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전기·전자 > 기타 전기/전자
본 기술은 기판 상에 형성된 유기 발광 소자를 봉지하는 공정에서, 챔버 내의 분위기 변화를 최소화하여 유기 발광 소자 패널의 수율 및 성능을 향상시킬 수 있게 하는 유기 발광 소자 패널의 제조 방법에 관한 것이다. 종래에는 이전의 공정이 진행되거나 통로 역할을 하는 반송원 챔버와 상기 봉지 공정이 진행될 반송단 챔버의 압력이 모두 동일하게 조절되어 있었기 때문에, 상기 봉지 공정을 진행하기 위해 상기 유기 발광 소자가 형성된 기판 및 소정의 봉지 수단을 상기 반송원 챔버로부터 반송단 챔버로 이송하는 과정에서, 상기 반송원 챔버의 기체가 상기 반송단 챔버로 이동하여 상기 봉지 공정이 진행될 반송단 챔버 내의 분위기 변화를 일으키는 경우가 많았다. 이러한 반송단 챔버 내의 분위기 변화는 최종 제조된 유기 발광 소자 패널의 성능 및 수율 저하를 일으킬 수 있다. 본 기술의 목적은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하여, 기판 상에 형성된 유기 발광 소자를 봉지하는 공정에서, 챔버 내의 분위기 변화를 최소화하여 유기 발광 소자 패널의 수율 및 성능을 향상시킬 수 있게 하는 유기 발광 소자 패널의 제조 방법을 제공하기 위한 것이다.본 기술은 제 1 반송원 챔버 및 제 2 반송원 챔버의 압력을 반송단 챔버보다 낮게 조절하는 제 1 단계; 유기 발광 소자가 형성된 기판을 상기 제 1 반송원 챔버로부터 반송단 챔버로 이송하는 제 2 단계; 소정의 봉지 수단을 상기 제 2 반송원 챔버로부터 반송단 챔버로 이송하는 제 3 단계; 및 상기 반송단 챔버 내에서 상기 봉지 수단으로 상기 기판 상에 형성된 유기 발광 소자를 봉지하는 제 4 단계로 구성된다. 본 기술에 따르면, 기판 상에 형성된 유기 발광 소자를 봉지하는 공정에서, 봉지 공정이 진행되는 챔버 내의 분위기 변화를 최소화하여 유기 발광 소자 패널의 수율 및 성능을 향상시킬 수 있다.
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- (주)대우전자
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- 2007-07-13
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본 기술은 베이크 공정 중에 대상 기판의 온도를 순차적으로 상승시켜 급격한 온도 상승에 의한 대상 기판의 휨을 방지할 수 있고, 보다 단순화된 구조를 가지고 있는 핫플레이트 장치에 관한 것이다. 종래의 장치는, 전체적인 핫플레이트 장치의 구성이 지나치게 대형화되고 복잡해질 수밖에 없는 문제점이 발생한다. 또한, 대상 기판을 각 챔버 사이에서 이송하는 공정 등이 부가되어 베이크 공정의 전체적인 단계 역시 지나치게 복잡해질 수밖에 없다. 본 기술은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하여, 베이크 공정 중에 대상 기판의 온도를 순차적으로 상승시켜 급격한 온도 상승에 의한 대상 기판의 휨을 방지할 수 있고, 보다 단순화된 구조를 가지고 있는 핫플레이트 장치를 제공하기 위한 것이다.본 기술은 챔버; 상기 챔버 내에 설치되어 있고, 대상 기판에 열을 가하는 핫플레이트체; 상기 핫플레이트체에 대해 수직으로 승․하강 가능하게 설치되어 있는 리프트 핀; 상기 리프트핀에 설치되어 있는 온도 센서; 및 상기 온도 센서에서 측정된 온도에 따라 상기 리프트핀을 승강 또는 하강시키는 제어부로 구성되어 있다. 본 기술에 따르면, 베이크 공정 중의 급격한 온도 상승에 의해 대상 기판이 휘는 것을 최소화할 수 있다. 따라서, 이러한 대상 기판을 이용해 제조된 각종 반도체 소자 및 디스플레이 소자의 성능 또는 수율을 보다 향상시킬 수 있다. 이와 동시에, 핫플레이트 장치의 소형화, 단순화가 가능해지고, 베이크 공정이 복잡해지는 것을 막을 수 있으므로, 전체적인 공정의 경제성 및 양산성 향상에도 크게 기여할 수 있다.
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- 2007-07-13
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본 기술은 검사장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 가압부재가 드라이버와 시험용기판을 밀착시켜 줌으로써, 납땜 작업이 없더라도 디스플레이 패널 모듈을 시험용기판에 전기적으로 접속시켜 테스트가 가능한 것을 특징으로 하는 유기이엘 디스플레이 패널 검사 장치에 관한 것이다. 통상, 유기 이엘 디스플레이 패널을 제조한 다음, 생산된 제품의 일부를 선택해서 패널이 정확하게 동작하는지 여부를 시험하게 된다. 즉, 유기이엘 디스플레이 패널을 시험용기판과 결속하여 전원을 공급함으로써, 패널의 상태를 점검할 수 있게 된다. 이를 위해, 시험용 기판에는 결속핀이 상측으로 돌출되고, 드라이버에는 결속핀과 결속되는 결속홀이 구비되는바, 상기 결속홀 부분이 각 결속핀에 안착된 다음 납땜 작업을 통해 드라이버와 시험용기판의 결속상태를 유지하게 된다. 그러나, 드라이버와 시험용 기판이 납땜 작업에 의해 서로 결속되면, 검사가 완료된 다음 납땜을 제거하는 과정에서 얇은 막 형상의 드라이버에 손상이 발생한다. 즉, 드라이버에 손상이 발생하면 검사용으로 선택된 디스플레이 패널은 재사용이 불가능하여 제조단가를 상승시키는 문제점이 있다. 본 기술은 상기와 같은 문제점들을 개선하기 위해 안출된 것으로서, 유기이엘 디스플레이 패널이 납땜 작업을 필요로 하지 않는 별도의 장비에 의해 시험용 기판에 밀착되도록 함으로써, 검사가 완료된 패널의 재사용이 가능하도록 함을 목적으로 한다.본 기술은 패널부의 측부에 선택적으로 구비된 패드와 각각 결합되는 드라이버의 제1접지면과 접촉되어 전원을 공급하는 제2접지면을 구비한 시험용기판; 상기 시험용기판이 삽입되도록 상측 일부에 가이드판 구비되는 고정체; 및 상기 고정체의 상측에 장착되고 상기 각 드라이버를 가압하여, 상기 제1접지면과 상기 제2접지면이 밀착되도록 하는 가압부재로 구성된다. 본 기술에 따른 유기이엘 디스플레이 패널 검사 장치는 가압부재가 패널 모듈의 드라이버와 시험용기판을 밀착시켜 줌으로써, 종래 드라이버와 시험용기판이 납땜 작업에 의해 결합되는 공정을 삭제하는 효과가 있다. 이로 인해, 패널 모듈의 검사가 완료되더라도 드라이버에 손상이 가지 않아 검사 완료된 패널 모듈의 재사용이 가능하여, 제조비용을 절감하는 효과가 있다.
