일반기술
전기·전자 > 반도체 소자 (B63)
소스와 드래인 단자 영역이 금속 성질을 갖도록 실리사이드화시켜 저항을 대폭 저감시킬 수 있도록 한 모스 트랜지스터의 제조방법에 관한 것으로, 그 제조공정은 우선 실리콘 기판위에 산화막과 다결정 실리콘을 증착한 후 건식식각 처리방식으로 게이트 영역을 형성시키고, 그 게이트 양측으로 소스와 드래인 영역을 형성하기 위하여 기판의 상면에서 비소로 이온 주입하여 엘디디를 형성한다.이어서, 그 게이트의 측면에 산화막을 증착하고 건식식각을 수행하여 게이트 측면 산화막을 형성한 다음, 기판 상면에서 비소 이온을 주입하여 소스와 드래인 영역을 형성하고 이렇게 형성된 소스와 드래인 영역의 표면에 금속을 증착한 후에 열처리를 가해 실리사이드화시킨 다음에, 세 단자(소스, 드래인, 게이트)에 알미늄 전극을 증착하면 모스 트랜지스터 소자의 제조공정이 완료된다.이에 따르면, 본 발명은 소스와 드래인 영역에서의 저항이 저감되어 소자의 전류구동성이 크게 증대될 뿐만 아니라, 건식 식각기술로 게이트의 폭을 대략 0.1마이크로미터(㎛)이하로 조절하여 극소 소자를 제조할 수 있으므로 저전력으로도 구동이 가능해지는 효과를 갖는다.실리콘 기판에 소스, 드래인 및 게이트의 각 단자를 각기 형성하는 단계와,상기 게이트측에 불순물인 이온을 주입하여 엘디디를 형성하는 단계와,상기 게이트 영역에 측면 산화막을 형성하는 단계와,상기 소스 및 드래인에 금속을 증착시키고 열처리하여 실리사이드(SILICIDE)화시키는 단계와,상기 실리사이드와 실리콘의 접합부위를 접합시켜 실리콘 층을 형성시키는 단계를 구비하여 된 것을 특징으로 하는 모스 트랜지스터의 제조방법.
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- 호서대학교
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- 2006-05-12
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일반기술
전기·전자 > 반도체 공정 (B63)
초음파 건식 세정기의 세정헤드 냉각 및 가스 분사장치에 관한 것으로서, 특히 초음파 헤드의 외곽을 감싸면서 그 초음파 헤드와의 사이에 일정 간극을 갖도록 분사커버를 형성하고, 상기 분사커버의 출구측에는 매질(가스)이 기판을 향해 배출되도록 하는 분사구를 형성하며, 상기 분사커버의 도중에는 일정양의 매질이 머무를 수 있도록 일정크기의 냉각챔버를 형성하므로서, 반도체 제조공정 또는 에시디 패널 제조공정 중에 기판(웨이퍼 또는 그레스) 표면에 붙어있는 불순물을 효율적으로 제거하여 세정 처리할 수 있음은 물론 장시간 연속적으로 초음파 헤드를 사용하더라도 분사커버를 통과하는 저온의 매질에 의해 초음파헤드가 효율적으로 냉각되어 과열에 의한 고장을 방지할 수 있도록 한 초음파 건식 세정기의 세정헤드 냉각 및 가스 분사장치에 관한 것이다.초음파 건식 세정기의 세정헤드 냉각 및 가스 분사장치에 관한 것으로서, 반도체 제조공정 또는 에시티 패널 제조공정 중에 기판(웨이퍼 또는 그레스) 표면에 붙어있는 불순물을 효율적으로 제거하여 세정 처리할 수 있음은 물론 장시간 연속적으로 초음파 헤드를 사용하더라도 분사커버를 통과하는 저온의 매질에 의해 초음파헤드가 효율적으로 냉각되어 과열에 의한 고장을 방지할 수 있도록 한 초음파 건식 세정기의 세정헤드 냉각 및 가스 분사장치를 제공하는 효과를 기대할 수 있다.
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- 호서대학교
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- 2006-05-12
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일반기술
전기·전자 > 영상·음향기기
본 기술은 편향거울의 개재에 의해 발광원의 빛을 안구에 조사함과 동시에 반사되는 빛을 세극등으로 입사하는 장치에 있어서: 상기 편향거울 의 전방으로 안구를 향해 장착되는 비구면렌즈; 상기 비구면렌즈, 편향거울, 발광원, 세극등 등의 주요 기능부를 탑재하고, 베이스 상에 직선 왕복운동을 수행하도록 장착되는 프레임; 및 상기 세극등의 양측면으로 설치되고 입사되는 영상을 디지털 데이터로 생성하는 디지털 카메라를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.고가의 안저카메라가 필요 없으면서 간단한 조작만으로도 좁은 선상의 슬릿비임(slit beam)을 모아서 확대, 축소, 편집, 저장 및 사진출력이 가능한 광각의 안저영상을 얻는 효과가 있다.편향거울의 개재에 의해 발광원의 빛을 안구에 조사함과 동시에 반사되는 빛을 세극등으로 입사하는 안과용 의료장치에 있어서: 베이스; 상기 베이스상에 안구에 조사하는 방향과 직교하는 횡축으로 직선 왕복운동을 수행하도록 장착되는 프레임; 상기 프레임상에 탑재되고 안구에 조사될 빛을 발생하는 발광원; 상기 프레임상에 탑재되고 상기 발광원으로부터 발생한 빛을 안구쪽으로 굴절되도록 하는 편향거울; 상기 프레임상에 탑재되고 상기 편향거울의 전방으로 안구를 향해 장착되는 비구면렌즈; 상기 프레임상에 탑재되고 상기 비구면렌즈 및 편향거울에 의한 피검안상 위치에 설치되는 세극등; 및 상기 세극등의 양측면으로 설치되고 입사되는 영상을 디지털 데이터로 생성하는 디지털 카메라를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 무산동 광각의 디지털 안저영상 획득장치.
