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일반기술 기계 > 단위기계 요소부품

도파관 밸브

본 기술은 진공상태하에서 대전력 초고주파를 전달하는 경로상에 설치되어 별도의 결합수단 없이 대전력 초고주파의 전송과 진공차단을 수행하는 도파관 밸브에 관한 것이다. 일반적으로 도파관 밸브로는 SLAC형, IHEP형, SLC형이 사용되고 있으며, 이 중 SLAC형은 전력전송의 결합방식이 아이리스를 통해 이루어지기 때문에 대전력 전송시 초고주파 절연파괴가 자주 발생되고, IHEP형은 진공차단을 위해 나이프 에지와 인듐시일을 사용하기 때문에 여러 번 반복하여 사용하는 경우에는 금속 인듐시일면에 이빨자국이 생기고, 또한 나이프 에지면에 인듐 조각이 고착될 수 있으므로 대전력 전송시 고주파 절연파괴가 발생되며, SLC형은 choke short 방식으로 마이크로파 누설을 차단하고 있으나 여전히 고주파 절연파괴의 가능성이 있고, 진공시일의 이동 메카니즘 및 구조가 복잡한 문제가 있다. 반면, 본 기술은 진공상태하에서 대전력 초고주파를 전달하는 경로상에 설치되어 별도의 결합수단 없이 대전력 초고주파의 전송과 진공차단을 수행함으로서 대전력 전송시 발생되는 고주파 절연파괴를 방지할 수 있도록 하여 전송 용량을 늘릴 수 있도록 하였다. 본 기술의 도파관 밸브는 진공챔버와 상면이 진공챔버의 하면을 형성하도록 설치되며, 그 하부에 진공챔버와 연통되는 고주파 유입통로와 배출통로가 형성된 도파관 연결부와 진공챔버 내부에 제1액튜에이터에 의해 상하로 이동가능하게 설치되며, 도파관 연결부의 상면과 접촉되어 고주파 유입통로와 배출통로를 연결시키는 U자형 도파관과, 도파관 연결부의 상면에 제2액튜에이터에 의해 직선 왕복 이동 가능하게 설치되며, 고주파 유입통로를 선택적으로 진공차단시키는 진공기밀판으로 이루어진 특징이 있다. 본 기술에 의하면 대전력 초고주파 전송시 발생되는 고주파 절연파괴를 방지할 수 있어 전송 용량을 80MW 이상으로 늘릴 수 있게 되고, 구조가 단순하여 원가를 절감할 수 있게 되며 조작이 편리한 이점이 있다.

보유기관
포항공과대학교
등록일
2001-05-15
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일반기술 기계 > 기타 산업·일반기계

온 머신측정과 반복가공을 이용한 공작기계의 가공정밀도 향상방법

본 기술은 가공된 공작물을 공작기계에서 분리하지 않고 측정한 후 오차를 보상하여 공작물을 반복가공하는 수치제어 공작기계를 이용한 공작물 가공방법에 관한 것이다. 일반적으로 측정점의 반대편 경로를 따라서 재가공함으로써 가공오차를 보상하는 방법은 재가공시 공작기계상에서의 가공좌표를 1차 가공때의 공작물의 가공좌표와 정확히 일치시킬 수 없어 3차원 좌표측정기로 측정하여 계산된 오차가 정확히 보상되지 못하는 단점이 있으며, 공작기계의 주축에 공구 대신에 터치프로브를 장착하여 치수를 이미 알고 있는 기준 형상을 공작기계상에서 측정을 한 후, 측정된 값을 공작기계에 반영하여 오차를 보상하는 방법으로 공작기계의 무부하상태 오차, 즉 스핀들을 회전하지 않고 단순히 공구의 위치 이동에 의한 오차만 보상되고 주요한 가공오차의 원인이 되는 스핀들 회전에 의한 부하상태에서 발생되는 오차를 보상하지 못하는 문제가 있다. 본 기술은 공작물을 가공한 후 가공된 공작물을 공작기계에서 분리시키지 않고 가공좌표의 변경없이 측정기를 이용하여 가공된 공작물을 측정한 후, 오차 보상하여 공작물을 반복가공함으로써 공작기계의 가공정밀도를 향상시킬 수 있도록 하였다.본 기술은 공구를 사용하여 공작물을 가공하는 1차 가공단계, 1차 가공단계에서 가공된 공작물을 공작기계에서 분리시키지 않은 상태에서 측정기를 사용하여 그 치수를 측정하는 온 머신 측정단계, 온 머신 측정단계에서 측정된 공작물의 치수와 가공목표로 하는 공작물의 치수와의 오차를 계산하는 가공오차 계산단계, 소정의 오차보상 알고리즘을 이용하여 오차보상 공구경로를 산출하는 오차보상 공구경로 산출단계 및 오차보상 공구경로 산출단계에서 산출된 오차보상 공구경로에 따라 공구를 사용하여 공작물을 재가공하는 오차보상 가공단계로 이루어진 특징이 있다. 본 기술에 의하면 온 머신 측정과 반복가공을 이용한 공작기계의 가공정밀도 향상방법은 1차 가공된 공작물을 분리시키지 않고, 온 머신 측정을 하여 오차보상 반복가공함으로써 공작물을 분리하여 측정하고 다시 장착하는 번거러움을 없앨 수 있을 뿐만 아니라, 공작기계의 가공오차를 빠른 시간안에 측정 및 보상을 하여 고정밀도의 가공을 할 수 있는 효과가 있다.