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본 기술은 유기 전계 발광 소자에 관한 것이다. 일반적으로 현재 유기 전계 발광 소자 패널은 균일한 크기(size) 및 개수를 가지는 화소로 이루어진다. 이에 따라 고해상도를 요하지 않는 영역에도 이러한 균일한 화소가 적용됨에 따라 패널 사이즈가 증가할수록 스캔라인의 저항 증가와 이로 인한 전압강하 등으로 인해 소비전력의 상승을 초래하면서 패널의 사이즈를 증가시키는데 어려움이 있다. 본 기술의 목적은, 유기 전계 발광 소자의 패널을 두 영역으로 분리하여 각각 다른 크기 및 개수를 갖는 화소를 형성하여 동시에 구동함으로써 낮은 소비전력과 최소의 구동회로를 사용할 수 있는 유기 전계 발광 소자를 제공하는데 있다.본 기술에 따른 유기 전계 발광 소자는, 발광부와 패드부로 구분되어 있는 기판; 상기 기판의 일 영역에 형성되어 있되, 상기 투명 기판의 일 방향으로 뻗어 있는 제1 양전극 패턴과, 상기 제1 양전극 패턴 상에 격자 형태로 형성되어 있는 제1 화소와, 상기 제1 양전극 패턴과 직교하도록 상기 제1 화소 상에 형성되어 있는 제1 음전극 패턴을 포함하는 제1 패널; 및 상기 기판의 나머지 영역에 형성되어 있되, 상기 기판의 일 방향으로 뻗어 있는 제2 양전극 패턴과, 상기 제2 양전극 패턴 상에 격자 형태로 형성되어 있되, 상기 제1 화소보다 큰 크기와 상기 제1 화소보다 적은 개수를 갖는 제2 화소와, 상기 제2 양전극 패턴과 직교하도록 상기 제2 화소 상에 형성되어 있는 제2 음전극 패턴을 포함하는 제2 패널을 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 기술에 따른 유기 전계 발광 소자에 의하면, 유기 전계 발광 소자의 패널을 두 영역으로 분리하여 각각 다른 크기 및 개수를 갖는 화소를 형성하여 동시에 구동함으로써, 낮은 소비전력과 최소의 구동회로를 사용하여 신뢰성을 높일 수 있다.
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본 기술은 오엘이디 소자의 제조 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 오엘이디 제조에 사용되는 기판의 건조(drying) 및/또는 냉각(cooling)에 사용되는 플레이트나 스핀코팅 장치와 같이 기판을 로딩/언로딩(loading/unloading) 시키면서 공정을 진행하는 모든 장치에 범용적으로 사용될 수 있는 오엘이디 소자의 제조 장치에 관한 것이다. 스핀코터나 건조 또는 냉각 플레이트와 같은 핀홀에 삽입되어져 있는 리프트핀의 상하운동에 의해 기판을 로딩/언로딩 시키는 방식으로 공정을 진행하는 오엘이디 소자의 제조장치에 있어서 는 이러한 리프트핀의 상하운동에 따른 핀홀과의 마찰에 의해 생기는 파티클을 효과적으로 제어할 수 있는 기술의 개발이 필요한 실정이다. 본 기술의 목적은, 핀홀 내에 삽입되어진 리프트핀의 상하운동에 의해 기판을 로딩/언로딩 시키는 방식으로 공정을 수행하는 오엘이디 소자의 제조장치에 있어서 리프트핀의 상하운동 동안에 핀홀과의 마찰에 의해 발생하는 파티클의 발생을 억제할 수 있는 오엘이디 소자의 제조장치를 제공하는데에 있다.본 기술은, 오엘이디 소자의 제조장치는 기판이 로딩되는 플레이트와; 플레이트를 관통하도록 플레이트 내부에 복수개의 핀홀들이 형성되어 있고; 플레이트에는 외부 진공펌프와 연결되어 상기 플레이트 상에 로딩되는 기판을 홀딩시켜 주는 배큠홀이 형성되어 있으며; 핀홀 내부에는 핀홀의 측면과 소정의 이격간격을 두고 기판을 로딩/언로딩 시켜주는 리프트핀들이 형성되어 있으며; 핀홀 주위의 플레이트 내부에는 핀홀을 중심으로 평형을 이루는 자기력을 이용하여 리프트핀들이 핀홀의 측면에 접촉되는 것을 방지하는 전자석;이 설치되어 있는 것을 특징으로 한다. 본 기술의 오엘이디 소자의 제조장치에 의하면 핀홀과 리프트핀 사이에 이격거리를 두고, 핀홀 주위의 공간에 전자석을 설치함으로써 리프트핀의 상하운동시에도 항상 핀홀과 리프트핀이 일정한 거리를 유지할 수 있도록 해줌으로써 핀홀과 리프트핀의 마찰에 의해 생기는 파티클의 발생을 억제할 수 있게 된다.