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- 창원상공회의소
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- 2006-05-22
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일반기술
전기·전자 > 기타 반도체
본 발명은 접합제를 사용하지 않고 세라믹판위에 유전층을 직접 도포하는 공정을 포함하는 정전 척의 제조방법에 관한 것으로서, 산화칼슘, 알루미나, 실리카 , 산화붕소로 제조된 결정화 유리 분말을 유전층 재료로 제공하며, 또한 세라믹 기판위에 전극층을 형성한 후 예비소결하는 공정과, 결정화유리분말을 밀링하여 슬러리를 형성한 후 탈포하는 공정과, 상기의 슬러리를 전극이 예비소결된 세라믹 기판 위에 테이프캐스팅 한 후 건조시켜 유전층을 형성하는 공정과, 상기의 유전층과 전극층을 소결하는 공정을 포함하는 제조방법을 제공함으로써 종래의 제조방법에 비하여 공정의 단순화로 제조원가를 낮출 수 있으며, 별도의 접합제를 사용하지 않기 때문에 종래의 정전 척보다 열에 강하며 입자오염이 낮은 효과가 있다.본 발명은 특정 조성의 결정화유리를 유전층 재료로 사용함으로써, 정전 척으로 사용되기에 적합한 물성을 갖으면서 세라믹판 상부에 접합하여 웨이퍼 공정에 수반되는 온도변화에도 안정된 접합성을 유지할 수 있는 유전층을 제공하는 것이며 또한, 접합제를 사용하지 않고 세라믹판위에 유전층을 직접 도포하는 공정을 포함하는 정전척의 제조방법을 제공하는 것이다. 본 발명의 유전층 재료로 개발된 CASB 결정화유리는 유전상수와 전기비저항 특성이 정전 척으로 사용되기에 적합하며, 세라믹 기판과의 접합성이 우수할 뿐만 아니라 열팽창계수가 알루미나 세라믹기판과 유사하여 다양한 온도변화 조건에서도 안정성을 확보할 수 있다. 또한 본 발명의 정전척 제조방법은 종래의 제조방법에 비하여 공정의 단순화로 제조원가를 낮출 수 있으며, 별도의 접합제를 사용하지 않기 때문에 종래의 정전 척보다 열에 강하며 입자오염이 낮다.
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- 호서대학교
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- 2006-05-22
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전기·전자 > 반도체 공정 (B63)
초미세 반도체소자를 제조하기 위하여 실리콘벌크를 에칭하는 장치에 관한 것으로, 에칭 액을 수용하여 반도체벌크를 에칭하는 에칭 조가 전열찬 위에 얹혀져 지지되고, 상기 전열판은 내부에 유도코일을 구비하여 외부전원을 공급받아서 유도전류로써 발열하여 상기 에칭 조에 전열함으로써 에칭 액을 가열하며, 상기 에칭 조에는 외부전원에 의해 초음파를 발생시켜 상기 에칭조 내부의 에칭 액을 진동시킴으로써 교반하는 초음파발생기가 구비된다.따라서 초음파발생기에서 제공되는 초음파에 의해 에칭 액이 교반됨으로써 에칭 액의 농도가 에칭 조안에서 위치와 관계없이 균일하게 유지되어 에칭 품질을 일정하게 유지하게 된다.에칭 액의 농도저하를 방지하기 위하여 별도의 침적물 제거제를 사용하지 않으므로 원가를 절감할 수 있고 농도를 측정하기 위한 별도의 보조장치를 사용하지 않으므로 구조가 간단하다. 뿐만아니라 에칭 액을 교반하기 위한 장치로서 마그네틱 바아와 이 마그네틱 바아를 움직이기 위한 장치대신에 초음파발생장치를 사용함으로써 간단한 구조로써 에칭 액을 효과적으로 교반함으로써 에칭 액의 농도불균일을 해소하여 에칭 조 전체에 걸쳐 에칭 액 농도를 균일하게 유지할 수 있다. 이에 따라 에칭 조에 배치된 위치에 따라 에칭품질에 편차를 일으키는 단점을 해소할 수 있다.
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- 호서대학교
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- 2006-05-12
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일반기술
전기·전자 > 기타 반도체
본 발명은 디지털 미세거울표시소자(Digital Micromirror Device) 패키지에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판(Substrate)을 금속재로 구성하여 기판에 대한 윈도우프레임의 접합이 금속과 금속간의 직접 용접방식(Welding)에 의하여 이루어지도록 하여 패키지조립공정을 간편하게 할 수 있도록 하고, 제조원가를 크게 낮출 수 있도록 하며, 히트싱크(Heat Sink) 없이도 외부로의 빠른 열전달이 이루어지게 하여 열화(劣化)를 방지할 수 있도록 하고, 그에 따라 수명의 연장과 고휘도의 특성을 꾸준히 유지할 수 있도록 한 디지털 미세거울표시소자 패키지어셈블리에 관한 것이다.본 발명을 적용하면, 디지털 미세거울표시소자 장착홈으로 부터 일정 거리 이격된 금속재 기판의 둘레로부터 동일 금속재의 돌출턱이 일체로 동출 형성되고, 상기 디지털 미세거울표시소자 장착홈의 상방으로부터 금속재의 윈도우프레임에 의해 고정된 광학윈도우가 덮여진 상태에서 상기 금속재의 윈도우프레임과 돌출턱이 웰딩접합됨에 따라 패키지 제조공정이 종래에 비하여 현저하게 단순화되고, 그 결과 생산원가가 절감된다. 또 상기 기판과 돌출턱이 모두 동일 금속재로 이루어지기 때문에 디지털 미세거울표시소자 칩의 구동시 발생되는 열이 히트싱크 없이도 외부로 빠르게 방출되기 때문에 부품의 열화가 방지되면서 수명단축 및 특성저하가 방지된다.