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포항공과대학교
등록일
2001-05-15
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일반기술 전기·전자 > 소프트 스위칭 기술

콘센트 조립체

본 기술은 각종 전자기기의 플러그와 결합되어 전원을 공급하는 콘센트 조립체에 관한 것이다. 일반적으로 멀티 탭을 이용하여 전자기기에 전원을 공급하기 위한 전선의 길이를 연장하는 것은 벽이나 바닥면에 고정된 콘센트에 매번 탭의 플러그를 꽂아 연결하여야 하므로 번거롭고, 멀티 탭이 외부로 노출되어 있으므로 외관상 좋지 않으며, 또한 작업에 방해가 되며, 멀티 탭에 다수의 콘센트를 연결하는 경우 주위의 환경이 어지럽혀져서 사용중인 기기들이 바닥으로 떨어지기도 하는 문제가 있다. 반면, 본 기술은 전선감기릴을 통해 콘센트 조립체로부터 전선을 인출 및 인입시켜 그 길이를 가변시킬 수 있도록 하여 전선의 정리와 회수가 용이하도록 하였다. 본 기술은 전선이 감기는 방향으로 회전시키는 스파이럴 스프링에 의해 전선을 감는 전선 감김릴로 이루어져 케이스의 내부에 설치되는 전선 감김수단, 전선 감김수단에 감긴 전선의 단부에 고정 설치되는 콘센트, 콘센트 양측의 버튼 각각에 형성된 결합홈과 케이스의 인입부 양측에 형성된 돌기의 결합 및 해제를 통해 콘센트를 케이스의 전면에 고정 및 해제하는 콘센트 고정수단 및 케이스의 내측에 제1가이드 부재에 대해 스프링의 탄성력을 통해 전선을 제1가이드 부재측으로 상시 밀착시키는 제2가이드 부재로 이루어져 전선 감감수단으로부터 풀리는 전선의 인입 및 입출을 제어하는 스토핑 수단으로 구성된 특징이 있다. 본 기술에 의하면 벽에 고정된 콘센트 조립체로부터 전선과 연결된 콘센트를 인출 및 인입시킬 수 있으므로 종래와 같이 별도의 멀티 탭을 준비할 필요가 없으며, 설치 및 회수가 간편하며, 전자기기의 전원을 연결하기 위한 전선에 의해 주위가 어지럽혀지는 것을 방지하는 효과가 있다.

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포항공과대학교
등록일
2001-05-15
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일반기술 기계 > 가공기계 (L54)

마이크로드릴링 시스템의 토크-트러스트 센서

본 기술은 토크와 트러스트를 동시에 측정할 수 있도록 피삭제를 고정시킬 수 있는 구조로 설계되어 드릴 하부베드에 용이하게 장착될 수 있는 마이크로드릴링 시스템의 토크-트러스트 센서에 관한 것이다. 일반적으로 마이크로드릴링을 이용한 정밀 미세가공시의 절삭력은 토크와 트러스트가 있으며, 트러스트는 기존의 센서로도 측정이 가능하지만, 토크의 경우에는 드릴의 직경이 작아서 측정이 거의 불가능하고, 가공 중의 드릴 비트에 가해지는 토크는 Nm이하로 결정되나, 종래의 토크 센서 등의 경우에는 측정 분해능의 한계로 토크의 측정이 어렵고 실제 이를 시스템에 장착하여 토크를 측정하는 것은 더욱더 어려운 문제가 있다. 반면, 본 기술은 피삭제를 고정시킬 수 있는 구조로 설계되어 드릴 하부베드에 용이하게 장착될 수 있도록 함으로써 토크 및 트러스트를 동시에 측정할 수 있도록 하였다.본 기술은 각각 중앙에 리니어 가이드를 구비하는 상단부와 하단부로 구성된 토크 센서 본체, 리니어 가이드에 형성된 나사부에 결합되도록 상하단에 나사가 돌출형성되고 중앙에 토크를 감지하는 스트레인 게이지가 부착되는 시편, 상부 리니어 가이드의 상부에 결합되는 피삭제 고정 베드, 토크 센서 본체의 하단부 아래의 드릴 하부베드와의 사이에 부착되어 트러스트를 감지하는 트러스트 센서로 이루어져, 토크와 트러스트를 분리하여 각각 측정할 수 있도록 한 특징이 있다. 본 기술에 의하면 토크-트러스트 센서는 드릴 가공시 토크와 트러스트를 동시에 측정할 수 있고, 피삭제를 센서시스템에 고정시킬 수 있는 구조로 설계하여 드릴 하부베드에의 장착이 용이한 효과가 있다.

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포항공과대학교
등록일
2001-05-15
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일반기술 전기·전자 > 소자응용 기술

스틱형 다이얼링 장치

본 기술은 전화기 본체에서 버튼기판을 스틱형식으로 대체한 전화기의 스틱형 다이얼링 장치에 관한 것이다. 일반적으로 사용되고 있는 고정식전화기 및 이동식 전화기는 전화기의 본체 전면에 설치된 숫자판을 누름으로써 숫자신호를 생성하여 통화를 수행하였다. 이러한 방식의 종래 기술은 기판에 0부터 9까지의 숫자버튼 및 특수버튼 등이 구비되어야 하므로 전화기를 소형화하는데 문제가 있었다. 본 기술은 전화기 본체에서 장소를 넓게 차지하는 버튼기판을 스틱형식으로 대체하여 전화기의 크기를 소형화시키고, 나아가 전화기 본체와 다이얼링 장치를 분리할 수 있도록 구성하여 필요에 따라 다이얼링 장치와 본체를 별도로 운용할 수 있는 스틱형 다이얼링 장치를 제공한다. 본 기술은 상부면에 적어도 10쌍 이상의 접점이 마련된 하나의 구멍을 형성하는 케이스, 케이스의 바닥면에 하단부가 연결되어 상부로 연장되는 한편 구멍을 통과하여 케이스의 상부로 일정길이 연장되고, 평상시 수직의 위치를 유지하도록 탄성수단이 구비된 탄성스틱, 탄성스틱을 감싸 구멍 내주부에 마련된 각각의 접점과 접속할 수 있는 높이에 마련되는 접속부재, 접점과 전기적으로 연결되어 케이스의 하부에 구비되는 한편 외부 본체와 접속되는 소켓으로 이루어진다. 본 기술에 의하면 스틱형 다이얼링 장치를 전화기에 적용할 경우 전화기의 전면에 설치되는 번호판을 없앨 수 있으므로 전화기그이 크기를 줄일 수 있는 효과가 있다. 또한, 전화기 본체와 다이얼링 장치의 탈착이 용이하므로 통화를 하는 동안에도 본 스틱형 다이얼링 장치를 분리하여 다른 전화기의 본체에 장착 사용할 수 있는 효과가 있다.