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본 기술은 유기 발광 소자 패널에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 봉지 캡과 어레이패널부 간의 접착력을 강화시면서도 데드 스페이스를 감소시킬 수 있는 유기 발광 소자 패널에 관한 것이다. 종래 기술에 따른 유기 발광 소자 패널의 경우, 투명 기판과, 봉지 캡에서 투명 기판과 접착될 말단, 즉 투명 기판 및 봉지 캡이 서로 접착될 접착면이 모두 평면으로 이루어지기 때문에, 투명 기판과 봉지 캡 사이의 접착력을 강화시키기 위해서는 접착 면적을 넓게 해야 했다. 하지만, 그럴 경우 투명 기판 상에 넓은 데드 스페이스가 존재하게 되는 문제점이 있으므로 특히, 모바일 기기에 적용되는 소형 유기 발광 소자의 경우, 투명 기판과 봉지 캡 사이의 접착력을 강화시키면서도 투명 기판 상의 데드 스페이스를 감소시킬 수 있는 유기 발광 소자 패널의 개발이 절실히 요구되고 있다. 본 기술이 이루고자 하는 기술적 과제는 기판과 봉지 캡 간의 접착력을 강화시키면서도 기판 상의 데드 스페이스를 감소시킬 수 있는 유기 발광 소자 패널을 제공하는 데에 있다.본 기술의 유기 발광 소자 패널은 화소 영역이 형성되는 활성 영역과 비활성 영역으로 구분되어 있는 기판, 기판 상의 활성 영역에 형성되는 하부전극패턴, 하부전극패턴이 형성된 활성 영역 상에 형성되어 하부전극패턴의 일부 영역을 노출시켜 화소 영역을 정의하며, 비활성 영역까지 연장되어 형성되는 절연막, 절연막 상에 형성되는 격벽, 화소 영역의 노출된 하부전극패턴 상에 형성되는 발광유기물층, 및 발광유기물층 상에 형성되는 상부전극을 포함하는 어레이패널부; 및 비활성 영역에 형성된 절연막과 격벽의 전부 또는 일부를 수용할 수 있는 복수개의 홈을 구비하며, 복수개의 홈이 접착제에 의해 비활성 영역에 형성된 절연막과 격벽의 전부 또는 일부와 접착되어 어레이패널부를 봉지하는 봉지 캡을 포함한다. 본 기술은, 유기 발광 소자 패널에 의하면 기판의 비활성 영역에 형성된 절연막과 격벽의 전부 또는 일부를 봉지 캡에 형성된 복수개의 홈과 접착체에 의해 접착시킴으로써, 기판과 봉지 캡 간의 접착력을 강화시키면서도 패널 상의 데드 스페이스를 감소시킬 수 있다. 또한, 패널 상의 데드 스페이스를 감소시킴으로써 전체적인 패널의 사이즈를 감소시킬 수 있으며, 소형 유기 발광 소자 패널을 용이하게 제조할 수 있다.
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- 2007-07-13
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본 기술은 유기 전계 발광 소자에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판 상에 형성된 유기 전계 발광 소자를 봉지하는 공정에서, 글로브 박스 내의 분위기 변화를 최소화하여 유기 전계 발광 소자 패널의 수율 및 성능을 향상시킬 수 있는 글로브 박스의 분위기 조절장치에 관한 것이다. 유기 전계 발광 소자를 봉지하는 공정에서, 외부로부터 산소 및 수분이 유입될 수 있기 때문에, 이러한 봉지 공정은 글러브 박스(glove box) 내에서 진행되며, 글러브 박스 내 분위기의 안정적인 유지가 유기 전계 발광 소자의 성능 및 수율에 큰 영향을 미친다. 글러브 박스 내의 분위기, 예를 들어 압력 또는 온도가 변화될 수 있고, 이러한 압력 또는 온도의 변화에 의해 외부의 기체가 유입이 되는 원인이 되어 유기 전계 발광 소자의 수명에 악영향을 미칠 수 있다. 본 기술의 목적은, 유기 전계 발광 소자의 봉지 과정이 진행되는 글러브 박스의 내부 분위기를 안정적으로 관리하여 외부로부터 유입되는 수분 또는 산소를 차단할 수 있는 글로브 박스의 분위기 조절장치를 제공하는데 있다. 본 기술에 따른 글로브 박스의 분위기 조절장치는, 유기 전계 발광 소자의 봉지 과정이 진행되는 글로브 박스; 상기 글로브 박스 외측에 형성되어 상기 글로브 박스 내의 분위기 변화를 감지하는 센서부; 상기 글로브 박스 외측에 형성되어 상기 센서부가 감지하여 전달한 분위기 변화에 따라 상기 글로브 박스 내의 분위기를 조절하는 분위기 제어부; 및 상기 분위기 제어부 및 상기 글로브 박스와 연결되어 있는 압력 조절부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 기술에 따른 글로브 박스의 분위기 조절장치 에 의하면, 글로브 박스 내의 압력 또는 온도와 같은 분위기 변화를 감지할 수 있는 센서부 및 변화한 글로브 박스의 압력 또는 온도를 제어할 수 있는 분위기 제어부를 이용함으로써 글로브 박스 내의 분위기를 최소화할 수 있다. 이에 따라 기판 상에 형성된 유기 전계 발광 소자를 봉지하는 공정을 안정적으로 관리할 수 있다.