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- 호서대학교
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- 2006-05-22
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전기·전자 > 반도체 소자 (B63)
반도체 회로 설계의 고속 검증을 위한 기술로 종래의 소프트웨어적 검증 방식의 한계를 극복하기 위하여 하드웨어 가속기와 이의 최적 동작을 위한 소프트웨어 알고리즘을 구현함으로써 실제 결과 값에 근사한 예측치를 빠른 시간 내에 계산되도록 하여 설계에 즉시 반영할 수 있도록 하는 반도체 소자의 설계 고속 병렬 검증 방법에 관한 것이다.즉, 반도체 회로 도면의 기능 검증을 위하여 하드웨어적인 방법과 이에 최적화된 소프트웨어적인 방법을 병용함으로써 종래의 기술에 비하여 매우 빠른 검증이 가능하도록 하는데 있다.반도체 소자의 설계 검증을 위한 고속 병렬 시뮬레이션 방법에 있어서 하드웨어 가속기 및 최적화된 소프트웨어를 적용함으로써 반도체 소자의 설계 검증 속도를 높일 수 있으며, 실 예로 ISCAS-85 벤치마킹용 회로인 C432.CKT회로를 사용하고, 본 하드웨어가속기를 25MHz 기반으로 동작하는 경우 초당 523,000개의 이벤트를 처리할 수 있는 능력을 보유하고 있으며, 이는 초당 905,000게이트를 처리할 수 있다. 이하드웨어가속기는 HDL을 이용하여 구현하고 검증하였으며, 네트 디스크립터가 32비트로표현가능하기 때문에 최대 처리 능력은 초당 16,730,000 이벤트(초당 29,000,000게이트)가 가능하므로, 모든 벤치마킹용 회로를 1초이내에 처리할 수 있으며, 이는 소프트웨어를 이용한 검증과 비교하여 최대 5,600배 이상의 수행속도를 가지게 된다.
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- 2006-05-12
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일반기술
전기·전자 > 반도체 소자 (B63)
반도체 회로의 전압 강하 및 전력 소모 값의 분석방법은 정적 및 동적 분석 방법에 있어서 지연 계산기, 소모전력 계산기, RC축소기, 전류 추출기 및 피크값 추출기 등의 분석 기법을 이용하여 실제 전압 강하 값과 소모 전력 값에 근사한 예측지를 빠른 시간내에 계산되도록 함으로써 SoC와 같은 대형 반도체 설계도면의 검증에서 전압강하 및 전력 소모 현상으로 나타날 수 있는 설계 오류를 제거하는데 그 목적이 있고, 개발 기간의 단축 및 비용을 획기적으로 절감할 수 있다. 또한, 종래의 방법에 비하여 그 결과 값 및 분석속도에 있어 월등한 결과를 나타내므로 고가의 외산 상용프로그램을 대체하는 효과가 있다반도체 소자의 전압 상하 및 전력 소모 값의 분석 방법에 있어서 정적 방식에서의 큰 오차 값과 동적 방식에서의 분석 효율성 문제를 극복한 것으로, 실 회로에서 발생 가능한 요인들을 모두 반영하면서도 간략화하여 종래의 기술에서 구현이 어려웠던 고속의 분석 및 설계 피드백을 가능케 하여 설계 초기에 발생할 수 있는 오류를 최소화할 수 있어 개발 기간의 단축 및 비용을 획기적으로 절감할 수 있다.또한, 종래의 방법에 비하여 그 결과 값 및 분석속도에 있어 월등한 결과를 나타내므로 고가의 외산 상용프로그램을 대체하는 효과가 있다
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- 2006-05-12
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일반기술
전기·전자 > 시험측정 기술 (B63)
반도체 제조장비의 파티클 측정장치에 관한 것으로, 특히 진공펌프에 의해 내부압력을 저압상태로 유지하여 피측정공간의 파티클을 포함한 유체를 확산에 의해 내부로 유입되게 하는 진공챔버와, 상기 진공챔버를 통과하는 유체에 레이저빔을 조사하여 유체에 포함된 파티클의 수를 광학적으로 검출하는 파티클센서를 포함하고, 상기 파티클센서의 선단에 진공챔버 내의 유체의 흐름을 파티클빔으로 형성시키는 1쌍의 공기역학적 렌즈가 구비된 반도체 제조장비의 파티클 측정장치이다.본 발명에 따르면, 측정공간인 진공챔버의 내부압력이 진공챔버에 의해 저압으로 유지되므로 피측정공간의 피측정대상유체와 그에 포함된 파티클의 확산에 의해 진공챔버안으로 유입되어 측정하게 되므로 실제 반도체 제조장비에서의 작업조건 동일한 조건에서 파티클을 검출하게 되어 측정의 재현성을 높일 수 있고, 아울러 파티클을 공기역학적 렌즈에 의해 빔형태로 통과시키므로 측정의 정확도나 신뢰성을 높일 수 있다. 즉, 저압상태에서도 파티클 측정효율이나 신뢰성을 높일 수 있게 된다.