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포항공과대학교
등록일
2001-05-15
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일반기술 정보 > 컴퓨터 본체

휴대용 전자식 점자리더

본 기술은 문자정보를 시각장애인이 인식할 수 있는 점자로 변환시키기 위한 시각장애인용 전자식 점자 리더에 관한 것이다. 일반적으로 점자체계에 의한 문자의 구현 방법은 점자프린터를 이용하여 종이에 요철을 형성시켜 점자코드를 만들어내는 방식으로 제작하는 점자도서는 사용이 반복됨에 따라 종이에 형성한 요철이 손상될 수 있고, 어느 정도 이상의 정보를 담은 점자도서는 도서 자체의 부피가 매우 커지므로 휴대하기가 매우 불편하였다. 또한, 시각장애인은 컴퓨터에 사용되는 각종 저장매체, 예컨데 시디롬이나 디스켓 등에 저장되어 있는 문장들을 읽기는 불가능한 실정이므로 시각장애인은 각종 정보들로부터 점차 소외되어 가고 있다는 문제가 있다. 본 기술은 코드변환기로부터 전달받은 점자코드 정보에 따라 전자석을 통해 릴레이를 작동시켜 점자헤드부의 점자헤드를 승강운동시킴으로써 시디롬이나 디스켓 등의 저장매체에 저장되어 있는 문자를 점자로 디스플레이시킬 수 있는 전자식 점자 리더를 제공한다.본 기술은 케이스, 케이스의 내부에서 외부의 제어에 따라 저장매체의 문자정보를 문자코드로 변환하는 중앙처리장치, 중앙처리장치로부터 문자코드를 전달받아 점자코드롤 전환하는 코드변환기 및 코드변환기로부터 점자코드를 전발받아 디스플레이시키는 디스플레이부를 이루어진다. 이때, 디스플레이부는 전자석을 다수 구비한 릴레이, 릴레이에 의해 구동되는 다수의 점자헤드부로 이루어져 코드변환기로부터 전달받은 점자코드 정보에 따라 전자석에 의해 작동되는 릴레이를 통해 점자헤드부의 점자헤드를 승강운동시켜 시디롬이나 디스켓 등의 저장매체에 저장되어 있는 문자를 점자로 디스플레이시키는 특징이 있다. 본 기술에 의하면 휴대용 전자식 점자리더는 저장매체내에 여러 가지 방식으로 저장되어 있는 문자를 점자코드로 출력함으로써, 시각장애인이 시디롬이나 디스켓 등에 저장되어 있는 문자를 간단히 읽을 수 있도록 한다. 따라서, 저장매체만 충분히 공급된다면 시각장애인들은 종래의 종이식 점자도서에만 의존하지 않고, 보다 다양한 분야의 정보를 보다 많이 접할 수 있다. 아울러 외부전원뿐 아니라 전지를 사용하여 운용할 수도 있으므로 옥내에서 뿐 아니라 야외에서도 자유롭게 사용할 수 있는 효과가 있다.

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포항공과대학교
등록일
2001-05-15
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일반기술 전기·전자 > 소프트 스위칭 기술

110V/220V 겸용 콘센트

본 기술은 전압이 110V와 220V에서 모두 사용할 수 있는 110V/220V 겸용 플러그에 관한 것이다. 일반적으로 110V용 콘센트와 220V용 콘센트는 각각 110V용 프러그와 220V용 플러그에 전용하도록 구성되어 있으므로, 110V지역으로 이사를 하거나, 특정 전기용품을 110V지역과 220V 지역에 동시에 사용할 경우에는 110V용 콘센트와 220V용 콘센트를 모두 구입하게 되는 문제점이 있다. 본 기술은 110V 지역과 220V 지역에서 하나의 110V/220V 겸용 플러그를 통해 전압에 알맞도록 교체 사용할 수 있도록 하였다.본 기술은 중심축을 중심으로 회전하는 조절노브, 조절노브의 일측에 설치되어 조절노브의 회전운동에 따라 회전하는 조절부재, 조절부재의 일측에 설치되어 한쌍의 원형공과 슬릿을 구비하는 하나 이상의 변환부재, 변환부재와 전달부재의 사이에 설치되어 조절부재의 회전운동을 변환부재에 전달하는 동력전달부재 및 동력전달부재의 일측에 설치되어 110V용 플러그와 220V용 플러그의 전극을 수납할 수 있는 인입전극부를 구비한 한쌍의 전극으로 이루어진 특징이 있다. 본 기술에 의하면 110V/220V겸용 콘센트는 간단한 조작에 의하여 110V용 콘센트와 220V용 콘센트를 상호 변환함으로써, 110V 지역에서 220V지역으로 또는 220V지역에서 110V지역으로 이동하였을 때에 모든 콘센트를 교체하지 않아도 되므로 경비와 시간을 절감할 수 있는 효과가 있다.