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본 기술은 유기 발광 소자 패널에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 배선의 폭으로 인해 발생되는 데드 스페이스를 감소시킬 수 있는 유기 발광 소자 패널에 관한 것이다. 종래기술에 따른 유기 발광 소자 패널은, 해상도 96×96인 경우, 96×3=288개의 데이터 라인을 구비하므로, 데이터 라인을 하나의 패드로 구성하기 위해서 양쪽으로 배선하여 패드로 연결한다. 이와 같이 배선을 형성할 경우, "배선 피치×288"의 배선 폭이 필요하게 된다. 따라서, 일반적으로 수가 적은 스캔 라인을 패드의 바깥쪽으로 연결하여 구성함으로써 데드 스페이스를 작게 확보하려 한다. 그러나, 더욱 작은 데드 스페이스의 확보가 여전히 요구되고 있다. 본 기술의 목적은, 배선을 복층 구조로 형성함으로써 배선의 폭으로 인해 발생되는 데드 스페이스를 감소시킬 수 있는 유기 발광 소자 패널을 제공하는 데에 있다.본 기술에 따른 유기 발광 소자 패널은 기판; 기판 상에 일 방향으로 서로 평행하도록 형성되는 형성되는 제1 전극; 제1 전극과 동일한 방향으로 연결되는 제1 배선; 제1 전극이 형성된 기판 상에 제1 전극과 수직 교차하는 방향으로 형성된 제2 전극; 제1 전극과 동일한 방향으로 굴절되어 제2 전극과 연결되는 제2 배선을 포함하며, 인접하는 두 개의 제2 배선은 제1 전극과 동일한 방향으로 굴절된 일 부분이 절연막을 사이에 두고 오버랩 되도록 형성된다. 본 기술에 따른 유기 발광 소자 패널에 의하면 제1 배선 또는 제2 배선을 복층으로 구성함으로써 데드 스페이스를 감소시킬 수 있으며, 이에 따라 전체적인 패널 사이즈 또한 감소시킬 수 있다.
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- 2007-07-13
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본 기술은 감광제의 낭비 없이 감광제 분사 노즐을 세정할 수 있는 세정 장치에 관한 것이다. 종래에는 상기 감광제 분사 노즐로 기판 상에 감광제를 분사하기 직전에, 아세톤 등의 용제를 사용해 상기 감광제 분사 노즐의 끝단부를 세정하여 굳은 감광제를 제거하거나, 상기 감광제 분사 노즐이 미사용 상태로 유지되고 있을 때에도 규직척으로 감광제를 분사하여 그 끝단부로부터 감광제가 굳는 것을 방지하는 방법을 사용하였다. 그러나, 아세톤 등의 용제를 사용해 상기 감광제 분사 노즐의 끝단부를 세정하는 수작업을 거치지 않으면 안되므로, 전체적인 공정의 복잡성 및 원가 상승을 초래하였으며, 두 번째 방법 역시 일부의 감광제를 계속적으로 분사함에 따라 감광제의 낭비가 초래되기 때문에 원가 상승을 초래하는 문제점이 있었다. 본 기술은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하여, 공정의 복잡성, 원가 상승 또는 감광제의 낭비 등을 초래하지 않고, 감광제 분사 노즐을 세정할 수 있는 세정 장치를 제공하기 위한 것이다.본 기술은 플레이트; 상기 플레이트 하부에 설치되어 있고, 상기 플레이트를 상․하로 구동하는 실린더; 상기 플레이트 상에 상측을 향하게 형성되어 있고, 상측 끝단부에서 세정액을 분사하는 세정액 분사관; 상기 세정액 분사관과 연결되어 있는 배수관; 및 상기 세정액 분사관에 연결되어 세정액을 공급하는 세정액 공급 배관으로 구성되어 있다. 본 기술에 따르면, 별도의 수작업을 진행할 필요없이 감광제 분사 노즐 끝단부에 굳어 있는 일부의 감광제만을 선택적으로 세정, 제거할 수 있는 세정 장치가 제공된다. 따라서, 이러한 세정 장치를 사용해 디스플레이 소자 또는 반도체 소자의 각종 불량을 초래하는 오염원을 크게 줄이면서도, 공정의 복잡성, 원가 상승 또는 감광제의 낭비 등이 초래되는 것을 현저히 줄일 수 있다.
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- 2007-07-13
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본 기술은 UV 차단마스크에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 마스크 전체를 교체하지 않고 일부만을 교체함으써 자체제작이 용이하고 제조원가 및 제작기간을 단축시킬 수 있는 UV 차단마스크에 관한 것이다. 종래의 UV 차단마스크는 수정(quartz)으로 만들어져 그 상하부 표면에 차광패턴이 형성되어 있으며, 그 두께는 일반적으로 5~10mm에 달한다. 그런데, 이와 같은 수정은 대부분 상당히 고가이고, 그 가공 역시 상당한 기술을 요하게 된다. 아울러, 일반적으로 외주가공 되어 지는 UV 차단마스크의 가격이 상기와 같은 이유로 매우 높고 제작 기간 또한 짧게는 1개월에서 길게는 수개월 이상 걸리는 등 제작 기간이 매우 길다는 문제가 있다. 또한, 마스크의 교체나 공정진행 중에 수정의 표면에 이물질이 묻거나 캡글라스 등을 가압하면서 손상을 입게 되는 경우에는 불가피하게 UV 차단마스크 전체를 사용할 수 없어 교체해주어야 하는 문제가 있다. 본 기술의 목적은, 수정으로된 UV 차단마스크의 제조단가를 낮추고, 간편하게 제조할 수 있으며 반복사용가능할 수 있는 UV 차단마스크를 제공하는데에 있다. 본 기술의 UV 차단마스크는, 중앙부에 요부홈이 형성된 지그 마스크부와, 일면 또는 양면에 차광패턴이 형성되어 있고 상기 요부홈에 장착되어 지는 패턴 마스크부를 포함하는 마스크 유닛이 적어도 하나 이상 적층되어 있으며, 상기 마스크 유닛은 마스크 프레임에 의해 라운딩 되어 있는 것을 특징으로 한다. 본 기술에 따른 UV 차단마스크에 의하면 UV 차단마스크를 제조함에 있어서 제작비를 획기적으로 줄일 수 있으며, 마스크 패턴이 오염되더라도 패턴마스크부만을 교체하여 줌으로써 전체마스크를 교체하였던 종래의 UV 차단마스크에 비해 마스크 교체비용이 줄어들 수 있을 뿐만 아니라, 사용되는 수정(quartz)의 두께를 얇게 할 수 있어 비교적 낮은 단가로 UV 차단마스크를 제조할 수 있다는 장점이 있다.