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- 호서대학교
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- 2006-05-12
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일반기술
전기·전자 > 기타 전기/전자
분사노즐 장치는 액정디스플레이 기판의 상부에 폭방향을 따라 배치되는 몸체를 구비하되, 몸체는 포토 레지스트를 도입하기 위한 도입구와, 도입된 포토 레지스트를 상기 기판의 폭방향을 따라 확산시키는 확산실과, 확산된 포토 레지스트를 상기 기판의 표면에 분사하는 분사통로를 구비하는 포토 레지스트 분사노즐 장치에 있어서, 도입구는 상기 몸체의 중앙부에 형성되고; 확산실은 반원형의 단면을 가지되, 도입구를 중심으로 몸체의 폭방향 양쪽을 향해 점차적으로 축소되는 단면적을 가지며; 분사 통로는 폭방향의 양쪽 측벽면이 하방으로 갈수록 상기 몸체의 외측을 향해 테이퍼져 있다.항상 균일한 유속, 유량, 유압의 포토 레지스트를 분사하는 구조를 갖춤으로써, 포토 레지스트의 분사초기와 분사후기에 관계없이 포토 레지스트를 항상 균일하게 분사할 수 있으며, 따라서 분사노즐 장치의 운동 개시 시점과, 운동 정지 시점에서도 기판의 표면에 포토 레지스트를 균일하게 도포 할 수 있다. 또한, 분사통로로부터 분사된 포토 레지스트가 분사통로의 양쪽 끝부분에 점착되는 것을 방지하는 구조를 갖춤으로써, 분사통로로부터 분사된 포토 레지스트가 항상 균일한 유속과 유압과 유량을 유지할 수 있게 한다.
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- 2006-05-12
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전기·전자 > 화합물반도체 (B63)
유기 박막 트랜지스터의 안정성 및 신뢰성을 확보하기 위해서는 적절한 공정이 요구되고 있으나, 이에 관한 연구는 거의 진행되지 않고 있다. 본 발명에서는 종래의 물질들 보다 전기적 특성이 향상된 유기-무기 혼재 반도체 물질과 그 제조 방법의 개선을 제공하는데 그 목적이 있다. 즉 본 발명은 유기 박막 트랜지스트용 유기-무기 반도체 물질 및 제조 방법에 관한 것으로 특히, 유기 박막 트랜지스트용 유기-무기 반도체 물질중 Perovskite형 구조를 가진 화합물과 그 제조 방법에 관한 것이다.유기물, 무기물, 반도체물질을 사용하는 유기 박막 트랜지스트에 관한것으로서, 특히 트랜지스터의 전기적 성능을 향상시킬 수 있는 유기 박막 트랜지스트(OTFT)의 반도체 물질 및 그 제조방법에 관한 것이다. OTFT용 유기-무기 반도체 물질인 (C6H5C2H4NH3)2PbCl4를 종래의 제조방법에 의하면 1년 정도가 소요되나 본 발명에서 제안한 방법에 의하면 (C6H5C2H4NH3)2PbCl4에 열을 가하기 때문에 제조시간이 단축 되었다.perovskite형 물질인 CH3NH3Snl3를 OTFT에 활성층에서 사용되는 것과 새로이 (5-BAP)2PbCl4를 OTFT에 적용함으로써 OTFT 기술에 기여할 수 있는 것이다.
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- 2006-05-12
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일반기술
전기·전자 > 기타 전기/전자
TFT-LCD 패널의 결함 검사에서 카메라를 이용하여 영상을 추출하고 이를 분석처리하는 TFT-LCD 패널의 결합분류 방법에 있어서, 상기 TFT-LCD 패널에 블랙,레드,그린,블루,그레이,화이트 등의 여러가지 패턴신호를 가하는 단계와, 상기 블랙, 레드, 그린, 블루, 그레이, 화이트 등의 패턴신호에 따라 나타나는 TFT-LCD 패널의 여러가지 영상을 상기 카메라를 통해 취득하는 단계와, 상기 카메라를 통해 입력받은 영상을 마스크와 모폴로지 기법을 이용하여 LCD 패널의 결합을 검출하는 단계 및 상기 검출된 결함을 여러가지 패턴별로 분석하여 해당 결함의 종류를 분류하는 단계를 포함하여 이루어지는 TFT-LCD 패널의 결함 및 분류방법을 제공하여, 기존의 육안검사로서 수행되어졌던 TFT-LCD 검사공정에서 발생하는 시간지연이나 불확실성을 해결하고, 카메라를 이용한 자동검사가 가능하게 하면서 일정한 검사 품질 유지 및 기존의 검사 방법보다 더욱 향상된 검사 성능을 얻을 수 있는 효과가 있다.TFT-LCD 패널의 결함 검사에서 카메라를 이용하여 영상을 추출하고 이를 분석처리하는 TFT-LCD 패널의 결함 분류 방법에 있어서, 상기 TFT-LCD 패널에 BLACK, RED, GREEN, BLUE, GRAY, WHITE 등의 여러가지 패턴 신호를 가하는 단계와, 상기 BLACK, RED, GREEN, BLUE, GRAY, WHITE 등의 패턴 신호에 따라 나차나는 TFT-LCD 패털의 여러 가지 영상을 상기 카메라를 통해 취득하는 단계와, 상기 카메라를 통해 입력받은 영상을 마스트와 모폴로지 기법을 이용하여 LCD 패널의 결함을 검출하는 단계 및 상기 검출된 결함을 여러가지 패턴별로 분석하여 해당 결함의 종류를 분류하는 단계를 포함하여 이루어지는 TFT-LCD 패널의 결함 및 분류 방법을 제공하여, 기존의 육안 검사로서 수행되어졌던 TFT-LCD 검사공정에서 발생하는 시간 지연이나 불확실성을 해결하고, 카메라를 이용한 자동 검사가 가능하게 하면서 일정한 검사 품질 유지 및 기존의 검사 방법보다 더욱 향상된 검사 성능을 얻을 수 있는 효과가 있다.