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포항공과대학교
등록일
2001-05-16
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일반기술 전기·전자 > 기타 반도체

이종접합 소자 제작을 위한 게이트층의 선택에칭 방법

본 기술은 이종접합 소자 제작을 위한 게이트층의 선택에칭 방법에 관한 것으로, 특히 구연산과 과산화수소의 혼합액을 사용하여 습식 에칭을 통한 선택 에칭을 수행함으로써 소자 특성의 균일도와 수율이 우수한 GaAs/AlxGa1-xAs HEMT 소자를 제작하는 방법에 관한 것으로, 본 기술은 GaAs/AlxGa1-xAs (x=0.1 내지 1.0)로 구성된 이종접합 반도체 기판위에 반도체 소자를 제작할 때, 50% 구연산 수용액과 과산화수소를 1:1 내지 3:1 범위의 중량비로 혼합하여 얻은 용액을 사용하여 GaAs 층만을 선택적으로 에칭하는 방법을 제공한다.본 기술의 구연산계의 선택에칭용액을 사용하여 에칭하면, 종래의 건식에칭에 의한 격자결함 형성 등의 단점 및 종래의 습식에칭에 의해 발생되는 에칭의 불균일도 등의 단점을 해결할 수 있으며, 동시에 소자특성의 균일도가 우수한 GaAsHEMT 소자를 제작할 수 있다

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포항공과대학교
등록일
2001-05-17
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일반기술 전기·전자 > 기타 반도체

저 접촉저항을 갖는 부정규형의 고전자 이동 트랜지스터 소자용 옴 전극의 제조방법

본 기술은 열 안정성 및 접촉저항성이 개선된 PHEMT의 Pd/Ge계 옴 전극의 제조방법에 관한 것으로, 구체적으로는 종래의 Ge/Pd/PHEMT 구조 위에, As의 외부 확산을 억제시킴으로써 열 안정성을 향상시키는 확산 방지막인 Ti 층과 접촉저항을 낮출 수 있는 Au 층이 추가적으로 증착된, 낮은 접촉저항과 향상된 열 안정성을 가진 새로운 옴 전극의 제조방법에 관한 것으로, 종래의 Ge/Pd/PHEMT 구조 위에, As의 외부 확산을 억제시킴으로써 열안정성을 향상시키는 확산 방지막인 Ti 층과 접촉저항을 낮출 수 있는 Au 층을 추가적으로 증착시킴으로써 상기 문제점을 해결할 수 있음을 발견하고 본 기술을 완성하게 되었다. 본 기술은 GaAs/AlxGa1-xAs/InGaAs(x=0.1∼0.5)로 구성된 PHEMT 반도체 소자용 옴 전극의 제조에 있어서, 종래의 Ge/Pd/PHEMT 구조 위에, As의 외부 확산을 억제시킴으로써 열 안정성을 향상시키는 확산 방지막인 Ti 층과 접촉저항을 낮출 수 있는 Au 층을 추가적으로 포함하도록 제조하는 것을 특징으로 하는 방법을 제공한다.본 기술은 접촉저항이 낮으면서도 열 안정성이 향상되어 종래의 Ge/Pd/PHEMT에 비해 50배 더 작은 최소 접촉저항을 가진 옴 전극을 제조할 수 있다.본 기술의 제조방법으로 얻어진, PHEMT 반도체 소자 제작용 Au/Ti/Ge/Pd 구조의 옴 전극은 접촉저항을 낮춤과 동시에 열안정성을 향상시켜 종래의 Ge/Pd 구조의 옴 전극에 비해 50배 더 작은 최소 접촉저항을 달성할 수 있다.

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포항공과대학교
등록일
2001-05-17
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일반기술 전기·전자 > 시험측정 기술 (B63)

광양자테 레이저를 이용한 각도 및 고도 측정 장치

본 기술은 광양자테(photonic quantum ring: PQR) 레이저를 이용한 각도 및 고도 측정 장치에 관한 것으로서, 광양자테 레이저가 시각도에 따라 다른 파장의 빛을 발진시키는 성질을 이용한 각도 및 고도 측정 장치에 관한 것으로, 시각도에 따라 각각 다른 파장의 빛을 발진하는 광양자테 레이저를 이용한 각도 및 고도 측정 장치를 제공하는 것이다.상술한 목적을 달성하기 위한 본 기술에 따른 광양자테 레이저를 이용한 각도 및 고도 측정 장치는: 상부반사판과 하부반사판 사이에 판상구조로 형성되어 그 테두리 부근에서 판상면의 수직선에 대한 시각도(θ)에 따라 각각 다른 파장의 빛을 발진시키는 광양자테(photonic quantum ring) 레이저와, 상기 광양자테 레이저에서 발진된 빛을 굴절 및 반사시키는 반사표적과, 상기 반사표적에서 굴절 및 반사된 빛을 모아 그 파장 특성을 검출하는 광 스펙트럼 분석기(optical spectrumanalyzer)를 포함한다.본 기술에 따르면 3D PQR 레이저에서 각도에 따라 다른 파장을 발진되는 성질을 이용하여 일정한 구조물의 각도 및 고도측정이 가능하게 된다.