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- 2007-07-13
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본 기술은 오엘이디 디스플레이 소자에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 산소, 수분, 및 기타 오염물질로부터 오엘이디 디스플레이 소자를 보호하여 열화를 방지할 수 있는 오엘이디 디스플레이 소자에 관한 것이다. 종래, 오엘이디 소자의 제조공정에 있어서, 발광유기물층과 상부전극층은 절연체와 격벽과 매우 밀접하게 위치하고 있는데, 이러한 절연체와 격벽은 유기용제(solvent)를 포함하는 고분자수지, 구체적으로 포토레지스트막 또는 산소를 포함하고 있는 산화물로 형성되는 경우가 일반적이므로, 이러한 절연체와 격벽 자체에 포함된 산소나 수분 기타 유기용제의 찌꺼기 등에 의한 발광유기물층과 상부전극의 공격을 방지하기에는 충분하지 못하다는 문제가 있다. 본 기술의 목적은, 오엘이디 디스플레이 소자 자체를 구성하는 구성요소들에서 발생하는 산소, 수분 기타 불순물로부터 발광유기물층과 상부전극을 보호하여 열화를 방지하기 위한 오엘이디 디스플레이 소자를 제공하는데에 있다.본 기술은, 오엘이디 디스플레이 소자는 기판, 기판 상에 형성되는 하부전극패턴, 하부전극패턴이 형성된 기판 상에 화소영역의 정의되도록 하부전극패턴의 일부영역을 노출시키도록 형성되는 절연체, 절연체 상에 형성되는 격벽, 절연체와 격벽의 측면에 형성되는 확산방지막, 화소영역의 노출된 투명전극패턴 상에 형성되는 발광유기물층, 발광유기물층 상에 형성되는 상부전극으로 구성되어 있다. 본 기술은, 오엘이디 디스플레이 소자에 의하면 오엘이디 디스플레이 소자 자체를 구성하는 구성요소, 즉 격벽이나 절연체 등에서 발생되는 산소나 수분, 기타 불순물의 공격으로부터 발광유기물층, 상부전극을 보호하여 열화되는 것을 방지할 수 있게 된다.
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본 기술은 오엘이디 디스플레이 소자의 격벽 형성방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 포지티브(positive) 감광막(photoresistor)을 이용한 오엘이디 소자의 격벽 형성방법에 관한 것이다. 종래의 수동형 매트릭스(passive matrix) 오엘이디 소자에서, 네가티브 감광막을 이용한 방법은 공정조건이 조금만 변하더라도 역테이퍼형 격벽의 측면각도가 변할 수 있어 상부전극의 절연불량을 초래할 수 있고, 또한 역테이퍼형 격벽은 위에서 기판 쪽으로 내려갈 수록 그 폭이 줄어드는 형태이므로 격벽의 바닥부(bottom)의 선폭이 얇아지게 되어 소자 전체에서 부분적으로 격벽이 무너지는 불량이 야기될 수 있다. 본 기술의 목적은, 종래의 역테이퍼형 격벽이 아닌 새로운 형태의 격벽을 보다 안정적이고 핸들링이 용이한 포지티브 감광막을 이용하여 새로운 형태의 격벽을 형성할 수 있는 오엘이디 디스플레이 소자의 격벽 형성방법을 제공하는데에 있다. 본 기술의 오엘이디 디스플레이 소자의 격벽 형성방법은 하부전극패턴과 절연체가 형성된 기판 상에 제1 포지티브 감광막을 형성하는 단계; 제1 포지티브 감광막을 노광하여 제1폭을 가지는 하부격벽층을 형성하는 단계; 제1 포지티브 감광막 상에 제2 포지티브 감광막을 형성하는 단계; 하부격벽층에 대응되는 위치의 제2 포지티브 감광막을 노광하여 제1폭보다 큰 제2폭을 가지는 상부격벽층을 형성하는 단계; 및 현상공정을 통해 제1 포지티브 감광막과 제2 포지티브 감광막 중 노광되지 아니한 영역을 제거하는 단계로 구성된다. 본 기술의 오엘이디 디스플레이 소자의 격벽 형성방법에 의하면 포지티브 감광막을 사용하여 견고하면서도 각 화소영역 별 상부전극을 전기적으로 분리시킬 수 있는 기능을 가질 수 있으며, 특히 네가티브 감광막에 비해 안정성이 뛰어나고 핸들링이 쉬운 포지티브 감광막을 이용하여 격벽을 제조할 수 있기 때문에 종래의 역테이퍼형 격벽보다 형성이 용이하다는 장점이 있다.
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- (주)대우전자
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- 2007-07-13
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본 기술은 공정온도 측정이 가능한 오엘이디 디스플레이 소자에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판 자체의 온도측정이 가능해 봉지공정이나 에이징 공정시 기판의 정밀하고도 정확한 온도측정을 함으로써 열에 의한 활성영역의 열화를 방지할 수 있는 공정온도 측정이 가능한 오엘이디 디스플레이 소자에 관한 것이다. 오엘이디와 같이 온도에 매우 민감한 소자의 경우엔 임계치(critical point)를 넘어서는 조그만 온도변화에도 열화가 빠르게 일어나기 때문에, 실제 오엘이디 디스플레이 소자 제조공정에 있어서 기판의 온도가 임계치를 넘어서지 않도록 보다 정확하고도 정밀한 측정이 필요하다. 본 기술의 목적은, 오엘이디 디스플레이 소자를 제조하는 공정에 있어서 봉지공정과 에이징 공정시 실제 기판이 받는 온도를 정확하고도 정밀하게 측정할 수 있도록 하는 공정온도 측정이 가능한 오엘이디 디스플레이 소자를 제공하는데에 있다.본 기술에 따른 공정온도 측정이 가능한 오엘이디 디스플레이 소자는 활성영역과 비활성영역으로 구분되는 기판; 기판의 비활성영역에 접합되어 활성영역 내부를 진공상태로 만들어주는 봉지캡; 및 기판의 비활성영역에 패터닝 되어 형성되는 측온저항체를 포함한다. 본 기술에 따른 공정온도 측정이 가능한 오엘이디 디스플레이 소자에 의하면, 오엘이디 디스플레이 소자의 제조공정 중에 있어서 인시츄(in-situ) 공정 단계에서 기판의 정확한 온도 측정이 가능하여 임계점을 넘는 고온에 의한 오엘이디 디스플레이 소자의 활성영역이 산화되거나 열화되는 것을 방지할 수 있게 된다.