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- 2006-05-12
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일반기술
전기·전자 > 기타 전기시스템
본 발명은 원통형 선형전동기의 전기자 구조에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 프레임 내부에 조립 설치된 다수의 전기자 코일의 원활한 자속 흐름을 위해 상하좌우로 등분되어 설치되는 자성체 코아세트가 배치되지 않은 전기자 코일의 각 빈 공간영역으로 다수의 격벽이 형성된 호 형상의 자성체 블록을 추가로 조립 설치하여 자속밀도가 저하되는 것을 방지하는 것이 가능하도록 된 개선된 구조를 갖는 원통형 선형전동기의 전기자 구조에 관한 것이다.사각형상의 프레임 내부로 다수의 전기자 코일이 조립되어 설치되고, 상기 각 전기자 코일의 원활한 자속 흐름을 위하여 상하좌우로 등분된 자성체 코아세트가 상기 다수의 전기자 코일의 사이에 원주방향으로 설치된 원통형 선형전동기의 전기자 구조에 있어서, 상기 자성체 코아세트가 배치되지 않은 상기전기자 코일의 각각의 빈 공간 영역에 호 형상으로 이루어진 자성체 블록을 추가로 설치하되, 상기 자성체 블록에는 상기 다수의 전기자 코일 사이를 분리시키기 위한 다수의 격벽이 형성된 것을 특징으로 하며, 이러한 본 발명은 종래헤 비해 자속량이 증가됨은 물론, 전체적으로 추력이 상승됨에 따른 원통형 선형전동기의 전체적인 성능 및 동작 신뢰성이 크게 향상되는 효과가 있다.
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- 2006-05-12
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전기·전자 > 전력시스템
역방향 상태 천이의 연속적 제어에 의한 역추적 비터비 복호기에 관한 것으로, 생존 메모리, 다수 단의 역방향 상태 천이 제어부, 다수단의 상태 천이 메모리, 및 다수결 결정논리 복호부를 포함하고, 상기 생존 메모리는 ACSU로부터의 결정 비트를 병렬로 입력하고, 각 상태의 역방향의 연속적인 상태 천이를 제어하는데 필요한 생존 경로 정보를 상기 역방향 상태 천이 제어부로 출력하고, 상기 역방향 상태 천이 제어부는 상기 생존 메모리에 저장되어 있는 생존경로 정보와 상기 상태 천이 메모리에 저장되어 있는 상태 천이 정보를 입력으로 하고, 이에 기초하여 각 상태의 역방향의 연속적인 상태 천이를 제어하는데 필요한 역방향 상태 천이 제어 정보를 상기 상태 천이 메모리 또는 다수결 결정논리 복호부로 출력하고, 상기 상태 천이 메모리는 상태 천이 정보를 저장함과 동시에 상기 역방향 상태 천이 제어부로 출력하고, 상기 다수결 결정논리 복호부는 상기 역방향 상태 천이 제어부로부터 역방향 상태 천이 제어 정보를 입력하여 다수결 결정논리에 의하여 복호한다.본 발명은 상기한 종래의 역추적 비터비 복호기의 문제점을 개선하고 VLSI 칩 구현을 보다 용이하게 할 수 있도록 하기 위하여, 역추적 방식의 복호에 필요한 생존 메모리가 고정되고 축소되며, 복호 과정에 메모리 어드레싱을 단순 천이(shift) 동작만으로 가능하게 함으로써 메모리 어드레싱을 위한 별도의 논리회로가 요구되지 않는, 결정 비트(decision bit)를 기반으로 역방향 상태 천이의 연속적인 제어에 의한 순서적 복호를 가능하게 하는, 역방향 상태 천이의 연속적 제어에 의한 역추적 비터비 복호기 및 그 방법에 관한 것이다.상기의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 생존 메모리, 다수 단의 역방향 상태 천이 제어부, 다수단의 상태 천이 메모리, 및 다수결 결정논리 복호부를 포함하고, 상기 생존 메모리는 ACSU로부터의 결정 비트를 병렬로 입력하고, 각 상태의 역방향의 연속적인 상태 천이를 제어하는데 필요한 생존 경로 정보를 상기 역방향 상태 천이 제어부로 출력하고, 상기 역방향 상태 천이 제어부는 상기 생존 메모리에 저장되어 있는 생존경로 정보와 상기 상태 천이 메모리에 저장되어 있는 상태 천이 정보를 입력으로 하고, 이에 기초하여 각 상태의 역방향의 연속적인 상태 천이를 제어 하는데 필요한 역방향 상태 천이 제어 정보를 상기 상태 천이 메모리 또는 다수결 결정논리 복호부로 출력하고, 상기 상태 천이 메모리는 상태 천이 정보를 저장함과 동시에 상기 역방향 상태 천이 제어부로 출력하고, 상기 다수결 결정논리 복호부는 상기 역방향 상태 천이 제어부로부터 역방향 상태 천이 제어 정보를 입력하여 다수결 결정논리에 의하여 복호하는 역방향 상태 천이의 연속적 제어에 의한 역추적 비터비 복호기이다.따라서, 본 발명에 의하면, 복호에 필요한 생존 메모리가 고정되고 축소되며, 복호 과정에 메모리 어드레싱을 단순천이 동작만으로 가능하게 함으로써 메모리 어드레싱을 위한 별도의 논리회로가 요구되지 않는, 결정 비트를 기반으로 역방향 상태 천이의 연속적인 제어에 의한 순서적 복호가 가능하게 된다.