보유기관
포항공과대학교
등록일
2001-05-17
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일반기술 전기·전자 > 소자응용 기술

고화질 텔레비젼의 비터비 복호기

본 기술은 고화질 텔레비젼(High Definition Television : 이하, HDTV라 칭함)의 비터비 복호기(Viterbi Decoder)에 관한것으로, 특히 GA(Grand Alliance) 규격의 HDTV 수신단에서 사용되는 8상태 비터비 복호기와 4상태 비터비 복호기를 하나의 비터비 복호기로 구현할 수 있도록 하는 고화질 텔레비젼의 비터비 복호기에 관한 것으로, NTSC간섭제거필터를 사용하였을 경우에 필요한 8상태 비터비 복호기와 동일한 상태천이를 가지면서 NTSC간섭제거필터를 사용하지 않을 경우에 사용할 수 있는 8상태 비터비 복호기를 구현하여 두 복호기를 하나의 복호기로 만들 수 있도록 하는 고화질 텔레비젼의 비터비 복호기를 제공함에 그 목적이 있다.이러한 목적을 달성하기 위한 본 기술에 따른 고화질 탤레비젼의 비터비복호기는 수신 심벌과 기준 심벌을 가산하는 가산부와, 싸인 비트에 따라 상기 가산부의 출력에 8을 가산하거나 8을 감산하는 가산/감산부와, 상기 가산부의 출력과 가산/감산부의 출력을 각각 제곱하는 제 1 및 제 2 제곱부와, 상기 제 1 및 제 2 제곱부의 출력의 크기를 비교하여 작은 값을 선택하도록 선택신호를 출력하는 비교부와, 상기 비교부의 선택신호에 따라 상기 제 1 또는 제 2 제곱부의 출력을 선택하여 출력하는 멀티플렉서로 구성되는 8상태 비터비 복호기를 위한 가지 메트릭 연산장치에, NTSC간섭제거필터의 사용여부 및 싸인 비트에 따라 상기 가산부 및 가산/감산부를 제어하는 스위칭부를 더 구비하여 4상태 및 8상태 비터비 복호기를 하나의 비터비 복호기로 구현할 수 있도록 함을 특징으로한다.본 기술은 NTSC간섭제거필터를 사용하지 않는 경우의 4상태 비터비 복호기를 위한 상태 천이표를 8상태로 확장하면 8상태 비터비 복호기를 위한 상태 천이표와 채널 심벌을 제외하면 상태 천이가 동일하며, 이는 4상태를 8상태로 확장한 경우와 8상태의 비터비 복호기의 구조가 동일하고 가지 메트릭 연산장치만 다름을 의미함을 이용하여 스위칭수단은 이용하여 가지 메트릭을 계산할 때 비교하는 채널 심벌을 바꾸어 줌으로써 하나의 비터비 복호기를 4상태 및 8상태 비터비 복호기로 사용할 수 있도록 한 것이다.일반적인 비터비 복호기를 설계하는 방법을 사용하여 설계가 가능하고 쉽게 제작할 수 있으며, 가지 메트릭을 계산하는데 필요한 블럭수를 줄임으로써 하드웨어가 간단해지며, 코스트를 절감시킬 수 있게된다.

보유기관
포항공과대학교
등록일
2001-05-17
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일반기술 화학 > 기타 유기화학

알루미늄 박막의 제조에 전구체로 유용한 디메틸알루미늄 하이드라이드의 점도 저하 방법

본 기술은 알루미늄 박막의 제조에 전구체로 유용한 디메틸알루미늄 하이드라이드(dimethyl aluminum hydride; DMAH)의 점도 저하 방법에 관한 것으로, 구체적으로는 액상 디메틸알루미늄 하이드라이드에 포스핀을 첨가함(이하, 얻어진 용액은혼합 용액이라 함)으로써 디메틸알루미늄 하이드라이드 액체의 점도를 현저히 저하시키는 방법에 관한 것으로, 버블러 형 및 직접 액체 주입 방법 형의 전구체 증기 이송 시스템 모두에 적용할 수 있도록 디메틸알루미늄 하이드라이드의 점도를 저하시키고 더 나아가 알루미늄 박막을 대량생산할 수 있는 방법을 제공하는 것이다.상기 목적을 달성하기 위해 본 기술은 액상 디메틸알루미늄 하이드라이드에 포스핀을 0.1 내지 5 몰%로 첨가하여 디메틸알루미늄 하이드라이드 액체의 점도를 저하시키는 방법을 제공한다.본 기술에 따른 디메틸알루미늄 하이드라이드 혼합 용액은 유기금속 화학 증착법에 의한 박막의 제조에 있어 유기금속 전구체(metal-organic precursor)로 사용될 경우 버블러형 전구체 이송 시스템에서의 버블링 효과가 뛰어날 뿐 아니라 직접 액체 주입형 이송 시스템에의 적용이 용이하고 단위 시간당 증기화되는 디메틸알루미늄 하이드라이드 양이 증가되어 알루미늄 박막의 대량생산에 유용하다.본 기술의 방법은 액상 디메틸알루미늄 하이드라이드에 소량의 포스핀을 첨가함으로써 디메틸알루미늄 하이드라이드 액체의 점도를 현저하게 저하시키는 것으로, 본 기술에 따라 얻어진 디메틸알루미늄 하이드라이드 혼합 용액은 유기금속 화학증착법에 의한 박막의 제조에 있어 유기금속 전구체로 사용될 경우 버블러형 전구체 이송 시스템에서 버블링 효과가 뛰어날 뿐 아니라 직접 액체 주입형 이송 시스템에도 용이하게 사용할 수 있고 단위 시간당 증기화되는 디메틸알루미늄 하이드라이드 양이 증가되어 알루미늄 박막의 대량생산에 매우 유용하다.