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- 2007-07-13
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본 기술은 오엘이디 디스플레이 소자의 제조방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 오엘이디 디스플레이 소자를 제조함에 있어서 각 층별로 각각의 얼라인 마크를 형성함으로써 격벽의 하부에 존재하는 층을 자유롭게 선택할 수 있도록 하는 오엘이디 소자의 제조방법에 관한 것이다. 종래의 오엘이디 디스플레이 소자를 제조하기 위한 공정에서, 격벽은 노출된 SiO2막 상에 형성되게 되어 상기에서 설명한 바와 같이 격벽은 SiO2막과 결합력이 좋지 않게 때문에 상기와 같이 얼라인 마크 하나를 가지고 오엘이디 디스플레이 소자의 제조공정을 진행하게 되면, 필연적으로 포토레지스트로 형성되는 격벽의 하부에는 SiO2막이 존재하게 되고, 이로 인해 격벽의 벗겨짐(peeling)이 발생하게 되는 문제가 있다. 본 기술의 목적은, 형성하고자 하는 각 층별로 각각 별개의 얼라인 마크를 구비하여 최종적으로 형성되는 격벽의 하부에 형성되는 막의 종류를 자유롭게 선택할 수 있도록 해주는 오엘이디 디스플레이 소자의 제조방법을 제공하는데에 있다.본 기술은, 포토레지스트를 이용하여 형성되는 격벽의 하부에 포토레지스트와 접착력이 떨어지는 SiO2막 대신에 접착력이 우수한 ITO막이 형성되도록 해줄 수 있는 오엘이디 디스플레이 소자의 제조방법이다. 본 기술에 따른 오엘이디 디스플레이 소자의 제조방법은 형성하고자 하는 각 층별로 별개의 얼라인 마크를 구비하여, 최종적으로 형성되는 격벽의 하부에 형성되는 막의 종류를 자유롭게 선택할 수 있도록 해주는 것을 특징으로 한다. 본 기술에 따른 오엘이디 디스플레이 소자의 제조방법에 의하면, 포토레지스트를 이용하여 형성되는 격벽의 하부에 포토레지스트와 접착력이 떨어지는 SiO2막 대신에 접착력이 우수한 ITO막이 형성되도록 해주는 것이 가능해져, 격벽의 벗겨짐 현상을 방지할 수 있게 된다.
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- 2007-07-13
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본 기술은 오엘이디 소자의 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 에이징 공정 중에 부분적으로 버닝 픽셀이 발생하더라도 픽셀 결함이 드러나는 것을 방지할 수 있도록 한 오엘이디 소자의 제조방법에 관한 것이다. 종래의 오엘이디 소자는 에이징(Aging) 공정 중에 진행성 결함(defect)이나 부분적으로 두께 균일성(uniformity)이 떨어지는 단위 화소 영역(pixel)에서 음전극인 금속 전극이 열에 의해 타본 버리면서 픽셀 결함(pixel defect)이 발생하는 문제점이 있었다. 본 기술의 목적은, 부분적인 에이징 공정 중에 버닝 픽셀이 발생하더라도 픽셀 결함이 드러나는 것을 방지할 수 있는 오엘이디 소자의 제조방법을 제공하는 데에 있다. 본 기술에 따른 오엘이디 소자의 제조방법은 기판 상에 일 방향으로 길게 뻗는 스트라이프 형상의 하부전극패턴을 형성하는 단계; 하부전극패턴이 형성된 기판 상에 하부전극패턴의 일부를 노출시켜 복수개의 화소개구부를 가지는 단위 화소 영역이 정의되도록 절연막을 형성하는 단계; 단위 화소 영역 사이에 하부전극패턴과 수직 교차하는 방향으로 격벽을 형성하는 단계; 복수개의 화소개구부 상에 발광유기물층을 형성하는 단계; 및 발광유기물층이 형성된 복수개의 화소개구부를 가지는 단위 화소 영역 상에 하부전극패턴과 수직 교차하는 방향으로 길게 뻗는 스트라이프 형상의 상부전극패턴을 형성하는 단계로 구성된다. 본 기술은, 종래와는 달리 하나의 단위 화소 영역을 4개의 화소개구부를 가지는 단위 화소 영역으로 형성함으로써 에이징 공정 중에 부분적인 버닝 픽셀이 발생하더라도 픽셀 결함이 드러나는 것을 방지할 수 있도록 한다. 이에 따라 제품으로서의 가치를 향상시킬 수 있게 된다.