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- 2006-05-12
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일반기술
전기·전자 > 화합물반도체 (B63)
본 발명은 반도체 제조 장비의 핵심 부품인 매처(Matcher)의 제어장치에 관한 것으로, 특히 디지털 제어방식에 의한 메처의 제어장치에 관한 것이다.본 발명은 제어장치; 기어; 모터단; 정합소자단과, 크기오차, 위상오차, Load모터의 위치 및 Tune모터의 위치와 같은 매처 및 챔버의 상태를 나타내는 파라미터값을 문자로 표시하여 주는 LCD표시장치와; 아날로그 입력신호를 디지털 신호로 변환시키는 AD컨버터와 변환된 신호를 디지털 방식으로 신호처리하여 디지털 출력신호를 생성하는 프로세서(Processor)와 디지털 출력신호를 아날로그 출력신호로 변환시키는 DA(Digital to Analog)컨버터로 구성되고 LCD모드값에 따라 상기의 LCD표시장치에 LCD모드에 대응하는 데이터를 출력해주는 CPU를 포함하는 통상의 매처제어 장치에 있어서, 공정조건에 따른 프리세트값, 이득값 및 LCD모드값을 설정할 수 있는 키입력수단과; 상기 키입력수단에 의해 설정된 프리세트값, 이득값 및 위상/크기오차값을 이용하여 매뉴얼모드, 프리세트메뉴, 자동모드에 따라 해당하는 모터의 제어값을 출력하는 CPU로 구성되고; 상기 LCD표시장치는 프리셋트값을 설정하는 것을 특징으로 한다.본 발명에 의하면, 제어장치를 디지털화하여 회로의 유연성을 확보하고 LCD(Liquid Crystal Display)모듈을 장착하여 공정상태를 실시간 모니터링하여 사용자의 편의성을 도모할 수 있고 유지 보수가 용이하므로 반도체의 생산성을 크게 향상시킬 수 있다.제어장치를 디지털화하여 회로의 유연성을 확보하고 LCD(Liquid Crystal Display)모듈을 장착하여 공정 상태를 실시간 모니터링하여 사용자의 편의성을 도모할 수 있고 유지 보수가 용이하므로 반도체의 생산성을 크게 향상시킬 수 있고, 다양한 프리세트 값의 선택 및 입력이 가능하므로, 기존의 매처가 갖는 초기 공정의 불안정성을 개선하여 임피던스 정합시간이 향상된다. 또한 LCD 모듈을 장착하여 공정상태를 실시간 모니터링 할 수가 있으므로 매처의 제어장치의 사용이 편리해지는 효과가 있다.
- 보유기관
- 호서대학교
- 등록일
- 2006-05-22
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일반기술
전기·전자 > 반도체 공정 (B63)
대면적처리용 내장형 선형안테나를 구비하는 유도결합 플라즈마 처리장치에 대해 개시한다. 본 발명은, 반응챔버와, 유도전력이 인가되며, 상기 반응챔버의 내측 상부에서 수평적으로 서로 일정한 간격을 두고 선형적으로 배치되고. 반응챔버 외부에서는 상기 선형의 선형안테나를 접속시키되 반응챔버 외부로 노출된 안테나 중 서로 인접한 안테나의 일측을 접속시켜 하나의 굴절된 선형안테나가 적어도 하나이상 구비되거나, 일측을 하나로 형성시켜서 유도전력부에 접속시키고, 반응챔버 내부의 인접된 선형안테나 사이마다 또 다른 선형안테나를 다수 구비하여 타측을 하나로 형성시켜서 유도전력부에 접속된 선형안테나 및 상기 선형안테나로부터 발생되는 전기장과 교차하는 자기장을 발생시켜 전자가 나선 운동되도록 상기 안테나에 인접시켜 배치한 적어도 하나 이상의 자성체를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따르면, 선형안테나와 자성체의 결합하여 반응챔버내의 플라즈마 생성 영역에서 전기장과 자기장을 결합시킴으로써 전자의 나선운동에 의해 이동 경로가 증가하여 전자와 중성자간의 충돌 확률이 높아 RF 전력의 증가에 따른 플라즈마 밀도가 증가하게 되는 반면 전자 온도는 감소하고, 플라즈마 생성의 안정성이 증가하며, 또한 초대면적 플라즈마 공정을 위한 플라즈마 균일도도 10 % 이내에서 유지될 수 있는 장점이 있다.반응챔버; 유도전력이 인가되며, 상기 반응챔버의 내측 상부에서 수평적으로 서로 일정한 간격을 두고 선형적으로 배치되고. 반응챔버 외부에서는 상기 선형의 선형안테나를 접속시키되 반응챔버 외부로 노출된 안테나 중 서로 인접한 안테나의 일측을 접속시켜 하나의 굴절된 선형안테나가 적어도 하나이상 구비된 선형안테나; 및 상기 선형안테나로부터 발생되는 전기장과 교차하는 자기장을 발생시켜 전자가 나선 운동되도록 상기 안테나에 인접시켜 배치한 적어도 하나 이상의 자성체; 를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 대면적처리용 내장형 선형안테나를 구비하는 유도결합 플라즈마 처리장치에 있어서,상기 자성체는 상기 선형 안테나와 선형 안테나 사이에 평행하게 하 방향으로 배치되며, 상기 인접한 선형 안테나 사이에 극성이 다른 2개의 선형 자성체인 것을 특징으로 하는 대면적처리용 내장형 선형안테나를 구비하는 유도결합 플라즈마 처리장치.반응챔버와, 유도전력이 인가되며, 상기 반응챔버의 내측 상부에서 수평적으로 서로 일정한 간격을 두고 선형적으로 배치되고. 