보유기관
포항공과대학교
등록일
2001-05-17
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일반기술 화학 > 기타 유기화학

비에스티 박막 제조용 바륨, 스트론튬 및 티타늄 전구체의 단일 용액

본 기술은 BST 박막 제조용 Ba, Sr, Ti 전구체의 단일 용액에 관한 것으로, 구체적으로는 Ba, Sr 및 Ti의 전구체로서 각각 Ba(DPM)2-테트라엔, Sr(DPM)2-테트라엔 및 Ti(i-OPr)2(DPM)2를 포함하고 용매로서 아민 또는 에스테르를 포함하는, Ba,Sr 및 Ti 전구체간의 반응이 억제된 단일 용액에 관한 것으로, Ba, Sr 및 Ti의 전구체로서 각각 Ba(DPM)2-테트라엔, Sr(DPM)2-테트라엔 및Ti(i-OPr)2(DPM)2를 사용하고 용매로서 아민 또는 에스테르를 사용함으로써 Ba, Sr 및 Ti 전구체간의 반응이 억제된 단일용액을 제조할 수 있음을 발견하고 본 기술을 완성하게 되었다.본 기술의 목적은 Ba, Sr 및 Ti 전구체간의 반응이 억제된 BST 박막 제조용 단일 용액을 제공하는 것이다.목적을 달성하기 위하여 본 기술에서는 유기금속 화학증착법에 의한 BST 박막의 제조시 사용되는, 루이스 염기로 작용하는 아민계 또는 에스테르계 용매, 및 Ba(DPM)2-테트라엔, Sr(DPM)2-테트라엔 및 Ti(i-OPr)2(DPM)2를 1 : 1 : 2∼3의 몰비로 포함하는 Ba, Sr, Ti 전구체의 단일 용액을 제공한다.본 기술은 화학증착시켜 BST 박막을 제조함으로써 BST박막 조성의 재현을 가능하게 하고 3가지 전구체를 개별적으로 사용하는 경우에 드는 비용을 절감할 수 있다.본 기술에 따른 Ba, Sr, Ti 전구체의 단일 용액을 화학증착시켜 BST 박막을 제조함으로써 BST 박막 조성의 재현을 가능하게 하고 3가지 전구체를 개별적으로 사용하는 경우에 드는 비용을 절감할 수 있다.

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포항공과대학교
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2001-05-17
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일반기술 전기·전자 > 소자응용 기술

다중테일을 갖는 터보코드 및 그의 부호화/복호화방법 및 그를이용한 부호기/복호기

본 기술은 다중테일을 갖는 터보코드 및 그의 부호화/복호화방법 및 그를 이용한 부호기/복호기에 관한 것으로, 보다 상세하게는 입력을 적어도 하나 이상의 블록으로 나눈 후, 부호기 및 복호기의 동작시간만을 변경시킴으로써, 각 블록마다 테일을 첨가하는, 다중테일을 갖는 터보코드 및 그의 부호화/복호화방법 및 그를 이용한 부호기/복호기에 관한 것으로, 다중테일 터보코드 부호기는 각 부호기에서 다중테일을 첨가하여 부호화한다. 즉, 기존 터보코드가 하나의 테일만을 가지는 반면, 본 기술의 터보코드는 입력을 적어도 하나 이상의 블록으로 나눈 후 각 블록마다 테일을 첨가한 다중테일을 갖는다. 다중테일 터보코드의 부호기/복호기는 기존 터보코드의 부호기/복호기의 각 블록들의 동작시간만을 변경시켜 구현한다. 다중테일 터보코드는 복호시 이용할 수 있는 정보가 많기 때문에 더 좋은 성능을 보이지만 기존 터보코드보다 많은 테일을 가지므로, 더 많은 전송 파워를 필요로 하고, 더 넓은 대역폭을 필요로 한다. 그러나 입력 길이가 큰 경우에는 다중테일을 가지는 터보코드와 기존 터보코드의 전송 파워와 대역폭의 차이는 무시할 수 있을 만큼 작다. 기존 터보코드를 복호화하기 위한 MAP복호기는 입력 심볼의 크기와 구성부호의 메모리 갯수에 의해 결정되므로 서비스마다 다른 MAP복호기가 필요하다. 그러나 다중테일을 가지는 터보코드의 경우에는 하나의 MAP복호기를 가지고 입력데이타를 적어도 하나 이상의 블록으로 나눔으로써 입력길이와 관계 없이 모든 서비스를 처리하고, 특히 다중테일 터보코드는 병렬복호가 가능하므로 다수의 MAP복호기를 사용하면 기존의 심각한 복호지연 문제를 해결할 수 있다.기존 터보코드가 하나의 테일만을 가지는 코드임에 비해 본 기술의 터보코드는 다중테일을 가짐으로써, 통신 시스템을 구현할 때 보다 효율적이고 간단하게 구현할 수 있을 뿐만 아니라 오류 정정 능력을 향상시킨 것이다. 더구나 병렬 복호가 가능하도록 함으로써 기존 터보코드의 심각한 복호 지연 문제를 해결한 것으로, 기존의 단일 테일 터보코드의 경우에 비해 많은 효과가 있다.

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포항공과대학교
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2001-05-17
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일반기술 전기·전자 > 반도체 재료 (B63)

구리 박막의 식각 방법

본 기술은 반도체 소자 등의 금속 배선시에 사용되는 구리 박막을, 보다 경제적이고 간단한 방법으로 식각시키는 방법에 관한 것으로, 구체적으로는 오존, 또는 산소 또는 오존 플라즈마를 이용하여 구리박막을 산화하고 β-디케톤 계열의 화합물을 이용하여 식각하는 것을 특징으로 하는 방법에 관한 것으로, 반도체 소자의 금속배선시에 사용되는 구리 박막을 보다 간단하고 경제적인 방법으로 산화 및 식각시킴으로써 식각 속도를 효율적으로 조절하고자 하는 것이다.상기 목적을 달성하기 위하여, 본 기술에서는 구리 박막을 오존, 또는 산소 또는 오존 플라즈마를 이용하여 산화시킨 다음, 산화된 구리에 β-디케톤(diketone) 계열의 식각 반응 기체를 도입하여 반응시키는 것을 특징으로 하는 구리 박막의 식각 방법을 제공하고, 구리 박막을 오존, 또는 산소 또는 오존 플라즈마를 이용하여 산화시킴과 동시에 β-디케톤 계열의 식각 반응 기체와 반응시키는 것을 특징으로 하는 구리 박막의 식각 방법을 제공한다.본 기술의 구리 박막의 식각 방법은 소량의 산화제 및 식각 반응 기체를 사용하면서 종래기술보다 낮은 온도에서도 식각이 가능한 방법으로서 반응 조건에 따라 식각 속도를 효율적으로 조절할 수 있다.