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- 2007-07-13
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본 기술은 오엘이디 디스플레이 소자의 격벽 형성방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 종래의 네가티브 포토레지스트에 노광량, 베이크 온도 및 시간, 그리고 노광각도를 조절해주는 방식에 의해 역테이프형 격벽을 형성하는 방법이 아닌, T자형 몰드와 모세관 현상을 이용하여 보다 간단한 방법으로 형성할 수 있는 오엘이디 디스플레이 소자의 격벽 형성방법에 관한 것이다. 종래의 오엘이디 디스플레이 소자의 제조방법은 투명 하부전극패턴을 형성한 후에 별도의 격벽 형성단계가 필요하여 공정이 매우 복잡할 뿐만 아니라, 격벽의 재질이 하부 기판과의 재질과 다름으로 인하여 기판과 격벽의 부착력에 문제가 있어왔다. 또한, 포토레지스트를 사용하는 종래의 포토리소그래피 공정을 요하므로 요구되는 격벽의 형상과 원하는 CD(Critical Dimension)값을 구현하기 위한 공정조건의 설정이 필요하고, 또한 상기에서 설명한 바와 같이 격벽의 부착력이 약하게 되면 격벽이 떨어져나가(peeling off) 오엘이디 디스플레이 소자의 미세결함 또는 단락(short)을 유발할 우려가 있다. 본 기술의 목적은, 오엘이디 디스플레이 소자에 있어서 격벽을 보다 간단한 방법으로 제조함과 동시에 기판과 격벽의 부착력을 높여 격벽이 떨어져 나가는 현상을 방지할 수 있는 오엘이디 디스플레이 소자의 격벽 형성방법을 제공하는데에 있다.본 기술에 따른 오엘이디 디스플레이 소자의 격벽 형성방법은 PDMS를 이용하여 T자형 음각형상을 가진 몰드마스터를 가공하는 단계; 몰드 마스터의 T자형 음각형상에 고분자수지를 채워 T자형 리플리카 몰드를 제조하는 단계; T자형 리플리카 몰드에 기판을 부착하는 단계; 기판이 부착된 리플리카 몰드를 오엘이디 제조용 기판에 정렬시키는 단계; 리플리카 몰드의 빈공간에 포토레지스트를 분사하여 모세관 현상에 의해 상기 빈공간을 채워주는 단계; 및 리플리카 몰드를 슬라이딩 방식으로 수평방향으로 오엘이디 제조용 기판으로부터 탈착시키는 단계로 구성된다. 본 기술에 따른 오엘이디 디스플레이 소자의 격벽 형성방법에 의하면, 미세 모세관 몰딩 기법을 이용하여 격벽을 형성함으로써, 기존의 포토리소그라피 공정에서 보다 간단하고 단순한 방식으로 격벽을 형성하는 것이 가능해 진다.
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본 기술은 오엘이디 디스플레이 소자의 제조방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판 상에 형성되는 배선층을 산소 및 수분으로부터 보호하여 배선층의 산화에 의한 배선저항 증가를 방지할 수 있는 오엘이디 디스플레이 소자의 제조방법에 관한 것이다. 일반적으로 투명유리기판 상에 오엘이디는 화소영역이 형성되어 있는 활성영역과 기판의 테두리부에 해당되며 화소영역의 상부전극 및 하부전극을 외부의 오엘이디 드라이버 IC와 전기적으로 연결시켜주는 배선층들이 형성되는 비활성영역으로 나누어진다. 이중 배선층은 화소영역의 하부전극에 전기적으로 연결되며 영상신호를 공급하는 데이터라인(data line)과 화소영역의 상부전극에 전기적으로 연결되며 셀 선택신호를 공급하는 스캔라인(scan line)으로 구성되는데 오엘이디를 구동하는 소비전력을 낮추고 또한 신호의 신호지연(time delay) 현상을 없애주기 위하여 일반적으로 저저항 금속을 이용하여 형성된다. 그런데, 이와 같은 배선층 설계의 경우 배선층을 구성하는 저저항 금속층이 외부로 노출되어 장시간 오엘이디를 구동시 배선층이 외부의 산소와 수분에 노출되어 산화(oxdation)되는 등 배선층이 손상되어 고유저항이 증가되는 문제가 있다. 본 기술의 목적은, 오엘이디 디스플레이 소자의 배선층을 산소나 수분으로부터 보호하여 배선층의 산화를 방지할 수 있는 오엘이디 디스플레이 소자의 제조방법을 제공하는데에 있다.본 기술에 따른 오엘이디 디스플레이 소자의 제조방법은 기판 상에 하부전극패턴과 배선층을 형성하는 단계; 하부전극패턴과 배선층이 형성된 기판 상에 배선보호층을 형성하는 단계; 배선보호층 상에 포토레지스트를 도포하는 단계; 노광 및 현상공정을 거쳐 포토레지스트의 일부영역을 제거하여 하부전극패턴과 배선층과 오버랩 되는 배선보호층의 일부영역을 노출시키는 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계; 포토레지스트 패턴을 식각마스크로 노출된 배선보호층을 식각하는 단계; 및 포토레지스트 패턴을 제거해주는 단계로 구성된다. 본 기술에 따른 오엘이디 디스플레이 소자의 제조방법에 의하면 기판의 비활성영역에 형성되는 배선층을 산화막 또는 질화막 배선보호층으로 완벽하게 커버해줌으로써 배선층이 외부의 산소나 수분에 의해 산화되는 것을 방지할 수 있다. 이로서 배선층의 산화에 의한 전기저항의 증가를 방지하여 저소비전력으로도 오엘이디 디스플레이 소자를 구동하는 것이 가능해지며, 또한 전기저항 증가로 인한 신호지연 현상을 방지할 수 있다.