반응챔버 외부에서는 상기 선형의 선형안테나를 접속시키되 반응챔버 외부로 노출된 안테나 중 서로 인접한 안테나의 일측을 접속시켜 하나의 굴절된 선형안테나가 적어도 하나이상 구비되거나, 일측을 하나로 형성시켜서 유도전력부에 접속시키고, 반응챔버 내부의 인접된 선형안테나 사이마다 또 다른 선형안테나를 다수 구비하여 타측을 하나로 형성시켜서 유도전력부에 접속된 선형안테나 및 상기 선형안테나로부터 발생되는 전기장과 교차하는 자기장을 발생시켜 전자가 나선 운동되도록 상기 안테나에 인접시켜 배치한 적어도 하나 이상의 자성체를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따르면, 선형안테나와 자성체의 결합하여 반응챔버내의 플라즈마 생성 영역에서 전기장과 자기장을 결합시킴으로써 전자의 나선운동에 의해 이동 경로가 증가하여 전자와 중성자간의 충돌 확률이 높아 RF 전력의 증가에 따른 플라즈마 밀도가 증가하게 되는 반면 전자 온도는 감소하고, 플라즈마 생성의 안정성이 증가하며, 또한 초대면적 플라즈마 공정을 위한 플라즈마 균일도도 10 % 이내에서 유지될 수 있는 장점이 있다.
- 보유기관
- 성균관대학교
- 등록일
- 2006-05-22
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일반기술
전기·전자 > 영상·음향기기
*원리 및 구성;본 기술은 실시간 윈도우 기반 영상 처리 장치에 관한 것으로, 영상을 전송하는 카메라에서 생성된 제어 신호를 기반으로 현재 입력중인 픽셀의 2차원 좌표를 계산해내는 좌표 생성 모듈과; 윈도우 기반으로 영상을 처리하기 위해 일정 영역에 속한 픽셀로 그룹을 구성하여 영상의 일부를 내부 메모리와 레지스터에 저장, 출력을 지연시키는 픽셀 그룹화 모듈부와; 상기 픽셀 그룹화 모듈부에서 출력을 지연시켜 얻은 픽셀들에 대해 실제 연산을 수행하는 윈도우 프로세싱 모듈부와; 상기한 모듈부들을 제어하며 동기를 맞추는 제어 모듈부를 포함하여 구성된다. 영상을 전송하는 카메라에서 생성된 제어 신호를 기반으로 현재 입력중인 픽셀의 2차원 좌표를 계산해내는 좌표 생성 모듈과,윈도우 기반으로 영상을 처리하기 위해 일정 영역에 속한 픽셀로 그룹을 구성하여 처리하기 위해, 입력 영상의 일부를 내부 메모리와 레지스터에 저장, 출력을 지연시키는 픽셀 그룹화 모듈부,상기 픽셀 그룹화 모듈부에서 출력을 지연시켜 얻은 픽셀들에 대해 실제 연산을 수행하는 윈도우 프로세싱 모듈부 및,상기한 모듈부들을 제어하며 동기를 맞추는 제어 모듈부를 포함하여 구성되고;상기 픽셀 그룹화 모듈부는, 전체 입력 영상의 일부를 메모리에 저장해두는 라인 버퍼와, 이들 라인 버퍼에 저장된 각 픽셀값을 다루는 버퍼 제어기로 구성된 라인 버퍼 모듈과, 상기 라인버퍼에서 전달된 각 픽셀이 저장되는 윈도우 버퍼와, 이 윈도우 버퍼를 제어하는 윈도우 버퍼 제어기로 구성된 출력 지연 모듈로 구성된다*본 기술의 장점첫째, 동적 문턱값을 이용한 실시간 윤곽선 및 특성정보 검출 장치를 사용하면 기존의 윤곽선 검출장치보다 효율적으로 동작하면서도 영상의 세부 정보를 잃어버리지 않고 윤곽선 및 특성정보를 얻을 수 있다.둘째, 이미지의 세부 정보를 잃어버리지 않는 윤곽선 및 특성성분 검출- 라인버퍼를 사용하여 처리에 필요한 만큼의 이미지만을 저장함으로써 메모리 사용량을 최소화셋째, 대부분의 비전관련 기업에의 적용이 가능
- 보유기관
- 성균관대학교
- 등록일
- 2006-05-30
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일반기술
전기·전자 > 중전기기
본 기술은 전해질의 제조를 보다 용이하게 하고, 이온 전도도 및 전지 용량을 향상시킬 수 있는 고분자 전해질을 제조하는 방법과 해당 고분자 전해질로 구성되는 상온에서 2.1V에서 3.0V의 하나의 평탄 전압을 가지고 방전 용량이 800 mAh/g 이상인 리튬 유황 전지를 제공하고자 하는 것이다.본 기술은 리튬 유황 전지에 적합하고 상온에서도 높은 이온 전도도를 가지는 겔형 또는 미세다공형 고분자 전해질을 제조할 수 있으며, 가소제의 구성 성분과 전류 밀도를 조절함으로써 이온 전도도 및 방전 용량이 우수한 고분자 전해질을 제조할 수 있게 된다.본 기술에 리튬 유황 전지는 상기 방법에 의해 제조된 고체 고분자 전해질을 사용함으로써 방전시 2.1V에서 3.0V의 하나의 평탄 전압을 가지고, 방전 용량이 800 mAh/gㆍ유황 이상을 나타내는 효과가 있다.폴리우레탄, 폴리비닐리덴헥사플루오로프로필렌 공중합체, 폴리비닐리덴플루오라이드, 폴리비닐클로라이드, 폴리아크릴로니트릴, 폴리메틸메타아크릴레이트, 폴리에틸렌옥사이드 또는 폴리프로필렌옥사이드로부터 선택된 바인더를 다공성 고분자 필름으로 미리 제조하고, 테트라에틸렌글리콜디메틸에테르, 에틸렌카보네이트, 프로필렌카보네이트의 가소제와 리튬염으로 구성된 액체 전해질에 함침시킨 후 글래스 캐스팅 방법을 이용해서 미세다공형으로 제조함을 특징으로 하는 이온 전도성을 갖는 상온형 고분자 전해질의 제조방법.
