하여 개별적으로 작동시킬 경우에도 냉동사이클 및 전기제어장치의 구성상 원활한 냉동기능의 수행이 가능한 냉동차량용 보조 냉동시스템이다.본 발명은 벨트구동식 압축기를 이용하여 주 냉동시스템을 구성한 냉동차량에 있어서 엔진이 정지 시에도 외부 교류전원을 이용하여 냉동기능을 수행할 수 있는 냉동차량 장착용 보조 냉동 시스템에 관한 것이다. 따라서 본 발명을 통하여 냉동효율과 내구성이 향상됨과 동시에 차량 장착 작업성과 사용상 편리성이 개선되고 주 냉동장치에 접속하여 개별적으로 작동시킬 경우에도 냉동사이클 및 전기제어장치 결합체 등으로 구성되는 냉동차량 장착용 보조냉동 시스템을 제시하는 것이다. 본 발명에서 교류전원 냉동압축장치 결합체는 저온 저압의 냉매를 압축하여 고온 고압의 냉매가스로 만드는 기능을 하며 밀폐형 압축기이외에도 반폐형(Semi-hermetic) 압축기나 가변속 압축기(Variable speed compressor)들도 적용할 수 있다. 그리고 이러한 장치들을 차량에 간편하게 장착할 수 있도록 차량장착용 케이스에 내장하고 토출측과 흡입측에는 각각 서비스 밸브나 솔레노이드 밸브를 부착하여 연결배관 키트의 접속을 편리하게 하여 필요한 경우 차량에서 분리할 수 있도록 하는 특징을 갖는다.
- 보유기관
- 경북기술이전센터
- 등록일
- 2005-03-02
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전기·전자 > 기타 전기/전자
본 고안은 플러그에 관한 것으로서, 특히 하부몸체의 단자에 전선을 고정한 후 이와 힌지 결합되는 상부몸체를 덮어 이에 구비된 절삭날로 전선의 피복을 절단할 수 있도록 함으로써, 외부에서 전선을 잡아 당기면 회동레버에 의해 외부 이탈이 방지되는 전선내의 구리선이 피복의 분리로부터 외부로 노출되어 단자와 바로 접속될 수 있도록 하는 등 상하부몸체의 결합과 동시에 플러그의 배선이 이루어질 수 있도록 한 전선의 원터치 플러그 구조를 제공한다.하부몸체의 단자에 전선을 고정한 후 이와 힌지 결합되는 상부몸체를 덮어 이에 구비된 절삭날로 전선의 피복을 절단할 수 있도록 함으로써, 외부에서 전선을 잡아 당기면 회동레버에 의해 외부 이탈이 방지되는 전선내의 구리선이 피복의 분리로부터 외부로 노출되어 단자와 바로 접속될 수 있도록 하는 등 상하부몸체의 결합과 동시에 플러그의 배선이 이루어질 수 있도록 한 전선의 원터치 플러그 구조를 제공하는데 그 목적이 있다.
- 등록일
- 2005-03-02
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