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포항공과대학교
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2001-05-17
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일반기술 전기·전자 > 반도체 재료 (B63)

광양자테 레이저 다이오우드와 그 어레이 및 제조방법

본 기술은 반도체 레이저에 관한 것으로서, 수 μA의 문턱전류로 동작하는 삼차원 위스퍼링 갤러리(whispering gallery :WG) 광양자테(photonic quantum ring: PQR) 레이저 다이오우드와 그 어레이 및 광양자테 레이저 다이오우드 제조방법에 관한 것으로, 극소전류로 동작하는 삼차원 위스퍼링 갤러리 광양자테 레이저 다이오우드 및 그 제조방법을 제공하고, 삼차원 위스퍼링 갤러리 광양자테 레이저 다이오우드의 어레이를 제공하는 것이다.본 기술에 따르면, 측면으로 뻗은 다수 층이 수직 방향을 따라 적층되는 광양자테(photonic quantum ring : PQR) 레이저다이오우드는, n형 다중층 분산형 브랙 반사기(distributed Bragg reflector: DBR)와 p형 다중층 DBR 사이에 끼워진 활성층으로서, 상기 활성층의 테두리를 따라 한 파장을 갖는 빛이 수직축 방향에 대하여 일정한 경사각으로 발진되는 활성층과; 상기 발진된 빛이 투과되도록 상기 활성층을 들러싼 피복층을 포함하는 것을 특징으로 한다.본 기술에 따라 제작된 레이저의 출력 파장이 온도에 대하여 비교적 안정된 T1/2 특성을 갖고, 그 문턱 전류가 소자의 직경(φ)에 대하여 φ2의 관계를 가져서 서브 μA 내지 수 μA의 극소 전류만으로 동작할 수 있으므로, 대용량 고집적의 반도체 레이저 다이오우드 어레이의 제작이 가능하다.

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포항공과대학교
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2001-05-17
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일반기술 전기·전자 > 반도체 재료 (B63)

구리의 화학 증착에 유용한 액상 전구체

본 기술은 반도체 제조공정 중 구리배선제조에 활용할 수 있는, 구리의 화학 증착에 유용한 액상 유기 구리 전구체에 관한 것으로, 열적으로 안정하여 다루기 쉬우면서 충분히 낮은 증기압을 갖고 우수한 증착 특성을 나타내는 액상 유기 구리 전구체를 제공하는데 그 목적이 있다.본 기술의 유기 구리(I) 착화합물은 1,1,1,5,5,5-헥사플루오로-2,4-펜탄디온(Hhfac), 2,4-펜탄디온(acac) 또는 2,2,6,6-테트라메틸-3,5-헵탄디온(TMHD)와 같은 β-디케톤 화합물을 4-알킬-1-펜텐과 같은 올레핀 화합물 및 산화구리(I)(Cu2O)와 반응시켜 제조할 수 있다.본 기술은 반도체 소자의 회로용 구리 도선을 화학증착에 의해 형성할 때 유용하게 사용할 수 있는 유기구리(I) 착화합물에 관한 것으로, 본 기술에 따르는 유기 구리 전구체는 상온에서 액체로 존재하며 안정성과 증기압이 높아 구리의 화학증착에 특히 적합하면서도 우수한 증착 특성을 나타낸다.본 기술에 따르면 짧은 반응 시간내에 높은 수율로 구리 박막 형성용의 새로운 유기 구리(I) 착물을 합성할 수 있으며, 이 착물은 상온에서 열안정성이 우수하고, 액체 상태에 있으면서 기화가 잘되는 특징이 있으므로 구리의 화학 증착에 유용하게 사용할 수 있으며, 증착된 구리 박막은 우수한 물성을 갖는다.

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포항공과대학교
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2001-05-17
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일반기술 정보 > 응용소프트웨어