- 보유기관
- 창원상공회의소
- 등록일
- 2006-05-12
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일반기술
전기·전자 > 반도체 공정 (B63)
*원리 및 구성본 기술은 중성빔을 이용한 반도체 식각장치에 관한 것으로, 중성빔 식각장치에 있어서, 일정 각도로 경사진 반사면이 다수로 형성되어 이루어진 슬릿부가 내측에 일체로 성형된 반사체를 포함하여 이루어진 것으로, 종래보다 크기가 소형화되고 구조가 간결하게 됨으로써 제조가 간편하고, 또한 중성빔의 방향 제어가 용이하다. 외주연에 다수의 유도코일(RF COIL)이 권회되어 구성된 이온소스와; 다수의 그리드홀이 형성된 채 이온소스의 일측에 설치되어 이온빔을 가속시키는 그리드와; 그리드홀을 통해 입사되는 이온빔을 중성빔으로 전환시키는 반사체를 포함하여 이루어진 중성빔 식각장치에 있어서,상기 반사체(6)의 내측에 슬릿부(62)가 일체로 성형되고,상기 슬릿부(62)는 그리드홀(42)에 대응되며 일정 각도로 경사지게 형성된 복수개의 반사면(64)을 포함하여 이루어지며,상기 반사면(64)은 10°이하의 경사각으로 형성시킴으로써 식각속도를 최적화시킨 것을 특징으로 하는 중성빔을 이용한 반도체 소자의 식각장치.*기술의 장점본 기술을 통하여 차세대의 실행될 나노소자의 구현을 가능하게 하며 부수적으로 차세대 MEMS, Biosensor등의 타분야에도 응용할 수 있는 신개념의 극미세패턴의 식각기술이 창출될 것이다. 특히 현재에 기술적 우의를 지키고 있는 반도체 메모리소자분야에서 외국 기술의 습득이 아닌 기술적 주도와 우의를 지켜나갈 수 있을 것이다. 또한 신개념의 극미세패턴을 위한 식각기술의 선점은 물론 식각장비의 제조산업분야에도 큰 파장을 불러 일으킬 것이다. 본 연구를 통하여 확보된 최첨단의 플라즈마소오스, 이온빔 소오스등의 장비제작
- 보유기관
- 성균관대학교
- 등록일
- 2006-05-30
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일반기술
전기·전자 > 조명 기술
본 고안은 전구 설치용 소켓 결합구조에 관한 것으로, 전구의 결합부를 이루는 전구소켓의 결합면 중앙에 일정 넓이를 갖는 전구소켓용 자석이 내설되고, 상기 전구소켓용 자석을 중심으로 그 외측에 각각 일정거리를 두고 한 쌍의 전극단자가 삽입설치되되, 상기 전극단자의 하부에 전극단자를 탄력적으로 지지하는 스프링이 설치되는 한편, 상기 전구소켓이 결합되어 전원을 인가받을 수 있도록 된 전등소켓의 결합면 중앙에 상기 전구소켓용 자석과 대응되는 전등소켓용 자석이 내설되며, 상기 전등소켓용 자석을 중심으로 그 외측에 각각 상기 전구소켓의 전극단자가 끼워져 고정될 수 있는 한 쌍의 단자홈이 전원 연결선을 매개로 형성된 구조이다.본 발명은 전구 설치용 소켓 결합구조에 관한 것으로, 본 발명에 따르면 전구를 전등소켓에 간편하게 설치하거나 탈거할 수 있게 구성되어 사용자에게 보다 향상된 편의를 제공 할 수 있다. 또한 전구를 교체하기 위한 시간이나 노력이 적게 들기 때문에 전구 교체시 일어날 수 있는 안전사고를 예방할 수 있으며, 다양한 형태의 전구와 전등소켓에 서로 대응되는 자석을 적용함으로써 전등기구의 구매력을 향상시킬 수 있는 효과가 있는 것이다.
- 보유기관
- 호서대학교
- 등록일
- 2006-05-24
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