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- 2007-07-13
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본 기술은 오엘이디 디스플레이 소자의 제조방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 오엘이디 디스플레이 소자를 제조하는 공정에 있어서 관한 것이다. 종래에는 실런트를 경화시킴에 있어서 1차적으로 자외선에 의한 경화를 실시하고, 2차적으로 오븐(oven) 내에서 열경화를 시켜주는 방법을 사용하였다. 그런데, 2차 경화에 해당하는 오븐에 의한 열경화는 시간이 매우 오래 걸리고 폐쇄된 공간인 오븐 내부에서 행해지므로 열경화 시 실런트의 내부에 포함된 용매나 기타 불순물들이 오븐 내부에서 대류되어 오엘이디 디스플레이 소자 내부로 침투될 우려가 있다. 본 기술의 목적은, 실런트의 경화시간을 획기적으로 줄일 수 있고 폐쇄된 공간이 아닌 개방된 공간에서 열경화를 수행할 수 있도록 하는 오엘이디 디스플레이 소자의 제조방법을 제공하는데에 있다.본 기술에 따른 오엘이디 디스플레이 소자의 제조방법은 중심부의 활성영역과 테두리부의 비활성영역으로 구분되는 기판의 활성영역 상에 배선층과 하부전극, 절연체, 격벽, 발광유기물층, 및 상부전극을 포함하는 오엘이디 어레이층을 형성하는 단계; 기판의 비활성영역 상에 실런트를 도포하는 단계; 금속 또는 유리로 된 봉지캡을 실런트가 도포된 라인을 따라 기판 상에 합착시키는 단계; 자외선(UV)을 이용하여 실런트를 1차 경화시키는 단계; 및 레이저를 이용하여 실런트를 2차 경화시키는 단계로 구성된다. 본 기술에 따른 오엘이디 디스플레이 소자의 제조방법에 의하면, 실런트의 경화시간을 획기적으로 줄일 수 있고 폐쇄된 공간이 아닌 개방된 공간에서 열경화를 수행함으로써 실런트 중에 포함되어 있는 용매나 기타 불순물의 공격으로 부터 오엘이디 디스플레이 소자를 보호하는 것이 가능해 진다.
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- 2007-07-13
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전기·전자 > 기타 전기/전자
본 기술은 오엘이디 소자용 마스크에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 기판에 봉지캡을 밀봉하는 봉지 공정 시 실런트를 경화시키는 데 사용되는 오에이디 소자용 마스크에 관한 것이다. 종래의 마스크는 수정(quarts) 기판에 크롬 패턴을 형성하여 제작된다. 그러나, 수정 기판은 가격이 매우 비싸며, 수정 기판에 크롬 패턴을 형성하기 위해서는 증착공정과 패터닝 공정이 필요하였다. 이에 따라, 가격이 저가이면서 제조공정이 간단한 오엘이디 소자용 마스크가 요청된다. 본 기술이 이루고자 하는 기술적 과제는 값이 싸면서도 제조공정이 간단하며, 상기 오엘이디 소자용 마스크를 제조하는 방법을 제공하는 데에 있다. 본 기술에 따른 오엘이디 소자용 마스크는 빛을 투과시키기 위한 투광부와, 빛을 차단시키기 위한 차광부로 구성되는 제1 메탈시트 및 제2 메탈시트; 및 제1 메탈시트 및 제2 메탈시트 사이에 삽입되어 제1 메탈시트 및 제2 메탈시트를 일정 간격 이격시키면서 지지하는 지지프레임을 포함하며, 제1 메탈시트 및 제2 메탈시트는 지지프레임을 사이에 두고 대칭적으로 형성된다. 본 기술에 따른 오엘이디 소자용 마스크에 의하면, 봉지 공정 시 실런트를 경화시키는 마스크를 값이 싼 메탈시트를 이용하여 간단하게 제작함으로써 마스크의 단가를 낮추고 제조공정을 단순화할 수 있으며, 나아가 오엘이디 제조단가를 절감시킬 수 있다.
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- 2007-07-13
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전기·전자 > 기타 전기/전자
본 기술은 유기 발광 소자에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 봉지 공정 시, 실런트 경화를 위해 조사된 빛이 기판 내에서 산란 되는 것을 방지함으로써 기판 상에 형성된 유기물이 산란 되는 빛에 의해 손상되는 것을 방지할 수 있는 유기 발광 소자 패널에 관한 것이다. 종래에는 글래스 캡(glass cap)을 이용하여 봉지 공정을 하는 경우, 실런트를 경화시키기 위하여 빛을 조사하는 과정에서, 기판의 활성 영역으로 조사되는 빛은 유기물 및 격벽 상에 형성된 금속물질의 상부전극에 의해 반사되어 유기물이 손상되는 것을 방지할 수 있지만, 배선이 형성된 기판의 비활성 영역 상에 조사되는 빛은 배선 사이를 통하여 기판 내부로 투사되어 기판 내에서 산란하게 된다. 따라서, 기판의 활성 영역의 최외각부에 형성된 유기물에 손상을 주어 손상된 유기물이 그 특성을 달리함으로써 소자 불량을 초래하는 문제점이 있었다. 본 기술의 목적은, 봉지 공정 시, 실런트 경화를 위해 조사된 빛이 기판 내에서 산란 되는 것을 방지할 수 있는 유기 발광 소자 패널을 제공하는 데에 있다.본 기술에 따른 유기 발광 소자 패널은, 화소 영역이 형성되는 활성 영역과 배선이 형성되는 비활성 영역으로 구분되는 기판, 기판의 활성 영역 상에 형성되는 하부전극패턴, 활성 영역 상에 형성된 하부전극패턴의 일부 영역을 노출시켜 화소 영역을 정의하도록 형성되며, 비활성 영역까지 연장되어 배선을 덮도록 형성되는 절연막, 활성 영역 상에 형성된 절연막 상에 형성되는 격벽, 화소 영역의 노출된 하부전극패턴 상에 형성되는 발광유기물층, 및 활성 영역 상에 형성된 격벽 및 발광유기물층 상에 형성되며, 비활성 영역까지 연장되어 비활성 영역 상에 형성된 절연막을 덮도록 형성되는 상부전극을 포함하는 어레이패널부; 및 기판의 비활성 영역 상에 형성된 상부전극과 실런트에 의해 접착되어 어레이패널부를 봉지하는 봉지 캡으로 구성되어 있다. 본 기술은, 봉지 공정 시 실런트를 경화시키는 과정에서, 봉지 캡 상부로부터 조사되는 빛이 기판으로 투사되어 기판 내에서 산란 되는 것을 방지할 수 있도록 기판의 활성 영역 및 비활성 영역 상에 금속물질의 상부전극을 형성함으로써 산란 된 빛에 의해 활성 영역 상에 형성된 발광유기물층이 손상되는 것을 방지할 수 있도록 한다. 이에 따라, 소자의 불량을 감소시킬 수 있다.
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- (주)대우전자
- 등록일
- 2007-07-13
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