파낙 커스텀 매크로 프로그램 시뮬레이션 방법

본 기술은 파낙(FANUC)사의 수치제어 공작기계(이하, 공작기계라 함)에 사용되는 프로그램의 B-type 커스텀 매크로 프로그램의 해석 및 시뮬레이션(모의 가공)에 관한 것으로서, 더 자세하게는 FANUC 커스텀 매크로 프로그램의 지령에 의해서 움직이는 공구의 동작 및 상기의 공구 동작에 의해 가공되어지는 공작 기계와 떨어진 컴퓨터 화면상에서 가공전에 모의가공을 통해서 확인할 수 있도록 된 FANUC 커스텀 매크로 프로그램 시뮬레이션 방법에 관한 것으로, 공작 기계와 떨어진 컴퓨터에서 파일형태로 커스텀 매크로 프로그램을 입력받은 후 컴퓨터 화면상에서 공구 경로 및 가공형상을 확인하게 함으로써 종래에 공작기계에 직접 커스텀 매크로 프로그램을 입력하여 공작기계 동작을 확인하던 번거롭고 비효율적인 작업 방식을 개선하고 커스텀 매크로 프로그램 검증에 소요되는 인력 및 시간을 절감하여 생산성을 현저히 향상시킬 수 있도록 된 FANUC 커스텀 매크로 시뮬레이션 방법을 제공함에 있고, FANUC 커스텀 매크로 프로그램 시뮬레이션 방법에서는 FANUC사의 커스텀 매크로 프로그램을 파일로 입력받아 공작기계의 공구 경로를 해석하는 단계; 상기 공작 기계의 공구 경로를 해석하는 단계에서 4가지 방향에서 본 공구 경로를 한 화면에 나타내는 단계와 완성된 형상을 일정 단면(X-Y, Y-Z)으로 절단하여 확인하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 FANUC 커스텀 매크로 프로그램 시뮬레이션 방법을 제공한다.본 기술은 국내외적으로 시장 점유율이 가장 높은 FANUC사의 커스텀 매크로 프로그램의 작성, 검증을 개인용 컴퓨터에서 일괄적으로 손쉽게 할 수 있도록 함으로써 작성 및 검증 과정에 소요되는 시간 및 인력 낭비를 대폭 절감할 수 있고, 기계에 내장되어 있는 공구의 지름, 길이, 마모량 등을 기계와 떨어진 컴퓨터상에서 판독하여 공구의 크기에 따라 기계 움직임이 판이하게 달라지는 것을 정확히 시뮬레이션할 수 있고, 일반 G 코드에 대한 시뮬레이터는 상업화되어 있는 것들이 많이 있고, 코드 체계로 규격화 되어 있어 사용자가 손쉽게 시뮬레이션 해볼 수 있었으나, 커스텀 매크로 프로그램을 시뮬레이션 해줄 수 있는 시뮬레이터는 아직 개발되어 있지 않다. 시뮬레이션을 해보기 위해서는 직접 공작 기계에 커스텀 매크로 프로그램을 입력하여 시뮬레이션을 수행하거나, 시뮬레이션 기능이 없는 공작기계의 경우는 공작기계를 직접 구동하여 특정패턴의 가공물을 형성한 후 확인해야 하는 번거로움의 문제점을 해결하였고, 기계 내장 변수를 활용하는 커스텀 매크로 프로그램을 시뮬레이션 할 수 있어 공작 기계와 떨어진 컴퓨터상에서 공작 기계의 공구 경로를 정확히 시뮬레이션 할 수 있다.

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2001-05-17
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일반기술 전기·전자 > 반도체 재료 (B63)

저온 팔라듐/게르마늄 옴 전극을 이용한 자기정렬 게이트 트랜지스터 소자의 제조방법

본 기술은 저온 팔라듐/게르마늄(Pd/Ge) 옴 전극을 이용한 자기정렬 게이트 트랜지스터 소자의 제조방법에 관한 것으로, 구체적으로는 옴 전극 제작 공정 전에 게이트 전극을 제작함으로써 게이트 전극의 정렬도가 향상되고 게이트 전극 패턴이 더욱 미세하게 형성된 자기 정렬된 게이트 전극을 지닌 트랜지스터 소자를 제조하는 방법에 관한 것으로, 게이트 전극의 정렬도가 향상되고, 게이트 전극 패턴이 더욱 미세하게 형성될 수 있는 자기정렬 게이트트랜지스터 소자의 제조방법에 관한 것이다.상기 목적을 달성하기 위하여 본 기술에서는 GaAs 또는 InP 층을 포함하는 기판을 갖는 트랜지스터 반도체 소자의 제조방법에 있어서, 게이트 전극 제작 후, Pd와 Ge를 차례로 증착하고 열처리하여 옴 전극을 제작하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 제조방법을 제공한다.본 기술의 방법에 따라 옴 전극 형성 전에 게이트 전극을 형성함으로써 보다 미세한 패턴으로 자가 정렬된 게이트 전극을 갖는 PHEMT 반도체 소자를 제조할 수 있으며, 본 기술의 PHEMT 소자는 접촉저항 및 주파수 특성이 향상되어 통신용 소자등에 유용하게 사용될 수 있다.

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포항공과대학교
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2001-05-17
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일반기술 전기·전자 > 전자부품

덧셈기만을 사용한 비트 분리 구조의 고속 병렬 디지털 필터

본 기술은 디지털 필터에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 덧셈기만을 사용하며 비트 분리 구조를 갖는 고속의 병렬 디지털 필터에 관한 것으로, 데이터를 비트 단위로 분할하여 각 비트별로 연산을 수행하고, 각 비트별 연산은 곱셈기를 이용하지 않고 덧셈기만을 이용하도록 구성함으로써, 처리 속도가 보다 향상된 고속 병렬디지털 필터를 제공하는 데 본 기술의 목적이 있다.본 기술은 고속의 병렬 디지털 필터에 관한 것으로, 입력 자료가 데이터인지 또는 필터 계수인지를 구분하는 분배기; 상기 필터 계수를 저장하는 계수 레지스터; 상기 데이터를 부호 및 크기 형태의 데이터로 변환하는 변환기; 상기 변환된 데이터를 저장하는 데이터 레지스터; 상기 데이터의 부호와 데이터의 현재 비트의 값에 따라 필터 계수를 선택하는 필터 계수선택기; 상기 필터 계수 선택기에서 선택된 필터 계수들을 가지고 부분합을 계산하는 덧셈기; 상기 덧셈기의 부분합들을 왼쪽으로 쉬프트하는 쉬프터; 및 상기 부분합을 누적하여 가산하는 누적 덧셈기를 포함하는 것을 특징으로 한다.본 기술에 따르면, 기존의 곱셈기를 이용한 디지털 필터보다 더 작은 자원을 사용하여 더 빠른 디지털 필터의 구현이 가능한 효과가 있다.본 기술에 따른 고속 병렬 디지털 필터의 방법 및 구조를 적용할 경우, 기존의 곱셈기를 이용한 디지털 필터보다 더 작은 자원을 사용하여 더 빠른 디지털 필터의 구현이 가능하다.

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포항공과대학교
등록일
2001-06-26
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